JPH0266747A - 平板状情報記録担体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、大容敗、偽密度記録を可能とした平板伏晴報
記録担本（光ディスク）に関するものである。

従来の技術 金・蜀材料を含む記録膜を有する光ディスクでは。

記＠摸の酸化劣化を防ぐためて、記録膜を耐湿性保護膜
で保護する等の手段が用いられている。特に希土類と１
金属のアモルファス合金からなる光＠気記録摸は酸化し
易い材料であるため、保護、漢の没割は非常に大きい。

従来、光磁気記録膜を有する光ディスクの保護膜材料と
して、Ａ５Ｎ　、　Ｓｉ３Ｎ４等ノ窒化物ヤ５ｉｎ２゜
Ｔａ２０５　　等の酸化物が検討されてきた。

以下、第３図を参照しながら、従来の光ディスクの構成
の一１列を説明する。基板８及び基板１３はポリカーボ
ネイトからなる成形基板である。この基板８の上には、
保護膜９、光磁気記録膜１０及びｊ呆護摸１１が順次積
層されその後、接着層１２によって、基板と接着される
。ここで保護膜９はＺｎＳであり保護膜１１ばＡｌＮで
あり、ＧｄＴｂＦｅＣ。

からなる記録膜１０を両側から保護している。

発明が解決しようとする課題 しかしながら、従来の保護膜では、まだ記録膜の酸化防
正に対し問題がある。窒化物から成る保、護膜では、保
護膜中に大きな応力が残留するために、膜にクラックを
生じ易く、このクラックから水分や酸素が浸入して記録
膜を酸化させていた。

また、酸化物からなる保護膜の場合は、耐湿性能が充分
ではなく、記録膜の酸化が進行するという問題があった
。

課題を解決するだめの手段 本発明は、上記問題点を解決するだめに、アルミニウム
、窒素を主成分とする窒化アルミニウムに、酸素とイ、
ｔ−！Ｊウムの少くとも一方を含有する誘眠体を保護層
として用いるものである。

作用 本発明ば、上記した手段を施すことにより、１莫中の残
留応力が低下して、Ｉ耐クラツク性が向上し又、イツト
リウムは非常に活性な元素であるために浸入して来る酸
素と結合するだめ、光ディスクの盪化劣化の進行がおさ
えられ、［耐侯件の良好な光ディスクが得られる。

実施例 以下１本発明の実施例について、第１１図ｆａ）を参照
しながら説明する。基板１７（１，ポリカーボネイトか
ら成る成型基板で、この片面に保護１＠　２　、記録膜
３．保護摸４を碩積層し、その後、接着層５によりポリ
カーボネイトｆｌｕの基板６を接着している。

記、護膜３は例えばＧｃｌＴｂＦｅＣｏ光磁気記録媒体
であり、保護膜２．ｄＺｎＳ、４は酸素とイツトリウム
の少くとも一方を含有する窒化γルミニウム誘電体層で
ある。これら三層の膜（は、マグネトロンスパッタ法で
成膜した。酸素とイツトリウムの少く６１、 とも一方を含有する窒化アルミニウム膜の成膜には、ホ
ットプレス或は常圧焼結法で作製したターゲットを用い
た。イツトリウムを含有するターゲットを用いてスパッ
タ法で成膜すると、スパッタレートが向上するというメ
リットもある。又、第１図（ｂ）は本発明の一実施例で
、基板１＋に前述のよりなＺｎＳ保護層、記録膜、酸素
とイツトリウムを含有するＡβＮ保護層が順次形成され
、樹脂のオーバーコート層が施された単板構造の光ディ
スクである。

以上のように構成された単板構造の光ディスクにおいて
、恒温恒湿環境放置試験を行なりで、保護膜に酸素とイ
ツトリウムを含有するディスクと含有し々いディスクの
劣化を比較した。光磁気ディスクでは、記録媒体の劣化
は、保磁力の低下、反射率の変化、或は孔食の発生とし
て現われる。

８０”Ｃ８０％ＲＨでの耐候テストでは、保護膜に酸素
とイノ）　ｌ）ラムを含有する効果は、主として孔食の
発生の差として現われる。第２図に示すように窒化アル
ミニウムのみの保護膜では約２００時間で孔食が発生し
、ＤＥＲ（ディフェクトエラーレート）が初期値の約３
倍に増加したのに比べ保護膜に酸素とイツトリウムを含
有する窒化アルミニウムを用いると、約２００時間での
孔食の発生は非常に低くおさえられ、ＤＥＲの増加・け
初期値の１．３倍以下にとどまっている。

又、酸素とイツトリウムのどちらか一方を含有する保護
膜を有する場合も８０°Ｃ８０πＲＨ約２００時間後の
ＤＥＨの増加は、酸素とイツトリウムを含有しない保護
膜を有するものに比べて小さい。孔食の発生は、保護膜
中の残留応力のだめに、外部環境の変化で微小クラック
が生じ、そこから水分が浸入して、記録膜を酸化したか
、或は膜中のある元素、成分、異物などを核として、記
録膜の酸化が始まり、孔食が形成されると考えられるが
、酸素とイツトリウムの片方又は両方を含有する窒化物
を保護膜として用いることにより。

残留応力が酸素とイソｌ−ＩＪウムの両方又は片方を含
有しない場合のＫ　Ｎ！Ａに低減され耐クラツク性が向
上され、水分や酸素の浸入が阻止されて孔食の発生がお
さえられると考えられる。窒化アルミーウムターゲット
へのイツトリウムの添加量ば５　ａｔに以下で充分であ
る。

まだ、ディスクは貼り合せ構造をとらずとも。

単板構造でもよい。

発明の効果 以上のように本発明によれンコ、アルミニウムと窒素か
ら成る保護膜に酸素とイツトリウムの少くとも一方を添
υＩするようにしたことにより、孔食の発生がおさえら
れ、優れた保護機能を実現することが可能となり、その
効果は犬なるものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における基板上にＺｎＳｎＳ
保護光磁気記録膜、酸素とイツトリウムを含有するＡｌ
Ｎ保護膜を有する竿板状晴報記、録担体の断面図、第２
図はその耐侯性試験によるＤＥＲ（ディフェクトエラー
レ−１−）の変化を示す特性図、第３図は従来例である
。酸素酸：はイソｔ−！Ｊウムを含有しないＡｌＮ保護
膜を有する平板状隋報記録用体の断面図である。 １・・・基板、２・・・・・ＺｎＳｎＳ保護光・・・・
・記録膜。 ４・・・・・・酸素とイツトリウムを含有するＡ４Ｎ保
護膜。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）光学的、或は磁気的に情報を記録・再生或は消去
   可能な光ディスクで、少なくとも平板状基板上に形成す
   る記録膜の前記平板状基板に近い側と遠い側に誘電体層
   を有し、少なくとも一層の誘電体層が、窒素とアルミニ
   ウムを主成分とし、酸素を含有することを特徴とする平
   板状情報記録担体。
2. （２）光ディスクの少なくとも一層の誘電体層が、窒素
   とアルミニウムを主成分とし、酸素とイットリウムの片
   方又は両方を含有することを特徴とする請求項１記載の
   平板状情報記録担体。
3. （３）光ディスクの記録膜が、希土類−遷移金属を主成
   分とする請求項１または２記載の平板状情報記録担体。
4. （４）光ディスクの平板状基板上に順次形成する薄膜で
   、記録膜より、前記平板状基板に近い側に形成する誘電
   体膜がＺｎＳを主成分とする誘電体であり、かつ、前記
   記録膜より前記平板状基板に遠い側に誘電体膜を有する
   ことを特徴とする請求項１、２または３記載の平板状情
   報記録担体。