KR970004213B1 - 광자기 기록매체 - Google Patents

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Abstract

없음

Description

광자기 기록매체
제1도는 종래의 광자기 기록매체구조를 보인 확대도.
제2도는 본 발명에 의한 광자기 기록매체의 구조를 보인 확대도.
제3도 및 제4도는 본 발명에 의한 광자기 기록매체의 특성을 보인 그래프로서, 제3도는 에이징(aging)시간에 따른 보자력의 변화를 제4도는 노출시간에 따른 C/N의 변화를 각각 보인 것이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
11 : 기판12 : 앤티리플렉션층
13 : 기록층14 : 보호층
15 : Tbx(AlSiN)1-X층
본 발명은 광자기 기록매체에 관한 것으로, 특히 앤티리플렉션(anti-reflection)층과 기록층의 사이에 Tbx(AlSiN)1-X층의 중간층(intermediate)을 형성하여 기록층의 산화를 방지할 수 있게 한 광자기 기록매체에 관한 것이다.
통상적으로 고밀도 기록매체로 사용되는 광자기 기록매체는 주로 스퍼터링 방법으로 제작되는바, 이러한 광자기 기록매체의 기록매질로서는 주로 희토류-천이류의 합금박막이 이용되고 있다. 제1도는 종래기술의 의한 광자기 디스크의 일예를 보인 것으로, 도면중 1은 보호층, 2는 기록층, 3은 앤티리플렉션층, 4는 기판을 각각 보인 것이다. 상기 기록층(2)은 위에서 언급한 바와 같이, RE-TM 합금으로 구성되며, 이때 유전체층 기판(1)과의 접합면에서 빛의 반사를 없애기 위하여 기록판독에 이용되는 레이저빔 파장의 λ/4n 두께로 제작한 앤티리플렉션층(3)과, 기록층(2)의 산화 및 부식방지를 위한 보호층(1)로 구분된다.
또한 상기한 바와같이 광자기 디스크는 접속된 레이저빔에 의하여 온도가 올라가면 기록층(2)이 갖는 보자력이 감소하여 300-400 0e 정도의 외부자계로드 자화의 반전이 일어나 기록이 된다. 이와 같이하여 형성된 기록비트(bit)는 보호층(1)에 의한 외부공기와는 차단에 의하여 산화를 방지하게 된다.
그러나 상기한 바와 같은 종래기술에 의한 광자기 디스크는 유전체층이 외부산소에 대하여 충분하게 보호역할을 하지 못할 뿐만 아니라 기록층(2)중의 희토류 원소인 Tb가 산화친화력이 크므로 기록층(2)의 산화에 의하여 기록매체의 수명이 단축되는 문제점이 있었다. 또한 기록층(2)자체의 산화저항력을 증가시키기 위하여 AL, Pt등의 물질을 첨가하는 방법이 알려지고 있으나, 이와 같은 방법은 기록층(2) 자체의 마그네트-옵틱(magreto-optic)성질이 저하되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위하여 창안한 것으로, 앤티리플렉션층과 기록층의 사이에 TbAlSiN 합금의 중간층을 형성하여, 산화친화력이 큰 Tb물질을 외부와 차단시키고 기록층으로 확산되는 잔류산소를 AlSiN이 미리 결합시킴으로써 기록층의 산화를 방지할 수 있도록 구성한 것인바, 이를 첨부된 도면에 의하여 설명하면 다음과 같다.
제2도에 도시한 바와 같이 기판(11)에 앤티리플렉션층(12), 기록층(13), 보호층(145)이 순차적으로 적층형성되는 광자기 디스크에 있어서 상기 앤티리플렉션층(12)과 기록층(13)의 사이에 AlSiN 물질과 희토류 물질인 Tb의 합금형태인 Tbx(AlSiN)1-X층(15)을 형성하여 구성한 것으로서, 상기한 바와 같은 본 발명의 광자기 디스크는 먼저 기판(11)에 통상의 앤티리플렉션층(13)을 형성하고, 그위에 RE-TM 물질중 산소친화력이 큰 Tb의 산화를 방지하기 위하여 보호막으로 사용되는 질화막계의 AlSiN을 Tb와 Co-스퍼터링하여 TbAlSiN 합금의 Tbx(AlSiN)1-X층(15)을 형성한 후, 그위에 통상의 Tb Fe Co의 기록층(13), 보호층(14)을 적층형성함으로써 제조가 완료된다.
상기한 바와 같이 제조된 본 발명의 광자기 디스크는 Tbx(AlSiN)1-X층(15)이 Tb를 외부산소와 차단시키는 역할과 잔류산소와 TbAlSiN중의 AlSiN성분이 산소와 결합하여 Tb의 산화를 방지하는 역할을 함으로써 산화문제에 따른 Hc의 감소 및 C/N의 변화현상을 방지할 수 있는 것이다.
본 발명의 광자기 디스크와 종래의 Tb Fe Co 기록층을 이용한 광자기 디스크의 신뢰성 실험을 통하여 제3도 및 제4도와 같은 결과를 얻을 수 있었다.
제4도는 에이징(aging)시간에 따른 보자력의 변화그래프를 보인 것이고, 제5도는 노출시간에 따른 C/N의 변화그래프를 보인 것으로서, 본 발명의 광자기 디스크는 Hc가 감소되고, C/N의 변화가 거의 없음을 알 수 있다.
상기한 실험에서 본 발명의 광기록 매체에서 Tbx(AlSiN)1-X의 X값은 42로 하였으나 X값을 35-45at%로 유지시킬 경우에도 제3도 및 제4도에서와 유사한 결과치를 얻을 수 있었다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 앤티리플렉션층과 기록층의 사이에 TbAlSiN 합금의 중간층을 형성하여 산소친화력이 큰 Tb물질을 외부산소와 차단시킬 뿐만 아니라 기록막으로 확산하는 잔류산소를 TbAlSiN중의 AlSiN 성분과 미리 결합되게 함과 아울러 Tb0 형성을 방지함으로써 산화에 따른 열화문제를 해결할 수 있으며, 이에 따라 장시간 경과후에도 Hc를 감소시킬 수 있고 C/N변화를 방지할 수 있는 효과가 있게 된다.

Claims (2)

  1. 기판의 상면에 앤티리플렉션층이 형성되고, 상기 앤티리플렉션층의 상면에 산화 방지를 위한 Tbx(AlSiN)1-X층이 형성되며, 상기 Tbx(AlSiN)1-X층의 상면에 기록층 및 보호층이 순차적으로 형성된 것을 특징으로 하는 광자기 기록매체.
  2. 제1항에 있어서, 상기 Tbx(AlSiN)1-X층의 X는 35∼45 at%의 범위인 것을 특징으로 하는 광자기 기록매체.
KR1019890008996A 1989-06-28 1989-06-28 광자기 기록매체 KR970004213B1 (ko)

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