JPH056584A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPH056584A JPH056584A JP3158399A JP15839991A JPH056584A JP H056584 A JPH056584 A JP H056584A JP 3158399 A JP3158399 A JP 3158399A JP 15839991 A JP15839991 A JP 15839991A JP H056584 A JPH056584 A JP H056584A
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- dielectric layer
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- layer
- recording medium
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Abstract
/Pt)多層膜23/第2誘電体層24/反射膜25が
この順に積層されている。上記の(Co/Pt)多層膜
23は、Co層とPt層とが交互に繰り返し積層されて
いる。この(Co/Pt)多層膜23を挟む第1誘電体
層22および第2誘電体層24のうち、少なくともCo
/Pt多層膜23が積層される方の誘電体層(すなわ
ち、上記の場合、第1誘電体層22)が、窒化チタンま
たは窒化バナジウムから成っていることを特徴としてい
る。 【効果】 光磁気記録媒体の室温付近における保磁力が
著しく増大する結果、安定な記録ビットが形成され、光
磁気記録媒体の信頼性が向上する。
Description
ームと磁気ヘッド等が発生する磁界とを用いて情報が記
録され、偏光ビームを用いてその情報が読み出される光
磁気記録媒体に関するものである。
ように、基板1上に誘電体膜2/記録膜3/誘電体膜4
/反射膜5がこの順に積層された4層構造を有してい
る。記録膜3には、例えばDyFeCo、GdTbF
e、TbFeCoのような希土類−遷移金属(RE−T
M)アモルファス合金が用いられている。RE−TMア
モルファス合金は非常に酸化しやすいため、誘電体膜2
・4は、RE−TMアモルファス合金を用いた記録膜3
を保護する役割も担っている。誘電体膜2・4には、例
えばAlN、SiN、SiO、またはSiO2 等のアモ
ルファス薄膜が用いられている。
り返し積層したCo/Pt多層膜は、特開平2−263
344号公報に開示されているように、化学的に安定で
あって高耐酸化性を備え、さらに、短波長(400nm
付近)の光に対して、RE−TMアモルファス合金膜よ
りもカー回転角が大きいという特徴を有している。光磁
気記録において、使用されるレーザ光の波長を短くする
ことは、記録密度の向上に貢献する。レーザ光の短波長
化に対応するためには、短波長で大きなカー回転角を有
する記録膜が必要となる。それゆえ、上記の特徴を持つ
Co/Pt多層膜は、高密度の光磁気記録を可能とする
記録膜として有望である。
フェリ磁性体であるため、希土類金属の磁化と遷移金属
の磁化とが互いに等しくなるような組成、すなわち補償
組成になると、その保磁力(Hc)の値が10kOeを
超える程に非常に大きくなる。したがって、室温付近で
補償組成となるRE−TMアモルファス合金を記録膜3
として用いれば、Hcの値を充分に大きくでき、安定し
た記録ビットを形成することができる。
多層膜は強磁性体であるため、上記のような補償組成が
存在せず、室温におけるHcの値は高々数百Oe程度に
なっている。このため、安定な記録ビットを形成するに
は、Co/Pt多層膜を記録膜として用いた光磁気記録
媒体の保磁力を向上させねばならないという問題点を有
している。
磁気記録媒体は、上記の課題を解決するために、Co層
とPt層とを交互に繰り返し積層したCo/Pt多層膜
を記録層として用い、上記記録層を第1誘電体層と第2
誘電体層とで挟んだ構造を有する光磁気記録媒体におい
て、上記第1誘電体層および第2誘電体層のうち、少な
くともCo/Pt多層膜が積層される方の誘電体層が、
窒化チタンから成っていることを特徴としている。
上記の課題を解決するために、Co層とPt層とを交互
に繰り返し積層したCo/Pt多層膜を記録層として用
い、上記記録層を第1誘電体層と第2誘電体層とで挟ん
だ構造を有する光磁気記録媒体において、上記第1誘電
体層および第2誘電体層のうち、少なくともCo/Pt
多層膜が積層される方の誘電体層が、窒化バナジウムか
ら成っていることを特徴としている。
/Pt多層膜を挟む第1誘電体層および第2誘電体層の
うち、少なくともCo/Pt多層膜が積層される方の誘
電体層が、窒化チタンから成っている。すなわち、第1
誘電体層/(Co/Pt)多層膜/第2誘電体層がこの
順に成膜されていくとすれば、第1誘電体層がCo/P
t多層膜が積層される方の誘電体層に相当する。したが
って、少なくとも第1誘電体層を窒化チタンによって成
膜することにより、光磁気記録媒体の室温付近における
保磁力が従来より著しく向上する。この結果、安定な記
録ビットが形成され、光磁気記録媒体の信頼性が向上す
る。なお、上記した保磁力の増大には、窒化チタンが多
結晶の誘電体膜として成膜され、その多結晶性がCo/
Pt多層膜の成膜に反映されることが関与していると考
えられる。
1の構成による作用と同様の作用によって、光磁気記録
媒体の信頼性が向上する。
たは窒化バナジウムから成る誘電体層上に、どちらから
先に積層されても同様の効果が得られる。
ように、ガラスまたはポリカーボネート等の透光性樹脂
から成る基板21上に、誘電体膜22/記録膜23/誘
電体膜24/反射膜25がこの順に成膜された4層構造
を有している。記録膜23は、後述するように、Co/
Pt多層膜から成っている。この場合、第1誘電体膜と
しての誘電体膜22および第2誘電体膜としての誘電体
膜24のうち、少なくともCo/Pt多層膜が積層され
る誘電体膜22が、窒化チタン、あるいは窒化バナジウ
ムから成っている。他方の誘電体膜24は、少なくとも
透光性の金属窒化物から成膜される。また、誘電体膜2
4は記録膜23の保護層としての機能も担っている。
た光磁気記録媒体の場合、記録/再生のための光は、基
板21側から照射される。しかしながら、反射膜25を
設けない光磁気記録媒体の場合には、記録/再生のため
の光は、誘電体膜24側から照射されることになる。
/Pt多層膜の保磁力が従来より向上していることを顕
著に示すために、2種類の比較実験を実施した。比較例
1には、ガラス基板上に直接Co/Pt多層膜を形成し
た場合が示されており、比較例2には、ガラス基板上に
AlN膜を形成し、その上にCo/Pt多層膜を形成し
た場合が示されている。
板6に対し、スパッタリング法を用いて、厚さが15Å
のPt層7aと厚さが4.5ÅのCo層7bとを5層ずつ
交互に積層し、Co/Pt多層膜を作製した。このCo
/Pt多層膜において、カーヒステリシスループをガラ
ス基板6と反対側から(図6中に矢印11にて示す)測
定した結果を図7に示す。保磁力Hcは、およそ250
Oeであった。なお、測定に用いられたレーザ光の波長
は約450nmであって、以下の全ての測定に対して共
通である。
板6に対し、厚さが500ÅのAlN膜8をスパッタリ
ング法にて形成し、その上に上記比較例1と同様の膜厚
および層数のPt層7aとCo層7bとから成るCo/
Pt多層膜を積層した。このCo/Pt多層膜のカーヒ
ステリシスループをガラス基板6と反対側から(図8中
に矢印12にて示す)測定した結果を図9に示す。この
場合、保磁力Hcは、およそ400Oeであり、ガラス
基板6上に直接Co/Pt多層膜を形成した上記比較例
1に比べて大きくなっている。
ているが、これは、AlN膜8における光の多重干渉に
起因したエンハンス効果が生じているためである。
板6上に、厚さが500ÅのTiN膜9をスパッタリン
グ法にて形成し、その上に上記比較例1と同様の膜厚お
よび層数のPt層7aとCo層7bとから成るCo/P
t多層膜を積層した。
リシスループをガラス基板6と反対側から(図2中に矢
印13にて示す)測定した結果を図3に示す。保磁力H
cは、およそ1200Oeであり、上記比較例1および
比較例2における保磁力Hcに比べて著しく増大してい
ることがわかる。
板6上に、厚さが500ÅのVN膜10をスパッタリン
グ法にて形成し、その上に上記比較例1と同様の膜厚お
よび層数のPt層7aとCo層7bとから成るCo/P
t多層膜を積層した。
リシスループをガラス基板6と反対側から(図4中に矢
印14にて示す)測定した結果を図5に示す。保磁力H
cは、およそ1300Oeであり、実施例1と同様に、
上記比較例1および比較例2における保磁力Hcに比べ
て著しく増大していることがわかる。
本発明に係る光磁気記録媒体の保磁力Hcが著しく増大
したのは、比較例2におけるAlN膜8が非晶質膜であ
るのに対して、TiN膜9およびVN膜10が多結晶膜
であることが関与していると考えられる。すなわち、C
o/Pt多層膜の成膜に、TiN膜9またはVN膜10
の結晶性が反映されるのである。
膜10の上にPt層7aを形成し、以降、Co層7b/
Pt層7a…の順で交互に積層したが、これとは逆に、
TiN膜9またはVN膜10の上にCo層7bを形成
し、以降、Pt層7a/Co層7b…の順で交互に積層
してもよい。
は、以上のように、記録層としてのCo/Pt多層膜を
挟む第1誘電体層および第2誘電体層のうち、少なくと
もCo/Pt多層膜が積層される方の誘電体層が窒化チ
タンから成っている構成である。
ける保磁力が従来より著しく増大するため、安定な記録
ビットが形成され、光磁気記録媒体の信頼性が向上する
という効果を奏する。
以上のように、記録層としてのCo/Pt多層膜を挟む
第1誘電体層および第2誘電体層のうち、少なくともC
o/Pt多層膜が積層される方の誘電体層が窒化バナジ
ウムから成っている構成である。
気記録媒体の信頼性が向上するという効果を奏する。
ある。
t多層膜を積層した光磁気記録媒体を示す縦断面図であ
る。
シス特性を示すグラフである。
/Pt多層膜を積層した光磁気記録媒体を示す縦断面図
である。
シス特性を示すグラフである。
た比較例としての光磁気記録媒体を示す縦断面図であ
る。
シス特性を示すグラフである。
o/Pt多層膜を積層した比較例としての光磁気記録媒
体を示す縦断面図である。
シス特性を示すグラフである。
る。
Claims (2)
- 【請求項1】Co層とPt層とを交互に繰り返し積層し
たCo/Pt多層膜を記録層として用い、上記記録層を
第1誘電体層と第2誘電体層とで挟んだ構造を有する光
磁気記録媒体において、上記第1誘電体層および第2誘
電体層のうち、少なくともCo/Pt多層膜が積層され
る方の誘電体層が、窒化チタンから成っていることを特
徴とする光磁気記録媒体。 - 【請求項2】Co層とPt層とを交互に繰り返し積層し
たCo/Pt多層膜を記録層として用い、上記記録層を
第1誘電体層と第2誘電体層とで挟んだ構造を有する光
磁気記録媒体において、上記第1誘電体層および第2誘
電体層のうち、少なくともCo/Pt多層膜が積層され
る方の誘電体層が、窒化バナジウムから成っていること
を特徴とする光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3158399A JPH056584A (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3158399A JPH056584A (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH056584A true JPH056584A (ja) | 1993-01-14 |
Family
ID=15670897
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3158399A Pending JPH056584A (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH056584A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5875169A (en) * | 1997-06-12 | 1999-02-23 | Eastman Kodak Company | Magneto-optic data storage device having multiple data storage levels |
US6490231B1 (en) | 1997-12-25 | 2002-12-03 | Seiko Instruments Inc. | Intermittent feeding mechanism |
-
1991
- 1991-06-28 JP JP3158399A patent/JPH056584A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5875169A (en) * | 1997-06-12 | 1999-02-23 | Eastman Kodak Company | Magneto-optic data storage device having multiple data storage levels |
US6490231B1 (en) | 1997-12-25 | 2002-12-03 | Seiko Instruments Inc. | Intermittent feeding mechanism |
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