JPH0256807A

JPH0256807A - オルガノ貴金属ゾルインク

Info

Publication number: JPH0256807A
Application number: JP20857688A
Authority: JP
Inventors: Koji Okamoto; 浩治岡本
Original assignee: Tanaka Kikinzoku Kogyo KK
Current assignee: Tanaka Kikinzoku Kogyo KK
Priority date: 1988-08-23
Filing date: 1988-08-23
Publication date: 1990-02-26

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、電子工業用材料等に利用される貴金属薄膜を
形成するためのオルガノ貴金属ゾルインクに関するもの
である。

（従来技術とその問題点）従来、貴金属薄膜を各種の基材上に形成させる方法は、
貴金属ペーストを用いる方法とスパッタ法、蒸着法が用
いられている。

その薄膜形成方法としてのペースト法は貴金属の粉末を
用い、他にガラス質の成分となる金属または無機化合物
塩の微粉末と有機バインダと溶剤を加えて混合し調製さ
れているため、均一に分散させることが困難である点や
、膜厚も３ミクロン以下にすることが難しく、形成させ
た膜厚のバラツキが大きく、また、ピンホールが生ずる
欠点がある。

また、スパッタ法および蒸着法は、特殊装置を必要とし
、貴金属膜厚は０６０５〜１．０ミクロンが生産上で得
られている厚みで、膜厚を得るために長時間を必要とし
、貴金属の歩留りも低いという欠点があり、０．５〜３
．０ミクロンの貴金属薄膜を得るための方法が課題とさ
れていた。

（発明の目的）本発明は、従来法の欠点を解決するために成されたもの
で、簡便な方法で各種基材へち密なピンホールのない薄
膜を形成することができ、膜厚のバラツキを小さくし、
密着性が強く、貴金属薄膜を従来法では得にくい０．５
〜３．０ミクロンの中間的厚みを形成するためのオルガ
ノ貴金属ゾルインクを提供することを目的とする。

（問題点を解決するだめの手段）本発明は、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、白金、
金、銀、およびイリジウムから成る貴金属の１種または
２種以上のオルガノ貴金属ゾルと、有機金属化合物とバ
インダとして、ロジン、アルキッド樹脂、尿素樹脂、メ
ラミン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂およびテルペ
ン重合体樹脂から成る群より選択される２種以上の樹脂
とベンジルアセテート、クローブオイル、ターピネオー
ル、メンタノール、シクロヘキサノンおよびジブチルカ
ルビトールから成る群より選択される１種以上の有機溶
剤を加えて混合溶液としたことを特徴とするオルガノ貴
金属ゾルインクである。

以下、本発明の詳細な説明する。

本発明のオルガノ貴金属ゾルインクの原料成分としてオ
ルガノ貴金属ゾルを主成分とし、その元素としては、ル
テニウム、ロジウム、パラジウム、白金、金、銀、およ
びイリジウムである。

他に、有機金属化合物として、上記の貴金属と他に、鉛
、ケイ素、ホウ素、ビスマス、アンチモン、クロム、カ
ルシウム、マグネシウム、マンガン、亜鉛、ジルコニウ
ム、バリウム、ストロンチウム、およびカリウムから成
る群から選択される２種以上の有機金属化合物と、バイ
ンダとしてロジン、アルキッド樹脂、尿素樹脂、メラミ
ン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、テルペン重合体
から成る群から選択される２種以上の樹脂と有機溶剤と
してベンジルアセテート、クローブオイル、ターピネオ
ール、メンタノール、シクロヘキサノン、ジブチルカル
ビトール、のいずれか１種以上の有機溶剤を用いる。

本発明において用いる、オルガノ貴金属ゾルは例えば、
貴金属の塩化物をジオクタデシルジメチルアンモニウム
塩で有機溶媒に抽出し、ホルマリンで還元して得られた
公知の方法によるもので良く、貴金属の粒子径が平均０
．０１〜０．００１ミクロンで、貴金属含有率が　′８
０％〜１００％のものを用いる。

上記の有機金属化合物を用いる理由は、オルガノ貴金属
ゾルの分散を良くするためと、ガラス質成分の元素化合
物を同一の有機溶剤に溶解することができ、混合溶液を
調製することができるからである。

また、有機金属化合物を用いているので従来法のガラス
質成分を微粉末で用いる場合より低い温度で焼成でき、
形成した貴金属薄膜はち密で、セラミック等への密着性
が向上する。

バインダとして上記の樹脂を用いるのは、インクとして
適度の粘性を持たせ、微細な回路を形成する場合にダレ
、ホソリ等を生じさせないためである。

有機溶剤を用いるのは、オルガノ貴金属ゾルと有機金属
化合物およびバインダとしての各種樹脂を均一の混合溶
液とし、塗布する操作を容易にし、しかも形成した貴金
属薄膜の均質性を高めることができ、比較的短時間で揮
発するからである。

貴金属薄膜を０．５〜３．０ミクロンの膜厚で形成する
には、オルガノ貴金属ゾルを２０〜７０％、有機金属化
合物を１０〜６０％、バインダとして樹脂を　５〜３０
％、有機溶剤を７〜２５％で調製した混合溶液を用いる
と、スクリーン印刷法で塗布し乾燥、焼成すると、１回
の・操作で０゜５〜３．０ミクロンの膜厚が得られる。

尚、塗布方法は一般的な筆塗り法、スクリーン印刷法、
スタンプ法、スプレ法、ディッピング法、スピンコーテ
ィング法を用いればよい。

乾燥は、先ず室温で１０〜２０分間乾燥し、次いで１０
０〜２００℃で５〜１５分間加熱乾燥する。

焼成温度は５００〜１０００℃で１０〜２０分間行えば
良い、焼成温度は１０００℃以上では、ガラス質の成分
が蒸発したり、溶融して凝縮したり、また基材を痛める
等の影響があり、あまり好ましくない。

以下、本発明の実施例を記載するが、該実施例は本発明
を限定するものではない。

（実施例・１）樹脂酸白金（Ｐ　ｔ　３５％）２０％、オルガノ白金ゾ
ル（Ｐ　ｔ　８０％）３０％、樹脂酸ロジウム（Ｒｈ２
７％）０．２％、樹脂酸ビスマス（Ｂｉ１８％）３％、
樹脂酸クロム（Ｃｒ６％）０．５％、ベンジルアセテー
ト４％、タローブオイル５％、ロジン１０％、アルキッ
ド樹脂１４％、尿素樹脂３．８％、メンタノール１０％
を混合してオルガノ貴金属ゾルインクを調製し、セラミ
ックの基板にスクリーン印刷法で塗布したのち、室温で
１０分間乾燥し、次いで、１２５℃で１０分間加熱乾燥
し、その後、７００℃で１５分間焼成して、徐冷した。

冷却後、セラミック上に形成した薄膜を拡大して観察し
たところ、ち密でピンホールのない白金膜で厚みは平均
２．０ミクロンであった。

（実施例２）実施例１と同じオルガノ白金ゾルと有機金属化合物とバ
インダとしての各種樹脂と有機溶剤を用いて、有機溶剤
の割合を２５％、１３％、７％に変えて調製したオルガ
ノ貴金属ゾルインクをセラミックの基板にスクリーン印
刷法で塗布したのち、室温で１０分間乾燥し、次いで、
１２０℃で１０分間加熱乾燥し、その後、７５０℃で１
５分間焼成して、・徐冷した。

冷却後、セラミック上に形成した薄膜を拡大して観察し
たところ、ち密でピンホールのない白金膜で厚みは０．
８ミクロン、２，５ミクロン、３．０ミクロンであった
。

（実施例３）樹脂酸パラジウム（Ｐｄ２５％）２０％、オルガノパラ
ジウムゾル（Ｐｄ８５％）　４０％、樹脂酸ロジウム（
Ｒｈ２５％）０．２％、樹脂酸ビス７ス（Ｂｉｔ７％）
３％、樹脂酸クロム（Ｃｒ６％）０．５％、ベンジルア
セテート５％、テルピネオール２０％、重合ピネン３％
、シリアンアスファルト１０％、尿素樹脂２％を混合し
てオルガノ貴金属ゾルインクを調製し、セラミックの基
板にスクリーン印刷法で塗布したのち、室温で１５分間
乾燥し、次いで、１２０℃で１０分間加熱乾燥し、その
後、８３０℃で１０分間焼成して、徐冷した。

冷却後、セラミック上に形成した薄膜を拡大して観察し
たところ、ピンホールのない、ち密な１ミクロンのパラ
ジウム膜であった。

（実施例４）樹脂酸銀（Ａｇ３０％）６０％、オルガノ銀ゾル（Ａｇ
９５％）３０％、樹脂酸ロジウム（Ｒｈ１４％）０．７
％、樹脂酸ビスマス（Ｂｉ１７％）２％、樹脂酸クロム
（Ｃｒ６％）０．３％、ジブチルフタレート７％、テル
ピネオール１０％、マレイン酸変性ロジーングリセリン
エステル２％、シリアンアスファルト３％、メラミン樹
脂２％、を混合してオルガノ貴金属ゾルインクを調製し
、ガラス基板にスクリーン印刷法で塗布したのち、室温
で１５分間乾燥し、次いで、２００℃で１０分間加熱乾
燥し、その後、５００℃で２０分間焼成して、徐冷した
。

冷却後、ガラス基板上に形成した薄膜を拡大して観察し
たところ、ピンホールのない、ち密な２．５ミクロンの
銀の膜であった。

（発明の効果）本発明は、電子工業用材料として広い用途がある、貴金
属薄膜を、従来用いられている貴金属粉末等を用いたペ
ースト法では得られにくい緻密でピンホールのない薄膜
を形成することができ、スパッタ法や蒸着法のように特
殊装置を必要とせず、オルガノ貴金属ゾルを原料とした
オルガノ貴金属ゾルインクにより、簡便な塗布、乾燥、
焼成操作で従来極めて難しいとされていた膜厚０．５〜
３．０ミクロンの薄膜を形成することができ、しかも、
各種基材への密着性の良い薄膜を施すことができ、その
応用は極めて広く技術の発展に大きく貢献するものであ
る。

出願人　　田中貴金属工業株式会社

Claims

【特許請求の範囲】

１．ルテニウム、ロジウム、パラジウム、白金、金、銀
、およびイリジウムから成る貴金属の１種または２種以
上のオルガノ貴金属ゾルと、有機金属化合物とバインダ
として、ロジン、アルキッド樹脂、尿素樹脂、メラミン
樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂およびテルペン重合
体樹脂から成る群より選択される２種以上の樹脂とベン
ジルアセテート、クローブオイル、ターピネオール、メ
ンタノール、シクロヘキサノンおよびジブチルカルビト
ールから成る群より選択される１種以上の有機溶剤を加
えて混合溶液としたことを特徴とするオルガノ貴金属ゾ
ルインク。