JPH0252829U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0252829U
JPH0252829U JP13172688U JP13172688U JPH0252829U JP H0252829 U JPH0252829 U JP H0252829U JP 13172688 U JP13172688 U JP 13172688U JP 13172688 U JP13172688 U JP 13172688U JP H0252829 U JPH0252829 U JP H0252829U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
conveyance
carrier
vacuum processing
processing furnace
contact
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP13172688U
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPH07435Y2 (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP1988131726U priority Critical patent/JPH07435Y2/ja
Publication of JPH0252829U publication Critical patent/JPH0252829U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH07435Y2 publication Critical patent/JPH07435Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)
  • Framework For Endless Conveyors (AREA)
JP1988131726U 1988-10-11 1988-10-11 真空処理炉の搬送装置 Expired - Lifetime JPH07435Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1988131726U JPH07435Y2 (ja) 1988-10-11 1988-10-11 真空処理炉の搬送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1988131726U JPH07435Y2 (ja) 1988-10-11 1988-10-11 真空処理炉の搬送装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0252829U true JPH0252829U (US06420036-20020716-C00037.png) 1990-04-17
JPH07435Y2 JPH07435Y2 (ja) 1995-01-11

Family

ID=31388059

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1988131726U Expired - Lifetime JPH07435Y2 (ja) 1988-10-11 1988-10-11 真空処理炉の搬送装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07435Y2 (US06420036-20020716-C00037.png)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004040089A (ja) * 2002-05-21 2004-02-05 Otb Group Bv 基板処理装置
JP2007261814A (ja) * 2006-03-29 2007-10-11 Applied Materials Gmbh & Co Kg 可動式ガイドレールを有する真空搬送装置
JP2007269071A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Asyst Shinko Inc 無人搬送装置
KR100880877B1 (ko) * 2007-11-02 2009-01-30 한국기계연구원 자기부상형 기판 이송장치
WO2010026733A1 (ja) * 2008-09-05 2010-03-11 キヤノンアネルバ株式会社 基板搬送装置及び真空成膜装置
JP2010159167A (ja) * 2010-02-04 2010-07-22 Canon Anelva Corp 基板搬送装置及び真空処理装置
KR101271112B1 (ko) * 2011-02-01 2013-06-04 (주)이루자 진공 처리 장치
KR101353527B1 (ko) * 2011-09-16 2014-01-21 주식회사 에스에프에이 기판 이송장치
JP2019537236A (ja) * 2017-08-25 2019-12-19 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ キャリアを上げ又は下げるためのアセンブリ、真空チャンバ内でキャリアを搬送するための装置、及びキャリアを上げる又は下げるための方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101409524B1 (ko) * 2007-05-28 2014-06-20 엘지디스플레이 주식회사 기판 이송 장치
WO2019052657A1 (en) * 2017-09-15 2019-03-21 Applied Materials, Inc. METHOD FOR DETERMINING THE ALIGNMENT OF A SUPPORT LEVITATION SYSTEM

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5632413U (US06420036-20020716-C00037.png) * 1979-08-20 1981-03-30
JPS6344603U (US06420036-20020716-C00037.png) * 1986-09-09 1988-03-25
JPS63185712A (ja) * 1987-01-28 1988-08-01 Nippon Soken Inc 真空蒸着装置の搬送機構

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5632413U (US06420036-20020716-C00037.png) * 1979-08-20 1981-03-30
JPS6344603U (US06420036-20020716-C00037.png) * 1986-09-09 1988-03-25
JPS63185712A (ja) * 1987-01-28 1988-08-01 Nippon Soken Inc 真空蒸着装置の搬送機構

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004040089A (ja) * 2002-05-21 2004-02-05 Otb Group Bv 基板処理装置
JP4578784B2 (ja) * 2002-05-21 2010-11-10 オーテーベー、ソーラー、ベスローテン、フェンノートシャップ 基板処理装置
JP2007261814A (ja) * 2006-03-29 2007-10-11 Applied Materials Gmbh & Co Kg 可動式ガイドレールを有する真空搬送装置
JP4583396B2 (ja) * 2006-03-29 2010-11-17 アプリート マテリアールス ゲーエムベーハー ウント コー． カーゲー 可動式ガイドレールを有する真空搬送装置
JP2007269071A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Asyst Shinko Inc 無人搬送装置
KR100880877B1 (ko) * 2007-11-02 2009-01-30 한국기계연구원 자기부상형 기판 이송장치
WO2010026733A1 (ja) * 2008-09-05 2010-03-11 キヤノンアネルバ株式会社 基板搬送装置及び真空成膜装置
JP2010159167A (ja) * 2010-02-04 2010-07-22 Canon Anelva Corp 基板搬送装置及び真空処理装置
KR101271112B1 (ko) * 2011-02-01 2013-06-04 (주)이루자 진공 처리 장치
KR101353527B1 (ko) * 2011-09-16 2014-01-21 주식회사 에스에프에이 기판 이송장치
JP2019537236A (ja) * 2017-08-25 2019-12-19 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ キャリアを上げ又は下げるためのアセンブリ、真空チャンバ内でキャリアを搬送するための装置、及びキャリアを上げる又は下げるための方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH07435Y2 (ja) 1995-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4624617A (en) Linear induction semiconductor wafer transportation apparatus
JPH0252829U (US06420036-20020716-C00037.png)
ATE29123T1 (de) Transporteinrichtung nach art einer foerderbandeinrichtung.
US4877123A (en) Conveyor means for wafers
JPH0649529B2 (ja) 真空室内における物体の搬送方法
JP2557760B2 (ja) 物品の磁気式搬送装置
JP2547403B2 (ja) 真空装置用磁気浮上搬送装置
JPS619104A (ja) 磁気浮上搬送装置
JP2583284Y2 (ja) 電磁誘導によるアルミ材等の非鉄金属材料の搬送装置
JPH0312057Y2 (US06420036-20020716-C00037.png)
JPH05236610A (ja) 磁気浮上搬送装置
JPS63174895A (ja) 磁気浮上式搬送マニピユレ−タ
JP2531220Y2 (ja) 物品の搬送装置
JP3393660B2 (ja) 搬送装置
JPH0624559A (ja) 搬送装置
JPH04133624U (ja) 物品の搬送装置
JPH04260534A (ja) 超電導式つり上げ装置
JPH04132238A (ja) 半導体装置の搬送装置
JPH0545490B2 (US06420036-20020716-C00037.png)
JPS6392204A (ja) 搬送設備
JPS6231302A (ja) 磁気浮上走行装置
JPH05262430A (ja) 搬送装置
JPS6232051U (US06420036-20020716-C00037.png)
JPH0712346Y2 (ja) 磁気浮上装置
JPS6213915U (US06420036-20020716-C00037.png)