KR100880877B1

KR100880877B1 - 자기부상형 기판 이송장치

Info

Publication number: KR100880877B1
Application number: KR1020070111630A
Authority: KR
Inventors: 최상규; 윤동원; 함상용
Original assignee: 한국기계연구원
Priority date: 2007-11-02
Filing date: 2007-11-02
Publication date: 2009-01-30

Abstract

본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로 특히, 자석의 자력을 이용하여 캐리어를 부상시킨 상태에서 수평으로 이동시킬 수 있게 구성됨으로서 기판에 충격이 가해지지 않은 상태로 원활하게 이동될 수 있게 자기부상형 기판 이송장치에 관한 것이다.

이러한 본 발명에 따른 자기부상형 기판 이송장치는 기판이 실린 캐리어가 이동되는 다수의 공정 챔버가 일렬로 배치된 기판 처리 시스템에 구성된 기판 이송 장치에 있어서, 상기 챔버의 상부에 구비되어 캐리어의 상부를 이동 가능하게 지지하는 상부이송부와 ; 상기 챔버의 하부에 구비되어 캐리어의 하부를 이동 가능하게 지지하는 하부이송부를 포함하여 구성되고,

상기 상부이송부는 상기 챔버 내부의 상부에 고정된 상부레일에 서로 대향되는 방향으로 굽혀진 걸림턱들의 상면에 고정 설치된 상부고정자석과 ; 상기 캐리어의 상단에 구비된 이동자의 상단에 바깥쪽을 향해 굽혀진 걸림날개의 하면에 설치되어 상기 상부고정자석과 대향되어 반발력이 작용하는 상부이동자석을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

기판, 자석, 캐리어, 상부이송부, 하부이송부, 리니어모터

Description

자기부상형 기판 이송장치{maglev-type substrate transfer apparatus}

본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판을 이송하는 캐리어와 이 캐리어의 이동을 안내하는 지지수단에 자석을 설치하여 캐리어가 지지수단으로부터 부상된 상태에서 이동되게 함으로서 기판에 충격이 가해지지 않은 상태로 원활하게 이동될 수 있게 한 자기부상형 기판 이송장치에 관한 것이다.

통상적으로 반도체, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel)등을 제조함에 사용되는 기판은 표면에 박막을 형성하는 등 많은 전처리 과정을 수행하게 된다.

이러한 기판을 전처리 하는 과정에서 기판은 서로 다른 공간을 이동하면서 각각의 처리 과정이 수행됨으로서 기판을 이동시키기 위한 기판 이송 장치를 구비하고 있다.

이러한 기판 이송 장치의 일예를 도 11에 도시하였다.

도시한 바와 같이 종래의 기판 이송 장치는 처리실의 역할을 하는 챔버나 프레임(200)(이하, "챔버"로 통칭한다.)의 하단에 다수의 롤러(310)를 설치하고 이들 롤러(310)들을 모터(300)로 회전시켜 그 상부에 놓여진 캐리어(400)를 이송시키도록 구성되어 있으며, 상기 캐리어(400)에 기판(100)이 올려진 상태에서 기판(100)이 이동된다.

또한, 기판(100)을 지지하여 이송하는 캐리어(400)의 상단은 프레임(200)의 상단에 설치된 가이드(210)에 삽입되어 넘어지지 않고 수평 이동할 수 있도록 하였다.

그러나 이와 같이 구성된 기판 이송 장치는 상기 캐리어(400)가 흔들이지 않고 수평으로 이동될 수 있어야 하나 상기 이송 롤러들(310) 사이에는 거리가 있고 이렇게 이격되게 설치된 롤러들(310)의 회전에 의해 캐리어(400)가 이동할 경우 롤러(310)와 캐리어(400)가 만나는 순간 캐리어(400)가 진동을 일으킬 수 있으므로 롤러(310)들을 정확하게 일직선으로 정렬시켜야 하며, 이렇게 롤러(10)들을 일직선이 되게 정렬하기 위해서는 많은 어려움이 있었다.

이와 강은 단점을 보완하기 위해 상기 롤러(310)들의 외주면에 호 형상의 홈을 형성하고 상기 홈에 봉체 형상의 지지막대(500)를 이동 가능하게 올려 놓은 후, 그 상부에 캐리어(400)의 하단이 올려지게 구성하여 지지막대(500)가 이동함에 따라 캐리어(400)가 이송되게 구성하였으나 이 또한, 위에서 기술한 단점을 충분히 해소시킬 수 없을 뿐만 아니라 이동한 기판(100)을 원위치로 복귀시키는 과정에서 다시 지지막대(500)를 롤러들의 위에 옮겨야 함으로 기판의 이송에 많은 번거로움이 있었다.

또한, 이렇게 롤러에 의해 이송될 경우 롤러와 캐리어 사이에 마찰이 발생하 게 되고, 이러한 마찰에 의해 롤러 또는 캐리어의 일부가 마모되어 작은 먼지가 발생하게 되며, 이렇게 발생된 먼지가 기판을 오염시켜 기판의 불량율을 높이는 문제가 있었다.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 발명된 것으로, 자석의 자력을 이용하여 기판을 이송시키는 캐리어를 지지함으로서 캐리어와 지지수단 사이에 마찰이 발생되는 것을 방지할 수 있고 이렇게 마찰이 방지됨에 의해 캐리어와 다른 지지 수단의 마모에 의한 먼지나 작은 분진의 발생을 방지하여 이러한 먼지나 분진에 의해 기판이 오염되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 기판에 충격이 가해지지 않는 상태로 기판을 이송할 수 있는 기판 이송장치를 제공하는데 목적이 있다.

더욱이, 기판 이송 캐리어의 상단과 하단을 자석의 반발력으로 지지하여 캐리어가 지지대로부터 부상된 상태에서 이송되고, 이러한 캐리어를 리니어모터로 이송시킴으로서 보다 안정적으로 기판을 이송시킬 수 있는 기판 이송장치를 제공하는데 목적이 있다.

또한, 캐리어의 이동한 거리를 감지할 수 있게 함으로서 기판의 정확한 위치를 파악할 수 있어 캐리어의 이송의 정확성을 높이고, 처리 공정을 보다 용이하게 수행할 수 있게 한 자기부상형 기판 이송장치를 제공함을 목적으로 한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 자기부상형 기판 이송장치는 기판이 실린 캐리어가 이동되는 다수의 공정 챔버가 일렬로 배치된 기판 처리 시스템에 구성된 기판 이송 장치에 있어서, 상기 챔버의 상부에 구비되어 캐리어의 상부를 이동 가능하게 지지하는 상부이송부와 ; 상기 챔버의 하부에 구비되어 캐리어의 하부를 이동 가능하게 지지하는 하부이송부를 포함하여 구성되고,

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 자기부상형 기판 이송장치는 자석의 자력을 이용하여 기판을 이송시키는 캐리어를 지지함으로서 기판이 실린 캐리어와 가이드 수단과의 마찰을 방지할 수 있으며, 이렇게 마찰이 방지됨으로서 두 접촉부의 마모가 방지되어 마모된 먼지나 분진에 의해 기판이 오염되는 것을 방지할 수 있음은 물론, 기판에 충격이 가해지지 않는 상태로 기판을 이송할 수 있는 효과가 있 다.

더욱이, 기판 이송 캐리어의 상단과 하단을 자석의 반발력으로 지지하여 캐리어가 지지대로부터 부상된 상태에서 이송되고, 이러한 캐리어를 리니어모터로 이송시킴으로서 보다 안정적으로 기판을 이송시킬 수 있는 효과가 있으며, 더욱이, 캐리어의 이동한 거리를 감지할 수 있게 함으로서 기판의 정확한 위치를 파악할 수 있어 처리 공정을 보다 용이하게 수행할 수 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 일예를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시한 기판 이송장치의 측면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 다른 일예를 도시한 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시한 기판 이송장치의 측면도이고, 도 5a내지 도 5d는 본 발명에 따른 기판 이송장치를 구성하는 상부이송부의 서로 다른 일예를 도시한 부분 확대도이고, 도 6은 본 발명에 따른 기판 이송장치를 구성하는 상부이송부의 또 다른 일예를 도시한 부분 확대도이고, 도 7a 및 7b는 본 발명에 따른 기판 이송장치를 구성하는 하부이송부의 서로 다른 일예를 도시한 부분 확대도이고, 도 8은 본 발명에 따른 기판 이송장치를 구성하는 하부이송부의 또 다른 일예를 도시한 부분 확대도이고, 도 9는 본 발명에 따른 기판 이송장치를 구성하는 하부이송부의 또 다른 일예를 도시한 부분 확대도이고, 도 10는 본 발명 에 따른 기판 이송장치의 또 다른 일예를 도시한 사시도이다.

도시한 바와 같이 본 발명에 따른 자기부상형 기판 이송장치는 자석에 의해 캐리어(100)가 부상한 상태를 이루도록 지지되어 있다.

즉, 본 발명에 따른 기판 이송장치는 챔버(200)의 상부에 구비되어 캐리어(100)의 상부를 이동 가능하게 지지하는 상부이송부(1)에 상부고정자석(11a)과 상부이동자석(12a)를 설치하여 구성된다.

상기 상부고정자석(11a)은 상기 챔버(200) 내부의 상부에 고정된 상부레일(11)에 설치되며, 상기 상부레일(11)은 도 1내지 도 6에 도시한 바와 같이, 서로 대향되는 방향으로 굽혀진 걸림턱(111)이 형성되고 이들 걸림턱(111)들 사이에 캐리어(100)의 상부가 삽입되어 있다.

상기 상부레일(11)에 형성된 걸림턱(111)들은 도시한 바와 같이 상면이 경사지게 형성되어 있으며, 이 경사진 상면에 상기 상부고정자석(11a)이 고정 설치되어 있다.

상기 상부고정자석(11a)과 대향되어 반발력이 작용하는 상부이동자석(12a)은 도시한 바와 같이 상기 캐리어(100)의 상단에 구비된 이동자(12)의 상단에 바깥쪽을 향해 굽혀진 걸림날개(121)의 하면에 설치되어 있다.

상기 캐리어(100)에 상단에 설치된 이동자(12)에 형성된 걸림날개(121) 또한 도시한 바와 같이 상기 걸림턱(111)과 대향되는 면이 경사면을 이루고 있으며, 이 경사면에 상기 상부이동자석(12a)이 고정 설치되어 있다.

위와 같이 캐리어(100)의 이동자(12)에 설치된 상부이동자석(12a)과 상부레 일(11)에 설치된 상부고정자석(11a) 사이의 반발력에 의해 이동자(12)가 상부레일(12)의 걸림턱(111)으로부터 부상되는 상태가 되고, 이에 따라 캐리어(100)는 대기 중에 부상한 것과 같은 상태로 챔버(200)의 내부에 매달린 상태가 된다.

또한, 상기 상부이송부(1)는 보다 안정적인 캐리어(100)의 지지를 위해 도 5b 및 도 5d에 도시한 바와 같이 다수의 자석을 배열하여 상부고정자석(11a)과 상부이동자석(12a)을 구성할 수 있다.

즉, 도 5b, 도 5c 및 도 5d에 도시한 바와 같이, 상부고정자석(11a)을 다수를 설치하고, 다수의 상부고정자석(11a) 사이에 대향되게 상부이동자석(12a)를 설치함으로서 상부고정자석(11a)들 사이의 반발력이 상부이동자석(12a)들을 양측에서 밀어주는 것과 같은 효과를 낼 수 있게 된다.

그러나 이와 같이 캐리어(100)의 상부만이 지지되면 캐리어(100)의 하단이 흔들릴 염려가 있으므로 하부이송부(2)를 더 구성하여 캐리어(100)의 하부가 수평 이동될 수 있게 지지하며, 이러한 하부이송부(2)는 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이 다수의 롤러(21)를 설치하여 구성할 수 있다.

상기 롤러(21)는 도 2에 도시한 바와 같이 외주면을 첨형(尖形)으로 구성하거나 호형상으로 구성하여 상기 캐리어(100)의 하단과의 접촉 면적을 줄임으로서 롤러(21)들과 캐리어(100) 하단과의 마찰력을 줄일 수 있다.

또한 상기 캐리어(100)의 하단에는 롤러안내홈(101)을 더 형성하여 캐리어(100)의 하단이 롤러(21)로부터 이탈되는 것을 방지하였다.

상기 하부이송부(2)는 도 3, 도 4, 도 7a 및 도 7b에 도시한 바와 같이 자석 을 이용하여 구성될 수도 있다.

즉, 도시한 바와 같이 챔버(200)의 바닥에 2열로 하부고정자석(22a)을 설치하고 이들 하부고정자석(22a)들 사이에 캐리어(100)의 하단이 끼워진 상태가 되게 하되 두 열의 사이의 폭을 충분히 크게 형상하여 캐리어(100)의 하단과 하부고정자석(22a)들이 서로 접촉되는 것을 방지하였다.

또한, 상기 캐리어(100)의 하단의 양측에는 상기 하부고정자석(22a)과 반발력을 일으키는 하부이동자석(23a)이 설치되어 있어 각각의 하부고정자석(22a)들과 반발력이 작용함으로서 캐리어(100)의 하단은 2열의 하부고정자석(22a)들 사이에 놓여지게 된다.

상기 하부이송부(2)를 구성하는 각 자석들(22a, 23a)의 배열은 도 7b에 도시한 바와 같이 단일 자석을 서로 같은 극이 마주보도록 설치하여 구성될 수 있으나, 도 7a에 도시한 바와 같이, 자화 방향이 서로 마주하는 방향을 갖도록 다수의 자석을 적층하여 구성함으로서 보다 안정적으로 캐리어(100)의 하단을 지지할 수 있게 하였다.

즉, 상기 하부고정자석(22a)과, 하부이동자석(22b)은 다수의 영구자석을 적층하여 구성하되 서로 다른 극이 인접하도록 폴-페이싱 타입(ploe-facing type)으로 설치하였다. 즉, 도 7a, 도 8 및 도 9에 도시한 바와 같이 자화 방향이 서로 자석들과 반대 방향으로 형성되게 자석을 배열한 -페이싱 타입(ploe-facing type)으로 자석을 설치하였다.

또한, 도 6 및 도 8에 도시한 바와 같이, 상기 상부이송부(1)와 하부이송 부(2)에 구성된 각각의 고정자석(11a, 22a)과 이동자석(12a, 22b)들의 사이에는 비자성판(5)이 더 설치하여 캐리어(10)가 어느 일측으로 기울어졌을 때 자석과 자석이 맞닿는 것을 방지하였고, 이 비자성판(5)을 내마모성이 우수하고 마찰력이 적은 합성수지 등으로 제작함으로서 캐리어(100)의 이동을 보다 원활하게 할 수 있다.

상기 고정자석(11a, 22a)들은 전자석으로 구성하고, 상기 이동자석(12a, 22a)은 영구자석으로 구성할 수 있다.

이렇게 고정자석(11a, 22a)을 전자석으로 구성함으로서 고정자석의 자력의 세기를 조절할 수 있고 이렇게 자력의 세기가 조절됨으로서 이동자석과 고정자석 사이의 틈을 보다 정확하게 조절할 수 있어 캐리어가 보다 안정적으로 자력에 의해 부상되게 할 수 있다.

또한 상기와 같이 구성된 기판 이송장치의 캐리어 하단과 대행되는 부분에는 도 9에 도시한 바와 같이 보조자석(23b)을 거 설치할 수 있다.

상기 보조자석(23b)은 상기 캐리어(100)의 하단을 당기는 역할을 하는 것으로 이렇게 캐리어(100)의 하단을 당겨줌으로서 캐리어(100)의 하단이 흔들리는 것을 방지하였다. 물론, 고정자석(22a)과 이동자석(23a)의 상호 작용에 의해 캐리어(100)의 하단이 지지되고 있으나 이러한지지 수단을 보조하기 위하여 상기 보조자석(23b)을 더 설치할 수 있으며, 이 보조자석(23b)은 영구자석 또는 전자석으로 구성될 수 있다.

상기와 같이 구성된 기판 이송장치에는 도 9에 도시한 바와 같이, 상기 캐리어(100)의 이동 거리를 측정하기 위한 이동거리 측정수단(4)이 더 구비할 수 있다.

상기 이동거리 측정수단(4)은 바코드리더(41)와, 바코드(42)로 구성되며, 상기 바코드리더(41)는 통상적으로 바코드를 인식하는 수단으로 이미 많이 사용되고 있는 것을 선택하여 설치할 수 있는 것으로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다. 상기 바코드리더(41)는 도 10에 도시한 바와 같이, 상기 캐리어(100) 또는 챔버(200)의 내부에 설치e되고, 상기 바코드(42)는 상기 바코드리더(41)와 대향되는 높이의 챔버(200)의 내벽 또는 캐리어(100)의 일측면에 설치된다.

상기 바코드리더(41)는 감지되는 바코드의 수에 따라 캐리어(100)의 이동거리를 감지하는 것으로 가능하면 고정된 상태로 설치되는 것이 바람직함으로서 챔버(200) 내부의 일측에 고정 설치함이 바람직하고, 이렇게 설치된 바코드리더(41)의 리딩부와 대향되는 캐리어(100)의 일면에 바코드(32)를 설치하여 캐리어(100)의 이동에 따라 바코드리더(41)에서 감지된 바코드(42)의 수나 또는 바코드(42)의 내용으로부터 캐리어의 이동거리를 감지함으로서 기판의 이동거리를 확인할 수 있다.

이동거리 측정수단(4)을 상기에서는 바코드리더(41)와 바코드(32)를 일예로 설명하였으나, 기타 다양한 센싱 수단을 이용하여 변형하여 실시할 수 있다.

상기에서 설명한 기판 이송장치는 캐리어(100)를 챔버(200)의 내부에 이동 가능하게 지지하기 위한 수단에 관한 것이고 이렇게 지지수단을 구비한 기판 이송장치에서 실제로 캐리어(100)를 이동시키기 위한 수단으로는 많은 것이 사용될 수 있다.

이러한 캐리어를 이송시키기 위한 구동수단(3)은 상기 상부이송부(1)의 위에 설치된다.

상기 구동수단(3)은 상기한 바와 같이 캐리어(100)를 수평으로 평행이동시키기 위한 수단으로 리니어모터(linear motor)를 사용할 수 있다.

상기 리니어모터는 통상적으로 소정의 물건이나 구조물을 수평으로 이동시킴 에 사용되는 것 중 어느 하나로 이미 많이 개발되어 보급되고 있으며 이러한 기존의 리니어모터를 선택하여 구성될 수 있는 것으로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.

본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시 예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양한 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서 본 발명의 범주는 이러한 많은 변형 예들을 포함하도록 기술된 청구범위에 의해서 해석되어져야 한다.

도 1은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 일예를 도시한 사시도이고,

도 2는 도 1에 도시한 기판 이송장치의 측면도이고,

도 3은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 다른 일예를 도시한 사시도이고,

도 4는 도 3에 도시한 기판 이송장치의 측면도이고,

도 5a내지 도 5d는 본 발명에 따른 기판 이송장치를 구성하는 상부이송부의 서로 다른 일예를 도시한 부분 확대도이고,

도 6은 본 발명에 따른 기판 이송장치를 구성하는 상부이송부의 또 다른 일예를 도시한 부분 확대도이고,

도 7a 및 7b는 본 발명에 따른 기판 이송장치를 구성하는 하부이송부의 서로 다른 일예를 도시한 부분 확대도이고,

도 8은 본 발명에 따른 기판 이송장치를 구성하는 하부이송부의 또 다른 일예를 도시한 부분 확대도이고,

도 9는 본 발명에 따른 기판 이송장치를 구성하는 하부이송부의 또 다른 일예를 도시한 부분 확대도이고,

도 10은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 또다른 일예를 도시한 사시도이고,

도 11은 종래의 기판 이송장치를 도시한 측면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 상부이송부

11 : 상부레일 111 : 걸림턱

11a : 상부고정자석

12 : 이동자 121 : 걸림날개

12a : 상부이동자석

2 : 하부이송부

21 : 롤러

22a : 하부고정자석

23a : 하부이동자석

3 : 구동수단

4 : 이동거리 측정수단

41 : 바코드리더

42 : 바코드

5 : 비자성판

101 : 롤러안내홈

Claims

기판이 실린 캐리어(100)가 이동하는 다수의 공정 챔버(200)가 일렬로 배치된 기판 처리 시스템에 구성된 기판 이송 장치에 있어서,

상기 챔버(200)의 상부에 구비되어 캐리어(100)의 상부를 이동 가능하게 지지하는 상부이송부(1)와 ; 상기 챔버(200)의 하부에 구비되어 캐리어(100)의 하부를 이동 가능하게 지지하는 하부이송부(2)를 포함하여 구성되고,

상기 상부이송부(1)는 상기 챔버(200) 내부의 상부에 고정된 상부레일(11)에 서로 대향되는 방향으로 굽혀진 걸림턱(111)들의 상면에 고정 설치된 상부고정자석(11a)과 ;

상기 캐리어(100)의 상단에 구비된 이동자(12)의 상단에 바깥쪽을 향해 굽혀진 걸림날개(121)의 하면에 설치되어 상기 상부고정자석(11a)과 대향되어 반발력이 작용하는 상부이동자석(12a)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치.
제 1항에 있어서, 상기 하부이송부(2)는 상기 캐리어(100)의 하단을 지지하는 다수의 롤러(21)로 구성됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치.
제 2항에 있어서, 상기 롤러(21)들의 외주면은 상기 캐리어(100) 하단과의 접촉면적을 줄이기 위해 호형 또는 첨형으로 돌출됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치.
제 3항에 있어서, 상기 캐리어(100) 하단에는 캐리어(100)의 하단이 상기 롤러(21)를 벗어나지 않게 하기 위해 롤러안내홈(101)이 더 형성됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치.
제 1항에 있어서, 상기 하부이송부(2)는 챔버(200)의 바닥에 고정된 2열로 구비된 하부고정자석(22a)과 ;

상기 캐리어(100)의 하단 양측에 각각 구비되고, 상기 하부고정자석(22a) 사이에 위치되는 하부이동자석(23a)으로 구성됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치.
제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 상부이송부(1)에 구성된 걸림턱(111)과 걸림날개(121)의 서로 대향되는 면은 상기 캐리어(100)로부터 바깥쪽을 향하며 위쪽으로 경사지게 형성됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치.
제 6항에 있어서,

상기 상부이송부(1)에 구성된 상부고정자석(11a)은 2열로 설치되고, 상기 상부고정자석(11a)과 반발 작용을 하는 상부이동자석(12a)은 상기 상부고정자석(11a)들 사이에 위치됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치.
제 7항에 있어서,

상기 하부고정자석(22a)과, 하부이동자석(23a)은 다수의 영구자석을 적층하여 구성하되 서로 다른 극이 인접하도록 폴-페이싱 타입(ploe-facing type)으로 설치됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치.
제 8항에 있어서, 상기 고정자석(11a, 22a)과 이동자석(12a, 23a)들의 사이에는 비자성판(5)이 더 설치됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치.
제 9항에 있어서, 상기 고정자석(11a, 22a)들은 전자석이고, 상기 이동자석(12a, 23a)은 영구자석임을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치.
제 10항에 있어서, 상기 기판 이송장치에는 상기 캐리어(100)의 이동 거리를 측정하기 위한 이동거리 측정수단(4)이 더 설치됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치.
제 11항에 있어서,

상기 이동거리 측정수단(4)은 상기 캐리어(100) 또는 챔버(200)의 내부에 설 치된 바코드리더(41)와 ;

상기 바코드리더(41)와 대향되는 높이의 챔버(200)의 내벽 또는 캐리어(100)의 일측면에 설치된 바코드(42)로 구성됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치.
제 12항에 있어서,

상기 상부이송부(1)의 위에는 케리어(100)를 이동시키기 위한 구동수단(3)이 더 설치됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치.
제 13항에 있어서,

상기 구동수단(3)은 리니어모터(liner motor)임을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치.
제 14항에 있어서,

상기 캐리어(100)의 하단과 대향되는 부분에는 캐리어(100)의 하단을 당기는 보조자석(23b)이 더 설치됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치.