KR101310762B1 - 기판 이송장치 - Google Patents

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KR101310762B1
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Abstract

기판 이송장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기판 이송장치는, 진공챔버; 진공챔버의 내부에서 기판을 이송하는 캐리어; 캐리어의 상단부와 비접촉된 상태에서 캐리어의 상부에 추력을 전달하는 상부이송유닛; 캐리어의 하단부에 캐리어에 대하여 상대적으로 유동가능하게 결합되는 상대유동허용유닛; 및 상대유동허용유닛에 접촉되어 캐리어의 이동을 가이드하는 복수의 가이드 유닛을 포함한다.

Description

기판 이송장치{Apparatus for transferring substrates}
본 발명은, 기판 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판이 안착된 캐리어를 통해 진공챔버의 내부에서 기판을 이송하는 기판 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판표시장치(Flat Panel Display device : FPD)로서, 액정표시장치(Liquid Crystal Display device:LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기발광표시장치(Electro luminescence Display device : ELD) 등과 같은 평판 디스플레이 패널의 제조 공정의 대부분은 기판을 대상으로 진행된다.
이와 같은, 평판 디스플레이 패널의 제조과정에서 박막증착(deposition) 공정, 포토리소그라피(photolithography) 공정, 식각(etching) 공정이 수차례 반복되며, 그 밖에 세정, 합착, 절단 등의 수많은 공정이 수반된다.
따라서 각 공정들을 수행하기 위하여 기판을 로딩 또는 언로딩하여야 하는데, 이러한 기판의 로딩 또는 언로딩을 위하여, 기판이 안착된 캐리어를 수직으로 챔버를 통해 이송시키는 인라인형 방법이 고려되고 있다.
도 1은 종래기술에 따른 기판 이송장치의 단면도로서, 도 1에 도시된 바와 같이, 종래 기술에 따른 기판 이송장치는, 챔버(10)와, 기판(S)이 안착되는 캐리어(20)와, 캐리어(20)의 하단부와 접촉되어 캐리어(20)에 추력을 전달하는 구동롤러(30)를 포함한다. 구동롤러(30)는 모터(40)에 의해 회전함으로써 캐리어(20)에 추력을 전달한다.
한편, 수직으로 이동하는 캐리어(20)가 쓰러지는 것을 방지하기 위해 자기력을 통해 캐리어(20)를 가이드하는 가이드부(11,21)가 구비된다. 자세히 설명하면, 캐리어(20)의 상단부에는 캐리어 영구자석(21)이 마련되며, 캐리어 영구자석(21)에 인접하는 챔버(10)의 내부에는 챔버 영구자석(11)이 마련된다. 이때, 캐리어 영구자석(21)과 챔버 영구자석(11)에 서로 접촉되지 않은 상태이며, 상호 극성이 다른 경우 인력이 작용하므로 캐리어(20)가 넘어지지 않으며 이동될 수 있다. 즉, 종래기술에 따른 기판 이송장치는 챔버(10)의 하측에 배치된 구동롤러(30)와 캐리어(20)의 하부가 접촉되고, 구동롤러(30)의 회전력에 의해 캐리어(20)를 이동시키는 방식이다.
그러나, 종래기술에 따른 기판 이송장치는, 구동롤러(30)가 캐리어(20)의 하부와 접촉하여 추력을 전달하기 때문에 캐리어(20)에 미끄럼이 발생되어 구동롤러(30)에 정합하지 않는 현상이 발생될 수 있다. 즉, 기판(S)의 이송과정에서 캐리어(20)와 구동롤러(30)가 정위치에서 접촉하지 않는 현상이 발생되어 불량이 증가하고 생산성이 떨어지는 문제가 있다.
또한, 종래기술에 따른 기판 이송장치는, 캐리어(20)가 추력을 전달하는 구동롤러(30)에 접촉된 상태에서 이송되기 때문에, 파티클(particle)에 의한 악영향이 발생될 수 있다.
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 비접촉상태에서 캐리어에 추력을 전달할 수 있으며, 이송과정에서 캐리어가 정위치를 벗어나더라도 빠르게 원래의 위치로 복귀할 수 있고 또한 이송과정에서 파티클의 발생을 억제할 수 있는 기판 이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 진공챔버; 상기 진공챔버의 내부에서 기판을 이송하는 캐리어; 상기 캐리어의 상단부와 비접촉된 상태에서 상기 캐리어의 상부에 추력을 전달하는 상부이송유닛; 상기 캐리어의 하단부에 상기 캐리어에 대하여 상대적으로 유동가능하게 결합되는 상대유동허용유닛; 및 상기 상대유동허용유닛에 접촉되어 상기 캐리어의 이동을 가이드하는 복수의 가이드 유닛을 포함하는 기판 이송장치가 제공될 수 있다.
상기 상대유동허용유닛은, 상기 캐리어에 대하여 상대 회전가능하게 결합되는 회전체일 수 있다.
상기 회전체는, 상기 캐리어의 하단부에 결합되는 캐리어 지지축; 상기 캐리어 지지축을 내부에 수용하며, 외면이 상기 가이드 유닛과 접촉되는 회전관; 및 내륜이 상기 캐리어 지지축과 결합되고, 외륜이 상기 회전관과 결합되는 베어링을 포함할 수 있다.
상기 가이드 유닛은 중앙으로 갈수록 직경이 작아지는 곡률의 안내면을 갖는 가이드 롤러이며, 상기 회전관의 곡률은 상기 가이드 롤러의 안내면의 곡률보다 작을 수 있다.
상기 가이드 유닛은, 중앙으로 갈수록 직경이 작아지는 곡률의 안내면을 갖는 가이드 롤러일 수 있다.
상기 상부이송유닛은, 상기 캐리어의 상단부에 마련되는 상부영구자석; 및 상기 상부영구자석에 인접하게 상기 진공챔버의 내부에 마련되는 상부전자석을 포함할 수 있다.
상기 상부이송유닛은, 상기 캐리어의 상단부에 마련되는 상부영구자석; 및 상기 상부영구자석에 인접하게 상기 진공챔버의 외부에 마련되는 상부전자석을 포함할 수 있다.
상기 캐리어의 상단부에 인접하는 상기 진공챔버의 외벽에는 외면으로부터 함몰형성된 설치홈이 마련되며, 상기 상부전자석은 상기 설치홈에 삽입설치될 수 있다.
상기 상부전자석은 상기 설치홈에 착탈가능하게 설치될 수 있다.
상기 상대유동허용유닛과 비접촉된 상태에서 상기 캐리어의 하부에 추력을 전달하는 하부이송유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 하부이송유닛은, 상기 상대유동허용유닛에 마련되는 하부영구자석; 및 상기 하부영구자석에 인접하게 상기 진공챔버의 내부에 마련되는 하부전자석을 포함할 수 있다.
상기 하부이송유닛은, 상기 상대유동허용유닛에 마련되는 하부영구자석; 및 상기 하부영구자석에 인접하게 상기 진공챔버의 외부에 마련되는 하부전자석을 포함할 수 있다.
상기 진공챔버의 외벽은 상기 가이드 유닛 사이에서 상측으로 돌출된 돌출부를 형성하되, 상기 진공챔버의 돌출부에는 외면으로부터 함몰형성된 설치홈이 마련되며, 상기 하부전자석은 상기 설치홈에 삽입설치될 수 있다.
상기 하부전자석은 상기 설치홈에 착탈가능하게 설치될 수 있다.
본 발명의 실시예들은, 상부이송유닛이 캐리어의 상단부와 비접촉된 상태에서 캐리어에 추력을 전달하며, 캐리어의 하단부에 결합된 상대유동허용유닛 가이드 유닛에 접촉되되, 상대유동허용유닛이 캐리어에 대하여 상대적으로 유동가능하게 결합됨으로써, 이송과정에서 캐리어가 흔들려도 빠르게 원래의 위치로 복귀될 수 있으며, 이송과정에서 파티클의 발생이 억제될 수 있다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 이송장치의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 이송장치의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 이송장치의 상대유동허용유닛이 도시된 사시도이다.
도 5는 도 2의 'A'영역을 확대하여 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 이송장치의 상부전자석이 진공챔버의 외부에 설치되는 것이 도시된 사시도이다.
도 7은 도 6의 상부전자석이 진공챔버의 외부에 설치되는 것을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 제3 실시예에 따른 기판 이송장치의 하부전자석이 도시된 사시이다.
도 9는 제4 실시예에 따른 기판 이송장치의 하부전자석이 진공챔버의 외부에 설치되는 것이 도시된 사시도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 이송장치의 단면도이고, 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 이송장치의 사시도이며, 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 이송장치의 상대유동허용유닛이 도시된 사시도이고, 도 5는 도 2의 'A'영역을 확대하여 도시한 도면이다.
도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 이송장치는, 진공챔버(110)와, 진공챔버(110)의 내부에서 기판(S)을 이송하는 캐리어(120)와, 캐리어(120)의 상단부와 비접촉된 상태에서 캐리어(120)의 상부에 추력을 전달하는 상부이송유닛(130)과, 캐리어(120)의 하단부에 캐리어(120)에 대하여 상대적으로 유동가능하게 결합되는 상대유동허용유닛(140)과, 상대유동허용유닛(140)에 접촉되어 캐리어(120)의 이동을 가이드하는 복수의 가이드 유닛(150)을 포함한다.
진공챔버(110)는 외부의 대기영역과 내부의 진공영역을 구분하며 내부에서 캐리어(120)를 통해 기판(S)이 이송되는 영역이다.
캐리어(120)는 폭이 얇은 평판형태로 형성되며 일 측면에 기판(S)이 안착되기 위한 안착부(미도시)가 마련된다. 즉, 기판(S)은 캐리어(120)의 안착부에 수직상태로 적재된다. 이러한 캐리어(120)는 본 실시예에서 수직으로 세워진 상태로 이송된다. 여기서, 캐리어(120)의 이송방향은 캐리어(120)의 길이방향으로 설명한다.
기판(S)은 액정 표시 장치뿐만 아니라 평판 표시 장치 등을 제작하기 위한 다양한 기판(S)일 수 있으며, 반도체의 웨이퍼(wafer)도 가능하다.
한편, 상대유동허용유닛(140)은 캐리어(120)의 하단부에 결합된다. 자세히 설명하면, 상대유동허용유닛(140)은, 캐리어(120)에 대하여 상대 회전가능하게 결합되는 회전체이다. 이러한, 상대유동허용유닛(140)은 캐리어(120)의 하단부에 회전가능하게 결합된다. 즉, 상대유동허용유닛(140)은 캐리어(120)의 길이방향(하기에서 설명할 캐리어 지지축(141)의 방향에 해당됨)을 중심축으로 하여 회전된다. 이러한 상대유동허용유닛(140)은, 캐리어(120)가 폭 방향에 대하여 정위치를 벗어난 채로 이송되는 것을 방지하는 역할을 하는데, 이에 대해서는 자세히 후술하기로 한다.
도 4 및 도 5에 자세히 도시된 바와 같이, 상대유동허용유닛(140)은, 캐리어(120)의 하단부에 결합되는 캐리어 지지축(141)과, 캐리어 지지축(141)을 내부에 수용하며, 외면이 가이드 유닛(150)과 접촉되는 회전관(143)과, 내륜이 캐리어 지지축(141)과 결합되고, 외륜이 회전관(143)과 결합되는 베어링(145)을 포함한다.
즉, 캐리어(120)의 하단부에 캐리어(120)의 길이방향으로 결합되는 캐리어 지지축(141)은 베어링(145)의 내륜과 결합된다. 이때, 회전관(143)은 베어링(145)의 외륜과 결합되기 때문에, 회전관(143)은 캐리어 지지축(141)을 중심으로 상대회전할 수 있다.
회전관(143)은 내부가 중공된 원통형이며, 외주면이 가이드 유닛(150)과 접촉되고, 베어링(145)을 통해 캐리어 지지축(141)에 상대회전가능하게 결합된다.
회전관(143)은 캐리어 지지축(141)을 중심으로 회전가능하기 때문에, 캐리어(120)의 이송과정에서 가이드 유닛(150)의 안내면에 존재하는 미세한 파티클이나 이송과정에서의 가감속 등에 의해서 캐리어(120)의 폭 방향에 대한 정위치가 벗어나는 경우에도 회전관(143)의 회전에 의해 캐리어(120)의 정위치가 바로잡힐 수 있게 된다.
베어링(145)은 본 실시예에서 외륜과 내륜 사이에 볼이 삽입된 레이디얼 볼베어링이며, 내륜이 캐리어 지지축(141)과 결합되고, 외륜이 회전관(143)에 결합됨으로써, 회전관(143)이 캐리어 지지축(141)을 중심으로 상대회전되도록 한다.
한편, 도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 가이드 유닛(150)은, 중앙으로 갈수록 직경이 작아지는 곡률의 안내면(153)을 갖는 가이드 롤러(151)일 수 있다. 가이드 롤러(151)는 복수개가 소정의 간격으로 이격되어 진공챔버(110)의 하측면에 회전가능하게 설치된다. 가이드 롤러(151)의 안내면(153)은 회전관(143)의 외주면에 상응하도록 소정의 곡률을 갖는다. 이때, 상대유동허용유닛(140)이 가이드 롤러(151)에서 이탈하는 것을 방지하기 위해 회전관(143)의 곡률은 가이드 롤러(151)의 안내면(153)의 곡률보다 작은 것이 바람직하다.
한편, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상부이송유닛(130)은, 캐리어(120)의 상단부에 마련되는 상부영구자석(131)과, 상부영구자석(131)에 인접하게 진공챔버(110)의 내부에 마련되는 상부전자석(133)을 포함한다.
상부전자석(133)은 진공챔버(110)의 외벽의 내면에 결합된다. 즉, 캐리어(120)의 상부영구자석(131)과 마찬가지로 상부전자석(133)도 진공챔버의 내부에 배치되는 것이다, 여기서, 상부전자석(133)은 고정자에 해당되고 상부영구자석(131)은 가동자에 해당된다. 즉, 고정자인 상부전자석(133)에 전류가 흐르면, 가동자인 상부영구자석(131)에 로렌쯔(Lorenz)의 힘이 발생된다. 이때, 상부영구자석(131)은 캐리어(120)의 상단부에 결합되어 있으므로, 상부영구자석(131)에 발생된 로렌쯔의 힘에 의해 캐리어(120)가 이동된다.
이하, 본 실시예에 따른 기판 이송장치(100)의 작동에 대하여 설명한다.
기판(S)이 안착된 캐리어(120)의 이송과정에서 상부이송유닛(130)은 캐리어(120)의 상부에 추력을 전달한다. 즉, 고정자인 상부전자석(133)에 전류가 흐르면 가동자인 상부영구자석(131)에 로렌쯔(Lorenz)의 힘이 발생되고, 상부영구자석(131)과 결합된 캐리어(120)가 이동된다.
한편, 캐리어(120)의 하단부에 결합된 상대유동허용유닛(140)은 가이드 롤러(151)와 접촉된 상태에서 캐리어(120)의 이동을 안내한다. 이때, 가이드 롤러(151)의 안내면(153)에 파티클이 존재하거나 캐리어(120)의 가감속 등에 의해 캐리어(120)가 수직을 유지하지 못하고 기울어진 모양으로 이송될 수 있다. 이러한 캐리어(120)의 기울어짐이 발생되는 경우에는 상대유동허용유닛(140)이 가이드 롤러(151)의 안내면(153)의 중앙부에 위치하지 못하고 안내면(153)의 가장자리에 위치하게 된다. 본 실시예에 따른 상대유동허용유닛(140)은 캐리어 지지축(141)을 중심으로 회전가능하기 때문에 상술한 파티클이나 충격에 의해 상대유동허용유닛(140)이 가이드 롤러(151)의 안내면(153)의 가장자리에 위치하더라도 회전에 의해 중앙부로 이동된다. 따라서, 본 실시예에 따른 기판 이송장치(100)는 이송과정에서 캐리어(120)는 정위치를 유지하며 이송될 수 있다.즉, 이송과정에서 캐리어(120)가 흔들려도 빠르게 원래의 위치로 복귀될 수 있는 것이다. 또한, 이송과정에서 캐리어(120)가 흔들려도 파티클의 발생이 억제된다.
또한, 상부이송유닛(130)이 캐리어(120)의 상단부에 마련되고, 캐리어(120)의 이동을 안내하는 가이드 유닛(150)이 캐리어(120)의 하단부에 마련되기 때문에, 이송과정에서 캐리어(120)가 가감속되더라도 진동이나 흔들림이 적은 장점이 있다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 이송장치(100a)의 구성을 도시한 도면이이고, 도 7은 도 6의 상부전자석(133a)이 진공챔버(110)의 외부에 설치되는 것을 설명하기 위한 도면이다.
본 실시예는 제1 실시예와 비교할 때에 상부이송유닛(130)의 구성에 있어서 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 2 내지 도 5의 제1 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 본 실시예의 상부이송유닛(130a)의 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 상부이송유닛(130a)은, 캐리어(120)의 상단부에 마련되는 상부영구자석(131)과, 상부영구자석(131)에 인접하게 진공챔버(110)의 외부에 마련되는 상부전자석(133a)을 포함한다.
즉, 본 실시예에 따른 기판 이송장치(100a)에서 상부전자석(133a)은, 제1 실시예와 달리 진공챔버(110)의 외부인 대기 중에 배치되는 것이다.
자세히 설명하면, 도 6 또는 도 7에 도시된 바와 같이, 캐리어(120)의 상단부에 인접하는 진공챔버(110)의 외벽에는 외면으로부터 함몰형성된 설치홈(H)이 마련되며, 상부전자석(133a)은 설치홈(H)에 삽입설치된다.
이와 같이, 상부전자석(133a)이 진공챔버(110)의 외부, 즉 대기 중에 설치되면, 진공챔버(110)의 내부에서 발생되는 아크(arc)현상을 방지할 수 있다. 이러한 아크현상은 진공방전(vaccum discharge)의 한 형태이다. 진공방전이란, 고진공상태에서 높은 전압에 의해 발생되는 방전현상이다. 따라서, 본 실시예와 같이 진공챔버(110)의 외부인 대기상태에 상부전자석(133a)을 배치하면, 상부전자석(133a)이 진공상태에 노출되어 진공챔버(110)의 내부에 아크가 발생되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
또한, 이러한 상부전자석(133a)은 본 실시예에서 착탈가능하게 마련된다. 즉, 상부전자석(133a)은 진공챔버(110)의 설치홈(H)에 착탈될 수 있다. 이러한 구성으로 인하여, 상부전자석(133a)에 고장이나 성능저하가 발생된 경우에는 진공챔버(110)의 외부에서 손쉽게 교환할 수 있는 장점이 있다.
도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 이송장치(100b)의 구성을 도시한 도면이다.
본 실시예는 제1 실시예와 비교할 때에 하부이송유닛(160b)의 구성에 있어서 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 2 내지 도 5의 제1 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 본 실시예의 하부이송유닛(160b)의 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
도 8에 도시된 바와 같이, 하부이송유닛(160b)은, 상대유동허용유닛(140)과 비접촉된 상태에서 캐리어(120)의 하부에 추력을 전달한다. 자세히 설명하면, 하부이송유닛(160b)은, 상대유동허용유닛(140)에 마련되는 하부영구자석(미도시)과, 하부영구자석에 인접하게 진공챔버(110)의 내부에 마련되는 하부전자석(163b)을 포함한다. 하부영구자석은, 상대유동허용유닛(140)에 별도의 구성으로 추가될 수 있으며, 상술한 캐리어 지지축(141)을 자성체로 형성할 수도 있다. 즉, 캐리어 지지축(141)이 자성소재로 이루어져 하부영구자석을 역할을 수행할 수 있다. 또한, 캐리어 지지축(141)에 캐리어 지지축(141)의 설치방향으로 하부영구자석이 결합되는 것도 가능하다.
본 실시예에서 하부전자석(163b)은 진공챔버(110)의 외벽의 내면에 결합된다. 하부전자석(163b)은 이격된 가이드 롤러(151)의 사이에 마련된다. 이러한 하부전자석(163b)은 고정자에 해당되며, 상대유동허용유닛(140)에 마련된 하부영구자석은 가동자에 해당된다. 즉, 하부이송유닛(160b)은, 상술한 상부이송유닛(130)과 마찬가지로 로렌쯔의 힘에 의해 캐리어(120)에 이동력을 부여한다.
본 실시예에 따른 기판 이송장치(100b)의 작동을 살펴보면, 하부이송유닛(160b)은 캐리어(120)의 하부에 추력을 전달한다. 즉, 상부이송유닛(130)에 의해 캐리어(120)의 상부에 추력을 전달하는 동시에 캐리어(120)의 하부에도 추력을 전달하기 때문에 캐리어(120)의 이송을 더욱 원활히 할 수 있다. 결국, 캐리어(120)의 상부 및 하부에서 추력을 전달하므로 힘의 평형에 의해 캐리어(120)가 균형을 더욱 용이하게 유지할 수 있는 장점이 있다.
도 9는 본 발명의 제4 실시예에 따른 기판 이송장치(100c)의 구성을 도시한 도면이다.
본 실시예는 제2 실시예 및 제3 실시예와 비교할 때에 하부이송유닛(160b)의 구성에 있어서 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 6 및 도 7의 제2 실시예와, 도 8의 제3 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 본 실시예의 하부이송유닛(160c)의 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
본 실시예에서, 상부이송유닛(130a)은, 제2 실시예와 동일한 구성을 가지며, 하부전자석(163c)은 제3 실시예와 달리 진공챔버(110)의 외부에 마련된다.
즉, 도 9에 도시된 바와 같이, 진공챔버(110)의 외벽은 가이드 유닛(150) 사이에서 상측으로 돌출된 돌출부를 형성하되, 진공챔버(110)의 돌출부에는 외면으로부터 함몰형성된 설치홈(H)이 마련되며, 하부전자석(163c)은 설치홈(H)에 삽입설치된다.
즉, 진공챔버(110)에는, 가이드 롤러(151)의 사이에서 상대유동허용유닛(140)에 인접되도록 돌출부(111)가 형성된다. 돌출부(111)의 외면에는 하부전자석(163c)이 삽입설치되는 설치홈(H)이 마련됨으로써, 하부전자석(163c)이 대기 중인 진공챔버(110)의 외부에 마련되는 것이다. 하부전자석(163c)이 진공챔버(110)의 외부에 마련되는 것은 상술한 제2 실시예에서 상부전자석(133a)이 진공챔버(110)의 외부에 마련되는 것과 같은 효과를 가진다.
한편, 이러한 하부전자석(163c)은 본 실시예에서 착탈가능하게 마련된다. 즉, 하부전자석(163c)이 진공챔버(110)의 설치홈(H)에 착탈될 수 있다. 이러한 구성으로 인하여, 하부전자석(163c)에 고장이나 성능저하가 발생된 경우에는 진공챔버(110)의 외부에서 손쉽게 교환할 수 있는 장점이 있다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100: 기판 이송장치 110: 챔버
120: 캐리어 130,130a: 상부이송유닛
131: 상부영구자석 133,133a: 상부전자석
140: 상대유동허용유닛 141: 캐리어 지지축
143: 회전관 145: 베어링
150: 가이드 유닛 151: 가이드 롤러
153: 안내면 160b,160c: 하부이송유닛
163b,160c: 하부전자석 S: 기판
H: 설치홈

Claims (14)

  1. 진공챔버;
    상기 진공챔버의 내부에서 기판을 이송하는 캐리어;
    상기 캐리어의 상단부와 비접촉된 상태에서 상기 캐리어의 상부에 추력을 전달하는 상부이송유닛;
    상기 캐리어의 하단부에 상기 캐리어에 대하여 상대적으로 유동가능하게 결합되는 상대유동허용유닛; 및
    상기 상대유동허용유닛에 접촉되어 상기 캐리어의 이동을 가이드하는 복수의 가이드 유닛을 포함하되,
    상기 상대유동허용유닛은,
    상기 캐리어에 대하여 상대 회전가능하게 결합되어 상기 캐리어의 길이방향의 중심축을 중심으로 회전하도록 마련되는 회전체인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 회전체는,
    상기 캐리어의 하단부에 결합되는 캐리어 지지축;
    상기 캐리어 지지축을 내부에 수용하며, 외면이 상기 가이드 유닛과 접촉되는 회전관; 및
    내륜이 상기 캐리어 지지축과 결합되고, 외륜이 상기 회전관과 결합되는 베어링을 포함하는 기판 이송장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 가이드 유닛은 중앙으로 갈수록 직경이 작아지는 곡률의 안내면을 갖는 가이드 롤러이며,
    상기 회전관의 곡률은 상기 가이드 롤러의 안내면의 곡률보다 작은 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 가이드 유닛은,
    중앙으로 갈수록 직경이 작아지는 곡률의 안내면을 갖는 가이드 롤러인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 상부이송유닛은,
    상기 캐리어의 상단부에 마련되는 상부영구자석; 및
    상기 상부영구자석에 인접하게 상기 진공챔버의 내부에 마련되는 상부전자석을 포함하는 기판 이송장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 상부이송유닛은,
    상기 캐리어의 상단부에 마련되는 상부영구자석; 및
    상기 상부영구자석에 인접하게 상기 진공챔버의 외부에 마련되는 상부전자석을 포함하는 기판 이송장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 캐리어의 상단부에 인접하는 상기 진공챔버의 외벽에는 외면으로부터 함몰형성된 설치홈이 마련되며,
    상기 상부전자석은 상기 설치홈에 삽입설치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 상부전자석은 상기 설치홈에 착탈가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 상대유동허용유닛과 비접촉된 상태에서 상기 캐리어의 하부에 추력을 전달하는 하부이송유닛을 더 포함하는 기판 이송장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 하부이송유닛은,
    상기 상대유동허용유닛에 마련되는 하부영구자석; 및
    상기 하부영구자석에 인접하게 상기 진공챔버의 내부에 마련되는 하부전자석을 포함하는 기판 이송장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 하부이송유닛은,
    상기 상대유동허용유닛에 마련되는 하부영구자석; 및
    상기 하부영구자석에 인접하게 상기 진공챔버의 외부에 마련되는 하부전자석을 포함하는 기판 이송장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 진공챔버의 외벽은 상기 가이드 유닛 사이에서 상측으로 돌출된 돌출부를 형성하되, 상기 진공챔버의 돌출부에는 외면으로부터 함몰형성된 설치홈이 마련되며,
    상기 하부전자석은 상기 설치홈에 삽입설치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 하부전자석은 상기 설치홈에 착탈가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
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