KR20140036086A - 기판이송장치 - Google Patents

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KR20140036086A
KR20140036086A KR1020120102313A KR20120102313A KR20140036086A KR 20140036086 A KR20140036086 A KR 20140036086A KR 1020120102313 A KR1020120102313 A KR 1020120102313A KR 20120102313 A KR20120102313 A KR 20120102313A KR 20140036086 A KR20140036086 A KR 20140036086A
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Abstract

기판이송장치가 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 기판이송장치는, 기판의 이송을 위한 장치로써, 상기 기판의 이동방향을 따라 설치되는 베이스(10)와; 상기 기판의 이동방향을 따라 서로 이격되어 상기 베이스(10)에 결합되는 복수의 제1 마그넷(12)을 구비하는 마그넷열(14)과; 상기 베이스(10)를 따라 이동하며, 상기 기판이 안착되는 트레이(16)와; 상기 제1 마그넷(12)에 대해 서로 동일극성이 대향하도록 상기 트레이(16)에 결합되는 제2 마그넷(18); 및 상기 트레이(16)를 이동시키는 구동부(20)를 포함한다. 본 발명의 실시예에 따른 기판이송장치는 기판이송과정에서 트레이(16)의 하중에 의해 발생할 수 있는 기판이송장치의 손상을 방지하고, 구동부(20)와 트레이(16)의 마찰에 의한 파티클의 발생을 감소시킬 수 있다.

Description

기판이송장치 {Plasma Processing Apparatus}
본 발명은 기판이송장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 기판이 안착되는 트레이를 지지하면서 이송시키기 위한 기판이송장치에 관한 것이다.
최근, 정보기기에 대한 수요증가에 의하여, 정보기기에 정보를 표시할 수 있는 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 디스플레이와 같은 영상표시장치의 수요가 증가하고 있다. 위와 같은 평면패널 디스플레이는 더 많은 정보를 쾌적하게 표시하고자 대형화 되고 있으며, 디스플레이 제조공정의 효율화를 위하여 디스플레이 패널의 대면적화가 진행되고 있다. 최근에는 한 변의 길이가 2미터 이상에 이르는 8세대 기판의 생산이 시도 되고 있다.
이러한 평면패널 디스플레이의 제조공정은 기판에 대한 소성 등을 수행하는 전처리과정, 처리된 기판에 전극을 형성하는 전극형성과정, 형성된 전극 위에 색상 발현층을 형성하는 색상 발현층 형성과정 및 처리된 기판을 디스플레이 패널로 가공하는 후처리과정 등 네 단계로 나눌 수 있다.
그러나, 기판이 대면적화 될수록 기판의 무게가 증가하게 되며, 기판을 이송하는데 사용되는 트레이의 무게 또한 증가하게 된다. 기판과 트레이의 무게가 증가됨에 따라 트레이를 이송하는 이송장치와 마찰이 증가하게 되며, 마찰로 인하여 트레이 및 기판이송장치에서 파티클이 발생하는 문제가 있다. 이송과정 중에 발생하는 파티클 중 일부는 기판에 부착될 수 있으며, 기판의 불량률을 높이는 원인이 된다. 또한, 트레이의 하중에 의한 기판이송장치의 손상발생 등의 문제가 있다.
본 발명은 기판을 기판이송과정에서 트레이의 하중에 의해 발생할 수 있는 기판이송장치의 손상을 방지하고, 구동부와 트레이의 마찰에 의한 파티클의 발생을 감소할 수 있는 기판이송장치를 제공한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판의 이송을 위한 장치로써, 상기 기판의 이동방향을 따라 설치되는 베이스와; 상기 기판의 이동방향을 따라 서로 이격되어 상기 베이스에 결합되는 복수의 제1 마그넷을 구비하는 마그넷열과; 상기 베이스를 따라 이동하며, 상기 기판이 안착되는 트레이와; 상기 제1 마그넷에 대해 서로 동일극성이 대향하도록 상기 트레이에 결합되는 제2 마그넷; 및 상기 트레이를 이동시키는 구동부를 포함하는 기판이송장치가 제공된다.
상기 베이스는, 상기 트레이의 양측단에 인접하여 상기 베이스에서 연장되며 상기 트레이의 이동을 가이드하는 한 쌍의 측벽을 포함할 수 있다.
상기 제1 마그넷 또는 제2 마그넷 중 어느 하나에는, 함입홈이 형성되며, 나머지 하나에는 상기 함입홈에 삽입되는 돌부가 형성될 수 있다.
상기 구동부는, 상기 측벽을 관통하는 샤프트와; 상기 샤프트의 일단에 결합되며 상기 트레이에 접하는 이송롤러와; 상기 샤프트의 타단에 결합되는 종동롤러와; 상기 종동롤러에 접하여 상기 종동롤러를 회전시키는 구동롤러; 및 상기 구동롤러를 회전시키는 모터를 포함할 수 있다.
상기 측벽에는, 상기 트레이를 향하여 연장되는 측벽탭이 형성되고, 상기 트레이에는 상기 측벽 방향을 향하여 연장되며 상기 측벽탭에 지지되는 트레이탭이 형성될 수 있다.
상기 베이스에는, 상기 기판의 이동방향을 따라 형성되는 가이드레일이 형성될 수 있으며, 상기 트레이에는, 상기 가이드레일에 의해 안내되는 가이드블록이 형성될 수 있다.
상기 마그넷열은 상기 베이스의 폭 방향으로 서로 이격되어 복수 개로 형성될 수 있다.
기판이송장치는, 상기 구동부와 상기 제1 마그넷 사이에 개재되어 상기 구동부의 승강과 반대방향으로 상기 제1 마그넷을 승강시키는 균형조절부를 더 포함할 수 있다.
상기 구동부는, 상기 측벽을 관통하는 샤프트와; 상기 샤프트의 일단에 결합되며 상기 트레이에 접하는 이송롤러를 포함하며, 상기 균형조절부는, 일단이 상기 샤프트에 결합되는 제1 로드와; 상기 제1 로드에 평행하게 배치되며 일단이 상기 제1 마그넷에 결합되는 제2 로드와; 중앙부가 회전축에 회전가능하게 결합되며, 양단이 상기 제1 로드 및 상기 제2 로드의 타단에 힌지 결합되는 균형바를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판이송장치는, 기판이송과정에서 트레이의 하중에 의해 발생할 수 있는 기판이송장치의 손상을 방지하고, 구동부와 트레이의 마찰에 의한 파티클의 발생을 감소할 수 있도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 단면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 측면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 구동부의 구조를 설명하기 위한 도면.
도 4 및 도5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 변형예를 설명하기 위한 도면.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 단면도..
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 평면도.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 변형예의 단면도.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 변형예의 평면도.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 단면도.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 평면도.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하, 본 발명에 따른 기판이송장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 단면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 측면도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 구동부의 구조를 설명하기 위한 도면이다. 그리고, 도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 변형예를 설명하기 위한 도면이다.
도 1 내지 도 5에는 베이스(10), 제1 마그넷(12), 마그넷열(14), 트레이(16), 제2 마그넷(18), 구동부(20), 측벽(22), 샤프트(24), 이송롤러(26), 종동롤러(28), 구동롤러(30), 측벽탭(32), 트레이탭(34)이 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 플라즈마 처리장치는, 본 발명의 실시예에 따른 기판이송장치는, 기판의 이송을 위한 장치로써, 상기 기판의 이동방향을 따라 설치되는 베이스(10)와; 상기 기판의 이동방향을 따라 서로 이격되어 상기 베이스(10)에 결합되는 복수의 제1 마그넷(12)을 구비하는 마그넷열(14)과; 상기 베이스(10)를 따라 이동하며, 상기 기판이 안착되는 트레이(16)와; 상기 제1 마그넷(12)에 대해 서로 동일극성이 대향하도록 상기 트레이(16)에 결합되는 제2 마그넷(18); 및 상기 트레이(16)를 이동시키는 구동부(20)를 포함하여, 기판이송과정에서 트레이(16)의 하중에 의해 발생할 수 있는 기판이송장치의 손상을 방지하고, 구동부(20)와 트레이(16)의 마찰에 의한 파티클의 발생을 감소시킬 수 있다.
베이스(10)는, 기판의 이동방향을 따라 설치된다. 기판은 평면형상을 가질 수 있으며, 베이스(10)의 폭은 평면형상 기판의 폭보다 넓게 제작될 수 있다. 베이스(10)는 기판의 이동방향을 따라 직선 또는 곡선형상으로 형성될 수 있다. 베이스(10)는 기판 처리공정을 수행하기 위해 충분한 길이를 가질 수 있다.
베이스(10)는, 트레이(16) 양측단에 인접하여, 베이스(10)에서 연장되며, 트레이(16)의 이동을 가이드하는 한 쌍의 측벽(22)을 포함할 수 있다. 측벽(22)은 베이스(10)와 일체로 형성될 수 있으며, 트레이(16)가 베이스(10)를 따라 이동할 수 있도록 가이드할 수 있다. 한 쌍의 측벽(22)이 트레이(16)의 이동기준면의 높이보다 높게 베이스(10)에서 연장됨으로써, 트레이(16)가 베이스(10)로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
마그넷열(14)은, 기판의 이동방향을 따라 서로 이격되어 베이스(10)에 결합되는 복수의 제1 마그넷(12)을 구비한다. 제1 마그넷(12)은 N극과 S극을 가지며, 양극 중 어느 하나의 극이 베이스(10) 일면에 노출되도록 결합될 수 있다. 제1 마그넷(12)은 높은 자력을 갖는 자성재료인 네오디뮴 자석, 사마륨 자석, 코발트 자석 또는 네오디뮴, 철, 붕소의 희토류 소결자석 등으로 구성될 수 있으며, 전자석일 수 있다. 베이스(10)에 노출되는 제1 마그넷(12)의 일단은 후술할 제2 마그넷(18)의 타단과 동일극성을 가진다. 따라서, 제1 마그넷(12)과 제2 마그넷(18) 사이에는 척력이 작용하며, 트레이(16)의 무게를 상쇄시킬 수 있다.
트레이(16)는, 베이스(10)를 따라 이동하며, 기판이 안착된다. 트레이(16)는 기판의 폭보다 넓고, 베이스(10)의 폭보다 좁은 폭을 가질 수 있다. 트레이(16)는 후술할 구동부(20)에 의하여 베이스(10)를 따라 이동하게 된다.
제2 마그넷(18)은, 제1 마그넷(12)과 대향하도록 트레이(16)에 결합되며, 제1 마그넷(12)과 동일 극성을 갖는다. 제2 마그넷(18)은 N극과 S극을 가지며, 어느 하나의 극이 트레이(16) 일면에 노출되도록 결합될 수 있다. 제2 마그넷(18)은 제1 마그넷(12)과 동일한 소재의 자석일 수 있다. 트레이(16)의 일면에 노출되는 제2 마그넷(18)의 타단은 제1 마그넷(12)의 일단과 동일극성을 가진다. 따라서, 제1 마그넷(12)과 제2 마그넷(18) 사이에는 척력이 작용하며, 트레이(16)의 무게를 상쇄시킬 수 있다.
구동부(20)는, 트레이(16)를 이동시킨다. 구동부(20)는 일단이 트레이(16)에 접하며, 타단이 동력원에 연결되어, 동력원에서 공급되는 동력에 의해 트레이(16)를 이동시킬 수 있다.
베이스(10)에 결합되는 제1 마그넷(12)과 트레이(16)에 결합되는 제2 마그넷(18)은 서로 동일한 극성이 대향되도록 일부가 노출되어, 상호간에 척력이 발생하여, 트레이(16) 및 기판의 하중이 상쇄된 상태로 이동한다. 트레이(16)의 이동은 트레이(16)의 일단에 접한 구동부(20)에 의하여 수행된다.
트레이(16)와 구동부(20)의 접합부에서는, 트레이(16)의 무게로 인한 파티클이 발생할 수 있으나, 제1 마그넷(12)과 제2 마그넷(18) 사이에서 작용하는 척력에 의하여 트레이(16)의 무게를 일부 상쇄시킴으로써, 마찰력이 감소되어 파티클의 발생을 감소시킬 수 있다. 또한, 트레이(16)의 무게로 인한 구동부(20)의 변형도 상기한 척력에 의하여 방지할 수 있다.
도 3은 본 실시예에 따른 구동부(20)의 구조를 설명하기 위한 도면으로서, 도 3를 참조하면, 본 실시예에 따른 구동부(20)는, 상기 측벽(22)을 관통하는 샤프트(24)와 상기 샤프트(24)의 일단에 결합되며 상기 트레이(16)에 접하는 이송롤러(26)와 상기 샤프트(24)의 타단에 결합되는 종동롤러(28)와 상기 종동롤러(28)에 접하여 상기 종동롤러(28)를 회전시키는 구동롤러(30) 및 상기 구동롤러(30)를 회전시키는 모터를 포함할 수 있다.
샤프트(24)는 베이스(10)에 형성되는 측벽(22)을 관통하며, 샤프트(24)의 직경은 측벽(22)에 형성되는 관통공의 내경보다 작다. 따라서, 측벽(22)은 샤프트(24)의 회전에 영향을 주지 않는다.
이송롤러(26)는 샤프트(24)의 일단에 결합되며, 트레이(16)에 접한다. 후술하는 모터의 회전에 의하여 샤프트(24) 및 이송롤러(26)가 회전하게 되며, 이송롤러(26)의 회전에 의하여 트레이(16)가 베이스(10)를 따라 이동할 수 있다. 이송롤러(26)는 트레이(16)에 접하기 때문에, 트레이(16)와 마찰되며, 마찰에 의하여 파티클이 발생할 수 있으나, 제1 마그넷(12)과 제2 마그넷(18) 사이의 척력에 의하여 트레이(16)의 하중이 상쇄되므로, 파티클의 발생을 줄일 수 있다.
종동롤러(28)는 샤프트(24)의 타단에 결합되며, 구동롤러(30)와 접한다. 구동롤러(30)는 구동축에 의하여 모터에 연결되며, 모터의 회전에 의하여 회전된다. 구동롤러(30)의 회전에 의하여 종동롤러(28)가 회전하며, 종동롤러(28)와 결합된 샤프트(24) 및 이송롤러(26)가 회전하게 되며, 트레이(16)를 이동하게 한다.
도 4 및 도 5는 본 실시예에 따른 기판이송장치의 변형예를 나타낸 도면이다. 도 4의 변형예는, 트레이(16)의 과중한 하중에 의하여 샤프트(24)의 처짐을 방지하기 위하여
베이스(10)의 측벽(22)에는, 트레이(16)를 향하여 연장되는 측벽탭(32)이 형성되고, 트레이(16)에는, 측벽(22) 방향을 향하여 연장되며, 측벽탭(32)의 상면에 대향하고, 측벽탭(32)과 이격되는 트레이탭(34)이 형성될 수 있다.
전술한 대로, 트레이(16)는 구동부(20)의 이송롤러(26)에 접하여 이송되므로, 트레이(16)의 하중이 적정한 경우는, 샤프트(24)의 처짐이 없고, 트레이탭(34)은 측벽탭(32)은 이격을 유지할 수 있다. 그러나, 트레이(16)의 하중이 과하여, 샤프트(24)가 처지게 될 경우, 트레이(16)는 베이스(10)를 이탈하거나 비정상적으로 이송될 수 있으나, 트레이탭(34)이 측벽탭(32)에 의해 가이드되므로, 비정상적인 이송 또는 이탈을 방지할 수 있다.
도 5의 변형예는, 트레이(16)의 이동 중에 트레이(16)의 이탈을 방지하기 위하여,제1 마그넷(12) 또는 제2 마그넷(18) 중 어느 하나에는, 함입홈을 형성하고, 나머지 하나에는 상기 함입홈에 삽입되는 돌부를 형성한 형태이다. 제1 마그넷(12) 또는 제2 마그넷(18)의 함입홈과 돌부의 구조에 의하여, 트레이(16)의 이동중에 발생할 수 있는 이탈을 방지할 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 단면도이고, 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 평면도이다. 그리고, 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 변형예의 단면도이고, 도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 변형예의 평면도이다.
도 6 내지 도 9에는, 베이스(10), 제1 마그넷(12), 마그넷열(14), 트레이(16), 제2 마그넷(18), 구동부(20), 측벽(22), 샤프트(24), 이송롤러(26), 종동롤러(28), 구동롤러(30), 측벽탭(32), 트레이탭(34), 가이드레일(36), 가이드블록(38)이 도시되어 있다.
본 실시예는 기판의 보다 정밀한 이송을 위한 것으로, 상술한 일 실시예에 따른 기판이송장치의 구성에 더하여, 베이스(10)에 기판의 이동방향을 따라 형성되는 가이드레일(36)을 형성하고, 트레이(16)에 가이드레일(36)에 의해 안내되는 가이드블록(38)을 형성한 형태이다.
구동부(20)의 작동에 따라 트레이(16)의 가이드블록(38)이 베이스(10)의 가이드레일(36)에 의해 가이드되어 보다 기판의 정밀한 이송이 가능하다.
본 실시예에서는 길이 방향을 따라 함입홈이 형성된 가이드레일(36)을 베이스(10)에 부착하고, 가이드레일(36)의 함입홈을 따라 이동하는 가이드블록(38)이 트레이(16)에 부착된 형태를 제시한다.
도 8은 본 실시예에 따른 기판이송장치의 변형예의 단면도이고, 도 9는 본 실시예에 따른 기판이송장치의 변형예의 평면도로서,베이스(10)에 결합되는 마그넷열(14)을 베이스(10)의 폭 방향으로 서로 이격되게 복수 개로 형성한 형태이다. 베이스(10)에 형성되는 마그넷열(14)은 트레이(16)의 안정적인 이동을 위하여 트레이(16)의 무게중심선으로부터 동일하게 이격되어 설치될 수 있다.
본 실시예에서는 2개의 마그넷열(14)이 베이스(10)에 형성된 구조를 제시하고 있으나, 2개 보다 많은 마그넷열(14)로 구성하는 것도 가능하다.
한편, 복수의 마그넷열(14) 사이에는 가이드레일(36)이 배치될 수 있으며, 트레이(16)에는 가이드레일(36)에 대향하는 가이드블록(38)이 결합될 수 있다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 단면도이고, 도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 평면도이다.
도 10 및 도 11에는, 베이스(10), 제1 마그넷(12), 마그넷열(14), 트레이(16), 제2 마그넷(18), 구동부(20), 측벽(22), 샤프트(24), 이송롤러(26), 종동롤러(28), 구동롤러(30), 측벽탭(32), 트레이탭(34), 가이드레일(36), 가이드블록(38), 균형조절부(52), 제1 로드(54), 제2 로드(56), 균형바(58), 회전축(60), 힌지(62)가 도시되어 있다.
트레이(16)에 기판을 안착시키면, 기판과 트레이(16)의 하중은 구동부(20)와 두 마그넷과의 척력에 의해 지지되는데, 본 실시예에 따른 기판이송장치는, 구동부(20)와 마그넷에 작용하는 하중을 분배하기 위해 구동부(20)와 제1 마그넷(12) 사이에 균형조절부(52)를 개재시킨 형태이다.
균형조절부(52)는, 구동부(20)와 제1 마그넷(12) 사이에 개재되어, 구동부(20)의 승강과 반대방향으로, 제1 마그넷(12)을 승강시켜 구동부(20)와 마그넷에 작용하는 하중을 분배한다..
본 실시예에 따른 균형조절부(52)는, 일단이 샤프트(24)에 결합되는 제1 로드(54)와, 상기 제1 로드(54)에 평행하게 배치되며 일단이 상기 제1 마그넷(12)에 결합되는 제2 로드(56) 및 중앙부가 회전축(60)에 회전가능하게 결합되며, 양단이 상기 제1 로드(54) 및 상기 제2 로드(56)의 타단에 힌지(62) 결합되는 균형바(58)를 포함한다.
트레이(16)의 하중에 의하여, 구동부(20)의 샤프트(24)가 하강할 수 있으며, 결국 샤프트(24)에 결합되는 제1 로드(54)가 하강한다. 제1 로드(54)의 하강으로 인하여 균형바(58)의 일단은 중앙부의 힌지(62)축을 중심으로 하강되고 이에 따라 균형바(58)의 타단이 상승된다. 균형바(58)의 타단의 상승에 따라 균형바(58)의 타단에 힌지(62)결합된 제2 로드(56)가 상승하면서 베이스(10)에 안착된 제1 마그넷(12)이 상승하게 된다.
제1 마그넷(12)의 상승에 의하여, 척력이 작용하는 트레이(16)는 상승하게 되고, 상기 척력에 의하여 트레이(16)의 하중이 상쇄됨으로써 이송롤러(26)에 가해지는 하중이 감소되어 샤프트(24)가 상승하게 된다. 샤프트(24)의 상승에 따라 상기에 기술한 원리에 따라 제1 마그넷(12)이 하강하게 된다. 이와 같은 과정을 반복하여 구동부(20)와 마그넷에 작용하는 하중을 분배하게 된다.
상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.
10: 베이스 12: 제1 마그넷
14: 마그넷열 16: 트레이
18: 제2 마그넷 20: 구동부
22: 측벽 24: 샤프트
26: 이송롤러 28: 종동롤러
30: 구동롤러 32: 측벽탭
34: 트레이탭 36: 가이드레일
38: 가이드블록 52: 균형조절부
54: 제1 로드 56: 제2 로드
58: 균형바 60: 회전축
62: 힌지

Claims (9)

  1. 기판의 이송을 위한 장치로써,
    상기 기판의 이동방향을 따라 설치되는 베이스와;
    상기 기판의 이동방향을 따라 서로 이격되어 상기 베이스에 결합되는 복수의 제1 마그넷을 구비하는 마그넷열과;
    상기 베이스를 따라 이동하며, 상기 기판이 안착되는 트레이와;
    상기 제1 마그넷에 대해 서로 동일극성이 대향하도록 상기 트레이에 결합되는 제2 마그넷; 및
    상기 트레이를 이동시키는 구동부를 포함하는 기판이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 베이스는,
    상기 트레이의 양측단에 인접하여 상기 베이스에서 연장되며 상기 트레이의 이동을 가이드하는 한 쌍의 측벽을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 마그넷 또는 제2 마그넷 중 어느 하나에는 함입홈이 형성되며, 나머지 하나에는 상기 함입홈에 삽입되는 돌부가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 구동부는,
    상기 측벽을 관통하는 샤프트와;
    상기 샤프트의 일단에 결합되며 상기 트레이에 접하는 이송롤러와;
    상기 샤프트의 타단에 결합되는 종동롤러와;
    상기 종동롤러에 접하여 상기 종동롤러를 회전시키는 구동롤러; 및
    상기 구동롤러를 회전시키는 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 측벽에는 상기 트레이를 향하여 연장되는 측벽탭이 형성되고,
    상기 트레이에는 상기 측벽 방향을 향하여 연장되며 상기 측벽탭의 상면에 대향하고, 상기 측벽탭과 이격되는 트레이탭이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 베이스에는, 상기 기판의 이동방향을 따라 형성되는 가이드레일이 형성되며,
    상기 트레이에는, 상기 가이드레일에 의해 안내되는 가이드블록이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 마그넷열은 상기 베이스의 폭 방향으로 서로 이격되어 복수 개로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  8. 제1항에 있어서
    상기 구동부와 상기 제1 마그넷 사이에 개재되어 상기 구동부의 승강과 반대방향으로 상기 제1 마그넷을 승강시키는 균형조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 구동부는,
    상기 측벽을 관통하는 샤프트; 및
    상기 샤프트의 일단에 결합되며 상기 트레이에 접하는 이송롤러를 포함하며,
    상기 균형조절부는,
    일단이 상기 샤프트에 결합되는 제1 로드와;
    상기 제1 로드에 평행하게 배치되며 일단이 상기 제1 마그넷에 결합되는 제2 로드; 및
    중앙부가 회전축에 회전가능하게 결합되며, 양단이 상기 제1 로드 및 상기 제2 로드의 타단에 힌지 결합되는 균형바를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
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