JPH0239503A - 希土類―Fe―B系異方性永久磁石の製造法 - Google Patents

希土類―Fe―B系異方性永久磁石の製造法

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JPH0239503A
JPH0239503A JP63190339A JP19033988A JPH0239503A JP H0239503 A JPH0239503 A JP H0239503A JP 63190339 A JP63190339 A JP 63190339A JP 19033988 A JP19033988 A JP 19033988A JP H0239503 A JPH0239503 A JP H0239503A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、磁気異方性を有するYを含む希土類元素(
以下、Rで示す)−Fe−B系永久磁石およびその製造
法に関するものである。
〔従来の技術〕
一般に、R−Fe−B系永久磁石は、磁気特性のすぐれ
た磁石として知られている。
上記R−Fe−B系永久磁石の組織は、強磁性相であり
正方晶構造をとる主相のR2Fe14B金属間化合物相
(以下、R2Fe14B相という)と、他にR−ric
h相とB −rich相等から構成されている。
上記R−Fe−B系永久磁石のうち、磁気的異方性を有
する磁石においては、以下に示すものがある。
特開昭59−460008号公報に記載されている粉末
冶金法による焼結体を特徴とする異方性永久磁石(以下
、焼結磁石という)は、次のようにして製造されている
まず、R−Fe−B系合金のインゴットを、機械的方法
で粉砕して平均粒径:3μs程度の微粉末とし、この微
粉末を磁場中成形して圧粉体とする。
次に、その圧粉体を真空中または非酸化性ガス中で、室
温から昇温して、温度: 900〜1200”cで焼結
し、さらに必要に応じて引き続き適温の熱処理を行なっ
てから冷却することによって製造されている。上記焼結
磁石の磁気特性は、BH−aX 30MGOe以上の値を示す。
主相のR2Fe14B相は、保磁力を増加させるために
平均粒径が数1〜20tlraに制御されている。
次に、特開昭60−100402号公報に記載されてい
る異方性永久磁石は、次のようにして製造されている。
溶融状態のR−Fe−B系合金を急冷凝固させることに
よって、アモルファスリボンを得、それを温度ニア00
℃以上に加熱して、ホットプレスした後、さらに塑性加
工を施すことにより異方性化し、BHInax−30M
GOe程度の磁気特性を示すようになる。そして、その
組織は、主相のR2Fe14B相と、R2Fe14B相
の周囲の粒界部に存在するR −rich相からなって
いる。R2Fe14B相は、保磁力を増加させるために
平均粒径が数1100nに制御されている。
〔発明が解決しようとする課厘〕
上記特開昭59−4130008号公報に記載された異
方性焼結磁石は、主相であるR 2 F 814 B相
の平均結晶粒径を数p〜20mに制御する必要があるた
めに、上記焼結工程でのR2Fe14B相の粒成長を考
慮して通常平均粒径z3〜4虜に機械粉砕された微粉末
を用いて磁場中プレス成形し圧粉体としたものを焼結す
ることにより製造しているが、上記・1乞均粒径:3〜
4虜に機械粉砕された微粉末は非常に活性となるために
、磁場中プレス成形機に充填し磁場中プレス成形する工
程において上記微粉末は酸化し、上記磁場中プレス成形
して得られた異方性焼結磁石に02等の不純物が混入し
磁気で得られた異方性焼結磁石は、厚みが3龍以下の薄
形となると磁気特性が大幅に低下するという問題点があ
った。
さらに、上記特開昭80−100402号公報に記載さ
れた異方性磁石は、R−Fe−B系合金インゴットを溶
融して得られた溶湯を急冷してアモルファスリボンを作
成し、上記アモルファスリボンを温度ニア00℃以上で
ホットプレスして等方性磁石を作成し、ついで同温度で
塑性加工する。上記アモルファスリボンを得る工程は材
料の歩留りが悪く、さらに上記等方性磁石を切り出して
塑性加工するために工程が複雑となるという問題点があ
った。
〔課題を解決するための手段〕
そこで、本発明者等は、0゜等の不純物が混入しやすい
従来の焼結法とは異なり、かつ原料合金からの歩留りが
低い従来の超急冷法とも異なる、製造工程が簡単で、′
原料合金からの歩留りがよく、薄形であっても磁気特性
が劣化することのないR−Fe−B系異方性→→磁石を
得るべく研究を行なった結果、 R−Fe−B系異方性永久磁石において、組織がR2F
e14B相を主相とする再結晶組織にプレスまたは圧延
等の圧縮塑性加工を施して個々の結晶粒が結晶学的なC
軸方向に配向した集合組織(以下、再結晶圧延組織とい
う)を有するR−Fe−B系異方性磁石は、上記問題点
を解決し、すぐれた磁気特性を示すという知見を得たの
である。
この発明は、かかる知見にもとづいてなされたものであ
って、 R−Fe−B系異方性永久磁石において、平均結晶粒径
: 0.05〜504、好ましくは0.05〜10−の
正方品構造をとるR、、Fe14B金属間化合物相を主
相とし、その主相が、結晶学的なC軸方向に配向した集
合組織をもつ再結晶圧延組織である希土類−Fe−B系
異方性永久磁石に特徴を有するものであり、 さらにこの発明の希土類−Fe−B系異方性永久磁石を
得るべく方法として、 ■ H2ガス雰囲気中またはH2ガスと不活性ガスの混
合雰囲気中において、温度:500〜1000℃に保持
して上記合金のインゴット、粉末、均質化処理インゴッ
トまたは均質化処理粉末にH2を吸蔵させ、 ■ Hガス圧カニ I X 10−’Torr以下の真
空雰囲気またはHガス分圧: I X 10−’Tor
r以下の不活性ガス雰囲気になるまで温度:500〜1
000℃で脱H2処理し、 ■ ついで冷却するか、温度=300〜1000℃で熱
処理することによって得られたR−Fe−B系合金物(
以下、H2熱処理という)を温度600〜900℃で塑
性加工によりバルク状態にするR−Fe−B系異方性永
久磁石の製造法に特徴を有するものである。
この発明のR−Fe−B系異方性永久磁石は、その組織
において、上記R2F 814 B相が平均結晶粒径:
 0.05〜50μs、好ましくは単磁区粒径に近い0
.3x程度であり、かつR2Fel4B相の結晶学的な
C軸方向に配向した集合組織をもつ再結晶圧延組織であ
り、07等の不純物混入がなく密度比がほぼ100%な
ので磁気特性が非常に安定しており、かつ厚さ3mm以
下の薄型形状でも磁気特性にすぐれ、さらにC軸方向に
配向したことによりすぐれた磁気異方性を有するもので
ある。
この発明のR−Fe−B系異方性永久磁石と従来のR−
Fe−B系永久磁石との組織を比較してみる。第1図(
a)はこの発明のR−Fe−B系異方性永久磁石の再結
晶圧延組織を示し、第1図(b)は従来の焼結磁石の組
織を示し、また第1図(C)は従来のアモルファスリボ
ンをホットプレス、塑性加工した永久磁石の組織を示し
ている。第1図(a)のこの発明のR−Fe−B系異方
性永久磁石は、平均結晶粒径: 0.05〜50−1好
ましくはill磁区粒径: 0.3ufoに近い0.0
5〜10t1mのR2Fe14B相の再結晶粒を圧延し
た結晶粒1′がほぼ一面に存在し、再結晶圧延組織を構
成し、合金組成上やむをえず一部の粒界部にR−ric
h相2が析出した組織である。これに対して、第1図(
b)の従来の焼結磁石は、平均結晶粒径:約10IEa
の主相1と一部にB −rlch相3が存在し、R2F
e14B相1の各々の結晶粒においてその周囲の粒界部
にR−rtch相2が存在する組織であり、第1図(e
)の従来のアモルファスリボンをホットプレス、塑性加
工した永久磁石は、平均結晶粒径:約10OnlIのR
2Fe14B相1が存在し、R2Fe14B相1の各々
の結晶粒においてその周囲の粒界部にR−rich相2
が存在する組織である。このように、従来の永久磁石は
いずれもR2F 814 B相の各々の結晶粒において
その周囲の粒界部にR−rich相が存在するのに対し
、この発明のR−Fe−B系異方性永久磁石は主相の一
部の粒界部だけにR−rich相が析出しており、その
組織形態が全く異なっている。このために上記問題点を
解決したすぐれた磁気特性を示す。
一般に、再結晶組織を得る方法としては、圧延等の塑性
加工によって材料内部に多数の転位や空孔等の歪を含ま
せた後に、適当な温度で熱処理を行なって多数の再結晶
を生成、成長させる方法が知られているが、この発明の
場合、上記合金インゴットや粉末にH2を吸蔵させるこ
とにより、上記主相の相変態をうながし、さらに適当な
温度で脱H2処理を行なうことにより、主相の再結晶粒
を生成、成長させ、不純物がほとんどなく、かつ歪のな
い再結晶集合組織を得る方法(以下、H2処理法という
)を採用した。
この発明のR−Fe−B系異方性永久磁石の製造法と従
来のR−Fe−B系永久磁石の製造法とを比較してみる
。第2図(a)はこの発明のR−Fe−B系異方性永久
磁石の製造法を示し、第2図(b)は従来の焼結磁石の
製造法を示し、また第2図(C)は従来のアモルファス
リボンをホットプレス、塑性加工した永久磁石の製造法
を示している。第2図を見ても明らかなように、従来の
製造法は、焼結法あるいは超急冷法を用いるのに対し、
この発明のR−Fe−B系異方性永久磁石の製造法は、
H2処理法を用いる点で、従来の製造法とは全く異なる
新しい製造法であることがわかる。
この発明のR−Fe−B系異方性永久磁石およびその製
造法について、さらに詳細に説明する。
まず、原料の上記R−Fe−B系合金について説明する
原料である上記R−Fe−B系合金は、1)R−Fe−
B系合金のインゴット、2)R−Fe−B系合金のイン
ゴットを粉砕して得られた粉末または、従来のCa還元
拡散法等により得られたR−Fe−B系合金粉末(以下
、粉末という)、 3)温度=600〜1200℃に保持して均質化処理を
行なった上記R−Fe−B系合金のインゴット(以下、
均質化処理インゴットという)、 4)上記均質化処理インゴットを粉砕して得られた粉末
または温度:600〜1200℃に保持して均質化処理
を行なった上記2)のR−Fe−B系合金の粉末(以下
、均質化処理粉末という)、がある。上記均質化処理は
、真空または不活性ガス雰囲気中において、温度600
〜1200℃の範囲内の一定温度に保持して均質化処理
してもよく、また上記温度=600〜1200℃の範囲
内で昇温、降温およびそれらの組合せの温度変化をさせ
てもよい。
インゴットとして用いるよりも均質化処理インゴットと
して用いる方が、さらに粉末として用いるよりも均質化
処理粉末として用いる方が、この発明の製造法で得られ
たR−Fe−B系異方性永久磁石の磁気特性は、−層内
上する。
その理由は、鋳造して得られたR−Fe−B系合金イン
ゴット、上記鋳造インゴ・ソトを粉砕し念粉末または、
従来のCa還元法等により得られたR−Fe−B系合金
粉末の金属組織は、主として主相:R2Fe14B相お
よびR−rich相から構成されているが、上記R2F
e14B相中には、α−Fe相、R2Fe1□相などの
非平衡組織が析出していることが多く、上記非平衡組織
の存在するインゴットまたは粉末を原料とするよりも、
均質化処理を施して上記非平衡組織を可及的に消失せし
め、実質的に主相:R,、Fe14B相およびRric
h相からなる均質化処理インゴットまたは均質化処理粉
末を原料として用いる方が、得られたR−Fe−B系異
方性永久磁石の磁気特性は大幅に向上するのである。
上記合金のインゴットまたは均質化処理インゴットを原
料として用いると、粉末または均質化処理粉末を原料と
して用いるよりも酸化による磁気特性低下を抑えること
ができる。
特に、R−Fe−B系合金の組成が主相二R2Fe14
B相の組成付近、つまり、原子百分率でR(Fe、B)
    において、11.8≦X≦x        
   100−X 15で表される組成の合金については、均質化処理イン
ゴットを原料として用いる方が好ましい。
しかしながら、原子百分率でR(Fe、B)1oo。
において、X < 11.8またはX〉15で表される
組成の合金については、合金の組成によっては、インゴ
ットまたは均質化処理インゴットを原料とするよりも、
粉末または均質化処理粉末を原料として用いた方が磁気
特性が向上することもある。相対的には、R成分および
B成分が少ない組成では原料の合金形状はインゴットが
よく、R成分およびB成分が多い組成では原料の合金形
状は粉末がよい傾向にある。
この発明の希土類−Fe−B系異方性永久磁石の製造法
は、 ■Hガス雰囲気中またはH2ガスと不活性ガスの混合雰
囲気中において、温度:500〜1000℃に保持して
上記合金のインゴット、粉末、均質化処理インゴットま
たは均質化処理粉末にH2を吸蔵させ、 ■Hガス圧カニ I X 1O−1Torr以下の真空
雰囲気またはHガス分圧: I X 1O−1Torr
以下の不活性ガス雰囲気になるまで温度:500〜10
00℃で脱H2処理し、 ■ついで冷却するか、温度=300〜1000℃で熱処
理することによって得られたH2処理体を温度600〜
900℃で塑性加工によりバルク状態にすることに特徴
を有するものであるが、 上記■の工程の雰囲気としてH2ガスまたはH2ガスを
含む不活性ガスを選定した理由は、単なる歪とりゃ酸化
防止のためだけではなく、原料となる上記R−Fe−B
系合金のインゴット、粉末、均質化処理インゴットまた
は均質化処理粉末に組織変化をもたらし、この発明の製
造法で得られた異方性永久磁石がすぐれた磁気特性を有
する結晶組織とすることができるためである。他の不活
性ガスのみ、あるいは真空中で上記■の保持を行なって
も、この再結晶集合組織を得ることができない。
上記「温度=500〜1000℃に保持し」とは、上記
温度:500〜1000℃の範囲内の一定温度に保持す
るだけでなく、上記温度範囲内で昇温変化または降温変
化させてもよい。上記昇温変化または降温変化は、直線
的に昇温または降温変化させてもよいが、曲線的な昇温
または降温変化させてもよい。
さらに、上記温度:500〜1000℃の範囲内で、昇
温、一定温度保持、降温の任意の組合せからなる温度変
化をさせてもよい。
室温から上記温度:500〜1000℃に加熱する途中
の雰囲気は、必ずしもH2ガスがなくてもよく、他のA
r等の不活性ガス、あるいは真空でもよいが、好ましく
はH2ガスがよい。上記温度:500〜1000℃に保
持するときは、H2ガスは必須である。
上記■の工程の終了後、H2ガス圧カニlXl0Tor
r以下の真空雰囲気またはH22ガス圧:lX10”T
orr以下の不活性ガス雰囲気になるまで温度:500
〜1000℃で上記■の脱H処理する。この■の工程で
、H22処理にH2が残留すると高保磁力が得られない
。この脱H2処理のパターンは、上記■の工程と同様に
上記温度:500〜1000℃の範囲内の一定温度に保
持するだけでなく、上記温度範囲内で直線的または曲線
的に昇温変化または降温変化させてもよく、さらに、上
記温度:500〜1000℃の範囲内で、昇温、一定温
度保持、降温の任意の組合せからなる温度変化をさせて
もよい。
上記■の工程と■の工程の温度範囲は同一であるが、必
ずしもHガス雰囲気中またはH2ガスと不活性ガスの混
合雰囲気中で保持した温度をそのまま保持して脱H2化
しなくてもよく、例えば、Hガス雰囲気中またはH2ガ
スと不活性ガスの混合雰囲気中で保持した温度からさら
に昇温および降温して脱H2化してもよいが、得られる
異方性永久磁石に再結晶粒の粒成長等がなく、高い保磁
力を有する再結晶圧延組織になるためには、H2ガス雰
囲気中またはH2ガスと不活性ガスの混合雰囲気中で保
持した温度で脱H2化を行なうことが好ましい。
なお、上記■、■の工程路T後、繰り返し上記■、■の
工程を行なってもよい。
脱H2処理した後、上記■の工程で、Ar等の不活性ガ
スにより冷却するか、または冷却途中で真空中または不
活性ガス中で一定温度に保持して熱処理する。この熱処
理は、必要に応じて行なう。上記熱処理温度は、300
−1000’c、好ましくは550〜760℃の温度範
囲である。かかる熱処理は、上記不活性ガスにより室温
まで冷却した後、再度加熱して真空中または不活性ガス
中で行なってもよく、1回だけでなく、2回以上行なっ
てもよい。上記脱H2化した後および熱処理後の冷却は
できるだけ速い方が望ましい。
上記H22処理は、粉末状あるいは塊状であり、このま
ま用いてもよいし、軽く解砕して全て粉末状にしてもよ
い。この上記H22処理は、粉末状にすればR−Fe−
B系の磁石粉末に供することもできる。
上記■の工程の塑性加工は、温度:000〜90Q℃で
行なう。上記塑性加工を施すことによって、上記H22
処理を密度比がほぼ100%のバルク状態にすることと
、H22処理の再結晶組織を結晶学的なC軸方向に配向
した集合組織をもつ再結晶圧延組織とすることができる
まず、上記H22処理を缶に充填する。上記H22処理
を、圧縮または振動を付加して密に充填し、真空中で缶
の開口部を密封して、缶封入充填体を作製する。ここで
、缶の開口部を密封するのは、この発明の異方性磁石が
酸化するのを防止するためと、塑性加工時に上記H22
処理が缶から流出するのを防ぐためである。上記缶封入
充填体の塑性加工が真空中あるいは不活性ガス雰囲気中
で行なわれるならば、缶の開口部の封入は必ずしも必要
でなく、例えば蓋をする程度でもよいので、以後蓋をし
た缶充填体も含めて缶封入充填体と呼ぶ。
第3図は缶封入充填体の断面概略図である。上記第3図
において、8は缶であり、4はH22処理の粉末、4′
はH22処理の塊である。上記缶8に充填される脱H2
処理したH22処理は主として粉末4から構成されるが
その塊4′が含まれていても、上記塊4′はH2処理さ
れているので崩壊しやすく、塑性加工において問題はな
い。上記第3図における7は缶封入充填体を示す。
第4図は、上記缶封入充填体7をプレス圧縮により塑性
加工している状態を示す概略図であり、第5図は、上記
缶封入充填体7をロール圧延により塑性加工している状
態を示す概略図である。上記第4図においては、5はプ
レスパンチ、上記第5図において、6は圧延ロールを示
す。上記第4図、第5図に示されるように、缶内部のH
22処理は、塑性加工により密度比がほぼ100%まで
高密度化してバルク材となり、さらにH22処理中の上
記R2F 814 B相の再結晶粒が結晶学的なC軸方
向に配向して、集合組織をもつ再結晶圧延組織となって
、すぐれた磁気特性を有する異方性永久磁石になる。
また、上記■の工程の塑性加工は、上記缶封入充填体を
用いて行なうことに限定されず、従来の方法のホットプ
レスの工程の後に、塑性加工を行なっでもよい。従来の
方法のホットプレスにより、上記H22処理は密度比が
ほぼ100%まで高密度化してバルク材となり、続いて
塑性加工を行なうことにより、このバルクのH処理体は
H2処理体中の上記R2F e 14 B相の再結晶粒
が結晶学的なC軸方向に配向して、集合組織をもつ再結
晶圧延組織となって、すぐれた磁気特性を有する異方性
永久磁石になる。
上記塑性加工する際の歪速度は10−1〜1O−3S−
1程度が好ましく、上記主相の再結晶粒の結晶学的なC
軸方向が配向するためには、圧延加工の場合の圧延率は
60%以上、プレス加工の場合は圧縮率が60%以上と
なることが好ましい。ここで、上記圧延率とは、圧延前
の物の厚さをり。、圧延後の物の厚さをhとした場合、 圧延率−((h  −h) /hol X100  (
%)で表され、上記圧縮率とは、プレス加工前の物の厚
さをH6、プレス加工後の物の厚さをHとした場合、 圧縮率−f (H−H) /Hol  X100  (
%)で表される。
次に、この発明の希土類−Fe−B系異方性永久磁石の
製造法において、各製造工程におけるR−Fe−B系合
金の組織変化について説明する。
上記溶解、鋳造して得られた合金インゴットの組織は、
第6図(a)に示されており、この鋳造インゴットを均
質化処理した合金インゴットの組織が第6図(b)に示
されている。上記第6図(a)および(b)においては
、1は主相のR2Fe14B相、2はR−rich相、
3′はa −Fe相、R2F e 17相などの非平衡
相を示す。上記均質化処理を行なうことにより、上記第
6図(a)のR2Fe14B相1内に存在する、a−F
e相、R2Fe1□相などの非平衡相3′が消失し、上
記第6図(b)のごとく実質的にR2Fe14B相1と
R−r1ch相2の平衡相になる。次に、上記H2処理
を行なうことにより、第6図(b)の組織は相変態をお
こした後に、第6図(C)に示されるように再結晶した
R2Fe14B相1′が発生し、それらが成長して第6
図(d)に示されるような再結晶したR2Fe14B相
1′の集合組織を有する上記H22処理になる。R−r
ich相2は、再結晶したR2Fe14B相1′の一部
の粒界部に存在する。
そして上記塑性加工を行なうことにより、上記再結晶組
織は、第6図(0)に示されるように結晶学的なC軸方
向に配向した結晶粒1″からなる再結晶圧延組織になる
。ここでもR−rich相2は、再結晶したR2Fe1
4B相1′を圧延した結晶粒1′の一部の粒界部に存在
する。なお、第6図(d)および(e)の矢印は再結晶
したR2Fe14B相1′およびそれを圧延した結晶粒
1′の結晶学的なC軸方向を示している。
この発明のR−Fe−B系異方性永久磁石およびその製
造法における数値限定理由について説明する。
(1)  再結晶圧延組織の結晶粒径 上記平均結晶粒径が0.05−よりも小さいと着磁が困
難であり、さらに粒制御も困難となって実用的でなく、
50−よりも大きいと低い保磁力しか示さないため、上
記再結晶圧延組織の平均結晶粒径は、0.05〜50t
mと定めた。好ましくは、上記R2Fe14B相の単磁
区粒径に近い0.05〜10μsの範囲にある方が一層
すぐれた磁気特性を得ることができる。
(2)均質化処理 均質化処理したインゴットまたは均質化処理した粉末を
用いると、磁気特性は一層向上する。均質化処理温度が
600℃より低いと均質化処理に長時間を要するために
、工業的生産性が悪く、一方、1200℃をこえると上
記インゴットまたは粉末が溶融するので好ましくない。
従って、上記均質化処理温度は、600〜1200℃に
定めた。
(3)H2処理 上記■の工程の雰囲気は、H2ガス雰囲気中またはH2
ガスと不活性ガスの混合雰囲気中において、Hガス圧力
またはH22ガス圧が、少なくとも1OTorr以上と
なるような条件で行なうことが好ましい。
上記Hガス圧力またはH22ガス圧がl0Torr未満
では、原料である上記R−Fe−B系合金インゴット、
粉末、均質化処理インゴットまたは均質化処理粉末が充
分に組織変化するまでN2が吸蔵されないので好ましく
ない。また、上記N2ガス圧力またはN2ガス分圧が7
80Torrより高い、すなわち大気圧よりも加圧状態
では脱H2処理に長時間を要するために工業的でない。
Hガス雰囲気中またはN2ガスと不活性ガスの混合雰囲
気中の保持温度が500℃より低いと、上記合金の組織
変化が充分に得られず、1000℃より高いと組織変化
が過度に進行して再結晶粒が粒成長をおこし、保磁力が
低下してしまうので、N2吸蔵処理温度は500〜10
00℃と定めた。
上記■の脱H2処理温度は、500℃未満では、N2ガ
ス圧力または分圧をI X 1O−5Torr以下にし
てもH処理体にN2が残留し、高保磁力が得られないの
で好ましくなく、1000℃を越えるとN2処理体が互
いに溶着してしまう上に、再結晶粒が粒成長をおこし、
保磁力が低下してしまうので、脱H2処理温度は500
〜1000℃と定めた。
さらに、この■の工程の脱H処理は、上記H2処理体の
ほぼ完全な脱H2化を目的とするもので、N2ガス圧力
または分圧が1 x 10  Torrよりも高いと脱
H2化が不充分となり、高保磁力が得られないので上記
Hガス圧力または分圧をI X to’Torr以下と
定めた。
(4)塑性加工 上記塑性加工湿度は、600℃より低いと上記N2処理
体が高密度化されず、900”Cより高いと上記再結晶
粒の粒成長が激しく、粒制御が困難となるので600〜
900℃と定めた。
(5)熱処理 上記N2処理後および上記塑性加工後熱処理を施すと磁
気特性が一層向上する。しかしながら、上記熱処理温度
が300℃より低いと熱処理の効果がほとんどあられれ
ず、1000℃よりも高いと上記再結晶粒の粒成長が激
しく粒制御が困難となるので熱処理温度は300〜10
00℃と定めた。
なお、この発明のR−Fi;−B系異方性永久磁石のF
eの一部をM、(Mは、Co、Ru、R)1゜Ir、O
s、Pd、Pt、Re、N1 、V、Nb。
Ta、Cu、Cr、Mn、Mo、W、Ti 、A11G
a、In、Zr、Hf’)の1扛または2B以上の少量
で置換してもよい。また、Bの一部をA1(Aは、N、
P、S、F、Sl、C,Ge、Sn。
Zn、Sb  Bi)の1種または2種以上の少量で置
換してもよい。
〔実 施 例〕
つぎに、この発明を実施例にもとづいて具体的に説明す
る。
実施例1〜4および比較例1〜4 プラズマアーク炉を用いて溶解、鋳造し、原子%でNd
14.5Fe77.5B8.0を主成分とする合金イン
ゴットを製造した。上記インゴットを熱処理炉に入れ、
I X lo’Torrの真空に排気した後、温度: 
1ooo℃、40時間保持の条件で均質化処理し、つい
で、炉内温度を850℃まで降下せしめ、N2ガスを上
記熱処理炉内に流入して炉内雰囲気をN2ガス雰囲気と
し、上記炉内雰囲気においてN2ガス圧:1atms温
度:850℃、10時間保持の条件にてN2吸蔵処理し
、さらに上記850℃の炉内温度を保持しつつ排気を1
時間行なって1.o×10’Torrの真空とし脱H2
処理したのち、炉内にArガスを流して急冷した。
上記H2吸蔵処理および脱H2処理した合金インゴット
は、もろくなっているので上記Ar雰囲気中で解砕して
N2処理体とし、上記N2処理体を、たて:30+o+
++X横:30龍X高さ:11關の内寸法を有するステ
ンレス製缶に充填し、この缶の開口部を真空中で電子ビ
ーム溶接により密封し、缶封入充填体を作成した。上記
缶封入充填体を温度ニア00℃に保持しながら、最終的
に第1表に示される実施例1〜4に示される厚さになる
までロール圧延し薄形のこの発明の異方性磁石を作成し
た。上記実施例1〜4のこの発明の異方性磁石は、各々
R2Fe14B相がC軸方向に配向した集合組織をもつ
再結晶圧延組織であった。
一方、比較のために、上記プラズマアーク炉を用いて溶
解、鋳造した原子%でN d 14 、 s F e 
r□、5B、。を主成分とする上記実施例と同一組成の
合金インゴットを不活性ガス雰囲気で機械粉砕し、平均
粒径:3.8μsの微粉末を製造した。上記微粉末を磁
場中プレス成形して厚さの異なった圧粉体とし、ついで
、上記圧粉体を不活性ガス雰囲気中で焼結し、第1表の
比較例1〜4に示される厚さの薄形異方性磁石を作成し
た。
これらの薄形異方性磁石の磁気特性を測定し、ついで薄
形異方性磁石に含まれる02の含a量を測定し、これら
の結果を第1表に示した。
第    1    表 第1表の結果から、この発明の製造法により得られたR
−Fe−B系異方性磁石は、0□含有量が少なく、特に
磁石の厚さによって磁気特性が変化しないのに対し、比
較例の場合は02含有量が多く、特に厚さ:3mra以
下になると磁気特性が急激に劣化することがわかる。
実施例5および比較例5 高周波溶解炉で溶解、鋳造し、原子%でNd13.BF
e80.8B5.8を主成分とする重さ二500gの合
金インゴットを2個製造した。上記2個の合金インゴッ
トのうち一方のインゴットをArガス雰囲気中の熱処理
炉に入れ、温度: 1100℃、20時間保持の条件で
均質化処理し、ついで、炉内温度を850℃まで降下せ
しめ、H2ガスを上記熱処理炉内に流入して炉内雰囲気
をH2ガス雰囲気とし、上記炉内雰囲気においてH2ガ
ス圧:1aLms温度:850℃、10時間保持の条件
にてH2吸蔵処理し、さらに上記850℃の炉内温度を
保持しつつ排気を1時間行なって1.OX lO’To
rrの真空とし脱H2処理したのち、炉内にArガスを
流して急冷した。
上記H2吸蔵処理および脱H2処理した合金インゴット
は、崩壊しやすくなっているので上記Ar雰囲気中にて
解砕しH2処理体とし、上記H2処理体を、直径:4B
m+*X高さ: 50mmの内寸法を有する銅製毎に充
填し、この缶の開口部に銅製の蓋をして、缶封入充填体
を作成した。上記缶封入充填体を温度ニア00℃に保持
しながら、1 x 10’Torrの真空中で歪速度:
 I X to−1s−tの条件で、圧縮率080%の
プレス圧縮加工し、R−Fe−B系異方性磁石を製造し
た。このようにして上記合金インゴットから得られた上
記異方性磁石の重さを測定したところ、41t7gであ
った。上記合金インゴットの重さと上記異方性磁石の重
さの測定値からこの発明の製造法による材料歩留りを計
算し、ついで上記異方性磁石の磁気特性を測定し、実施
例5として第2表に示した。
一方、比較のために、もう一方の合金インゴットを溶融
状態から単ロール式の超急冷を行なってアモルファスリ
ボンを作成し、上記アモルファスリボンを温度ニア30
℃でホットプレスして等方性磁石を製造し、ついで上記
等方性磁石を温度=760℃でプレス圧縮加工しR−F
e−B系異方性磁石を製造した。
上記R−Fe−B系異方性磁石の重さを測定したところ
、320gであった。この時の歩留りを計算し、ついで
磁気特性を71111定してそれらの結果を第2表に示
した。
第   2   表 第2表の結果から、R−Fe−B系合金インゴットを溶
解し、急冷して得られたアモルファスリボンをホットプ
レスすることにより得られた異方性磁石は、この発明の
製造法により得られた異方性磁石に比べて磁気特性が劣
り、その製造法の差により材料の歩留りが大幅に相違す
ることがわかる。
上記実施例5で得られたこの発明の異方性磁石のX線回
折を行なった結果、主たる回折線は、正方晶構造をとる
Nd2Fe14B金属間化合物の面指数で指数づけされ
るため、Nd2Fe、4B相を主相としていることがわ
かった。さらに相対的な回折強度の差から、上記主相は
、結晶学的なC軸がプレス圧縮方向に配向していること
がわかった。
次に、上記実施例5で得られた異方性磁石の組織観察を
行なった。第7図(a)は、上記この発明の異方性磁石
の透過電子顕微鏡による金属組織写真、第7図(b)は
、上記金属組織写真の模写説明図である。上記第7図(
a)および(b)から、この発明の異方性磁石は、約0
.3umの再結晶粒を圧延した結晶粒1′からなる再結
晶圧延組織を有していることがわかる。また上記再結晶
圧延組織の一部粒界部にNd−rich相2が析出して
いることがわかる。
上記X線回折と透過電子顕微鏡による組織観察の結果、
この発明の異方性磁石は、正方晶構造をとるNd2Fe
14B金属間化合物相を主相とし、かつ上記Nd2Fe
14B金属間化合物相は、結晶学的なC軸方向に配向し
ている再結晶圧延組織を有していることがわかる。
実施例6〜12および比較例6〜16 プラズマアーク炉を用いて溶解、鋳造し、原子%でNd
14.0Fe79.4B6.6を主成分とする合金イン
ゴットを製造した。上記合金インゴットを熱処理炉に入
れ、latmのA「ガス雰囲気としたのち、第3表に示
される温度および時間保持して上記合金インゴットを均
質化処理し、均質化処理温度の異なった多数の合金イン
ゴットを用意した。
これら合金インゴットを熱処理炉に入れ、真空度+1.
OX 10’Torrの真空に排気後、第3表に示され
るH2ガス圧となるようにH2ガスを上記熱処理炉内に
流入し、そのH2ガス圧力を維持しつつ室温から第3表
に示される保持温度まで昇温し、その温度に6時間保持
してH2吸蔵処理し、さらに上記H2吸蔵処理温度を維
持しつつ排気を0.5〜10時間行なって第3表に示さ
れるH2ガス圧になるまで脱H2処理し、ついで上記熱
処理炉内にArガスを流入して急冷した。
上記脱H2処理した後急冷した合金インゴットは、その
まま熱処理炉のArガス雰囲気中で解砕し、磁石粉末と
し、これら磁石粉末をそれぞれ、たて:30mmX横:
30mmX高さ:15mmの寸法を有する銅製毎に充・
填した。上記磁石粉末が充填された缶の開口部は、真空
中で電子ビーム溶接により密封し、缶封入充填体を作成
した。
上記缶封入充填体を、第3表に示される温度に加熱し、
この温度に保持しながら第3表に示される圧延率で圧延
し異方性磁石を作成し、これら異方性磁石をさらに第3
表に示される条件で不活性ガス雰囲気中で熱処理したの
ち、異方性磁石の磁気特性を測定し、その結果を第3表
に示した。
上記第3表において、※印を付した値は、この発明の条
件を外れた値を示す。
上記第3表の結果から、この発明の条件を1つでも外れ
た条件で製造されたR−Fe−B系異方性磁石は、十分
な磁気特性を示さないことがわかる。
実施例13〜22および比較例17.18高周波溶解炉
で溶解、鋳造して、第4表に示される成分組成のNd−
Fe−B系合金インゴットを製造した。
上記Nd−Fe−B系合金インゴットをH22ガス圧:
 150TorrのH2ガスとArガスの混合ガス雰囲
気にて840℃で5時間保持してH2吸蔵処理し、つい
で850℃でHガス分圧:1xto’TorrのArガ
ス雰囲気となるまで脱H2処理を行なってから急冷した
。上記急冷した合金インゴットをA「ガス雰囲気中で第
4表に示される条件で熱処理を行なってから解砕して直
径4BIII11×高さ50itsの内寸法を有するス
テンレス製の缶に充填密度80%となるように充填し、
上部にステンレス製のフタをして、5 X 1O−4T
orrの真空中、歪速度2X10” S−1で第4表に
示される条件でプレス圧縮加工し、R−Fe−B系異方
性磁石を製造した。
得られたこの発明の異方性磁石の組織は、上記Nd、、
Fe14B相が結晶学的なC軸方向に配向した集金組織
をもつ再結晶圧延組織であった。
上記再結晶圧延組織の平均結晶粒径を測定するとともに
、上記再結晶圧延組織を有する異方性磁石の磁気特性を
測定し、それらの結果を第4表に示した。第4表におい
て奈印を付した値は、この発明の条件外の値を示す。
実施例23〜32および比較例19.20高周波溶解炉
で溶解、鋳造して、第5表に示されるNd−Fe−B系
合金インゴットを製造した。
上記インゴットを熱処理炉に入れ、3 X 10’To
rrの真空に排気した後、温度1050℃−50時間保
持の条件で均質化処理し、この均質化処理した合金イン
ゴットを上記実施例13〜22および比較例17゜18
で実施した条件と全く同一条件でH2吸蔵処理し、つい
で脱H2処理を行なってから急冷した。
上記急冷した合金インゴットをA「ガス雰囲気中で第5
表に示される条件で熱処理を行なった後、解砕し、直径
:46mmX高さ: 50m+sの内寸法を有するステ
ンレス製の缶に充填密度80%となるように充填し、上
部にステンレス製のフタをして、5X10”−’Tor
rの真空中、歪速度2 X 1O−IS−’で第5表に
示される条件でプレス圧縮加工し、R−FeB系異系外
方性磁石造した。
得られた異方性磁石の組織は、上記Nd2F014B相
が結晶学的なC軸方向に配向した集合組織をもつ再結晶
圧延組織であった。
上記再結晶圧延組織の平均結晶粒径を測定するとともに
、異方性磁石の磁気特性を1lP1定し、それらの結果
を第5表に示した。第5表において※印を付した値は、
この発明の条件外の値を示す。
上記第4表および第5表の結果から、再結晶圧延組織の
平均結晶粒径が0,05〜50tmの範囲内、好ましく
は0.05〜10μsの範囲内にあるとすぐれた磁気特
性を有することがわかる。
さらに実施例13〜22および比較例17.18は溶解
鋳造して得られたNd−Fe−B系合金インゴットを、
そのままH2吸蔵処理および脱H2処理してH2処理体
を作製しているに対し、実施例23〜32および比較例
19.20は、上記Nd−Fe−B系合金インゴットを
均質化処理したのちH2吸蔵処理および脱H2処理して
H2処理体を作製している点てのみ相違するが、上記N
d−Fe−B系合金インゴットを均質化処理しない第4
表の磁気特性の測定結果と均質化処理した第5表の磁気
特性の測定結果を比べてみると、均質化処理することに
より一層すぐれた磁気特性を示すことがわかる。
上記実施例1〜32および比較例1〜20においては、
Nd−Fe−B系合金インゴットまたは均質化処理した
Nd−Fe−B系合金インゴットをH2吸蔵処理し、脱
H2処理したのち急冷したが、上記インゴットに限定さ
れることなく、NdFe−B系合金インゴットを粉砕し
て得られた粉末、従来のCa還元拡散法等により得られ
たNd−Fe−B系合金粉末、または上記粉末を均質化
処理したNd−Fe−B系合金粉末を用いて、実施例1
〜32および比較例1〜20と全く同様にして異方性磁
石を製造することができる。
〔発明の効果〕
この発明において、Nd−Fe−B系合金インゴットま
たはその粉末からH2処理体を製造する工程は、非酸化
性雰囲気中で行なうことができ、得られたH2処理体に
酸素等の不純物が混入することはなく、また上記H2処
理体は、上記Nd −Fe−B系合金インゴットのH2
吸蔵処理を十分に行なうと、崩壊して粉末化し、崩壊し
ない場合は軽く解砕して磁石粉末とすることができる。
このように不純物混入のないH2処理体は、八ツ中で缶
に充填され密封されて缶封入充填体とし、これを大気中
で高温塑性加工を行なっても酸化することなくすぐれた
異方性磁石を得ることができる。このため、この発明の
製造法は、従来の製造法よりも簡単であり、かつ原料合
金からの歩留りもよく、すぐれた異方性磁石を得ること
ができるので産業上すぐれた効果をもたらすものである
【図面の簡単な説明】
第1図(a)は、この発明のR−Fe−B系異方性磁石
の組織の概略図、 第1図(b)は、従来のR−Fe−B系焼結磁石の組織
の概略図、 第1図(C)は、従来のアモルファスリボンをホットプ
レス、塑性加工した永久磁石の組織の概略図、 第2図(a)は、この発明のR−Fe−B系異方性磁石
の製造法を示す工程図、 第2図(b)は、従来のR−Fe−B系焼結磁石の製造
法を示す工程図、 第2図(C)は、従来のアモルファスリボンをホットプ
レス、塑性加工した永久磁石の製造法を示す工程図、 第3図は、缶封入充填体の断面概略図、第4図は、缶封
入充填体をプレス圧縮している状態を示す概略図、 第5図は、缶封入充填体をロール圧延している状態を示
す概略図、 第6図(a)〜(e)は、この発明の再結晶圧延組織に
なるまでの組織変化を示す概略図であり、第6図(a)
は、溶解、鋳造して得られた合金インゴットの組織図、 第6図(b)は、上記鋳造インゴットを均質化処理した
インゴットの組織図、 第6図(e)は、相変態をおこしたのち、再結晶したR
2Fe14B相が発生し初めだ組織図、第6図(d)は
、再結晶したR2Fe14B相の集合組織、 第6図(e)は、上記再結晶を圧延して得られた再結晶
圧延組織図、 第7図(a)は、この発明の異方性磁石の透過電子顕微
鏡による金属組織写真、 第7図(b)は、上記金属組織写真の模写説明図、であ
る。 1−−− R2F e 14B相 1′・・・再結晶したR2Fe14B相1″・・・R2
Fe14B相の再結晶粒を圧延した結晶粒2−R−ri
ch相       3−B −rich相3′・・・
α−Fe相、R2Fe17相などの非平衡相4・・・H
2処理体の粉末 4′・・・H2処理体の塊    5・・・プレスパン
千6・・・圧延ロール      7・・・缶封入充填
体8・・・缶 (b) R2Fe1481g 1“ R2Fe14B)#目の再超晶イ重五 ノ王J近しn癩吉晶!立 2:R−rich+目 3 :  B−rich 4g (C) 乍 図 (α) (b) (C) 05μm Cα) 7園 μ品掌約啄Cf!Ih亥向 (b)

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)Yを含む希土類元素(以下、Rで示す)とFeと
    Bを主成分とするR−Fe−B系永久磁石において、 再結晶組織を圧延して結晶学的なC軸方向に配向せしめ
    た、平均結晶粒径;0.05〜50μmの正方晶構造を
    とるR_2Fe_1_4B金属間化合物相を主相とする
    圧延組織を有すること、 を特徴とする希土類−Fe−B系異方性永久磁石。
  2. (2)上記平均結晶粒径は、好ましくは0.05〜10
    μmであることを特徴とする請求項1記載の希土類−F
    e−B系異方性永久磁石。
  3. (3)RとFeとBを主成分とする合金のインゴット、
    または粉末を、 H_2ガス雰囲気中またはH_2ガスと不活性ガスの混
    合雰囲気中で、温度:500〜1000℃に保持して上
    記合金のインゴット、または粉末にH_2を吸蔵させ、 H_2ガス圧力:1×10^−^1Torr以下の真空
    雰囲気またはH_2ガス分圧:1×10^−^1Tor
    r以下の不活性ガス雰囲気になるまで温度:500〜1
    000℃で脱H_2処理し、冷却してH_2処理体とし
    、 上記H_2処理体を温度:600〜900℃で塑性加工
    してバルク材にすること を特徴とする希土類−Fe−B系異方性永久磁石の製造
    法。
  4. (4)上記脱H_2処理したのち、温度:300〜10
    00℃で熱処理し冷却してH_2処理体とし、 上記H_2処理体を温度:600〜900℃で塑性加工
    してバルク材にすること を特徴とする請求項3記載の希土類−Fe−B系異方性
    永久磁石の製造法。
  5. (5)RとFeとBを主成分とする合金のインゴット、
    または粉末を、 温度:600〜1200℃に保持して上記インゴット、
    または粉末の均質化処理を行なった後に、 H_2ガス雰囲気巾またはH_2ガスと不活性ガスの混
    合雰囲気中で、温度:500〜1000℃に保持して上
    記合金の均質化処理したインゴット、または均質化処理
    した粉末にH_2を吸蔵させ、 H_2ガス圧力:1×10^−^1Torr以下の真空
    雰囲気またはH_2ガス分圧:1×10^−^1Tor
    r以下の不活性ガス雰囲気になるまで温度:500〜1
    000℃で脱H_2処理し、冷却してH_2処理体とし
    、 上記H_2処理体を温度:600〜900℃で塑性加工
    してバルク材にすること を特徴とする希土類−Fe−B系異方性永久磁石の製造
    法。
  6. (6)上記脱H_2処理したのち、温度:300〜10
    00℃で熱処理し冷却してH_2処理体とし、 上記H_2処理体を温度:600〜900℃で塑性加工
    してバルク材にすること を特徴とする請求項5記載の希土類−Fe−B系異方性
    永久磁石の製造法。
  7. (7)上記H_2ガス雰囲気巾またはH_2ガスと不活
    性ガスの混合雰囲気中の、H_2ガス圧力またはH_2
    ガス分圧は10〜760Torrであることを特徴とす
    る請求項3,4,5または6記載の希土類−Fe−B系
    異方性永久磁石の製造法。
  8. (8)上記RとFeとBを主成分とする合金の組成が原
    子百分率でR_X(Fe,B)_1_0_0_−_Xに
    おいて11.8≦X≦15の場合は、上記RとFeとB
    を主成分とする合金の均質化処理インゴットを用いるこ
    と、 を特徴とする請求項5,6または7記載の希土類−Fe
    −B系異方性永久磁石の製造法。
  9. (9)上記塑性加工したR−Fe−B系異方性永久磁石
    を、温度:300〜1000℃で熱処理を行なうことを
    特徴とする請求項3,4,5,6,7または8記載の希
    土類−Fe−B系異方性永久磁石の製造法。
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