JPH0232740B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0232740B2 JPH0232740B2 JP56153604A JP15360481A JPH0232740B2 JP H0232740 B2 JPH0232740 B2 JP H0232740B2 JP 56153604 A JP56153604 A JP 56153604A JP 15360481 A JP15360481 A JP 15360481A JP H0232740 B2 JPH0232740 B2 JP H0232740B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- crt
- signal
- image
- scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 6
- 210000003205 muscle Anatomy 0.000 description 6
- 101100112083 Arabidopsis thaliana CRT1 gene Proteins 0.000 description 2
- 101100238301 Arabidopsis thaliana MORC1 gene Proteins 0.000 description 2
- 101100519629 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) PEX2 gene Proteins 0.000 description 2
- 101100468521 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) RFX1 gene Proteins 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は走査形電子顕微鏡、特に試料から発生
する複数種の信号により合成画像を得る走査形電
子顕微鏡に関する。
する複数種の信号により合成画像を得る走査形電
子顕微鏡に関する。
走査形電子顕微鏡において、合成画像を得る方
法としては、試料から発生する異なる種類の各信
号を電気回路により合成し、この合成された信号
をCRTに入力させるもの、あるいは異なる種類
の各信号をCRTに入力させ、これにより得られ
る各写真を合成させるものがある。
法としては、試料から発生する異なる種類の各信
号を電気回路により合成し、この合成された信号
をCRTに入力させるもの、あるいは異なる種類
の各信号をCRTに入力させ、これにより得られ
る各写真を合成させるものがある。
しかしながら、前者は電気回路が複雑になると
ともに数種類に亘る信号合成には適していないと
いう欠点があり、また、後者は撮影ネガを重ね焼
付けする操作を必要とすることから、熟練を要す
るとともに処理時間が長くなるという欠点があつ
た。
ともに数種類に亘る信号合成には適していないと
いう欠点があり、また、後者は撮影ネガを重ね焼
付けする操作を必要とすることから、熟練を要す
るとともに処理時間が長くなるという欠点があつ
た。
本発明の目的は、簡単でかつ確実な合成画像を
得ることのできる走査形電子顕微鏡を提供するに
ある。
得ることのできる走査形電子顕微鏡を提供するに
ある。
このような目的を達成するために、本発明は、
CRTに入力させる複数種の映像信号を走査線ご
とに電子的に切換えて供給し、CRT面に視覚的
に合成するようにしたものである。
CRTに入力させる複数種の映像信号を走査線ご
とに電子的に切換えて供給し、CRT面に視覚的
に合成するようにしたものである。
以下、実施例を用いて本発明を詳細に説明す
る。
る。
第１図は本発明による走査形電子顕微鏡の一実
施例を示す構成図である。同図において、図示し
ない電子銃から放射された電子線１は、偏向コイ
ル２ａ，２ｂ間を通り電子レンズ３により集束さ
れるようになつている。集束された電子線１は試
料４面に照射され、その照射点は偏向電源１０に
より駆動される前記偏向コイル２ａ，２ｂによつ
て試料４面上を二次元的に走査されるようになつ
ている。
施例を示す構成図である。同図において、図示し
ない電子銃から放射された電子線１は、偏向コイ
ル２ａ，２ｂ間を通り電子レンズ３により集束さ
れるようになつている。集束された電子線１は試
料４面に照射され、その照射点は偏向電源１０に
より駆動される前記偏向コイル２ａ，２ｂによつ
て試料４面上を二次元的に走査されるようになつ
ている。
試料４の表面からの反射電子５は、検出器７ａ
で検出されるようになつており、その検出信号は
増幅器８ａを介することにより増幅されるように
なつている。増幅された信号は信号処理回路９ａ
により処理され、この処理された信号はCRTに
入力し得る画像信号となるようになつている。
で検出されるようになつており、その検出信号は
増幅器８ａを介することにより増幅されるように
なつている。増幅された信号は信号処理回路９ａ
により処理され、この処理された信号はCRTに
入力し得る画像信号となるようになつている。
一方、試料４から得られる二次電子６は、検出
器７ｂで検出されるようになつており、その検出
信号は増幅器８ｂを介することにより増幅される
ようになつている。増幅された信号は信号処理回
路９ｂにより処理され、この処理された信号は
CRTに入力し得る画像信号となるようになつて
いる。
器７ｂで検出されるようになつており、その検出
信号は増幅器８ｂを介することにより増幅される
ようになつている。増幅された信号は信号処理回
路９ｂにより処理され、この処理された信号は
CRTに入力し得る画像信号となるようになつて
いる。
なお、前記検出器７ｂが検出し得る電子は二次
電子としたものであるが、これに限らず、反射電
子、透過電子、オージエ電子、あるいはＸ線、カ
ソードルミネツセンス等であつてもよい。
電子としたものであるが、これに限らず、反射電
子、透過電子、オージエ電子、あるいはＸ線、カ
ソードルミネツセンス等であつてもよい。
前記信号処理回路９ａ，９ｂの各出力となる画
像信号はスイツチング回路１２を介して交互に切
換えられ、CRT１３に入力されるようになつて
いる。スイツチング回路１２は前記偏向電源１０
によつて駆動される走査信号回路１１からの出力
により切換えがなされ、これによりCRT１３の
画面には、第２図ａに示すように、螢光面を刺激
する電子線の走査は上方から順に信号処理回路９
ａの出力に対応する走査線5′、信号処理回路９ｂ
の出力に対応する走査線６′、信号処理回路９ａ
の出力に対応する走査線５′……として示される。
この場合、第２図ｂに示すように、走査線を二本
毎にスイツチングしてもよいことはもちろんであ
る。
像信号はスイツチング回路１２を介して交互に切
換えられ、CRT１３に入力されるようになつて
いる。スイツチング回路１２は前記偏向電源１０
によつて駆動される走査信号回路１１からの出力
により切換えがなされ、これによりCRT１３の
画面には、第２図ａに示すように、螢光面を刺激
する電子線の走査は上方から順に信号処理回路９
ａの出力に対応する走査線5′、信号処理回路９ｂ
の出力に対応する走査線６′、信号処理回路９ａ
の出力に対応する走査線５′……として示される。
この場合、第２図ｂに示すように、走査線を二本
毎にスイツチングしてもよいことはもちろんであ
る。
なお、前記スイツチング回路１２は撮影信号回
路１４によつても切換えられるようになつてお
り、一度信号処理回路９ａからの画像信号のみに
よつてCRT１３に画像表示した後、次に信号処
理回路９ｂからの画像信号のみによつてCRT１
３に画像表示できるようになつている。この場
合、撮影信号回路１４はCRT１３の画像を撮影
する撮影装置１５を駆動するようになつており、
この撮影装置１５は信号処理回路９ａから得られ
るCRT１３の画像と信号処理回路９ｂから得ら
れるCRT１３の画像とを合成した写真が得られ
るようになつている。
路１４によつても切換えられるようになつてお
り、一度信号処理回路９ａからの画像信号のみに
よつてCRT１３に画像表示した後、次に信号処
理回路９ｂからの画像信号のみによつてCRT１
３に画像表示できるようになつている。この場
合、撮影信号回路１４はCRT１３の画像を撮影
する撮影装置１５を駆動するようになつており、
この撮影装置１５は信号処理回路９ａから得られ
るCRT１３の画像と信号処理回路９ｂから得ら
れるCRT１３の画像とを合成した写真が得られ
るようになつている。
このように構成した走査形電子顕微鏡におい
て、試料４から得られる二次電子６は第３図ａに
示すように試料４の表面で発生したものが主とし
て検出されるようになつている。試料４の内部に
含有されている異種物質１７で発生した二次電子
６ａは試料４の内部で減衰し検出器７ｂによつて
は検出されない。したがつて、二次電子像の場
合、試料４の内部の観察には適当でないが、試料
４の表面の形態観察には最適となる。
て、試料４から得られる二次電子６は第３図ａに
示すように試料４の表面で発生したものが主とし
て検出されるようになつている。試料４の内部に
含有されている異種物質１７で発生した二次電子
６ａは試料４の内部で減衰し検出器７ｂによつて
は検出されない。したがつて、二次電子像の場
合、試料４の内部の観察には適当でないが、試料
４の表面の形態観察には最適となる。
第４図ａは、筋肉を試料４として二次電子像を
得たものである。これによると筋肉の外形形状の
みが観察される。
得たものである。これによると筋肉の外形形状の
みが観察される。
また、試料４から得られる反射電子５は、第３
図ｂに示すように、試料４の内部にある異種物質
１７からの情報を検出できるようになつている。
これは反射電子５が入射電子１とほぼ同じ高いエ
ネルギーを有しているからである。したがつて、
反射電子像の場合、試料４の組成に関連する観察
に最適となる。
図ｂに示すように、試料４の内部にある異種物質
１７からの情報を検出できるようになつている。
これは反射電子５が入射電子１とほぼ同じ高いエ
ネルギーを有しているからである。したがつて、
反射電子像の場合、試料４の組成に関連する観察
に最適となる。
第４図ｂは、第４図ａと同じ筋肉を試料４とし
て反射電子像を得たものである。これによると筋
肉内部における筋線性の横紋が主として観察され
る。
て反射電子像を得たものである。これによると筋
肉内部における筋線性の横紋が主として観察され
る。
したがつて、本実施例のように、二次電子によ
り得られる画像信号と、反射電子により得られる
画像信号とをCRTの画面上の各走査線において
交互に走査させるようにすれば、視覚的には、第
４図ａおよびｂにそれぞれ示す画像が合成されて
映像されたことになり、第４図ｃに示すように、
筋肉の外形形状に内部形状が透視された状態で目
視できることになる。
り得られる画像信号と、反射電子により得られる
画像信号とをCRTの画面上の各走査線において
交互に走査させるようにすれば、視覚的には、第
４図ａおよびｂにそれぞれ示す画像が合成されて
映像されたことになり、第４図ｃに示すように、
筋肉の外形形状に内部形状が透視された状態で目
視できることになる。
第５図は本発明による走査形電子顕微鏡の他の
実施例を示す構成図である。第１図と同符号のも
のは同一回路等を示している。第１図と異なる構
成は、試料４からの複数種の信号を、複数種の検
出器７ａ〜７ｄで検出し、増幅器８ａ〜８ｄ、信
号処理回路７ａ〜７ｄを介して、スイツチング回
路１２により選択的にスイツチングしてCRT１
３に供給し信号合成するものである。このように
すれば、複数種の信号像と、複数種信号の合成像
観察が容易に得られるため、試料４に対する多く
の知見が簡単にかつ迅速に得られる。
実施例を示す構成図である。第１図と同符号のも
のは同一回路等を示している。第１図と異なる構
成は、試料４からの複数種の信号を、複数種の検
出器７ａ〜７ｄで検出し、増幅器８ａ〜８ｄ、信
号処理回路７ａ〜７ｄを介して、スイツチング回
路１２により選択的にスイツチングしてCRT１
３に供給し信号合成するものである。このように
すれば、複数種の信号像と、複数種信号の合成像
観察が容易に得られるため、試料４に対する多く
の知見が簡単にかつ迅速に得られる。
以上述べたことから明らかなように、本発明に
よる走査形電子顕微鏡によれば、簡でかつ確実な
合成画像を得ることができるようになる。
よる走査形電子顕微鏡によれば、簡でかつ確実な
合成画像を得ることができるようになる。
第１図は本発明による走査形電子顕微鏡の一実
施例を示す構成図、第２図ａおよびｂはCRTの
画面における走査の態様を示す説明図、第３図
ａ，ｂは検出器がとらえる電子の動きを示す説明
図、第４図ａ，ｂは各信号処理回路の出力信号で
描画される図、第４図ｃは前記各描画の合成図を
示す図、第５図は本発明にもとづくもう一つの実
施例を示す走査形電子顕微鏡の構成図である。 ５…反射電子、６…二次電子、７…検出器、８
…増幅器、９…信号処理回路、１０…走査電源、
１２…スイツチング回路、１３…CRT。
施例を示す構成図、第２図ａおよびｂはCRTの
画面における走査の態様を示す説明図、第３図
ａ，ｂは検出器がとらえる電子の動きを示す説明
図、第４図ａ，ｂは各信号処理回路の出力信号で
描画される図、第４図ｃは前記各描画の合成図を
示す図、第５図は本発明にもとづくもう一つの実
施例を示す走査形電子顕微鏡の構成図である。 ５…反射電子、６…二次電子、７…検出器、８
…増幅器、９…信号処理回路、１０…走査電源、
１２…スイツチング回路、１３…CRT。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 電子ビームを試料面に走査し、該試料面から
照射される電子等を検出する検出器から得られる
映像信号を、前記走査に対応させてCRTに入力
させる走査形電子顕微鏡において、 前記検出器は複数種の検出器からなり、これら
各種の検出器から得られる映像信号を走査線ごと
に切換えて取出す切換手段と、この切換手段によ
り得られる複数種映像信号を前記CRTに入力さ
せる手段と、を備えたことを特徴とする走査形電
子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15360481A JPS5857248A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | 走査形電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15360481A JPS5857248A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | 走査形電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5857248A JPS5857248A (ja) | 1983-04-05 |
| JPH0232740B2 true JPH0232740B2 (ja) | 1990-07-23 |
Family
ID=15566111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15360481A Granted JPS5857248A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | 走査形電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5857248A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6175725A (ja) * | 1984-09-21 | 1986-04-18 | Taisei Sharyo Kk | 長尺物の整列搬送装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5244158A (en) * | 1975-10-03 | 1977-04-06 | Hitachi Ltd | Scanning electronic microscope |
| JPS5778758A (en) * | 1980-11-05 | 1982-05-17 | Mitsubishi Electric Corp | Scan type electron microscope |
-
1981
- 1981-09-30 JP JP15360481A patent/JPS5857248A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5244158A (en) * | 1975-10-03 | 1977-04-06 | Hitachi Ltd | Scanning electronic microscope |
| JPS5778758A (en) * | 1980-11-05 | 1982-05-17 | Mitsubishi Electric Corp | Scan type electron microscope |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5857248A (ja) | 1983-04-05 |
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