JPH0229166Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、精密加工や高精度な測定、検査等を
行うにあたつて、内部におさめた精密加工機器や
精密測定装置が温度変化や空気中の塵埃による影
響を受けないよう、良好な環境を保持するための
環境チヤンバの改良に関するものである。

〔従来の技術〕

半導体の製造あるいは検査等に代表される精密
加工、精密検査等のために用いられるユニツト化
された環境チヤンバ等において、この環境チヤン
バ内に物品を出入させるための窓及び扉を設ける
場合、窓は作業者が前記作業室である環境チヤン
バ内に入らないで作業室外から簡単な物品の出し
入れを行つたり、簡単な内部機器の操作を行うた
めのものであり、扉は作業室内の機器類を必要に
応じた保守や、大型の部品や材料を搬入、搬出す
るのに使用されるものであるが、前記の窓につい
ては、従来は観音開きあるいは横開き窓が用いら
れていたが、観音開きの窓はその開閉時に作業室
内の気流を乱す欠点があり、殊に除塵されていな
い工場内に環境チヤンバがある場合、汚れた空気
がチヤンバ内に侵入する恐れがあり大きな欠点と
なつている。

また、横開き窓は戸袋部を横に設ける必要があ
り、デツドスペースが形成されるという難点があ
り、更に、横開き窓を設けた場合は扉の設置につ
いてもその幅等に対して制限を与えることとな
る。

そして、扉については、環境チヤンバそれ自体
がユニツト化された小型のものであるので、扉も
種々の制限下に置かれ開口面積を大きくとること
ができず、機器類の保守や材料の搬入、搬出に不
便を感じているのが現状である。

〔考案が解決しようとする問題点〕

本考案は、上記した従来のものの欠点なり難点
なりを解決するために、環境チヤンバの窓をその
開閉に際して環境チヤンバ内の空気を乱すことな
く、しかもデツドスペースを要しないものとし、
更に扉も開口面積を大きくとることを目的とする
ものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案は、前記の目的を達成するために、前面
側パネルに下部点検口を設けるとともに、開口時
に前記下部点検口部分に降下するようにされた上
下開閉窓を設け、前記下部点検口及び窓を設けた
前面側パネルと該前面側パネルに連なる側面部パ
ネルの両パネルにわたる断面Ｌ型状扉を開閉自在
に装置した環境チヤンバユニツトである。

〔作用〕

本考案の環境チヤンバユニツトは、前面側パネ
ルに下部点検口を設け、開口時に前記下部点検口
部分に降下するようにした上下開閉式の窓を設け
たので、窓の位置は作業者が立姿のまゝでチヤン
バ内に自由に手を入れて簡単な機器操作をした
り、小物を簡単に出し入れすることができるし、
また、扉も前面側パネルと該前面側パネルに連な
る側面部パネルの両パネルにわたる横断面がＬ型
をなす扉としたので開口面積を極めて大きくする
ことができ作業性の良いものである。

〔実施例〕

本考案を図面に示す実施例に基づいて説明す
る。

１は例えば精密加工のために設置された環境チ
ヤンバユニツトであり、２は該環境チヤンバユニ
ツト１の前面側パネルであり、３は前面側パネル
２に設けられた下部点検口であり、該下部点検口
３は通常は把手４，４を有する蓋体５によつて閉
鎖されている。６は、上下開閉式の窓であり、
６′は窓６の上方に設けられた引き手であり、該
引き手６′を持つて下方に下げれば窓６は前記し
た下部点検口３の前面に降下するように構成され
る。したがつて、上下開閉式窓６は作業者がチヤ
ンバ外に立姿でチヤンバ内の機器操作や小物類を
容易に出し入れできる高さとされる。７は前記し
た前面側パネル２と連なる側面部パネルであり、
８は側面部パネル７に設けられる側部点検口であ
る。９は、前記前面側パネル２と該前面側パネル
２と連なる側面部パネル７の連結角部を含む両パ
ネルにまたがる断面Ｌ型の扉であり、１０は扉９
の前面側パネル２側に設けた引き手であり、１
１，１１は扉９の側面部パネル７側に設けられた
扉９開閉用の蝶番である。

１２は環境チヤンバの機械室、１３は操作盤で
ある。

前記した上下開閉式窓６の開閉機構は従来より
良く知られているもので特に詳細な説明は省略す
るが、第２図は上下開閉式窓６の前面の一部を開
口した正面図であり、第３図は第２図のＸ−Ｘ矢
視図、第４図は第２図のＢ矢視図であり、図にお
いて、上下開閉式窓６は下部点検口３の前面側に
装置され、透明なアクリル樹脂板等の窓６の一端
はワイヤ固定板１４に固定され、該ワイヤ固定板
１４には一端にバランサ（図示しない）が吊持さ
れたワイヤ１５が固定され、前記したバランサは
点検口３の取付け支柱を兼ねたバランサ収納部１
６内を上下することによつて窓６は上下に開閉さ
れるものである。なお、図において１７はワイヤ
ガイド、１８はワイヤガイド取付板、１９はクツ
シヨンゴム、２０，２１は窓６のガイド用ベヤリ
ングである。

本考案の実施例は、以上のように構成されるも
ので、作業者が環境チヤンバ外に位置し、内部機
器を操作するのに適切な高さとされた上下開閉式
の窓６を押し下げて開口し、この開口時には上下
開閉式窓６は下部点検口３の前面に降下するよう
にされるので、窓の開閉に余分なスペースを設け
る必要がなく、また、環境チヤンバ内への大型機
器や部品の搬入・搬出は、前面側パネル２とこれ
に連なる側面部パネル７にわたるＬ型扉９を用い
るので開口面積を大きくとることができるもので
ある。

〔考案の効果〕

本考案に係る環境チヤンバユニツトは、清浄な
小型のユニツト化された室であるので、作業者の
チヤンバ内への操作のための窓を上下開閉式と
し、しかも開口時は下方に下げるようになし、開
口時の窓は下部点検口部分に降下するようにした
ので余分のスペースを必要としないものであり、
更にチヤンバ内への大型機器や材料、部品の搬
入、搬出に際しては、その搬入、搬出のための開
口面積を大とするために、チヤンバの角部を利用
した断面Ｌ型扉として、小型のチヤンバにもかか
わらず機器の搬入、搬出を容易となしたものであ
る。そして、本考案では上下開閉式窓とＬ型扉の
有機的な結合により合理的な環境チヤンバとなし
たものである。

【図面の簡単な説明】

図面は、本考案の実施例を示すもので、第１図
は本考案の環境チヤンバユニツトの全体斜視図、
第２図は上下開閉式窓の前面側を一部開口した正
面図、第３図は第２図のＸ−Ｘ矢視図、第４図は
第２図のＢ−Ｂ矢視図である。 １：環境チヤンバユニツト、２：前面側パネ
ル、３：下部点検口、６：上下開閉窓、９：Ｌ型
扉。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 前面側パネルに下部点検口を設けるとともに、
   開口時に前記下部点検口部分に降下するようにさ
   れた上下開閉窓を設け、前記下部点検口及び窓を
   設けた前面側パネルと該前面側パネルに連なる側
   面部パネルの両パネルにわたる断面Ｌ型状扉を開
   閉自在に装置したことを特徴とする環境チヤンバ
   ユニツト。