JPH0227523A - 磁気記録媒体の製造方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は強磁性金属薄膜層を磁気記録層とする磁気記
録媒体の製造方法およびその実施に使用する装置に関し
、さらに詳しくは、しわのない前記の磁気記録媒体を製
造する方法およびその実施に使用する装置に関する。

〔従来の技術〕

強磁性金属薄膜層を磁気記録層とする磁気記録媒体は、
通常、ポリエステルフィルムなどの基体フィルムを真空
槽内に配設した円筒状キャンの周側面に沿って案内走行
させ、この基体フィルム上に強磁性材をペーパーディボ
ジッシ町ン法により被着してつ（られており、基体フィ
ルムは電気的特性を良好にするためその表面を可及的に
平滑にしたものが使用され、また円筒状キャンは蒸着時
の基体フィルムの密着性を良好にして基体フィルムの温
度を良好に制御できるように、掻めて平滑性の良好なも
のが使用されている。（特開昭５７−１６４４３８号） 〔発明が解決しようとする課題〕 ところが、このように可及的に平滑な基体フィルムを使
用し、また極めて表面が平滑な円筒状キャンを使用する
従来の方法では、両者とも平滑性が極めて良好なため、
基体フィルムを円筒状キャンの周側面に沿って移動する
際、基体フィルムが円筒状キャンに張りついたりして滑
りにくい、また基体フィルムへの蒸着は、円筒状キャン
の周側面に沿って移動する基体フィルムに、２０００℃
前後の温度で加熱して蒸発させた強磁性材の蒸気流を差
し向けて行われるため、基体フィルムが円筒状キャンの
周側面に沿って移動する間に加熱されたり冷却されたり
して伸縮し、その結果、円筒状キャンに張りついたりし
て滑りにくい基体フィルムに歪みが生じて、しわが発生
しやすい。

〔課題を解決するための手段〕

この発明はかかる現状に鑑み、種々検討を行った結果な
されたもので、周表面に固形潤滑剤層を形成した円筒状
キャンを使用し、真空槽内で、この円筒状キャンの周側
面に沿って移動する基体フィルムを滑りやす（すること
によって、強磁性材供給源からガス化した強磁性材をこ
の円筒状キャンの周側面を移動する基体フィルムに差し
向けて強磁性金属薄膜層を形成する際、基体フィルムに
伸縮が生じても、良好な滑りが生じて基体フィルムに歪
みが生じないようにし、しわの発生を良好に抑制したも
のである。

以下、図面を参照しながらこの発明について説明する。

第１図は真空蒸着装置の断面図を示したものであり、１
は真空槽で、内部は嘉壁２および３で区画されて、基体
フィルム移動支持室４と真空蒸着室５および６に分離さ
れている。７．８および９はそれぞれ基体フィルム移動
支持室４および真空蒸着室５．６に取りつけられた排気
系で、これらの排気系７．８．９によって基体フィルム
移動支持室４と真空蒸着室５および６は真空に保持され
る。

１０は基体フィルム移動支持室４内に真空蒸着室５から
臨めるように配設された円筒状キャン、１１は基体フィ
ルム移動支持室４内に真空蒸着室６から臨めるように配
設された円筒状キャンであり、基体フィルム１２は、原
反ロール１３よりガイドロール１４を介して円筒状キャ
ン１０の周側面に沿って移動し、ガイドロール１４およ
び１５を介してさらに円筒状キャン１１の周側面に沿っ
て移動し、ガイドロール１６を介して巻き取りロール１
７に巻き取られる。

この間、真空蒸着室５の下部に配設された強磁性材蒸発
源１８で強磁性材１９が電子銃２０によって加熱蒸発さ
れ、この蒸気流が円筒状キャン１０の周側面に沿って移
動する基体フィルム１２に差し向けられて蒸着され、強
磁性金属薄膜層が形成される。２１は強磁性材蒸発源１
８に強磁性材１９を補給する強磁性材補給装置である。

続いて、強磁性材１９の真空蒸着により強磁性金属薄膜
層が形成された基体フィルム１２は、ガイドロール１４
および１５を介して、円筒状キャン１１の周側面に沿っ
て移動し、この移動する基体フィルム１２に、真空蒸着
室６の下部に配設された金属蓋発源２２で、金属２３を
電子銃２４により加熱蒸発させて得られる蒸気流が差し
向けられて蒸着され、強磁性金属薄膜層上に金属からな
るトップコート層が形成される。

ここで円筒状キャン１０および１１は、周表面に固形潤
滑剤層が形成されており、このような周表面に固形潤滑
剤層が形成された円筒状キャン１０および１１を使用す
ると、基体フィルム１２がこの円筒状キャンｌＯおよび
１１の周側面に沿って移動する際、滑りやすくなり、真
空蒸着時に差し向けられる強磁性材１９および金属２３
の蒸気流による加熱や、円筒状キャン１０および１１に
よる冷却によって、基体フィルム１２が伸縮しても歪み
が生ぜず、基体フィルム１２にしわが生じることもない
、これに対し、周表面に固形潤滑剤層が形成されていな
い円筒状キャンでは、基体フィルム１２が滑りにくくな
り、円筒状キャンに沿って移動する間に伸縮する基体フ
ィルム１２に歪みが生じて、しわが発生しやすくなる。

このような円筒状キャン１０および１１の周表面に形成
する固形潤滑剤層は、固形潤滑剤をスパッタリング法、
真空蒸着法、プラズマＣＶＤ法などのペーパーディポジ
ッシッン法で、円筒状キャン１０および１１の周表面に
被着するなどの方法で形成され、使用される固形潤滑剤
としては、Ｍｏ　Ｓ　ｔ　、、Ｗ　Ｓ　＊　、カーボン
、ＢＮ、ポリテトラフルオロエチレン、ナイロン、ポリ
イミド、Ｐｔ。

Ａｇ、Ｐｂ、ＳｎＳ　Ｉｎ、Ｇａ５Ａｕ５ＰｂＯ１Ｐｂ
３０ａ　、ＣａＦ！、ＢａＦｔ　、’ＰｂＳなどが好適
なものとして使用される。また、円筒状キャン１０およ
び１１の周表面に形成される固形潤滑剤層の層厚は、薄
すぎると島状構造になって層表面が不均質になるため２
００Å以上であることが好ましい。

強磁性金属薄膜層を形成する基体フィルムとしては、ポ
リエステル、ポリイミド、ポリアミド等−ａに使用され
ている高分子成形物からなるプラスチックフィルムおよ
び銅などの非磁性金属板が使用され、強磁性金属薄膜層
は、真空蒸着の他、スパッタリング、イオンブレーティ
ング、プラズマＣＶＤ法など、種々のペーパーディポジ
ッション法によって形成される。

強磁性材としては、Ｃｏ％Ｆｅ、Ｎｔ、Ｃｏ−Ｎｉ、、
Ｃｏ−Ｃｒ％Ｃｏ−Ｐ、　Ｃｏ−Ｎ１−Ｐなどの、金属
単体やこれらの合金あるいは酸化物など一般に使用され
る強磁性材が広く使用される。

〔実施例〕

次に、この発明の実施例について説明する。

実施例１ 円筒状キャンの周表面に、カーボンをブラスマＣ’／Ｄ
法で被着して、カーボンからなる厚さが１μｍの固形潤
滑剤層を形成した０次いで、第１図に示すように、この
カーボンからなる固形潤滑剤層を周表面に形成した円筒
状キャン１０およ−び１１を配設した真空蒸着装置を使
用し、厚さが５０μｍのポリイミドフィルム１２を原反
ロール１３よりガイドロール１４を介して円筒状キャン
１０の周側面に沿って移動させ、さらにガイドロール１
４および１５を介して円筒状キャン１１の周側面に沿っ
て移動させ、ガイドロール１６を介して巻き取りロール
１７に巻き取るようにセットした、同時に強磁性材薫発
源１８にコバルト−クロム合金（重量比８０：２０）１
９をセットし、排気系７および８で基体フィルム移動支
持室４および真空蒸着室５内を２Ｘ１０−’トールにま
で真空排気して、コバルト−クロム合金１９を加熱蒸発
させ、蒸着速度４００人／ｓｅｃ、円筒状キャン１０の
表面温度３００℃で、ポリイミドフィルム１２上に厚さ
が０．２μｍのコバルト−クロム合金からなる強磁性金
属薄膜層を形成した。続いて、金属蒸発：ａ２２にホウ
素２３をセットし、排気系９で真空蒸着室６内を２Ｘ１
０−’トールにまで真空排気し、蒸着速度４０人／ｓｅ
ｃ、円筒状キャン１１の表面温度３００℃で、ホウ素２
３を加熱蒸発させて、ポリイミドフィルム１２上の強磁
性金属薄膜層上に、厚さが０．０２μｍのホウ素からな
るトップコート層を形成した。しかる後、円板状に打ち
抜いて・フロッピーディスクをつ（うた。

比較例１ 実施例１において、周表面にカーボンからなる固形潤滑
剤層を形成した円筒状キャン１０および１１に代えて、
固形潤滑剤層を周表面に形成していない円筒状キャンを
使用した以外は実施例１と同様にして、ポリイミドフィ
ルム１２上にコバルト−クロム合金からなる強磁性金属
薄膜層を形成し、さらにホウ素からなるトップコート層
を形成して、フロッピーディスクをつくった。

各実施例および比較例で得られたフロッピーディスクに
ついて、しわの有無、熱負けの有無を観察し、耐久性を
調べた。耐久性は、得られたフロッピーディスクを、フ
ロッピーディスク駆動装置に装填し、出力を測定して出
力が２ｄＢ減少するまでの走行回数で評価した。

下記第１表はその結果である。

第１表 〔発明の効果〕 上記第１表から明らかなように、従来の円筒状キャンを
使用して得られたフロッピーディスク（比較例１）は、
しわおよび熱負けが認められ、耐久性も劣るのに対し、
周表面に固形潤滑剤層を形成した円筒状キャンを使用し
て得られたこの発明のフロッピーディスク（実施例１）
は、しわおよび熱負けが全く認められず、また耐久性も
よく、このことからこの発明の製造方法および装置によ
れば、基体フィルムが円筒状キャンの周側面を良好に滑
りながら移動し、しわの発生が良好に抑制されて、耐久
性および信鎖性に優れた磁気記録媒体が得られることが
わかる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の製造方法を実施するために使用する
真空蒸着装置の１例を示す概略断面図である。 １・・・真空槽、４・・・基体フィルム移動支持室、５
６・・・真空蒸着室、１０．１１・・・円筒状キャン、
１２・・・基体フィルム（ポリイミドフィルム）、１８
・・・強磁性材蒸発源、１９・・・強磁性材、２０・・
・電子銃

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、真空槽内に、周表面に固体潤滑剤層を設けた円筒状
   キャンを配設し、この円筒状キャンの周側面に沿って移
   動する基体フィルムに、強磁性材供給源からガス化した
   強磁性材を差し向けて強磁性金属薄膜層を形成すること
   を特徴とする磁気記録媒体の製造方法 ２、真空槽内に、周表面に固体潤滑剤層を設けた円筒状
   キャンと、この円筒状キャンの周側面に沿って移動する
   基体フィルムに対向する強磁性材供給源とを配設してな
   る磁気記録媒体製造装置