JPH02265005A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、薄膜磁気ヘッドに係り、特に使用周波数の高
い高画質Ｖ　ＴＲ、デジタル記録Ｖ　’Ｉ’　Ｒ等の高
密度記録再生を行うのに適した、薄膜コイルと薄膜磁気
コアを有する薄膜磁気ヘッドに関する。

〔従来の技術〕

磁気記録の高密度化に伴い、金属磁性材料のセンダスト
、アモルファス、パーマロイ等の高飽和磁束密度磁性金
属をコア材料とする薄膜磁気ヘッドの開発が進められて
いる。このような薄膜磁気ヘッドにおいては、高密度記
録にともない、記録及び再生効率の向上を目的とした磁
路長短縮のため、＃膜形成技術を用いたバターニング等
により上記のような薄膜磁気ヘッドを形成する方法が用
いられている。

従来、薄膜形成技術により磁気コアやコイル等を形成す
るヘッドとしては、特開昭５５−８４０２０号公報に示
すように、コイルは１層のみで、コイル断面積が磁気ギ
ャップを離れるに従って大きくなっているものく第１例
）や、特開昭５５＝６４６２３号公報に示ずように、多
層のコイルを具備したもの（第２例）が知られている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術の第１例では、コイルが１層のみであるた
め、磁路長を小さくするためにはコイルの巻線数を減ら
さなければならない。

一方、上記従来技術の第２例のものでは、コイルが多層
としであることから、磁路長を小さくした時にもコイル
の巻線数は、ある程度の数が得られる。しかし、薄膜コ
イルは、該コイルの断面積が小さいため、コイル巻線数
を増すとコイル導体抵抗が増加してしまい、再生アンプ
に接続した場合にインピーダンスノイズが増加し、Ｓ／
Ｎが劣化してしまう。

コイル巻線数を増し、コイル導体抵抗を小さくするには
、上記従来技術の第２例の多層コイルと第１例のコイル
断面積及びコイル導体幅を磁気ギャップから離れる程大
きくする技術を組合せることにより達成できると考えら
れる。

上記従来技術の組合せでは、多層化したコイルの導体抵
抗を小さくする目的で、磁路長とは無関係な位置でのコ
イル幅を大きくすることが知られている。

しかしながら、前述のような薄膜磁気ヘッドでは、使用
周波数が高くなると上下の位置関係にある、幅を拡げた
コイル間で浮遊容量を持つため、記録及び再生時の効率
が劣化してしまう。

以上のように従来技術では、使用周波数が高い場合の記
録及び再生効率劣化に対する配慮がされていなかった。

本発明の目的は、使用周波数が高い場合でも、記録及び
再生効率の劣化のない薄膜磁気ヘッドを提供することに
ある。

〔課題を解決するための手段〕

」二記目的は、複数層のコイルを有する薄膜磁気ヘッド
において、上下の位置関係にある多層化したコイルの上
下間距離を、上部コア、下部コア及び磁気ギャップで構
成される磁路内でｄ、ｌ記磁気路内以外をｄ２とすると
ｄ　１＜　ｄ　２となるようにコイルを多層構成するこ
とにより達成される。

〔作　用〕

複数層のコイルを有する薄膜磁気ヘッドにおいて、上下
の位置関係にある多層構成したコイルの上下間の距離を
、磁路内でｄ、、　６Ｊ＆路内以外をｄ２・　３　・ とするとｄ　１　＜　ｄ　ｚとなるようにコイルを多層
構成することにより、磁路長には無関係な磁路内以外の
多層構成した上下コイル間の距離を大きくすることがで
きるため、該上下コイル間の浮遊容量が低減できる。こ
のため使用周波数が高くなっても、上記コイル間浮遊容
量によるロスが低減するので、記録及び再生効率が劣化
することがなくなる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を第１図〜第７図により説明する
。第１図は、本発明の第１の実施例である薄膜磁気ヘッ
ドの断面図を示した図、第７図はその要部斜視図である
。第１図において、１は上部コア、２は下部コア、３は
磁気ギャップ、４は非磁性基板、５ａは上部コア１と下
部コア２及び磁気ギャップ３で構成される磁路内に配置
した２層目コイルのフロント部、６ａは前記磁路内に配
置した１層目コイルのフロント部、５ｂは２層目コイル
のリア部、６ｂは１層目コイルのリア部をそれぞれ示し
ている。

また、図中の距離ｄ１は、前記磁路内に配置し・　４ た２層目コイルのフロント部５ａと１層目コイルのフロ
ント部６ａの間隔を、距離ｄ２は、上記２層目コイルの
リア部５ｂと１層目コイルのリア部６ｂの間隔をそれぞ
れ示したものである。

また、第６図に従来技術を用いて製作した薄膜磁気ヘッ
ドの断面図を示した。

第６図に示した従来技術では、上部コア１と下部コア２
及び磁気ギャップ３で構成される磁路内に配置した２層
目コイルのフロント部５ａと該磁路内に配置した１層目
コイルのフロント部６ａとの距離ｄ１は、２層目コイル
のリア部５ｂと１層目コイルのリア部６ｂとの距離ｄ２
が等しい構成となっている。

一般に面積Ａの平行な電極間の距離をｄ、真空での誘電
率をε０．比誘電率をε、上記電極間の容量をＣとする
と、（１）式のような関係があることが知られている。

ε０°　ε　＋　Ａ Ｃ＝　　　　　　　　　　　　　　・・・・・・（１）
ここで、第６図の１層目及び２層目のリアコイルの対向
している部分の総面積を３．ＯＸ　１００−７（”）１
層目及び２層目のコイル間の距離をｄ１ｄ２＝ｉＸ１．
Ｏ−買ｍ）、真空中の誘電率を８．９×１０−”（Ｆ−
ｍ−’）、１層［１及び２層目のコイル間の絶縁物をＳ
−１０２又は、ＡＱ２０１等として、その比誘電率を５
とすると、１層目及び２層［１４のコイル間の浮遊容量
は約１３ｐＦとなり、高周波側で記録及び再生時の効率
劣化の原因となる。

しかし、本発明による第１−図のような構成とすること
で上記浮遊容量は激減する。

すなわち、２層「１コイルのフロン１へ部５ａと１層１
４コイルのフロン１一部６　ａとの間隔ｄ、は前記の従
来技術と同様の間隔（ここでは１μｍとした。）とし、
浮遊容量の大きな、磁路内以外、特に、１層「１及び２
層目のコイルのリア部の距離ｄ２を大きくすることによ
り、上記浮遊容量を小さくすることができる。本実施例
では、該距離ｄ、を６μｍとすることにより、該浮遊容
量を約２ｐＦと低減することができた。

気ヘッドの断面図である。

磁路内の１層目と２層目コイルの距離ｄ１及びｄ、ば、
前記本発明の第１の実施例と同じ、ｄ１＝ｉ　μｍ、ｄ
、＝６　μｍであるが、１層目及び２層目コイルリア部
の対向面積を減らす目的で、２層目のコイルのリア部５
ａが１４層目コイルのリア部６ａの真−Ｌに位置しない
ような構成としたもので、上記のようなコイル多層構成
とすることで、】−層１１及び２層目コイルリア部の対
向している部分の総面積は、従来技術及び第］実施例の
場合の半分、すなわち１゜５　ｘ　１０””（ｒｎ２）
とすることができる。

このため１層目及び２層目コイルリア部での浮遊容量は
、約１１）Ｆとすることができた。

なお、本発明の第１の実施例及び第２実施例では、２層
構造のコイルのみを示したが、２層以上のコイル構造で
あっても本発明が有効なことは明らかである。

また、コイル巻数も、］１層目４ターン、２層目３ター
ンの７ターン構成としたが、特にこれに限・　７ 第：３図は、本発明の第３３の実施例の薄膜磁気ヘラ１
くの断面図を示したものである。

磁路内の１層ｌ−１と２層１１のコイル間の距離ｄ。

は１μｍと前記実施例と同じであるが、２層目コイルリ
ア部５ｂのなす平面と１−層目コイルリア部６ｂのなず
平面とが角度Ｏをもつように各コイルが配置されている
もので、基板面を基準面（０’）とし、角度Ｏは、２層
目コイル側に傾けたものである。ここでは、］−層層目
コイルリア部ｂのなす平面と２層［］コイルリア部５ｂ
のなず角Ｏを１−度と設定した。このような構成とする
ことで、」二部浮遊容量を約３　Ｐ　ｌ？どすることが
できた。

なお、コイルリア部５ｂと６１〕が作る平面のかず角度
Ｏを本実施例では１度としたが、特にこの角度に限定さ
れるものではない。

また、コイルリア部５１〕及び６１）が作る面を本実施
例では平面としたが、曲面であっても、同様の効果が得
られることは明らかである。

第４図は本発明の第４の実施例を示したもので、本実施
例では、基板４のコイルリア部分に深さ３μｍ程度の溝
を設けることにより、２層目コイルリア部５　ｂど］層
目コイルリア部６ｂとの間隔を６μｍとしたものである
。

」二部のようなコイルの構成とすることにより、該コイ
ル間の浮遊容量を２ｐＦとすることができた。なお、本
実施例では、溝の深さを３μｍとしたが、溝の深さは、
特にこの長さに限定されるものではない。

第５図は、本発明の第５の実施例を示したもので、本発
明の薄膜磁気ヘッドの断面図を示したものである。

本実施例では、コイルリア部が配置される基板部に傾斜
部を設け、２層目コイルリア部５ｂのなす平面と１−層
目コイルリア部６ｂのなす平面が角度Ｏをもつようにコ
イルを配置したものである。

本実施例では上記角度θを１度に設定した。上記のよう
なコイルの配置構成とすることにより】層目及び２層目
コイルリア部分での浮遊容量を約なお、基板部に設けた
傾斜部を本実施例では平面としたが曲面であっても同様
の効果が得られることは明らかである。

また、上記平面どうしがなす角度θを本実施例では１度
としたが、特にこの角度に限定されるものではない。

〔発明の効果〕

以上のように、本発明によれば、多層コイルの薄膜磁気
ヘッドにおいて、コイル幅の広いコイルリア部分での浮
遊容量が低減でき、高周波で、記録及び再生効率の劣化
のない薄膜磁気ヘッドを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例である薄膜磁気ヘッドの
断面図、第２図は本発明の第２の実施例である薄膜磁気
ヘッドの断面図、第３図は本発明の第３の実施例である
簿膜磁気ヘッドの断面図、第４図は本発明の第４の実施
例である薄膜磁気ヘッドの断面図、第５図は本発明の第
５の実施例である薄膜磁気ヘッドの断面図、第６図は、
従来技術の薄膜磁気ヘッドの断面図、第７図は本発明の
説明に供する薄膜磁気ヘラ１（の斜視図である。 １−・・・上記コア、２・・・下部コア、３・・・磁気
ギャップ、４・・・基板、５ａ・・２層目コイルのフロ
ン１〜部、５ｂ・・２層目コイルのリア部、６ａ・・・
］　Ｊｆｆｌ　ｌ−１コイルのフロン１一部、６ｂ・・
１層目コイルのリア部。 ．１２

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、基板上に下部磁性層、複数の導体コイル層、非磁性
   絶縁層、上部磁性層を配してなる薄膜磁気ヘッドにおい
   て、上下の位置関係にある多層構成したコイルの上下間
   の距離を、上部及び下部磁性層で構成される磁路内でｄ
   ＿１、磁路内以外でｄ＿２とすると、ｄ＿１＜ｄ＿２と
   なるようにコイルを多層構成したことを特徴とする薄膜
   磁気ヘッド。 ２、多層構成したコイルで、下層コイルの中真位置と下
   層コイルの中真位置とが一致しないことを特徴とする請
   求項１記載の薄膜磁気ヘッド。