JPH02254992A - モータ駆動回路及びワイヤボンディング装置 - Google Patents

モータ駆動回路及びワイヤボンディング装置

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JPH02254992A
JPH02254992A JP1074521A JP7452189A JPH02254992A JP H02254992 A JPH02254992 A JP H02254992A JP 1074521 A JP1074521 A JP 1074521A JP 7452189 A JP7452189 A JP 7452189A JP H02254992 A JPH02254992 A JP H02254992A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は限定された微少角度範囲内において、モータの
回転位置を制御するモータ駆動回路およびこのモータと
モータ駆動回路が組込まれたワイヤボンディング装置に
関する。
（従来の技術） 整流器を除去したブラシレスモータにおいては、例えば
第７図に示すよように、回転子の回転軸に磁界磁束を発
生させる永久磁石１を取付け、固定子側においては図示
しない鉄心に３相巻線２ｕ、２ｖ、２ｖを巻装している
。
このような３相のモータにて発生するトルクは、周知の
ように、次のように求めらにれる。先ず、永久磁石１に
て発生する磁束をΦとし、各巻線２ｕ、２Ｖ、２ｖに流
れる励磁電流ｉＵ、ｉｖ。
ｉＷを永久磁石１の回転位置に対応した正弦波電流とな
るように制御する。すなわち、各励磁電流ｉｌｌ、ｉｖ
、ｉｌはθｒを回転位置（角度）とすると（１）式とな
る。
１Ｕ−１ａ　　−ｓｌｎ　　θｒ ｉ　　ｖ−１ａ　　−ｓｌｎ　　（θｒ　　−２７３・
π）ｉｗ−１ａ　−５ｉｎ　　（θｒ　−４７３・π）
　　　・・・（１）そして、モータの出力するトルクＴ
ＭはＴＭ−３／２・Ｋｓ−Ｉａ・Φ　　　　　　−（２
）（Ｋ；比例定数） このように、モータの回転位置θｒが変化したとしても
、変動のない安定したトルクＴＭが得られる。
なお、モータの各巻線２ｕ、２ｖ、２ｖの結線方式は、
周知のように、第８図（ａ）に示すＹ結線方式と、第８
図（ｂ）に示すΔ結線方式が存在するが、各励磁電流ｉ
Ｕ、ｉｖ、ｉＶが同じであれば、先の（２）式で示した
同一のトルク値ＴＭが与られる。
しかしながら、前述したように、回転子側に永久磁石１
を取付けるモータは、回転子側に巻線を施していた従来
のＤＣサーボモータに比較すると、回転子へ励磁電流を
供給する必要がなくなったので、ブラシレス化を図るこ
とができる利点があるが、このモータを駆動するモータ
駆動回路としては、回転子の回転位置（回転角度位置）
を常時検出して、各巻線２ｕ、２ｖ、２ｗの励磁電流ｉ
Ｌｌ。
ｉｖ、ｉｗをトランジスタスイッチで転流制御する必要
がある。したがって、モータ駆動回路の回路構成が複雑
化して、従来のＤＣサーボモータのモータ駆動回路に比
較して大型化するとともに製造費が上昇する問題があっ
た。
一方、モータによっては、回転軸が微少角度しか回転し
ないような条件下で使用される場合もある。例えばモー
タの回転軸に直角方向にアームを取付け、アームの先端
に被制御機材を取付け、モータを微少回転させると、被
制御機材が上下方向に一定の限度範囲で移動すればよい
ものもある。
このような限定された条件下で使用されるモータにおい
ては、０°〜３６ｏ＠の全角度範囲に亘って均一なトル
ク値が得られる必要はなく、例えば（０９〜±５６）の
微少角度範囲内において、均一なトルクと、正確な回転
位置および回転速度が制御できれば十分である場へも考
えられる。
したがって、このように一定の限定条件下で使用される
モータに対して前述したモータ駆動回路を用いるのは非
常に不経済であり、また、過剰品質となる。
（発明が解決しようとする課題） このように、回転角度範囲が一定の微少感度範囲でしか
使用されないモータのモータ駆動回路に対して、従来の
全角度範囲に亘って均一なトルクを含む回転特性を得る
ようにしたモータ駆動回路は過剰品質であり、非常に不
経済である。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、
Ｙ結線方式のモータに対しては２本のリード線を短絡し
、Δ結線方式のモータに対しては１本のリード線を開放
して、それぞれモータを直。
流励磁することにより、例えば従来のＤＣサーボモータ
用の駆動回路とほぼ同様な回路構成とでき、ブラシレス
の長所を保持したままで回路構成を簡素化できるととも
に製造費を大幅に低減できるモータ駆動回路を提供する
ことを目的とする。
また、このようなモータおよびモータ駆動回路を用いる
ことによって、小型で低価格のワイヤボンディング装置
を提供することを目的とする。
［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明は、界磁磁束を発生させる永久磁石を回転軸に取
付けてなる回転子と、鉄心に３相巻線を施し各巻線をＹ
結線してなる固定側の電機子とで構成されたモータを駆
動するモータ駆動回路において、 Ｙ結線された巻線の３本のリード線のうち任意の２本の
リード線を短絡する短絡回路と、モータの回転位置を検
出する回転位置検出器と、短絡回路にて短絡されたリー
ド線と他の１本のリード線との間に励磁電流を流す制御
部とを備えたものであるｄ また、別の発明のモータ駆動回路においては、上記各巻
線がΔ結線されたモータに対して、モータの回転位置を
検出する回転位置検出器と、Δ結線された巻線の３本の
リード線のうち任意の１本のリード線を開放して、残り
２本のリード線の間に励磁電流を流す制御部とを備えた
ものである。
さらに別の発明においては、一端にキャピラリを有する
ツールアームと、このツールアームが回転軸に直交する
ようにツールアームの他端が回転軸に取付けられ、この
回転軸を回転させることによってツールアームを微少角
度範囲内で回動させるモータと、このモータを駆動する
モータ駆動回路とを備えたワイヤボンディング装置にお
いて、モータは、界磁磁束を発生させる永久磁石を回転
軸に取付けてなる回転子と、鉄心に３相巻線を施し各巻
線をＹ結線してなる固定側の電機子とで構成され、 モータ駆動回路は、Ｙ結線された巻線の３本のリード線
のうち任意の２本のリード線を短絡する短絡回路と、モ
ータの回転位置を検出する回転位置検出器と、短絡回路
にて短絡されたリード線と他の１本のリード線との間に
励磁電流を流す制御部とを備えたものである。
さらに別の発明においては、ワイヤボンディング装置に
、固定側の電機子の巻線をΔ結線したモータを使用して
、このモータの駆動回路を、モタの回転位置を検出する
回転位置検出器と、Δ結線された巻線の３本のリード線
のうち任意の１本のリード線を開放して、残り２本のリ
ード線の間に励磁電流を流す制御部とで構成している。
（作用） 先ず、第２図を用いて微少角度範囲内でモータを回転さ
せる場合におけるトルク発生の原理を説明する。例えば
第２図（ａ）に示すように、モータの回転子の回転軸に
界磁磁束を発生させるための永久磁石３が取付けられ、
固定子側の各鉄心に各巻線４ｕ、４ｖ、４ｖが巻装され
ているとする。そして、第２図（ｂ）に示すように、各
巻線４ｕ、４ｖ、４ｖはＹ結線されており、例えば巻線
４　ｖ、のリード線と巻線４ｖのリード線とは短絡線５
で短絡されている。よってこのモータから２本のリード
線６ａ、６ｂが導出されている。
このようなモータにおいて、第２図（ａ）に示す状態を
回転位置θｒ＝０と定義する。しかして、リード線６ａ
に電流Ｉを流すと、各巻線４ｕ。
４ｖ、４ｖには、それぞれＩ、Ｉ／２．Ｉ／２の電流が
流れる。そして、前述したようにトルクＴｏ−に−１（
Ｋ：比例定数）が発生する。
電流Ｉを一定値に保って（Ｉ−直流）、モータの回転位
置θ「を変化させた場合のトルクＴは（３）式となる。
Ｔ−Ｔｏ　−ｃｏｓθｒ　　　　　　　　　　　　−（
３）ここで、回転位置θｒが小さい場合は、ｃｏｓ　　
ｌθｒ　１ζ１と近似できるので、上記トルクＴは（４
）式となる。
ＴＮＴ、　−Ｋ　Ｉ　　　　　　　　　　　　　　−（
４）すなわち、トルクＴはリード線６ａ、６ｂ間を流れ
る直流の電流値Ｉに比例し、従来のサーボモータと同一
のトルク制御が可能となる。
したがって、制御部において、回転位置検出器から検出
された回転位置を用いて、モータの実際の回転位置を外
部から入力された指定回転位置へ移動させるための励磁
電流を前記２本のリード線６ａ、６ｂ間に流せばよい。
また、Δ結線されたモータの場合においても、第３図に
示すように、各巻線７ｕ、７ｖ、７ｖに接続された３本
のリード線８ａ、８ｂ、８ｃのうち任意の１本のリード
線８Ｃを開放状態にして、残りの２本のリード線８ａ、
８ｂの間に２／３■の電流を流せば、各巻線７ｕ、７ｖ
、７ｗに一１／２１．　　！、　−１／２１の電流が流
れ、第２図に示した、Ｙ結線のモータの場合とほぼ同じ
特性のトルクＴが得られる。
さらに、別の発明のワイヤボンディング装置においては
、一般にツールアームの回動範囲は先端に取付けられた
キャピラリがポンデイグ部に当接するまでの微少距離で
あるので、上述した２本のリード線が短絡されたＹ結線
のモータをツールアームの回動駆動動作用に使用してい
る。したがって、上述したモータ駆動回路を用いたとし
てもツールアームに対する十分な回動制御が実施できる
。
また、別の発明のワイヤボンディング装置においては、
上述したＹ結線のモータの代りにΔ結線のモータを使用
している。そして、このモータを上述したように任意の
１本のリード線を開放して、残りの２本のリード線に励
磁電流を流せば、上述したワイヤボンディング装置の場
合と同様にツールアームに対する十分な回動制御が実施
できる。
（実施例） 以下本発明の一実施例を図面を用いて説明する。
第１図は実施例のモータ駆動回路の概略構成を示すブロ
ック図である。すなわち、モータ駆動回路１１にＹ結線
方式のモータ１２が接続されている。そして、モータ１
２は、前述した第２図に示した構成を有しており、各巻
線４ｕ、４ｖ、４ｖはＹ結線されており、巻線４ｖのリ
ード線と巻線４ｗのリード線とは短絡線５で短絡されて
いる。
そしてモータ１２から２本のリード線６ａ、６ｂが導出
されている。また、モータ１２の回転軸には回転位置を
検出する例えばロータリーエンコーダ等で構成された回
転位置検出器１３が直結されている。
モータ駆動回路１１は、前記短絡線５を除けば、従来の
ＤＣサーボモータのモータ駆動回路と同一構成である。
すなわち、位置制御部１４は外部から入力された指定回
転位置信号と回転位置検出器１３から送出された回転位
置信号とを比較して、その差に対応する速度基準信号を
次の速度制御部１５へ送出する。速度制御部１５は位置
制御部１４から送出された速度基準信号と、前記回転位
置検出器１３から出力された回転位置信号を位置速度変
換部１６にて変換された速度信号と比較する。そして、
その差に対応した電流指令信号を電流制御１７へ送出す
る。電流制御部１７は入力した電流指令信号に対応する
値の直流の励磁電流Ｉをモータ１２のリード線６ａ、６
ｂ間に流す。しかして、モータ１２は前述した（４）式
で示されるトルクＴを発生し、モータ１２は指定された
方向に指定された速度で回転駆動する。モータ１２が回
転すると、回転位置検出器１３から出力される回転位置
信号が変化する。しかして、モータ１２は指定回転位置
信号にて指定された回転位置へ回転移動する。
このようなモータ駆動回路１１において、前記位置制御
部１４．速度制御部１５および電流制御部１７は、モー
タ１２が外部から入力された微少角度範囲内における指
定回転位置になるように励磁電流■をリード線６ａ、６
ｂ間に流す制御部を構成する。
このように構成されたモータ駆動回路１１であれば、モ
ータ１２の回転角度範囲が例えば０°〜±５°程度の微
少角度範囲内においては、前述した（４）式が成立する
ので、第１図に示した、通常のＤＣサーボ−モータに使
用される駆動回路でモータ１２の回転位置および回転速
度を十分精度良く制御できる。したがって、第７図およ
び第８図に示したＯ°〜３６０°の全角度範囲に亘って
モータの回転角度位置を制御する必要があった従来のブ
ラシレスモータに対するモータ駆動回路に比較して、そ
の回路構成を飛躍的に簡素化できる。
したがって、ブラシレスモータの長所を保持したまま、
モータ駆動回路１１を小型軽量に構成できるとともに、
製造費を大幅に低減できる。
第３図は本発明の他の実施例に係わるモータ駆動回路の
要部を取出して示す回路図である。なお、第３図のモー
タ駆動回路においては、位置制御部１４、速度制御部１
５１位置位置度換部１６は第１図に示す実施例と同じで
あるので記載を省略している。
この実施例におけるモータ１８の各巻線７ｕ。
７ｖ、７ｗはΔ結線されており、各巻線７ｕ。
７ｖ、７ｗに接続された３本のリード線８ａ。
８ｂ、８ｃのうち１本のリード線８ｃを開放状態にして
、残りの２本のリード線８ａ、８ｂがモータ駆動回路内
の電流制御部１７に接続されている。
このような構成のモータ駆動回路において、電流制御部
１７から２／３Ｉの直流の励磁電流を流せば、前述した
ように、各巻線７ｕ、７ｖ、７ｖに１／２．　Ｉ、　　
Ｉ、　−１７２１の電流が流れ、第２図に示した、Ｙ結
線方式のモータの場合とほぼおなし特性のトルクＴが得
られる。したがって、第１図に示したＹ結線方式のモー
タ１２の場合とほぼ同様の効果を得ることができる。
第４図（ａ）は本発明のさらに別の実施例に係わるワイ
ヤボンディング装置を示す外観図であり、同図（ｂ）は
同実施例の要部を取出して示す斜視図である。また、第
５図は第４図（ｂ）に示した要部の断面図である。
ワイヤボンディング装置は、例えば特開昭６１−６７９
２．７号公報に記載されているように、半導体装置製造
工程において、ＩＣチップ２１の電極２２とリードフレ
ーム２３とを例えば超音波振動を用いて金属細線（Ｗ）
により接続する装置であり、Ｘ−Ｙテーブル２４上にボ
ンディングヘッド２５が搭載されている。
このボンディングヘッド２５内には、第４図（ｂ）およ
び第５図に示すように、Ｕ字形断面を何するフレーム２
６の一側面にモータ２７が取付けられており、このモー
タ２７の回転軸２８には界磁磁束を発生する永久磁石２
８が取付けられており、周囲の固定子側には鉄心に巻装
された各巻線４（１，４Ｖ、４ｖが配設されている。な
お、この各巻線４ｕ、４ｖ、４ｗは第１図に示したよう
にＹ結線されており、巻線４ｖのリード線と巻線４ｖの
リード線とは短絡されている。その他、このモータ２７
のモータ駆動回路は第１図に示したモータ駆動回路１１
と同一である。
モータ２７の回転軸２８の一端に回転位置検出器１３が
取付けられており、回転軸２８の他端はフレーム２６の
両側面に穿設された貫通孔３０を介して反対側端に露出
している。なお、各貫通孔３０には回転軸２８を支持す
るベアリング３１が嵌入固定されいる。そして、フレー
ム２６内には前記回転輪２８とこの回転軸２８に直交す
るツールアーム３２の一端を回転軸２８に固定するため
の取付は金具３３が配設されている。
取付は金具３３を介して回転軸２・８に接続されたツー
ルアーム３２の先端にキャピラリ３４が取付けられてい
る。そして、このキャピラリ３４の先端で前記ＩＣチッ
プ２１の電極２２とリードフレーム２３とを超音波振動
でもって金属細線（Ｗ）により接続する構造となってい
る。
次に、ボンディング動作中におけるモータ２７の制御方
法を説明する。
第６図は横軸に時間、縦軸にキャピラリ３４の位置を示
したものであり、図中ａからｂまでは、予め定められた
プロファイルによってキャピラリ３４が高速度で下降す
る。ｂ点からは予め定められた速度に従って等速下降す
る。
キャピラリ３４がＩＣチップ２１の電極２２に当接する
（０点）と速度検出器又は位置検出器からの信号の変化
により当接したことを検知し、電流制御部に対して予め
定められた電流指令を送る。
すると、モータ２７の各巻線４ｕ、４ｖ、４ｖに電流指
令に従った電流が流れ、それに応じたトルクが軸２８に
生じ、キャピラリ３４はＩＣチップ２１の電極２２を加
圧する。キャピラリ３４に超音波振動を加えることによ
り、ＩＣチップ２１の電極２２上にボンディングワイヤ
が接合される。
所定のボンディング時間ｔｌが経過すると、キャピラリ
３４は予め定められたプロファイルに従って、ｄ４ｅ−
＊ｆ→ｇのように上昇、下降する。
この間にＸＹテーブル２４によってキャピラリ３４はリ
ードフレーム２３上に移動する。ｇ点からは予め定めら
れた速度に従って等速下降する。
キャピラリ３４がリードフレーム２３に当接する（ｈ点
）と、速度検出器又は位置検出器からの信号の変化によ
り当接したことを検知し、電流制御部に対して予め定め
られたｔＩｓ流指令を送る。すると、モータ２７の各巻
線４ｕ、４ｖ、４ｖに電流指令に従った電流が流れ、そ
れに応じたトルクが軸２８に生じ、キャピラリ３４はリ
ードフレーム２３を加圧する。所定の時間ｔ２が経過す
ると、キャピラリ３４は予め定められたプロファイルに
従って、ｉ　−１−ｊ　−＋　ｋ−＋　９のように上昇
する。なお、ここでｊ点に達した時、キャピラリ３４と
共に上下動するワイヤクランプ（図示せず）が閉じてワ
イヤを挟む。その後、ｋ−１とキャピラリ３４と共に上
昇することにより、リードフレーム２３にボンディング
された位置からワイヤを引きちぎる。
ｇ点に達した後は、キャピラリ３４から出ているワイヤ
Ｗの先端を電気トーチ３４で溶融し、ボールＢ状にする
。
以上のようにモータ２７に流れる電流を制御することに
よりボンディング作業を行なう。
このように構成されたワイヤボンディング装置において
は、上述したように、キャピラリ３４の先端をリードフ
レーム２３のボンディング部から微少距離だけ上方に上
昇させた状態で、Ｘ−Ｙテーブル２４を次のボンディン
グ部へ移動させ、その後、キャピラリ３４をボンディン
グ部へ下降させることにより、ＩＣチップ２１の電極２
２とリードフレーム２３とを金属細線で接続している。
したがって、キャピラリ３４の移動距離は微少距離であ
るので、ツールアーム３２が取付けられた回転軸２８の
実際の移動角度範囲は微少角度範囲のみとなる。したが
って、このモータ２７を駆動するモータ駆動回路として
第１図に示すモータ駆動回路１１を採用することによっ
て、同等ボンディング性能を低下することなく、ワイヤ
ボンディング装置全体を小型軽量に構成でき、かつ製造
費を大幅に低減できる。
なお、第４図および第５図に示したワイヤボンディング
装置においては、組込まれたモータ２７の各巻１ｉ１４
ｕ　、４ｖ　、４ｗはＹ結線されているが、例えば第３
図に示すようにΔ結線されたモータ２７が組込まれたワ
イヤボンディング装置であってもよい。この場合にはモ
ータ駆動回路として第３図に示す駆動回路を使用する。
その他の構成は上述したワイヤボンディング装置と同一
である。
しかして、第３図に示すモータ駆動回路によつτ、Δ結
線されたモータ２７を微少回転制御可能であるので、前
述した実施例のワイヤボンディング装置と同様の効果を
得ることができる。
なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではな
い。実施例においては、第２図に示すように、２極構成
のモータを用いたが、例えば４極。
８極、１２極等の多極構成のモータであっても、トルク
変動が許容範囲内の移動角度であれば本発明を十分適用
できる。
また、実施例においては、位置速度変換部１６を用いて
、回転位置検出器１３の回転位置信号を速度信号に変換
するようにしたが、タコジェネレ−夕等の別途回転速度
を専用に検出する速度検出器を設ければ、位置速度変換
部１６を除去することが可能である。
［発明の効果］ 以上説明したように本発明のモータ駆動回路によれば、
Ｙ結線方式のモータに対１しては２本のリード線を短絡
し、また、Δ結線方式のモータに対しては１本のリード
線を開放して、モータから出力されるリード線を２本と
して、その２本のリード線間に直流の励磁電流を流して
いる。したがって、本発明のモータ駆動回路を従来のＤ
Ｃサーボモータ用の駆動回路とほぼ同様な回路構成にで
きる。その結果、ブラシレスの長所を保持したままで回
路構成を簡素化できるとともに製造費を大幅に低減でき
る。
また、このようなモータおよびモータ駆動回路を用いる
ことによって、高いボンディング性能を有したままで、
小型で低価格のワイヤボンディング装置が提供できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例に係わるモータ駆動回路を示
すブロック図、第２図は同実施例回路の動作原理を説明
するための図、第３図は本発明の他の実施例に係わるモ
ータ駆動回路の要部を取出して示す回路図、第４図（ａ
）は本発明のさらに別の実施例に係わるワイヤボンディ
ング装置を示す外観図、同図（ｂ）は同実施例の要部を
取出して示す斜視図、第５図は第４図（ｂ）に示す要部
の断面図、第６図はワイヤボンディング装置の動作を説
明するための図、第７図は一般的なモータを示す断面模
式図、第８図は一般的なモータの巻線の結線図である。 １．２９・・・永久磁石、４ｕ、４ｖ、４ν、７ｕ。 ７ｖ、７ｖ−・・巻線、５・・・短絡線、６ａ、６ｂ。 ８ａ、８ｂ・・・・・・リード線、１１・・・モータ駆
動回路、１２．１８．２７・・・モータ、１３・・・回
転位置検出器、１４・・・位置制御部、１５・・・速度
制御部、１７・・・電流制御部、２８・・・回転軸、３
２・・・ツールアーム、３４・・・キャピラリ。 第 図 第 図 （ａ） （ｂ） 第 図

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）界磁磁束を発生させる永久磁石を回転軸に取付け
    てなる回転子と、鉄心に３相巻線を施し各巻線をＹ結線
    してなる固定側の電機子とで構成されたモータを駆動す
    るモータ駆動回路において、前記Ｙ結線された巻線の３
    本のリード線のうち任意の２本のリード線を短絡する短
    絡回路と、前記モータの回転位置を検出する回転位置検
    出器と、前記短絡回路にて短絡されたリード線と他の１
    本のリード線との間に励磁電流を流す制御部とを備えた
    モータ駆動回路。
  2. （２）界磁磁束を発生させる永久磁石を回転軸に取付け
    てなる回転子と、鉄心に３相巻線を施し各巻線をΔ結線
    してなる固定側の電機子とで構成されたモータを駆動す
    るモータ駆動回路において、前記モータの回転位置を検
    出する回転位置検出器と、前記Δ結線された巻線の３本
    のリード線のうち任意の１本のリード線を開放して、残
    り２本のリード線の間に励磁電流を流す制御部とを備え
    たモータ駆動回路。
  3. （３）一端にキャピラリを有するツールアームと、この
    ツールアームが回転軸に直交するように前記ツールアー
    ムの他端が前記回転軸に取付けられ、この回転軸を回転
    させることによって前記ツールアームを微少角度範囲内
    で回動させるモータと、このモータを駆動するモータ駆
    動回路とを備えたワイヤボンディング装置において、 前記モータは、界磁磁束を発生させる永久磁石を回転軸
    に取付けてなる回転子と、鉄心に３相巻線を施し各巻線
    をＹ結線してなる固定側の電機子とで構成され、 前記モータ駆動回路は、前記Ｙ結線された巻線の３本の
    リード線のうち任意の２本のリード線を短絡する短絡回
    路と、前記モータの回転位置を検出する回転位置検出器
    と、前記短絡回路にて短絡されたリード線と他の１本の
    リード線との間に励磁電流を流す制御部とを備えたワイ
    ヤボンディング装置。
  4. （４）一端にキャピラリを有するツールアームと、この
    ツールアームが回転軸に直交するように前記ツールアー
    ムの他端が前記回転軸に取付けられ、この回転軸を回転
    させることによって前記ツールアームを微少角度範囲内
    で回動させるモータと、このモータを駆動するモータ駆
    動回路とを備えたワイヤボンディング装置において、 前記モータは、界磁磁束を発生させる永久磁石を回転軸
    に取付けてなる回転子と、鉄心に３相巻線を施し各巻線
    をΔ結線してなる固定側の電機子とで構成され、 前記モータ駆動回路は、前記モータの回転位置を検出す
    る回転位置検出器と、前記Δ結線された巻線の３本のリ
    ード線のうち任意の１本のリード線を開放して、残り２
    本のリード線の間に励磁電流を流す制御部とを備えたワ
    イヤボンディング装置。
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