JPH02252577A - 情報記録媒体 - Google Patents
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- JPH02252577A JPH02252577A JP1073896A JP7389689A JPH02252577A JP H02252577 A JPH02252577 A JP H02252577A JP 1073896 A JP1073896 A JP 1073896A JP 7389689 A JP7389689 A JP 7389689A JP H02252577 A JPH02252577 A JP H02252577A
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Landscapes
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は情報記録媒体、特に相変化型情報記録媒体であ
って、光ビームを照射することにより記録層材料に相変
化を生じさせ、情報の記録、+1牛を行い、かつ書き換
えができる情報記録媒体に関するものであり、光メモリ
ー関連機器に応用される。
って、光ビームを照射することにより記録層材料に相変
化を生じさせ、情報の記録、+1牛を行い、かつ書き換
えができる情報記録媒体に関するものであり、光メモリ
ー関連機器に応用される。
[従来の技術]
電磁波特にレーザービームの照射により情報の記録、再
生および消去可能な先メモリー媒体の一つとして、結晶
−非晶質相聞或いは結晶−結晶相聞の転移を利用する、
いイ〕ゆる相変化型記り、A媒体が良く知られている。
生および消去可能な先メモリー媒体の一つとして、結晶
−非晶質相聞或いは結晶−結晶相聞の転移を利用する、
いイ〕ゆる相変化型記り、A媒体が良く知られている。
特に光磁気メモリーでは困難な単一ビームによるオーバ
ーライドがi+J能であり、ドライブ側の光学系も?ド
純であるために最近その研究開発が715発になってい
る。
ーライドがi+J能であり、ドライブ側の光学系も?ド
純であるために最近その研究開発が715発になってい
る。
その代表的な祠料例として、USP 3,530.44
1に開示されているようにGe−Te 、%Ge−Te
−8 s Ge5e−8、Ge−3e−8b、 Gc
−八5−8e、 In−Te、 5e−Te 、
Se−^S等いイっゆるカルコゲン系合金材料が挙げら
れる。又、安定性、高速精品化′″、9の向上を[1的
にGe−Tc系に^U(特開昭[il−219692)
、Sn及び八〇(特開昭G1−270IQO) 、P
d (特開昭6219490)等を添加した材料の提案
や、記録/消去の繰返し性能向上を目的にGe−Te−
8e−9bの組成比を特定した材料(特開昭62−73
438)の提案等もなされている。
1に開示されているようにGe−Te 、%Ge−Te
−8 s Ge5e−8、Ge−3e−8b、 Gc
−八5−8e、 In−Te、 5e−Te 、
Se−^S等いイっゆるカルコゲン系合金材料が挙げら
れる。又、安定性、高速精品化′″、9の向上を[1的
にGe−Tc系に^U(特開昭[il−219692)
、Sn及び八〇(特開昭G1−270IQO) 、P
d (特開昭6219490)等を添加した材料の提案
や、記録/消去の繰返し性能向上を目的にGe−Te−
8e−9bの組成比を特定した材料(特開昭62−73
438)の提案等もなされている。
しかし、そのいずれもが相変化型書換え可能光メモリー
媒体として要求される諸特性のすべてを満足し得るもの
とはいえない。特に記録感度、消去感度の向上、オーバ
ーライド時の消し残りによる消去比低下の防止、並びに
記録部、未記録部の長寿命化が解決すべき最重要課題と
なっている。
媒体として要求される諸特性のすべてを満足し得るもの
とはいえない。特に記録感度、消去感度の向上、オーバ
ーライド時の消し残りによる消去比低下の防止、並びに
記録部、未記録部の長寿命化が解決すべき最重要課題と
なっている。
[発明が解決しようとする課題]
本発明は上記課題を解決1−1下記の課題を解決しよう
とするものである。
とするものである。
■)消去速度(結晶化速度)の向上、
2)記録部(非晶質部)の長寿命化、
3)信頼性(耐酸化性、耐食性)の向上、4)記録膜の
物理的強度の向上、 [課題を解決するための手段] 一般に相変化型の光情報記録媒体の消去速度と記録部の
寿命は、非晶質の転移の際の活性化エネルギーEaと頻
度因子νとで特徴づけることができる。
物理的強度の向上、 [課題を解決するための手段] 一般に相変化型の光情報記録媒体の消去速度と記録部の
寿命は、非晶質の転移の際の活性化エネルギーEaと頻
度因子νとで特徴づけることができる。
このEaとνは結晶化の反応速度定数にとアレニウスの
式で表わされる関係がある。すなわち、 ただしkB ;ボルツマン定数 T ;絶対温度 である。
式で表わされる関係がある。すなわち、 ただしkB ;ボルツマン定数 T ;絶対温度 である。
非晶質部を記録部、品質部を未記録部と17で用いる場
合、結晶化転移点Tcより高温でkを大きくすることが
消去速度の向上につながり、室温で小さくすることが記
録部の寿命を延ばすことにつながる。kに対するEaと
νは以下の様に求められる。
合、結晶化転移点Tcより高温でkを大きくすることが
消去速度の向上につながり、室温で小さくすることが記
録部の寿命を延ばすことにつながる。kに対するEaと
νは以下の様に求められる。
すなわち、高温においてはνが、低温においてはEaと
νがkに対し大きく寄りする。従って、消去速度の向上
と記録部の長寿命化という目的を達成するためにはν、
Eaともに大きい値となる様な記録材が求められる。
νがkに対し大きく寄りする。従って、消去速度の向上
と記録部の長寿命化という目的を達成するためにはν、
Eaともに大きい値となる様な記録材が求められる。
本発明では記録材に酸素を混入させることで上記1−1
的を達成する、すぐれた光情報記録媒体を得た。
的を達成する、すぐれた光情報記録媒体を得た。
又、耐食性、耐酸化性、物理的強度の面にも向上が見ら
れた。
れた。
すなわち、本発明の構成は、基板上に設けられた記録層
中に、主成分として、下記一般式で表わされる物質を含
有することを特徴とする情報記録媒体である。
中に、主成分として、下記一般式で表わされる物質を含
有することを特徴とする情報記録媒体である。
一般式、
(G e o S b p T e Q ) + −x
Oxただし、 0.05≦ O≦0.30 0、lO≦p≦0,40 0.40≦q≦0.60 o十p+q譲1 0.05≦ X ≦0.20 」二足各成分のうちGeの量0が0.05未満であると
熱的に不安定で寿命の信頼性が低下し、これが0.30
を越えると記録感度が低下する。
Oxただし、 0.05≦ O≦0.30 0、lO≦p≦0,40 0.40≦q≦0.60 o十p+q譲1 0.05≦ X ≦0.20 」二足各成分のうちGeの量0が0.05未満であると
熱的に不安定で寿命の信頼性が低下し、これが0.30
を越えると記録感度が低下する。
sbの;pが0.10未満であると消去速度が遅くなり
、これが0.40を越えると記録感度が低下する。
、これが0.40を越えると記録感度が低下する。
Teのff1qが0.40未満であると記録感度に支障
をきたし、これが0.60を越えると保存安定性および
耐酸化性が劣化する。
をきたし、これが0.60を越えると保存安定性および
耐酸化性が劣化する。
酸素の含有Qxが0.05未満であると消去速度、熱的
安定性に向上が見られず、これが0.20を越えると記
録部と未記録部のコントラストが悪くなる。
安定性に向上が見られず、これが0.20を越えると記
録部と未記録部のコントラストが悪くなる。
不発、明で用いられる基板は通常ガラス、セラミックス
あるいは樹脂であり、樹脂基板が成型性、コスト等の点
で好適である。樹脂の代表例としてはポリカーボネート
樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリスチレン樹脂
、アクリロニトリル−スチレン共重合体樹脂、ポリスチ
レン樹脂、ポリプロピレン樹脂、シリコン系樹脂、フッ
素系樹脂、ABS樹脂、ウレタン樹脂等が挙げられるが
、加工性、光学特性等の点でポリカーボネート樹脂、ア
クリル系樹脂が好ましい。
あるいは樹脂であり、樹脂基板が成型性、コスト等の点
で好適である。樹脂の代表例としてはポリカーボネート
樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリスチレン樹脂
、アクリロニトリル−スチレン共重合体樹脂、ポリスチ
レン樹脂、ポリプロピレン樹脂、シリコン系樹脂、フッ
素系樹脂、ABS樹脂、ウレタン樹脂等が挙げられるが
、加工性、光学特性等の点でポリカーボネート樹脂、ア
クリル系樹脂が好ましい。
また、基板の形状としてはディスク状、カード状あるい
はシート状であっても良い。
はシート状であっても良い。
耐熱性保護層の材料としては、Sin。
5i02、ZnO,SnO2、Al2O3、TiO2、
I n 203、MgO,Z ro2等の金属酸化物、
S L 3 N 4 、A I N 、、T i N
1BN、ZrN等の窒化物、SiC,TaC。
I n 203、MgO,Z ro2等の金属酸化物、
S L 3 N 4 、A I N 、、T i N
1BN、ZrN等の窒化物、SiC,TaC。
B4 C5WCST 1cSZ rC等の炭化物やダイ
ヤモンド状カーボン或いはそれらの混合物が挙げられる
。また、必要に応じて不純物を含んでいてもよい。この
ような耐熱性保護層は各種気相成膜法、例えば、真空蒸
着法、スパッタ法、プラズマCVD法、光CVD法、イ
オンブレ−ティング法、電子ビーム蒸着法等によって形
成できる。
ヤモンド状カーボン或いはそれらの混合物が挙げられる
。また、必要に応じて不純物を含んでいてもよい。この
ような耐熱性保護層は各種気相成膜法、例えば、真空蒸
着法、スパッタ法、プラズマCVD法、光CVD法、イ
オンブレ−ティング法、電子ビーム蒸着法等によって形
成できる。
耐熱性保護層の膜厚としては200〜5000 A、好
適には500〜3000人とするのが良い。200人よ
り薄くなると耐熱性保護層としての機能を果たさなくな
り、逆に5000人より厚くなると、感度低下を来たし
たり、界面剥離を生じ易くなる。
適には500〜3000人とするのが良い。200人よ
り薄くなると耐熱性保護層としての機能を果たさなくな
り、逆に5000人より厚くなると、感度低下を来たし
たり、界面剥離を生じ易くなる。
また、必要に応じて保護層を多層化することもできる。
記録層の成膜法と1.では真空蒸着法、電子ビーム蒸着
法、スパッタ法、CVD法、イオンブレーティング法等
の各種気相成膜法が利用できる。
法、スパッタ法、CVD法、イオンブレーティング法等
の各種気相成膜法が利用できる。
又、上記相変化材料単層のみならず、多層膜あるいは超
微粒子状の相変化物質を耐熱性マトリックス中に分散せ
しめたようなものであっても良い。
微粒子状の相変化物質を耐熱性マトリックス中に分散せ
しめたようなものであっても良い。
後者のような記録膜の作製法としては、前記気相成膜性
以外にゾル−ゲル法のような湿式プロセスも適用可能で
ある。
以外にゾル−ゲル法のような湿式プロセスも適用可能で
ある。
前記記録層の膜厚としては200〜io、ooox、好
適には500〜3000人、最適には700〜2000
人である。
適には500〜3000人、最適には700〜2000
人である。
以下、実施例によって本発明を具体的に説明する。
[実施例〕
Ge2SbzTesをアルゴンと酸素の混合ガスでガラ
ス基板上にスバゾタ法により成膜した。この様にして得
られた膜をオージェ電子分光で組成分析し、さらに示差
走査熱量計(DSC)により結晶化温度Tc、結晶化活
性化エネルギーEa、及び頻度因子νをΔp1定した。
ス基板上にスバゾタ法により成膜した。この様にして得
られた膜をオージェ電子分光で組成分析し、さらに示差
走査熱量計(DSC)により結晶化温度Tc、結晶化活
性化エネルギーEa、及び頻度因子νをΔp1定した。
又、分光光度=1により波長830nm時の反射率をハ
1定した。
1定した。
これらの測定結果を以下に示す。第1図は膜中の酸素の
含有ff1(at、%)と結晶化転移点Tcとの関係を
示すグラフである。酸素の含有量が増加するにつれTc
は上昇することがわかる。
含有ff1(at、%)と結晶化転移点Tcとの関係を
示すグラフである。酸素の含有量が増加するにつれTc
は上昇することがわかる。
第2図は酸素の含有量とEa、νとの関係を示すグラフ
である。酸素の含有量が増すとEa、νともに値が大き
くなっている。
である。酸素の含有量が増すとEa、νともに値が大き
くなっている。
以上のように1、酸素の含有口が5%以」二で、T c
s E a、νに顕著な改善が見られる。
s E a、νに顕著な改善が見られる。
第3図は酸素の含自゛量と品質、非晶質の反射率の差と
の関係を示すグラフである。酸素の含有量が20%を越
えると反射率の差が小さくなり、書き込みのコントラス
トが悪化する傾向が見られる。
の関係を示すグラフである。酸素の含有量が20%を越
えると反射率の差が小さくなり、書き込みのコントラス
トが悪化する傾向が見られる。
[発明の効果]
以上の様に、本発明の光情報記録媒体により次の様な改
善点が見られた。
善点が見られた。
l)頻度因子の増大に伴う消去速度の向上、2)/lI
I性化エ重化エネルギーに伴う記録部の寿命の向上、 3)耐酸化性、耐食性の向上、 4〉物理的強度の向上。
I性化エ重化エネルギーに伴う記録部の寿命の向上、 3)耐酸化性、耐食性の向上、 4〉物理的強度の向上。
第1図〜第3図は、記録層を構成する物質の酸素の含N
uとその性質の関係を示すグラフである。
uとその性質の関係を示すグラフである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 基板上に設けられた記録層中に、主成分として、下記一
般式で表わされる物質を含有することを特徴とする情報
記録媒体。 一般式、 (Ge_oSb_pTe_q)_1_−_xO_x ただし、 0.05≦0≦0.30 0.10≦p≦0.40 0.40≦q≦0.60 o+p+q=1 0.05≦x≦0.20
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1073896A JPH02252577A (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | 情報記録媒体 |
US07/485,991 US5100700A (en) | 1989-03-10 | 1990-02-27 | Information recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1073896A JPH02252577A (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | 情報記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02252577A true JPH02252577A (ja) | 1990-10-11 |
Family
ID=13531426
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1073896A Pending JPH02252577A (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-28 | 情報記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02252577A (ja) |
Cited By (2)
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