JPH03240590A - 情報記録媒体 - Google Patents
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- JPH03240590A JPH03240590A JP2037466A JP3746690A JPH03240590A JP H03240590 A JPH03240590 A JP H03240590A JP 2037466 A JP2037466 A JP 2037466A JP 3746690 A JP3746690 A JP 3746690A JP H03240590 A JPH03240590 A JP H03240590A
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Landscapes
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は情報記録媒体、特に相変化型情報記録媒体であ
って、光ビームを照射することにより記録層材料に相変
化を生じさせ、情報の記録、再生を行い、且つ書き換え
が可能である情報記録媒体に関するものであり、光メモ
リー関連機器に応用される。
って、光ビームを照射することにより記録層材料に相変
化を生じさせ、情報の記録、再生を行い、且つ書き換え
が可能である情報記録媒体に関するものであり、光メモ
リー関連機器に応用される。
[従来の技術]
電磁波特にレーザービームの照射による情報の記録・再
生及び消去可能な光メモリー媒体の一つとして、結晶−
非晶質相間或いは結晶−結晶相聞の転移を利用する、い
わゆる相変化型記録媒体が良く知られている。特に光磁
気メモリーでは困難な単一ビームによるオーバーライド
が可能であり、ドライブ側の光学系もより単純であるこ
となどから最近その研究開発が活発になっている。その
代表的な材料例として、USP3.530,441に開
示されているようにGe−Te。
生及び消去可能な光メモリー媒体の一つとして、結晶−
非晶質相間或いは結晶−結晶相聞の転移を利用する、い
わゆる相変化型記録媒体が良く知られている。特に光磁
気メモリーでは困難な単一ビームによるオーバーライド
が可能であり、ドライブ側の光学系もより単純であるこ
となどから最近その研究開発が活発になっている。その
代表的な材料例として、USP3.530,441に開
示されているようにGe−Te。
Ge−Te−8b−3,Ge −Te −S、
GeSe −S、 Ge−3e −Sb、 G
e−AsSe、In−Te、5e−Te、5e−As等
所謂カルコゲン系合金利羽村挙げられる。又、安定性、
高速結晶化等の向上を目的にGeTe系にAu(特開昭
G1.−219692) S n及びAu(特開昭6
l−270190) 、P d (特開昭621949
0)等を添加した材料の提案や、記録/消去の繰返し性
能向上を目的に、Ge−Te−8e−sbの組成比を特
定した材料(特開昭B273C18)の提案等もなされ
ている。しかしながら、そのいずれもが相変化型書換え
可能光メモリー媒体として要求される緒特性のすべてを
満足し得るものとはいえない。
GeSe −S、 Ge−3e −Sb、 G
e−AsSe、In−Te、5e−Te、5e−As等
所謂カルコゲン系合金利羽村挙げられる。又、安定性、
高速結晶化等の向上を目的にGeTe系にAu(特開昭
G1.−219692) S n及びAu(特開昭6
l−270190) 、P d (特開昭621949
0)等を添加した材料の提案や、記録/消去の繰返し性
能向上を目的に、Ge−Te−8e−sbの組成比を特
定した材料(特開昭B273C18)の提案等もなされ
ている。しかしながら、そのいずれもが相変化型書換え
可能光メモリー媒体として要求される緒特性のすべてを
満足し得るものとはいえない。
又、特開昭83−251290では結晶状態が実質的に
3元以上の多元化合物単相からなる記録層を具備した光
記録媒体が提案されている。ここで実質的に三元以上の
多元化合物単相とは三元以上の化学量論組成をもった化
合物(例えば1n3SbTez )を記録層中に90原
子%以上含むものとされている。
3元以上の多元化合物単相からなる記録層を具備した光
記録媒体が提案されている。ここで実質的に三元以上の
多元化合物単相とは三元以上の化学量論組成をもった化
合物(例えば1n3SbTez )を記録層中に90原
子%以上含むものとされている。
このような記録層を用いることにより、高速記録、高速
消去が可能となるとしている。
消去が可能となるとしている。
しかしなから、記録、消去に要するレーザーパワーは未
た充分ではない。/181上比も低い(消し残りが大き
い)等の欠点をイ1゛シている。
た充分ではない。/181上比も低い(消し残りが大き
い)等の欠点をイ1゛シている。
更に特開平1−277338ニオイテ+;i (5bx
Te+−x ) +−y MY (ここで 0.4≦
a < 0.7、y≦0.2 、MはAgXA l、A
s、Au、B i。
Te+−x ) +−y MY (ここで 0.4≦
a < 0.7、y≦0.2 、MはAgXA l、A
s、Au、B i。
Cu、Ga、Ge、In、Pb、Pt5Se。
Sl、Sn及びZnからなる群から選ばれる少なくとも
1種以上)で表される組成の合金からなる記録層を有す
る光記録媒体が提案されている。
1種以上)で表される組成の合金からなる記録層を有す
る光記録媒体が提案されている。
この系の基本はSb2Te3であり、sb過剰にするこ
とにより、高速消去、繰返し特性を向」ニさせ、Mの添
加により高速消去を促進させている。又、DC光による
消去率も大きいとしている。
とにより、高速消去、繰返し特性を向」ニさせ、Mの添
加により高速消去を促進させている。又、DC光による
消去率も大きいとしている。
しかしながらオーバーライド時の消去率は示されておら
ず(本発明者の検討結果では消し残りを生じた)、記録
感度も不充分である。
ず(本発明者の検討結果では消し残りを生じた)、記録
感度も不充分である。
同様に特開昭80−177446では記録層に(ln+
−x Sbx ) +−y My (0,55≦X≦
0,80.0≦Y≦0.20)なる合金を、又、特開昭
63228433では記録層にGeTe−8b2Te3
− Sb (過剰)なる合金を各々用いているが、感度
、消失比等、の特性を満足するものではない。
−x Sbx ) +−y My (0,55≦X≦
0,80.0≦Y≦0.20)なる合金を、又、特開昭
63228433では記録層にGeTe−8b2Te3
− Sb (過剰)なる合金を各々用いているが、感度
、消失比等、の特性を満足するものではない。
特に記録感度、消去感度の向上、オーバーライド時の消
し残りによる消去比低下の防止、並びに記録部、未記録
部の長寿命化が解決すべき最重要課題となっている。
し残りによる消去比低下の防止、並びに記録部、未記録
部の長寿命化が解決すべき最重要課題となっている。
中でもレーザー照射時間がl00nse’c以下という
条件下で媒体面でのレーザー書込みパワーについては、
現在までの報告例のいずれもが、1.5mW程度以上の
パワーを必要としており、転送速度向」二のため大きな
障壁となっている。又、記録・消去のくり返し時に発生
する熱により、記録層、耐熱保護層等が損傷を受け、特
性劣化をきたすため、くり返し性能向上に対しても大き
な障害となっている。
条件下で媒体面でのレーザー書込みパワーについては、
現在までの報告例のいずれもが、1.5mW程度以上の
パワーを必要としており、転送速度向」二のため大きな
障壁となっている。又、記録・消去のくり返し時に発生
する熱により、記録層、耐熱保護層等が損傷を受け、特
性劣化をきたすため、くり返し性能向上に対しても大き
な障害となっている。
[発明が解決しようとする課題]
本発明は、上記従来技術に比較して下記の点を改良した
情報記録媒体を堤供しようとするものである。
情報記録媒体を堤供しようとするものである。
(L)レーザー書込み(記録)感度の向」二、(2)消
去感度の向上、 (3)記録−消去のくり返し性能向」二、(4)消去比
の向上 [課題を解決するための手段] 上記課題を解決するためには、記録層材料として、下記
一般式で表わされる物質を主成分とすることにより、極
めて大きな改善が可能であることを見出した。
去感度の向上、 (3)記録−消去のくり返し性能向」二、(4)消去比
の向上 [課題を解決するための手段] 上記課題を解決するためには、記録層材料として、下記
一般式で表わされる物質を主成分とすることにより、極
めて大きな改善が可能であることを見出した。
すなわち本発明の構成は、
(1)基板上に設けられた記録層の主成分が下記一般式
で表され、かつ記録層中の存在状態がXYZ2相とM相
との混和であることを特徴とする情報記録媒体。
で表され、かつ記録層中の存在状態がXYZ2相とM相
との混和であることを特徴とする情報記録媒体。
一般式
(AglnTe2 ) l−e MaXYZ2は周
期律表のIb −■b−V[B2あるいはUb−JVb
−VB2で表されるカルコバイライト型化合物、 MはXYZ2がIb−mb−VIb2のときにsb及び
/又はBiであり、XYZ2がIIb−IVb−VB2
のときにはS、Se。
期律表のIb −■b−V[B2あるいはUb−JVb
−VB2で表されるカルコバイライト型化合物、 MはXYZ2がIb−mb−VIb2のときにsb及び
/又はBiであり、XYZ2がIIb−IVb−VB2
のときにはS、Se。
Teの中から選ばれる1種以上の元素。
0.30≦a≦0,92
である。
(2)XYZ2がAg1nTe2であり、MがSe又は
B1であることを特徴とする上記(」)項記載の情報記
録媒体。
B1であることを特徴とする上記(」)項記載の情報記
録媒体。
aが0.3未満或いは0.92を超えると感度、消去比
、コント・ラストの向上に効果がなくなる。
、コント・ラストの向上に効果がなくなる。
又、記録層中には他の不純物等を微量(1−%以下)含
んでいてもよい。
んでいてもよい。
XYZ2の具体例としては、
I b−IIIb−VIb 2 ; Ag1nTe2、
Ag1nSc2、A4GaSe2、Ag1nS 2 、
Cu1nTe2、Cu1nSe2II b−IVb−
V b 2 ; Zn5nSb2 、Zn5nA
s2 、Zn5nP 2 、 ZnGeAs2 、
Cd5nP 2 、CdSnAs2等が挙げられる
。
Ag1nSc2、A4GaSe2、Ag1nS 2 、
Cu1nTe2、Cu1nSe2II b−IVb−
V b 2 ; Zn5nSb2 、Zn5nA
s2 、Zn5nP 2 、 ZnGeAs2 、
Cd5nP 2 、CdSnAs2等が挙げられる
。
XYZ2は化学量論組成が望ましいが、各々若干の組成
ずれがあっても構わない。
ずれがあっても構わない。
具体的には、
X、、Y、Z、とした場合
0.2≦0≦0,3
0.2≦p≦0.3
0.4≦q≦0.6
0+T)+q=1..0
[作 用コ
本発明の記録層にレーザービームを照射すると、照射条
件により、以下の様な相転移を生じるものと考えられる
。
件により、以下の様な相転移を生じるものと考えられる
。
わかり易(するためにXYZ2として
Ag1nTe2をとり、Mとしてsbを例にとり説明す
る。
る。
(↓) Ag1nTe2Chalcopyrite型構
造とZincblende型構造間の結晶相転移(Mは
転移を容易かつ安定化させる。) (2) Ag1nTe2のChalcopyrite型
構造及び/又はZincblende型構造の微結晶=
組人結晶間転移(Mは転移を容易かつ安定化させる) (3) Ag1nTe2の非晶質及び/又はChalc
opyrite型構造及び/又はZjncblende
型構造中でのMの結晶−結晶間及び/又は結晶〜非晶間
、及び/又は微結晶−粗大結晶量転移。
造とZincblende型構造間の結晶相転移(Mは
転移を容易かつ安定化させる。) (2) Ag1nTe2のChalcopyrite型
構造及び/又はZincblende型構造の微結晶=
組人結晶間転移(Mは転移を容易かつ安定化させる) (3) Ag1nTe2の非晶質及び/又はChalc
opyrite型構造及び/又はZjncblende
型構造中でのMの結晶−結晶間及び/又は結晶〜非晶間
、及び/又は微結晶−粗大結晶量転移。
(4) (1,)、(2) 、(3)の複合化された
転移。
転移。
現在得られている情報だけでは相転移の機構を明確に特
定することはできないが、いずれにせよAg1nTe2
及びsbが単独で存在する場合に比べ以下の点が特に優
れていることが判明した。
定することはできないが、いずれにせよAg1nTe2
及びsbが単独で存在する場合に比べ以下の点が特に優
れていることが判明した。
(1)光吸収率か大きくなり、記録・消去感度が向上す
る。
る。
(2)転移前後の光学的コンラストか大きくなりC/N
が向上する。
が向上する。
(3)オーバーライド時の消去比が飛躍的に向上する。
特に消去特性については、驚くべきことに、DC光によ
る単純消去時のみならず、1ビームのオーバーライドモ
ードにおいてもほぼ完全な消去が可能であった。
る単純消去時のみならず、1ビームのオーバーライドモ
ードにおいてもほぼ完全な消去が可能であった。
これは現在までに公知となっているいかなる材料にも全
(見られない性能である。
(見られない性能である。
本発明の前記情報記録媒体は、必要に応じて耐熱保護層
、表面保護層、反射層、放熱層、接着層等の補助層を設
け−Cもよい。本発明で用いられる基板は通常、ガラス
、セラミックスあるいは樹脂であり、樹脂基板が成型性
、コスト等の点で好適である。樹脂の代表例としてはポ
リカーボネート樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポ
リスチレン樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合体
樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、シリコ
ン系樹脂、フッ素系樹脂、ABS樹脂、ウレタン樹脂等
が挙げられるが、加工性、光学特性等の点でポリエチレ
ン樹脂、アクリル系樹脂が好ましい。又、基板の形状と
してはディスク状、カード状あるいはシート状であって
も良い。
、表面保護層、反射層、放熱層、接着層等の補助層を設
け−Cもよい。本発明で用いられる基板は通常、ガラス
、セラミックスあるいは樹脂であり、樹脂基板が成型性
、コスト等の点で好適である。樹脂の代表例としてはポ
リカーボネート樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポ
リスチレン樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合体
樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、シリコ
ン系樹脂、フッ素系樹脂、ABS樹脂、ウレタン樹脂等
が挙げられるが、加工性、光学特性等の点でポリエチレ
ン樹脂、アクリル系樹脂が好ましい。又、基板の形状と
してはディスク状、カード状あるいはシート状であって
も良い。
0
耐熱性保護層の材料としては、S i O。
S I O2、Z n OSS n O2、A I 2
03、TiO2、In2O3、MgO,ZrO2等の金
属酸化物、S l 3 N 4 、A I N ST
z N −。
03、TiO2、In2O3、MgO,ZrO2等の金
属酸化物、S l 3 N 4 、A I N ST
z N −。
BN、ZrN等の窒化物、Zn5X In25a、Ta
54等の硫化物、S i C,TaC,B4 C。
54等の硫化物、S i C,TaC,B4 C。
WC,TiC,ZrC等の炭化物やダイヤモンド状カー
ボン或いはそれらの混合物が挙げられる。又、必要に応
じて不純物を含んでいてもよい。このような耐熱性保護
層は各種気相成膜法、例えば、真空蒸着法、スパッタ法
、プラズマCVD法、光CVD法、イオンブレーティン
グ法、電子ビーム蒸着法等によって形成できる。
ボン或いはそれらの混合物が挙げられる。又、必要に応
じて不純物を含んでいてもよい。このような耐熱性保護
層は各種気相成膜法、例えば、真空蒸着法、スパッタ法
、プラズマCVD法、光CVD法、イオンブレーティン
グ法、電子ビーム蒸着法等によって形成できる。
耐熱性保護層の膜厚としては200〜5000A。
好適には500〜3000λとするのが良い。200λ
より薄くなると耐熱性保護層としての機能を果たさなく
なり、逆に5000λより厚くなると、感度低下を来た
したり、界面剥離を生じ易くなる。
より薄くなると耐熱性保護層としての機能を果たさなく
なり、逆に5000λより厚くなると、感度低下を来た
したり、界面剥離を生じ易くなる。
又、必要に応じて保護層を多層化することもできる。
1 ]
相変化材料は単層のみならず、多層膜あるいは超微粒子
状の請求項(1)記載の相変化物質を耐熱性マトリック
ス中に分散せしめたようなものであっても良い。
状の請求項(1)記載の相変化物質を耐熱性マトリック
ス中に分散せしめたようなものであっても良い。
後者のような記録膜の作製法としては、前記気相成膜以
外にゾル−ゲル法のような湿式プロセスも適用可能であ
る。
外にゾル−ゲル法のような湿式プロセスも適用可能であ
る。
気相成膜法の中では、膜の特性、成膜の容易さ等の点で
高周波(r f)スパッタ法か好適な方法である。
高周波(r f)スパッタ法か好適な方法である。
rfスパッタ法の代表的な記録層作製条件としては、
・ターゲット・xyz 2−1−M (例えばAg1n
Te2十Sb) ・スパッタ(反応)時圧力・・・0.5〜20Pa・r
f小パワー20W 〜ikW ・スパッタガス・・・Ar+(02:膜中酸素量制御時
)・スパッタ時間・・・10秒〜20分 等が挙げられるが、製法及び条件については何ら限定さ
れるものではない。
Te2十Sb) ・スパッタ(反応)時圧力・・・0.5〜20Pa・r
f小パワー20W 〜ikW ・スパッタガス・・・Ar+(02:膜中酸素量制御時
)・スパッタ時間・・・10秒〜20分 等が挙げられるが、製法及び条件については何ら限定さ
れるものではない。
2
記録層の膜厚としては200〜10,000λ、好適に
は500〜3000大、最適には700〜2000大で
ある。
は500〜3000大、最適には700〜2000大で
ある。
記録、再生及び消去に用いる電磁波としてはレーサー光
、電子線、X線、紫外線、可視光線、赤外線、マイクロ
波等、種々のものが採用可能であるが、ドライブに取付
ける際、小型でコンパクトな半導体レーザーのビームが
最適である。
、電子線、X線、紫外線、可視光線、赤外線、マイクロ
波等、種々のものが採用可能であるが、ドライブに取付
ける際、小型でコンパクトな半導体レーザーのビームが
最適である。
[実施例]
以下、実施例によって本発明を具体的に説明する。ただ
し、これらの実施例は本発明を何ら制限するものではな
い。
し、これらの実施例は本発明を何ら制限するものではな
い。
実施例1
ピッチ1.6μm深さ700λの溝付、厚さ 1.2m
1I1% 88mmφポリカーボネート基板上にrfス
パッタリング法により耐熱保護層、記録層、耐熱保護層
、反射層を順次積層し、評価用光ディスクを作製した。
1I1% 88mmφポリカーボネート基板上にrfス
パッタリング法により耐熱保護層、記録層、耐熱保護層
、反射層を順次積層し、評価用光ディスクを作製した。
各層に用いた材料と膜厚を下記表−1に示す。
光ディスクの評価は83 D n mの半導体レーザー
3 光をNAo、5のレンズを通して媒体面で1μmφのス
ポット径に絞りこみ基板側から照射することにより行っ
た。
3 光をNAo、5のレンズを通して媒体面で1μmφのス
ポット径に絞りこみ基板側から照射することにより行っ
た。
成膜後の記録膜は非晶質であったが、測定に際し、最初
に媒体面で4〜10m WのDC光でディスク全面を充
分に結晶化させ、それを初期(未記録)状態とした。
に媒体面で4〜10m WのDC光でディスク全面を充
分に結晶化させ、それを初期(未記録)状態とした。
ディスクの線速度は7m/sとした。
記録の書込み条件は、線速度7 m / S %周波数
3.7MHz一定とし、レーザーパワー(Pw)を7〜
14mWまで変化させた。
3.7MHz一定とし、レーザーパワー(Pw)を7〜
14mWまで変化させた。
読みとりパワー(PR)はlomWとした。
C/N (キャリア対ノイズ比)値か飽和もしくは最大
となった時のレーザーパワー(Pw )と最適消去パワ
ー(Pg ) 、並びに得られたC/N値及び消去比を
表−1に示す。
となった時のレーザーパワー(Pw )と最適消去パワ
ー(Pg ) 、並びに得られたC/N値及び消去比を
表−1に示す。
更にC/N値45dB以上で、かつ消去比35dB以上
となったディスクについては2つの書込み周波数(f
+ = 3.7MHzSf 2 = 4.5MHz)で
、交互にオーバーライドテストを実施した。
となったディスクについては2つの書込み周波数(f
+ = 3.7MHzSf 2 = 4.5MHz)で
、交互にオーバーライドテストを実施した。
]4
オーバーライド時の書込みノくワー(Pw )及び消去
パワー(P9)はディスクによって最適な値を選択した
。
パワー(P9)はディスクによって最適な値を選択した
。
線速度、PR等、他の条件は書込みテスト時と同様とし
た。
た。
オーバーライド性能の結果を下記表−2(こ汀くす。
表−1,2より本発明による相変化型光÷己録媒体が優
れた性能を有すること、特番こ記録感度の点で高感度化
が達成されていること力く確認される。
れた性能を有すること、特番こ記録感度の点で高感度化
が達成されていること力く確認される。
表−1層構成及び書込み性能(単純消去時)表−2オー
バーライド性能 実施例2 層構成を替えた外は実施例1と同じ条件で書き込み性能
を試験した。その結果を下記表−3に示す。
バーライド性能 実施例2 層構成を替えた外は実施例1と同じ条件で書き込み性能
を試験した。その結果を下記表−3に示す。
又、実施例1と同じ条件でオーバーライド性能を試験し
た。その結果を下記表−4に示す。
た。その結果を下記表−4に示す。
*AとGは比較例
5
b
表−4オーバーライド性能
表−6オーバーライド性能
実施例3
実施例2と同様に、実施例1の層構成を替えた外は実施
例1と同じ条件で書き込み性能を試験した。その結果を
下記表−5に示す。
例1と同じ条件で書き込み性能を試験した。その結果を
下記表−5に示す。
又、実施例1と同じ条件でオーバーライド性能を試験し
た。その結果を下記表−6に示す。
た。その結果を下記表−6に示す。
表−5層構成及び書込み性能(単純消去時)[発明の効
果] 以上説明したように、本発明の効果を要約すると下記の
とおりである。
果] 以上説明したように、本発明の効果を要約すると下記の
とおりである。
(1)記録・消去時に要求される加熱温度が低い。
又、本発明の材料は光吸収率が高いためレーザー光の吸
収時の記録層加熱昇温効率も高い。
収時の記録層加熱昇温効率も高い。
以上の理由により、必要レーザーパワーを低くすること
ができる。
ができる。
即ち記録・消去感度が大巾に向上する。
(2)必要レーザーパワーを低くできるため、市販の安
い、安定した半導体レーザーを使用できる。
い、安定した半導体レーザーを使用できる。
(3)レーザー照射部の温度を低く抑えることが*Aと
Gは比較例 7 8 可能なため、熱損傷による特性劣化を低減できる。
Gは比較例 7 8 可能なため、熱損傷による特性劣化を低減できる。
(4)オーバーライド時の消去比を飛躍的に高くできる
。
。
Claims (2)
- (1)基板上に設けられた記録層の主成分が下記一般式
で表され、かつ記録層中の存在状態がXYZ_2相とM
相との混相であることを特徴とする情報記録媒体。 一般式 (AgInTe_2)_1_−_aM_a XYZ_2は周期律表の I b−IIIb−VIb_2あるい
はIIb−IVb−Vb_2で表されるカルコパイライト型
化合物、 MはXYZ_2が I b−IIIb−VIb_2のときにSb
及び/又はBiであり、XYZ_2がIIb−IVb−Vb
_2のときにはS、Se、Teの中から選ばれる1種以
上の元素。0.30≦a≦0.92 - (2)XYZ_2がAgInTe_2であり、MがSb
又はBiであることを特徴とする請求項(1)記載の情
報記録媒体。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2037466A JP2908826B2 (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 | 情報記録媒体 |
US07/657,517 US5156693A (en) | 1990-02-19 | 1991-02-19 | Information recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2037466A JP2908826B2 (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 | 情報記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03240590A true JPH03240590A (ja) | 1991-10-25 |
JP2908826B2 JP2908826B2 (ja) | 1999-06-21 |
Family
ID=12498302
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2037466A Expired - Fee Related JP2908826B2 (ja) | 1990-02-19 | 1990-02-20 | 情報記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2908826B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5470628A (en) * | 1993-12-13 | 1995-11-28 | Tdk Corporation | Optical recording medium |
EP0717404A1 (en) | 1994-12-13 | 1996-06-19 | Ricoh Company, Ltd | Sputtering target, method of producing the target, optical recording medium fabricated by using the sputtering target, and method of fabricating the optical recording medium |
US5637371A (en) * | 1995-02-21 | 1997-06-10 | Tdk Corporation | Phase change optical recording medium and activation energy determining method |
US5637372A (en) * | 1995-03-31 | 1997-06-10 | Tdk Corporation | Phase change optical recording medium |
US5882493A (en) * | 1993-12-13 | 1999-03-16 | Ricoh Company, Ltd. | Heat treated and sintered sputtering target |
US6022605A (en) * | 1997-02-28 | 2000-02-08 | Kao Corporation | Optical recording medium and recording/erasing method therefor |
US6854126B2 (en) * | 2002-08-08 | 2005-02-08 | Hitachi, Ltd. | Information recording medium with SiO2-In2O3-SnO2-ZnS protective layer |
-
1990
- 1990-02-20 JP JP2037466A patent/JP2908826B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5470628A (en) * | 1993-12-13 | 1995-11-28 | Tdk Corporation | Optical recording medium |
US5882493A (en) * | 1993-12-13 | 1999-03-16 | Ricoh Company, Ltd. | Heat treated and sintered sputtering target |
EP0717404A1 (en) | 1994-12-13 | 1996-06-19 | Ricoh Company, Ltd | Sputtering target, method of producing the target, optical recording medium fabricated by using the sputtering target, and method of fabricating the optical recording medium |
US5637371A (en) * | 1995-02-21 | 1997-06-10 | Tdk Corporation | Phase change optical recording medium and activation energy determining method |
US5637372A (en) * | 1995-03-31 | 1997-06-10 | Tdk Corporation | Phase change optical recording medium |
US6022605A (en) * | 1997-02-28 | 2000-02-08 | Kao Corporation | Optical recording medium and recording/erasing method therefor |
US6854126B2 (en) * | 2002-08-08 | 2005-02-08 | Hitachi, Ltd. | Information recording medium with SiO2-In2O3-SnO2-ZnS protective layer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2908826B2 (ja) | 1999-06-21 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |