JPH02236937A - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
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- JPH02236937A JPH02236937A JP1056476A JP5647689A JPH02236937A JP H02236937 A JPH02236937 A JP H02236937A JP 1056476 A JP1056476 A JP 1056476A JP 5647689 A JP5647689 A JP 5647689A JP H02236937 A JPH02236937 A JP H02236937A
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- Japan
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 11
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 abstract description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/21—Means for adjusting the focus
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は走査電子顕微鏡或いはその類似装置に係り，特
に自動焦点合せに好適な走査電子顕微鏡或いはその類似
装置に関する． 【従来の技術〕 走査電子顕微鏡等においては、検鏡される試料が有する
表面形状の細かさによらず、現に像Ｉ！察をする為に操
作者が設定した倍率において自動焦点合せを行なってい
る． 〔発明が解決しようとする課題〕 しかし、従来は自動焦点合せの成功率に対する配慮がさ
れておらず，操作者が設定した倍率と検鏑される試料が
有する表面形状の細かさとの関連において自動焦点合せ
の成功率が極めて低くなってしまうという問題があった
． 本発明の目的は，従来技術のもつ欠点を克服し、検鏡さ
れる試料が有する表面形状の細かさと操作者が設定した
倍率とによらずに自動焦点合せの成功率を格段に高めた
走査電子顕微鏡或いはその類似装置を提供することにあ
る。
に自動焦点合せに好適な走査電子顕微鏡或いはその類似
装置に関する． 【従来の技術〕 走査電子顕微鏡等においては、検鏡される試料が有する
表面形状の細かさによらず、現に像Ｉ！察をする為に操
作者が設定した倍率において自動焦点合せを行なってい
る． 〔発明が解決しようとする課題〕 しかし、従来は自動焦点合せの成功率に対する配慮がさ
れておらず，操作者が設定した倍率と検鏑される試料が
有する表面形状の細かさとの関連において自動焦点合せ
の成功率が極めて低くなってしまうという問題があった
． 本発明の目的は，従来技術のもつ欠点を克服し、検鏡さ
れる試料が有する表面形状の細かさと操作者が設定した
倍率とによらずに自動焦点合せの成功率を格段に高めた
走査電子顕微鏡或いはその類似装置を提供することにあ
る。
上記目的は，操作者が設定した像観察の倍率によらず，
自動焦点合せの機能がスタートされた時に、自動焦点合
せを行なう倍率を或る範囲で自動的に走査し、夫々の倍
率に於で自動的に自動焦点合せを実行して比較し、適切
に゛自動焦点合せが出来る倍率を自動的に探して此の倍
率で最終的な自動焦点合せを実行した後、自動的に操作
者が設定した像観察の倍率状態に戻る様にすることによ
り達成される。
自動焦点合せの機能がスタートされた時に、自動焦点合
せを行なう倍率を或る範囲で自動的に走査し、夫々の倍
率に於で自動的に自動焦点合せを実行して比較し、適切
に゛自動焦点合せが出来る倍率を自動的に探して此の倍
率で最終的な自動焦点合せを実行した後、自動的に操作
者が設定した像観察の倍率状態に戻る様にすることによ
り達成される。
自動焦点合せの機能のスタートとしては、操作者による
自動焦点合せ機能スイッチでの手動スタート、或いは操
作者等による検鏡視野移動後での自動スタート等々があ
るが、いずれにしても予め設定された倍率範囲に含まれ
る予め設定された倍率ステップの夫々において自動焦点
合せが自動的に実行され，その信号量が自動的に比較さ
れて、最終的に適正なる倍率に於で自動焦点合せが自動
的に実行される。上述の倍率走査による自動焦点合せに
よって得られる信号量の比較の基本的アルゴリズムは、
従来の単純なる自動焦点合せ技術の場合のそれと類似で
あるが，対物レンズ電流と倍率との両方について二次元
的に最適値を探査することによって、自動焦点合せの成
功率が試料によらず格段に高められる。
自動焦点合せ機能スイッチでの手動スタート、或いは操
作者等による検鏡視野移動後での自動スタート等々があ
るが、いずれにしても予め設定された倍率範囲に含まれ
る予め設定された倍率ステップの夫々において自動焦点
合せが自動的に実行され，その信号量が自動的に比較さ
れて、最終的に適正なる倍率に於で自動焦点合せが自動
的に実行される。上述の倍率走査による自動焦点合せに
よって得られる信号量の比較の基本的アルゴリズムは、
従来の単純なる自動焦点合せ技術の場合のそれと類似で
あるが，対物レンズ電流と倍率との両方について二次元
的に最適値を探査することによって、自動焦点合せの成
功率が試料によらず格段に高められる。
以下、本発明の一実施例を図を用いて説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す略線図である．第１図
に於で電子ビーム１は対物レンズ３により試料４の上に
焦点を結ばされる。一方、この電子ビーム１は偏向コイ
ル２により試料４の上を走査される。試料４より電子ビ
ーム１の照射により発生した信号（通常、二次電子信号
）５は、検出器６により捕捉されて電気信号に変換され
、映像増幅器７を通して陰極線管（図示せず）に表示さ
れる。表示される像の倍率は陰極線管の像表示の走査幅
と、試料４上の電子ビーム１の走査幅との比である。陰
極線管に表示される像が焦点の合った像となるのは、試
料４に照射される電子ビーム１の照射点での太さが一番
細くなった場合に対応する。自動焦点合せは、手動で対
物レンズ３の励磁電流を変化させて、つまり対物レンズ
３の焦点距離を変えて試料４に照射される電子ビーム１
の照射点での太さを一番細くするのではなく、装置自身
がこれを自動的に行なうものである。
に於で電子ビーム１は対物レンズ３により試料４の上に
焦点を結ばされる。一方、この電子ビーム１は偏向コイ
ル２により試料４の上を走査される。試料４より電子ビ
ーム１の照射により発生した信号（通常、二次電子信号
）５は、検出器６により捕捉されて電気信号に変換され
、映像増幅器７を通して陰極線管（図示せず）に表示さ
れる。表示される像の倍率は陰極線管の像表示の走査幅
と、試料４上の電子ビーム１の走査幅との比である。陰
極線管に表示される像が焦点の合った像となるのは、試
料４に照射される電子ビーム１の照射点での太さが一番
細くなった場合に対応する。自動焦点合せは、手動で対
物レンズ３の励磁電流を変化させて、つまり対物レンズ
３の焦点距離を変えて試料４に照射される電子ビーム１
の照射点での太さを一番細くするのではなく、装置自身
がこれを自動的に行なうものである。
自動焦点合せは、よく知られているように、映像信号の
高周波成分が最大となる様な対物レンズ３の励磁電流を
自動的に探すものである。この間の基本概念の事情を第
２図に示してある。つまり、対物レンズ電流Ｉ。を時間
しと共にその最小値工０旧Ｎから最大値工。ＨＡＸの方
向に向って（或いは逆に）階段的に掃引し、対物レンズ
電流Ｉ。の関数としての映像信号Ｓ（ＩＯ）の微分値の
絶対値ｄ ｓ （Ｉｏ）／ ｄ ｔ ｌ が最大とな
る様な対物レンズ電流ＩｏＯＰ を自動的に探すもので
ある。但し、映像信号ｓ（ｒｏ）の微分値の絶対値ｌｄ
ｓ（Ｉ。）／ｄｔｌの瞬時値であるので，雑音やＳ／Ｈ
の良さを考慮すると極めて取扱いずらいので、第１図に
示す様にバンド・パス・フィルタ付の映像増幅器７の出
力を絶対値出力付の微分回路８を通して微分して絶対値
を採り、これを積分回路９を通して或る時間々隔にわた
り積分して、この値（判別値）を対物レンズ３の励磁電
流の関数としてとらえて、該判別値が最大となる様に対
物レンズ電流をＤ／Ａコンバータ１１及び電流増幅器１
２を用いて自動制御するものである。この自動制御には
ＣＰＵバス１５に接続されている対物レンズ電流制御回
路１０が用いられる。尚、自動焦点合せのスタートは自
動焦点合せスタートスイッチ回路１４により行なわれ、
微分回路８及び積分回路９のスタート／エンドの制御は
、該対物レンズ電流制御回路１０を通して行なわれる対
物レンズ電流の制御に連動して、ＣＰＵバス１５からの
ＣＰＵの指令によって行なわれる。
高周波成分が最大となる様な対物レンズ３の励磁電流を
自動的に探すものである。この間の基本概念の事情を第
２図に示してある。つまり、対物レンズ電流Ｉ。を時間
しと共にその最小値工０旧Ｎから最大値工。ＨＡＸの方
向に向って（或いは逆に）階段的に掃引し、対物レンズ
電流Ｉ。の関数としての映像信号Ｓ（ＩＯ）の微分値の
絶対値ｄ ｓ （Ｉｏ）／ ｄ ｔ ｌ が最大とな
る様な対物レンズ電流ＩｏＯＰ を自動的に探すもので
ある。但し、映像信号ｓ（ｒｏ）の微分値の絶対値ｌｄ
ｓ（Ｉ。）／ｄｔｌの瞬時値であるので，雑音やＳ／Ｈ
の良さを考慮すると極めて取扱いずらいので、第１図に
示す様にバンド・パス・フィルタ付の映像増幅器７の出
力を絶対値出力付の微分回路８を通して微分して絶対値
を採り、これを積分回路９を通して或る時間々隔にわた
り積分して、この値（判別値）を対物レンズ３の励磁電
流の関数としてとらえて、該判別値が最大となる様に対
物レンズ電流をＤ／Ａコンバータ１１及び電流増幅器１
２を用いて自動制御するものである。この自動制御には
ＣＰＵバス１５に接続されている対物レンズ電流制御回
路１０が用いられる。尚、自動焦点合せのスタートは自
動焦点合せスタートスイッチ回路１４により行なわれ、
微分回路８及び積分回路９のスタート／エンドの制御は
、該対物レンズ電流制御回路１０を通して行なわれる対
物レンズ電流の制御に連動して、ＣＰＵバス１５からの
ＣＰＵの指令によって行なわれる。
ここで問題は、検鏡されている試料４の表面構造の細か
さである。というのは、従来の自動焦点合せは、操作者
が設定した像Ｉｉ１１察倍率による電子ビーム１の試料
４上の走査による映像信号によってのみ行なわれる為、
試料４の有する表面構造の細かさと電子ビーム１の試料
４上の走査幅の相対関係によっては、うまくいかない事
が多がったのである。これは、映像信号Ｓ（Ｉｏ）から
得られる最適対物レンズ電流の判別値ｆ Ｉｄｓ（ Ｉ
ｏ）／ｄｔｌｄｔによる判別をＳ／Ｎ良くしかも短時
間で行なわせるために、割とバンド幅の小さなバンド・
パス・フィルタを映像増幅器７に組合せているからであ
る。例えば、シリコンウエハー上に構築された細いホト
レジスト・パターンの様なものに対して自動焦点合せを
起動させると、倍率が高い領域でのみ良く作動し、低い
倍率の領域では殆んどうまく作動しないという事が起り
得る。これは電子ビーｌｘ １の試料４上での走査時間
が一定である為に゛、その走査幅が大きい（つまり低倍
率）と実効的な試料上での走査速度が増して、最適の対
物レンズ電流に対応する映像信号の周波数成分が判別値
／ ｌｄｓ（Ｉｏ） ／ ｄｔｌｄｔの最大値として検
出されなくなってしまうからである。
さである。というのは、従来の自動焦点合せは、操作者
が設定した像Ｉｉ１１察倍率による電子ビーム１の試料
４上の走査による映像信号によってのみ行なわれる為、
試料４の有する表面構造の細かさと電子ビーム１の試料
４上の走査幅の相対関係によっては、うまくいかない事
が多がったのである。これは、映像信号Ｓ（Ｉｏ）から
得られる最適対物レンズ電流の判別値ｆ Ｉｄｓ（ Ｉ
ｏ）／ｄｔｌｄｔによる判別をＳ／Ｎ良くしかも短時
間で行なわせるために、割とバンド幅の小さなバンド・
パス・フィルタを映像増幅器７に組合せているからであ
る。例えば、シリコンウエハー上に構築された細いホト
レジスト・パターンの様なものに対して自動焦点合せを
起動させると、倍率が高い領域でのみ良く作動し、低い
倍率の領域では殆んどうまく作動しないという事が起り
得る。これは電子ビーｌｘ １の試料４上での走査時間
が一定である為に゛、その走査幅が大きい（つまり低倍
率）と実効的な試料上での走査速度が増して、最適の対
物レンズ電流に対応する映像信号の周波数成分が判別値
／ ｌｄｓ（Ｉｏ） ／ ｄｔｌｄｔの最大値として検
出されなくなってしまうからである。
本発明は、上述の様な欠点を除く自動焦点合せ機能を有
する走査電子顕微鏡或いは類似装置を提供するものであ
る。第１図に於で、偏向コイル２に対する倍率（つまり
試料４上の電子ビーム１の走査幅）を制御する偏向コイ
ル電流制御回路１３の制御を自動焦点合せ機能のアルゴ
リズム中に組み入れた事により達成した．以下、第１図
の動作を第２図及び第３図を用いて説明する。まず、第
１図の如くする事によって得られる映像信号は対物レン
ズ電流工０と倍率Ｍとの両方の関数Ｓ（Ｉｏ， Ｍ）と
なる。倍率を或る倍率に固定しておいて、従来の自動焦
点合せの如く、つまり上述の第２図の説明の如く判別値
／ Ｉ ｄｓ（Ｔｏ， Ｍ）／ｄｔｌｄｔの最大を求め
る。対物レンズ電流Ｉ。を今求めた最大値に対ＯＰ（Ｉ
） 応する値（実際は仮の最適値Ｉｏ ）に固定しておい
て、今度は倍率Ｍを変化させていきながら第３図の如く
判別値の最大を求める。この場合に、倍率の可変幅とそ
のステップは予め操作者が検鏡しようとしている試料に
対応して決めておくと、この判別値の最大の探査は短時
間に効率良く終了する。例えば、シリコンウエーハ上の
１μｍ幅のホトレジスト・パターンに対して此を実行す
る場合には、倍率の可変幅とステップは，電界放射電子
銃を用いた走査電子顕微鏡を例にとると２万倍，３万倍
，４万倍で十分である．いずれにしても、上述の倍率の
可変幅とステップは各種の選択が可能な様に装置側を構
成しておくと良い。そこで、次ぎには今求めた自動焦点
合せを実行する最適倍率に倍率を固定して、先に求めた
仮の対物レンズｏｐ（＝） 電流の最適値工。 をプラ側とマイナス側に少し変化
させて判別値を夫々求め、対物レンズ電流■。の真の最
適値ＩｏＯＰを求め、対物レンズ電流を此に固定する。
する走査電子顕微鏡或いは類似装置を提供するものであ
る。第１図に於で、偏向コイル２に対する倍率（つまり
試料４上の電子ビーム１の走査幅）を制御する偏向コイ
ル電流制御回路１３の制御を自動焦点合せ機能のアルゴ
リズム中に組み入れた事により達成した．以下、第１図
の動作を第２図及び第３図を用いて説明する。まず、第
１図の如くする事によって得られる映像信号は対物レン
ズ電流工０と倍率Ｍとの両方の関数Ｓ（Ｉｏ， Ｍ）と
なる。倍率を或る倍率に固定しておいて、従来の自動焦
点合せの如く、つまり上述の第２図の説明の如く判別値
／ Ｉ ｄｓ（Ｔｏ， Ｍ）／ｄｔｌｄｔの最大を求め
る。対物レンズ電流Ｉ。を今求めた最大値に対ＯＰ（Ｉ
） 応する値（実際は仮の最適値Ｉｏ ）に固定しておい
て、今度は倍率Ｍを変化させていきながら第３図の如く
判別値の最大を求める。この場合に、倍率の可変幅とそ
のステップは予め操作者が検鏡しようとしている試料に
対応して決めておくと、この判別値の最大の探査は短時
間に効率良く終了する。例えば、シリコンウエーハ上の
１μｍ幅のホトレジスト・パターンに対して此を実行す
る場合には、倍率の可変幅とステップは，電界放射電子
銃を用いた走査電子顕微鏡を例にとると２万倍，３万倍
，４万倍で十分である．いずれにしても、上述の倍率の
可変幅とステップは各種の選択が可能な様に装置側を構
成しておくと良い。そこで、次ぎには今求めた自動焦点
合せを実行する最適倍率に倍率を固定して、先に求めた
仮の対物レンズｏｐ（＝） 電流の最適値工。 をプラ側とマイナス側に少し変化
させて判別値を夫々求め、対物レンズ電流■。の真の最
適値ＩｏＯＰを求め、対物レンズ電流を此に固定する。
此で，自動焦点合せが終了した訳であるから、倍率のみ
を自動焦点合せスタートＢ／＾ＦＣ 前の像観察倍率Ｍ に自動的に戻してやれば、て自
動焦点合せが極めて良く実行された事になる。
を自動焦点合せスタートＢ／＾ＦＣ 前の像観察倍率Ｍ に自動的に戻してやれば、て自
動焦点合せが極めて良く実行された事になる。
本発明の一実施例に基づくフローチャートを第４図に示
す． 尚、自動焦点合せのスタートは，第１図の本発明の一実
施例の如く自動焦点合せスタートスイッチ回路１４を手
動で起動させても良いが、或いは操作者等による検鏡視
野移動後における自動スタートでも良い．勿論、検鏡視
野移動は予めプログラムされた指令に基づいて行なわれ
るものでも何ら差しつかえない． 本発明の一実施例によれば，試料の表面構造の細かさと
、像観察設定倍率とによらず，自動焦点合せが的確に効
率良く出来るという効果がある。
す． 尚、自動焦点合せのスタートは，第１図の本発明の一実
施例の如く自動焦点合せスタートスイッチ回路１４を手
動で起動させても良いが、或いは操作者等による検鏡視
野移動後における自動スタートでも良い．勿論、検鏡視
野移動は予めプログラムされた指令に基づいて行なわれ
るものでも何ら差しつかえない． 本発明の一実施例によれば，試料の表面構造の細かさと
、像観察設定倍率とによらず，自動焦点合せが的確に効
率良く出来るという効果がある。
本発明によれば、自動焦点合せが確実に行なえるという
効果がある．
効果がある．
第１図は本発明の一実施例を示す要部のブロック図、第
２図は対物レンズ電流と映像信号の微分絶対値との関係
を示すグラフ、第３図は倍率と映像信号の微分絶対値と
の関係を示すグラフ、第４図は本発明の一実施例に対応
する一例としてのフローチャートである。 ２・・・偏向コイル、３・・・対物レンズ、８・・・微
分回路、９・・・積分回路、１０・・・対物レンズ電流
制゛御回路、１３・・・偏向コイル電流制御回路、１４
・・・自動焦点第 図 第 図
２図は対物レンズ電流と映像信号の微分絶対値との関係
を示すグラフ、第３図は倍率と映像信号の微分絶対値と
の関係を示すグラフ、第４図は本発明の一実施例に対応
する一例としてのフローチャートである。 ２・・・偏向コイル、３・・・対物レンズ、８・・・微
分回路、９・・・積分回路、１０・・・対物レンズ電流
制゛御回路、１３・・・偏向コイル電流制御回路、１４
・・・自動焦点第 図 第 図
Claims (1)
- １、自動焦点合せ機能を有する走査電子顕微鏡或いは類
似装置において、対物レンズ電流の掃引を倍率の掃引と
組合せる事によつて自動焦点合せの適切対物レンズ電流
の探査をするようにしたことを特徴とする走査電子顕微
鏡或いは類似装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1056476A JPH0766770B2 (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | 電子線照射装置 |
| DE69011908T DE69011908T2 (de) | 1989-03-10 | 1990-02-14 | Fokussierung eines Elektronenstrahls. |
| EP90301563A EP0386894B1 (en) | 1989-03-10 | 1990-02-14 | Focussing an electron beam |
| US07/485,493 US5032725A (en) | 1989-03-10 | 1990-02-27 | Focussing an electron beam |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1056476A JPH0766770B2 (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | 電子線照射装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02236937A true JPH02236937A (ja) | 1990-09-19 |
| JPH0766770B2 JPH0766770B2 (ja) | 1995-07-19 |
Family
ID=13028156
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1056476A Expired - Fee Related JPH0766770B2 (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | 電子線照射装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5032725A (ja) |
| EP (1) | EP0386894B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0766770B2 (ja) |
| DE (1) | DE69011908T2 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0689687A (ja) * | 1990-12-27 | 1994-03-29 | Jeol Ltd | 走査電子顕微鏡における自動焦点合わせ装置 |
| JPH0594798A (ja) * | 1991-05-21 | 1993-04-16 | Jeol Ltd | 焦点深度切り換え可能な電子顕微鏡等の電子光学観察装置 |
| EP0949653B1 (en) * | 1991-11-27 | 2010-02-17 | Hitachi, Ltd. | Electron beam apparatus |
| JP2535695B2 (ja) * | 1992-01-13 | 1996-09-18 | 株式会社東芝 | 走査型電子顕微鏡の自動焦点合わせ方法 |
| JP3109785B2 (ja) * | 1993-12-21 | 2000-11-20 | 株式会社日立製作所 | 走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ装置 |
| US6278114B1 (en) | 1997-12-19 | 2001-08-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method and apparatus for measuring dimensions of a feature of a specimen |
| JP2000048756A (ja) * | 1998-07-27 | 2000-02-18 | Seiko Instruments Inc | 荷電粒子ビーム光学系の調整を行う方法およびその装置 |
| US6521891B1 (en) * | 1999-09-03 | 2003-02-18 | Applied Materials, Inc. | Focusing method and system |
| KR102268019B1 (ko) * | 2019-04-30 | 2021-06-22 | (주)코셈 | 인공 지능 학습 데이터를 활용한 전자 현미경 |
Citations (1)
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| GB1585158A (en) * | 1976-07-30 | 1981-02-25 | Cambridge Scientific Instr Ltd | Automatic focusing systems |
| JPS5569947A (en) * | 1978-11-21 | 1980-05-27 | Toshiba Corp | Display unit |
| JPS5750756A (en) * | 1980-09-12 | 1982-03-25 | Jeol Ltd | Objective lens current control method for scan type electron microscope |
| JPS585956A (ja) * | 1981-07-01 | 1983-01-13 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
| JPS5825050A (ja) * | 1981-07-03 | 1983-02-15 | Jeol Ltd | 電子線装置の焦点合わせ方法 |
| JPS5814460A (ja) * | 1981-07-17 | 1983-01-27 | Internatl Precision Inc | 電子顕微鏡の焦点合わせ方法及びこの方法を応用した像撮影方法及び装置 |
| GB2118009B (en) * | 1982-03-02 | 1985-09-04 | Cambridge Instr Ltd | Improvements in and relating to electron beam focussing |
-
1989
- 1989-03-10 JP JP1056476A patent/JPH0766770B2/ja not_active Expired - Fee Related
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1990
- 1990-02-14 DE DE69011908T patent/DE69011908T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-02-14 EP EP90301563A patent/EP0386894B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-02-27 US US07/485,493 patent/US5032725A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5457949A (en) * | 1977-10-18 | 1979-05-10 | Jeol Ltd | Automatic focusing unit for scanning electron microscope and so on |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0386894A3 (en) | 1991-04-24 |
| DE69011908T2 (de) | 1995-03-23 |
| JPH0766770B2 (ja) | 1995-07-19 |
| US5032725A (en) | 1991-07-16 |
| DE69011908D1 (de) | 1994-10-06 |
| EP0386894A2 (en) | 1990-09-12 |
| EP0386894B1 (en) | 1994-08-31 |
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