JPS5814460A - 電子顕微鏡の焦点合わせ方法及びこの方法を応用した像撮影方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、電子顕微鏡の焦点合わせ方法、特忙中低倍率
域においてフォーカスのばらつきの大きさを、各撮影倍
率の許容範囲内に抑えることによって焦点合わせを自動
的に行い、その倍率による像の観察、及び撮影を極めて
容易かつ良好表状態で行い得る様にする技術に関するも
のである。

透過型電子顕微鏡の写真撮影は、高度な技術が要求され
、かつ比較的わずられし一仕事である。特に、観察像の
焦点合わせは解像力の劣る螢光スクリーン上の像を見て
行うから、なかなか予定した良好な焦点合わせ社行−難
い。これは、スクリーン上の像の倍率はフィルム上の倍
率に比べ１０乃至Ｉパーセントと低くなっており、さら
にフィルムの解像力は１０乃至４０１Ｋｎ程度あるのに
対し、螢光スクリーンでは父乃至ＩＱＱｇｎ程度しかな
く、スクリーン上ではシャープに見えていた像が写真に
するとボナた像になるという事が多々あるからである。

一方、生物試料は、電子１１による損傷を太きく受は易
く、これ忙よって、試料の持つ本来の形態が破壊されて
しｔｃ、試料内の情報が得られないということが起る。

かかる不場合を避けるために、視野を選択する際には電
子線を著しく弱くして選択操作を行うようにしており、
また写真撮影は極めて短時間で終るから生物試料に損傷
を与えること社少な−。しかし、焦点合わせｔする場合
には像の細部が見えないと合わせられな、いから、かな
り明るい、即ち電子線密度の大きな電子線束を比較的長
時間照射するため試料に与える損傷は著しいものとなる
。

このように電子顕微鏡の焦点合わせが困難かつ手間がか
かること社また、電子顕微鏡の像撮影を自動化するため
の大きな妨けとなっている。　　　□すなわち、電子顕
微鏡の像撮影装置のうち、撮影機構に関しては、螢光板
上に達する電子線量を検出する高精度な露出計と、これ
に連動し適正露光を与えるシャッタ機構、更にフィルム
の自動送り、或は倍率やフィルム番号等のデータをフィ
ルムにプリントするデータプリント機構を含めた、撮影
機構の自動化は既に達成されて−る。また電子顕微鏡の
視野選択機構に関しては、モータ駆動される試料ステー
ジと、ＣＰＵとの結合により、観察点の記憶と呼出しが
可能な装置が開発されており、観察者が撮影を希望する
視野（観察点）を予め多数記憶させておき、後からその
視野を一区画毎に又は連続的に、選び出すことが出来る
ようになって−る。ところが、焦点合・わせについて社
、上記の如く、観察者による操作に額って−たため、こ
の焦点合わせに時間がかかり゛、迅速で完全な自動撮影
が出来なかった。かかる焦点合わ（を自動化するために
、像を電気信号におきかえて焦点合わ゛せ出来ているか
否かを検出する等の様々な方法が試みられて−るが、複
雑で高価な上に信号量の不足等か゛ら未だ実用化には程
遠いものであった。

本発明は、このような従来の問題点に着目してなされた
もので、その主たる目的は、電子顕微鏡の各倍率に対応
して対物レンズの励磁電流値を、良好な像を得る焦点合
わせが出来る、−又は工具上の値に予め設定しておき、
電子顕微鏡の倍率を成る値に定めたとき、その倍率にお
ける焦点合わせを自動的に行い得るようにした、電子顕
微鏡の焦点合わせ方法を提供し、電子顕微鏡の操作を簡
易化すると共に、焦点合わせ時間の短縮化を図り、試料
の破損を最少限に抑え得る様にすることである。

また、本発明の他の一つの目的は、上記の如く電子顕微
鏡の焦点合わせを自動化し、当該自動化された焦点合わ
せ七自動化された撮影手段とを組合わせることｋより、
像の撮影を完全に自動化した電子顕微鏡の撮影方法及び
その装置を提供し、迅速で確実な像撮影を可能にすると
共に１この撮影によって得られる像の品質向上を図るこ
とである。

本発明の実施例を添付の図面と参照して詳細に説明する
。

一般に電子顕微鏡による像観察にお−て、生物試料のよ
うな試料は、厚味がφ乃至８０ｎｍ（ナノメートル）に
スライスされて観察されるのが普通であるが、このよう
に試料の厚味が極めて薄く、シかも５ｏｏｏｏ倍よ染も
低−倍率域で試料を観察する場合には、電子顕微鏡の焦
点を、正焦点より社わずかに不足焦点気味にして像観察
を行う方が、よりコントラスＦのはつきりした像が得ら
れることはよく知られている。これは、第１１ｉ！Ｉ■
に示すような試料１の構造の周縁が、第１図＠に示すよ
うに、不足焦点側で現われるアンダーフリンジ（＝７レ
ネ／！／フリンジに相当する）Ｋよって縁取りされ、そ
の試料１構造の境界を明１ａＫ　Ｌ、試料像１ｍをシャ
ープ忙見せるためである。このフリンジ幅（第１図（至
）における輪郭線の太さ）Ｄが小さ過ぎると縁取効果は
小さくなり、逆に大き過ぎると輪郭がだらけ試料像１ａ
がポケたものとなる。かかる試料像１ａを写真撮影しプ
リントした場合、このプリントされた写真上で見て、肉
眼では明確に識別できないが縁取効果が現われていると
判断できる７リンジ輻りの値としてｈ、ｓｏ乃至１２ｏ
ｌＩｍが適切である。

このフリンジ幅りと、対物レンズにおける正焦点からの
不足焦点量Δｆとの関係は、電子線の波長をλ（加速電
圧によって決まる）、倍率をＭとすると、 で表わされる。

電子線の加速電圧ｔ−１００ＫＶとした場合、プリント
された写真上で ５０≦Ｄ≦ｘ２ｏ（ａｍ） となる不足焦点量Δｆの倍率に対する範囲を表わすと、
第２図中の線ム及びＢによって囲まれた部分になる。

一方、電子線が開き角をもっことによって生ずるばけＩ
／ｃＭしては、第３［に示すように、対物レンズ３に入
射する電子！１２の開き角（照射電子線の開き角か、試
料１かもの散乱角で決まる）をαとすると、このαと不
足焦点量Δｆとによって決まるボケａ＃ｉ、プリントさ
れた写真上の倍率をｙとすると、 ａ＝舅・Δｆ・α・・・・・・ｅ＊＋ｅ＊＋＋＊ｓ＊＊
＊＋＋＋・・・−（２）で与えられる。αは照射電子線
を充分に開−ても、試料１の散乱によってほぼ決まり、
通常、Ｉ　Ｘ　１０−’　ｒａｄである。また、写真上
でδが識別できるかどうかの境界値として、１００％と
すると、 δ≦１ＧＯ（−） とな９、且つ、アンダーフリンジの効果が得られる不足
焦点側のみに注目すると、不足焦点量Δｆの倍率に対す
る範ｍｕ、第２ｍ中ｌＩＣより下側となる。

つまり、第２ＷＩ中、線ム、Ｂ、０によって囲まれた領
域］！ｔＫおける焦点合わせを行えば、常にシャープで
美しい観察像が得られることとなる。

したがって、電子顕微鏡の各倍率に応じて不足焦点量Δ
ｆを自動的に制御すれば、上記の様にシャープで美しい
観察像が得られるような焦点合わせが自動的に行−得る
ことになる。そこでΔｆの制御について考えると、いま
第３図に示すレンズ系において、像面４に正焦点像を紡
ぶときの対物レンズ３の励磁電流値を１゜アンペアとす
ると、励磁電流の変化量Δ工と７オーカス変化量、即ち
不足焦点量Δｆとの関係は、対物レンズ３０色収差係数
を０とすれば、 ｌ。

で与えられる。この第（３）式から明らかなように、■
を適宜変化させればΔｆは任意に制御することができる
。ｌの制御ｌは、電気回路上、ごく微細且つ高精度に、
全く自由に出来る。一方、通常の電子顕微鏡の操作では
、撮影の都度慎重に焦点を合わせて−るが、このように
焦点を合わせなおさなければならない、つｔｂ、焦点が
ばらつく原因状、主として次の理由によっていた。

（１）　　対物レンズ３に対する光軸５に沿う方向でＯ
試料１０位置にばらつきがある。

（１）　　対物レンズ３におけるレンズ磁気−路のヒス
テリシスにばらつきがある。

（２）倍率を変えたときに生じる中間レンズ物面、即ち
対物レンズ３像面の動きに伴う焦点の補正（対物レンズ
では物面には試料が置かれ、−面としては固定されてい
るから、像面位置が光軸方向に移動する場合、対物レン
ズの焦点距離を変えないと焦点が合わない。） かかる原因のうち、上記（Ｉ）に挙げた試料位置のばら
つきは、試料１の出し入れによる再現性の問題、及び試
料１自身の曲が９などに原因し、一般に１０μ程度であ
る。そして試料１の出し入れを注意して行えば、又、こ
の点に留意して設計′された機構であれば、これより小
さくすることもできる。一方、上記（１）で述べたヒス
テリシスのばらつきは、通常０．１％′、例えば５■の
焦点距離のレンズで５ｐ程度に抑えることができる。

また、焦点合わせする直前に、最大励磁にするなどして
、常に同じヒステリシス曲線を描く様にして用いれば、
ヒステリシスのばらつきハホとんど皆無にすることがで
きる。また、上記（２）で述べた像面の移動社、レンズ
設計により、各倍率において物面が常に一定となるよう
な補正量を決め、これを倍率毎に予め加算しておけば、
ばらつきは生じ奄゛い。また、中間レンズの数を増せば
、対物レンズ像面を固定したまま倍率を大きくかえるこ
とも可能である。

これらの事柄を考慮に入れると、焦点のばらつきは、全
体的に見てθ〜−１５Ｉｔｎと見積ることができる。こ
れを前提として不足焦点量Δｆにつ−て検討を加えると
、１０００倍の像では、第２図より、適切な不足焦点量
Δｆｔ！−２００〜−１２００師、２０００倍では−５
０〜−３ｏＯ１１ｍと幅が広く、１５１１ｍ程−〇ばら
つきは無視できる。例えば倍率を！（６）倍としてΔｆ
が一６ＤＯｉ囮、２０００倍においてΔｆが一１５０ａ
ｍ　＆なるようΔ工を与える電流値Ｉｎ　（Ｉｎ　＝　
　　　□ｌ０−ＪＩ’）を予め設定しておけば、不足焦
点量のばらつきの範囲はそれぞれ、−（ホ）〜−０１５
１ｔｎ。

−１５０〜−１６５岬とな９、像を見ながら焦点合わせ
しなくても常に適切なフォーカス像が与えられる。第２
図において、恥■倍の像でも、−３，２〜−１９−の間
が適切な不足焦点量であるから、Δｆが−４−となるＡ
を与えるｉｎを予め設定しておけば、不足焦点量のばら
つきの範囲は−４〜−１９ｘｍの範ＩＦＩＫ納ｔｂ、常
に適切なフォーカス像が得られる。つｔす、倍率霞倍程
度までの像であれば、各倍率に対して適当なΔｆＫ対応
するＡを一つだけ与えておけば、試料°を入れ換えたり
、倍率を変えたりして亀、像を見て焦点合わせすること
なく適切なフォーカス像を得ることができる。

これに対して、　１００００倍の像では、適切な不足焦
点量＃ｉ−２〜−１２ｇｎとな秒、０〜−１５−のばら
つ、！！をカバーすることはできな−０そこで、予め設
定される不足焦点量Δｆが￥２Ｊｌｎ、−８μｍとなる
ようｆｋ２点のＡを与える和を予め設定しておき、各点
で一枚づつ、計２枚の写真を撮影すれば、２枚のうち少
なくとも一枚社適切な７オーカス像が含まれる。さらに
１８０００倍の像では適切な不足焦点量は０．７〜４μ
ｍとな９、予め設定される不足焦点量Δｆが＋１　、−
２　、−５、−８゜−１１４となる５点のＡを与えるＩ
ｎを設定し、各点で１枚ずつ計５枚の写真を撮影すれば
５枚のうち少なくとも１枚は適切な７オーカス像が含ま
れるので、上記撮影した写真の中から適切な７オーカス
像を選び出すようにすればよψ。

前述のように電子顕微鏡の焦点合わせは比較的困難なた
め、焦点を少しずつ変えながら５枚程度撮影して後から
適切なフォーカス像を選び出すことはよく行なわれるこ
とであり、このようなことは充分許容されることである
。なお、第２図に示された倍率はプリントされた写真上
における倍率であり、引伸しを含めた倍率を示している
。透過・型電子顕微鏡写真の引伸し倍率は、シー）フィ
ルムカメラで４倍前後、３５ミリカメラで１０倍前後で
あるから、使用するカメラでｌを切換える。また、好み
の引伸し倍率に合わせてｌを゛切換えられるようにして
おくこともできる。さらに、５ｏｏｏ、倍以下の倍率に
対しても、微減のＡに対して撮影しておき、後からダｌ
伸し倍率、に適したネガを選択することもできる。即ち
、電子顕微鏡による生物試料の写真の大半を占める１８
０００倍程度までの倍率の像であれば、像を見ながら焦
点を合わさなくても、撮影倍率に応じて予め定められた
値に設定する力感で適切な焦点合わせ像が自動的に得ら
れることが明らかになった。

ここで、上記の説明では■。を固定して考えたが、焦点
深度の著しく浅くなる高倍率で一度焦点合わせを行い、
このときの励磁電流値をＩｏとし、各倍率に適するＡを
与えれば、試料位置のばらつきは著しく小さく抑えられ
、より一層高倍率まで、その都度焦点合わせを行わずに
適切な７オーカス像が与えられる。また、試料面上の照
射面積及び電子流密度（明るさ）などの照射条件は、集
束レンズ励磁電流値によって自由に制御できる故、その
撮影倍率に連動して適切な電流値を予め設定しておけば
その都度条件を設定する必要がなく、操作をさらに易し
くする。

第４図は、上記の如き電子顕微鏡の自動焦点合わせを行
う機構をシャッタ機構等と組み合わせる七共に、試料の
観察点（視野）の記憶及び呼出機能を持たせた、電子顕
微鏡の自動撮影装置を示す図である。

図中、符号ｒは、本発明の実施に関連する操作盤を表わ
す。この操作盤は、左端部分において試料移動スイッチ
１０を備え、この試料移動スイッチ１０は試料をＸの正
方向、Ｘの負方向、Ｙの正方向、Ｙの負方向へ移動させ
るためにモータを回転させる４個のスイッチ片から成る
。こＯ試料移動、スイッチ１０の隣りに＃ｉ倍率切換え
スイッチ１１が備えられ、仁の倍率切換えスイッチ１１
を回転させることによって中間レンズや投影レンズ等や
結像し、ンズ詳の励磁電流が切換えられ、任意の倍率の
選択が出来る。この倍↑切換スイッチ１１の隣りに社、
更に記憶ス１イツチ１２と、　　　　１呼出スイツチ１
３と、写真スイッチ１４とが配設されて―る。

記憶スイッチ１２は、成る観察操作における観察データ
を記憶させるためのもので、メモリーＧＫ接続されてこ
れをオン、オフさせる。したがって、この記憶スィッチ
１２ｆｔオン操作すると、その時光軸上にある試料の座
標値、即ち観察点と観察像の倍率をメモリー〇の所定の
アドレスに記憶させる。上記観察点の座標の座標値の記
憶は、例えば成る基準点からのモータの回路数をカラン
）させ、そのカウント値を・メモリーＧｋ記憶させるヒ
とによって行う。また、アドレスの選択社、スイッチを
設けてマニユアルで行ってもよいし、自動的に順送シさ
せてもよ−。

呼出スイッチ１３は、メモリーＧＫ記憶されたデータを
呼び出すためのもので、この呼出しにより呼び出された
データに基づ―て試料ステージが動き、試料の座標点を
再現させると共に、結像レンズ群の励磁電流を設定し、
倍率が合わせられる。

写真スイッチ１４社、撮影装置に写真撮影を行わせるた
めのもので、上記呼出スィッチ１３操作後又はこれと同
時に当該写真スイッチ１４をオン操作することにより、
露出計が作動してシャッタ時間を決める一方、フィルム
が未撮影フィルムケースから光軸上に運ばれ、シャッタ
が開閉し、フィルムが撮影済フィルムケースに運ばれる
ことにより一連のＩＩＩｆＩ＆鏡写真の撮影作業が行わ
れる。

メモリー〇には書き換え自由のものが使用され、所定の
番地のメモリー容量をもち、各番地には試料の観察点の
Ｘ、Ｙ座標値及び倍率を記憶させることができる。更に
また、各番地に・、引伸し倍率によるＡの補正とか、そ
の倍率によって撮影すべき回数或岐フィルム枚数等を追
加的に記憶させてお−てもよ−０ さらに、メモリー〇と＃ｉＷＫ他のメモリーＨが備え付
けられて≠る。このメモリーＨＩｆｉ、電子顕微鏡の装
置によって決まるデータを記憶して−るメモリーで、各
倍率に適した対物レンズの励磁電流値をｉｏｎとしたと
き、 ｉｏｎ　＝　工・−、ｆｌｎ となるよりなｉｏｎを記憶している他、明るさ、照射面
積など、その倍率に適する集束レンズ群の励磁電流値、
或はその倍率で最低必要な撮影枚、数と−った各種デー
タが記憶されている。これらのデータ以外にも倍率を決
める結像レンズの励磁電流値をデータとして記憶させて
おいてもよい。

これらのメモリー〇、ＨＫ記憶された各データは、操作
盤！に設けた各作動スイッチ１０，１１゜１２　、１３
　、１４　Ｆ）信号により、第４図中符号Ｉで示される
、電子顕微鏡や撮影装置が所定の作動するよう予めプロ
グラムされたＣＰＵへと送られ、このＣＰＵによって、
電子顕微鏡又は電子顕微鏡の像撮影装置に接続されてこ
れらを作動させる電源回路Ｊ内の各種電源を制御する。

電源回路Ｊは、電子顕微鏡Ｋに配設された集束レンズ２
６゜２７に接続されてこれの励磁を行い電子銃すからの
電子線経路を必要に応じて変化さ□せる集束レンズ電源
１５と、対物レンズｎＫ液続されて当該対物レンズ四を
励磁する対物レンズ電源１６と、中間レンズ（資）、３
１及び投影レンズ３２に接続されてこれらの中間レンズ
（資）、３１等を励磁する中間中投影レンズ電源１７と
、対物レンズ２９磁界内に配置した試料ステージ２８に
連結し当該試料ステージｎをそれぞれＸ方向及びＹ方向
へ摺動きせる駆動モータｎ、２３を作動させるステージ
モータ電源１８と、投影レンズ３２とフィルム撮影面３
７との間に配設されたシャッタ羽を操作するリレー２４
に接続されて制御するシャッタ電源１９と、フィルム撮
影面３７に照射する電子線の置を測定し適正露出を与え
る電出計回路冗と、−回の撮影ごとにフィルムを未撮影
フィルムケース３５かも撮影済フィルムケース３６１で
送給する送りモータ蕊を作動させる送シモータ電源２１
とから成る。

このようガ装置を用いて観察者が像観察を行い、そのう
ちの成る視野を観察している時に記憶スイッチ１２をオ
ンさせると、メモリー〇の〇。

番地にその視Ｗに含まれる部位の座標点（Ｘ、。

ｙｔ　）と、その時の倍率Ｍ、が記載される。同ｉ領で
他の視野を選択し、その視野の観察時に記憶スイッチ１
２をオンさせると、メモリーＧのｎ。

番地に上記と同様座標点（ｘ、　、　右’）とそのとき
の倍率Ｍ、とが記憶され、以下層ｔｉｃ　ｎ、　、　ｎ
４とすすみｎａ番地まで記憶する。更Ｋｎ６４４番地以
降にもそれぞれの視ｔＦＫおける座標点と倍率のデータ
が自動的に入っているものとする。また一方、観察者社
未撮影フィルムケース蕊内Ｋ　ｍｌ、枚又はそれ以上の
、撮影遂行上充分な量のフィルムを装填しておく。また
、この装填したフィルムの数も予め記憶させておき、メ
モリーＧＫ記憶させて行く途中で、撮影しようと−う数
と装填したフィルム枚数とが一致したとき信号を発する
ようｋしておくことも可能である。

このように、撮影の準備が終った後、呼出スイッチ１３
及び写真スイッチ１４を同時に押すと、ＣＰＵはメモ′
リ−Ｇｆ）Ｋｌ、番地の内容に従って座標を再現し、指
定される各レンズの電流値がメモリー■から呼出され、
対物レンズ器、中間レンズ（資）、３１、投影レンズ３
２の励磁設定をして倍率が再現される。そして集束レン
ズ冗、２７の励磁設定ｔし、露出測定、フィルム運搬、
露光など、一連の撮影操作が実行される。次いでｎ６番
地のデータに基づく撮影、ｎ３番地のデータに基づく撮
影と順次進行しｎ、番地まで撮影を実行する。

この撮影がｎ、＋１番地まで進んだとき、このメモリ一
番地のデータが入力されていない場合にはＣＰＵには指
定された撮影を終了したものと判断させ、その作動を停
止させる。或はまた、電子顕微鏡及びその撮影装置自体
を停止の状態、即ちこれらの装置に接続した高圧の電源
回路を切９、油拡散ポンプのスイッチを切や、しばらく
して装置が冷却されたら、冷却水バルブを閉じてメイン
スイッチをカットする方法を採用してもよ−０ なお、連続した広−視野を観察、撮影したいときに社、
メモリーＧの内容を少し変更し、一つの倍率の値に固定
すると共に、試料移動の動きは、予め広い視野領域を指
定しておき、　ＣＰＵｋ移動の方向と量とを計算させて
撮影を実行すれば自動的に広−視野を撮影することがで
きる。

以上説明したように１本発明によれば、電子顕微鏡の対
物レンズ励磁を、撮影倍率に対応して予め設定された一
点又は複数点の値に自動的に設定し、その倍率における
最良の焦点合わせを行うようｋしたため、電子顕微鏡の
焦点合わせを自動的に行うようＫすることが可能となっ
た。また、このような自動焦点合わせと、シャッタ及び
フィルム送シの自動操作とを組合わせることｋより電子
顕微鏡の像撮影操作にお≠て、視野及び倍率の選択と焦
点合わせ、更にはシャッタ操作及びフィルム送シ操作を
完全自動化させることが可能になる等、種々の効果が得
られる０

【図面の簡単な説明】

第１図は、電子顕微鏡によって観察される試料及びこの
試料の観察像における縁取シ効果を示す図である。 第２図は、本発明の前提となる、電子顕微鏡の倍率に対
する、良好な像が得られる不足焦点量の範囲と、ｌケの
最大許容限度を与える不足焦点量の範囲を倍率に対して
表わした図である。 第３図は、像のほけの説明及び本発明における如く不足
焦点による像観察を行うレンズ系を示す図である。 第４図は、本発明による電子顕微鏡の像撮影装置の制御
、作動機構を示す図である。 １・・・試料　　　　　　３・・・対物レンズ４・・・
像面　　　　　　５・・・光軸特許出願人　　株式会社
国際精工 第１図 （ａ）　　　　　（Ｂ） 第２ｒ！Ｉ 倍率 第３図 Δｆ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）電子顕微鏡の焦点合わせ方法において、観察、また
   は撮影倍率に応じて対物レンズの励磁電流値を予め一点
   又は複数点の値に設定しておき、上記倍率での対物レン
   ズの焦点合ゎせを行うようにしたことを特徴上する電子
   顕微鏡の焦点合わせ方法。 ２）電子顕微鏡の像撮影方法において、撮影倍率に応じ
   て対物レンズの励磁電流値を予め一点又はＩＩ数点の値
   に設°定し、焦点合すせをすると共に１論出及びシャッ
   タ操作を自動的に行うようにしたことを特徴とする電子
   顕微鏡の像撮影方法。 ３）電子顕微鏡の撮影方決にお−て、撮影倍率に応じて
   対物レンズの励磁電流値を予め一点又社複数点の値に設
   定し、さらにその撮影に適した照射条件を与える集束レ
   ンズ励磁電流値を予め設定すると共に、露出及びシャッ
   タ操作を自動的に行うようにしたことを特徴とする電子
   顕微鏡の像撮影方法。 ４）試料上の一カ所又は数カ所に焦点合わせを行す、こ
   の無点合わせに対応する対物レンズの励磁電流値を基準
   とする一方、撮影倍率に対応して上記励磁電流値に対す
   る所定の変化量を設定しておき、像撮影時にその倍率に
   対応する電流の変化量を対物レンズに与え像の撮影をす
   るようにした仁とを特徴とする電子顕微鏡の像撮影方法
   。 ５）フィルム送夛、シャッタの即閉、露出計算等を自動
   的に行う自動撮影機構と、モータ駆動により移動可能な
   試料ステージとを有する電子顕微鏡の像撮影装置におい
   て、電子顕微鏡の倍率変換機構に連結され、撮影倍率に
   応じて対物レンズの励磁電流値を一点又は複数点・の値
   に設定する様子め記憶している記憶装置を備え、像を撮
   影するとき、記憶装置からのデータによって対物レンズ
   の励磁電流値を決定して撮影するようＫしたことを特徴
   とする電子顕微鏡の像撮影装置。