JPH02232369A - 金属ストリップ等の長尺物の連続ドライプレーティング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、長尺物に連続的にドライプレーティングを施
す装置に係わり、特に蒸着効率及び＋１２厚の均一性の
優れたドライプレーティング装置に関するものである。

く従来の技術〉 各種の素材に真空蒸着やイオンブレーティング等のいわ
ゆるドライプレーティングにより薄膜を形成させ表面を
改質する技術が、昨今極めて広汎に実施されている。例
えばガラス表面への別種のセラミックコーティング、ド
リルやバイト等へのＴｉＮやＴｉＣ等のコーティング、
あるいはｆ４板等への亜鉛蒸着などがある．特に最近、
金属ストリップなどの長尺物に対し、真空中で連続的に
ドライプレーティングする技術が向上し、利用されるよ
うになってきた。このようなドライプレーティング時に
おける要件としては数多く考えられるが、被蒸着物の点
からみれば蒸着された被膜の厚み均一性の６１保が、ま
た設備上の観点からは無効蒸気の減少がとりわけ重要で
ある． すなわち、前者の被膜厚の均一性確保によって目的とす
る特性の向上が、一方後者の無効茎気の減少によって経
済性および連続操業における生産能率の向上が達成され
る． く発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、上記の如き従来のドライプレーティング
技術においては、以下に述べるような問題を残していた
． ■　被蒸着面が比較的小さい場合にはさほど問題にされ
ることはないが、被蒸着面が大きくなると蒸着膜の膜厚
均一性を維持することが難しい．■　パンチ型のドライ
プレーティングの場合には、無効茎気はバッチ処理の間
に除去可能であるが、連続的ドライプレーティングの場
合には、真空槽内に堆積する無効蒸気は容易に除去でき
ず、駆動部分に障害を与えるため操業面での悪影響が著
しい これを図により説明すると、第３図および第４図は従来
のドライプレーティング装置の概略図である。第３図に
おいては、被蒸着物である長尺物２ｂの下に藤発ｍｌａ
と蒸発源１ａの中に蒸発源３が入っている，Ｐ：発源の
加熱方法はヒーター加熱、あるいは電子ビーム加熱など
を用いることができる。第４図においては、蒸発源が３
基（ｌａ〜Ｉ．ｃ）となっており、第３図に比べ無効蒸
気に関しては格段に有利であるが、長尺物に被着しなか
った多少の無効蒸気は、長時間の運転により真空槽内の
各所に堆積し、駆動部に悪影響を及ぼす．この発明は、
上記の問題を有利に解決するもので、金属ストリップ等
の長尺物を連続的にドライプレーティングする場合であ
っても、均一なＧＡ　ＩＩ９が得られ、また無効蒸気の
発生も少ない連続ドライプレーティング装置を捉案ずる
ことを目的とする． なお、本発明者等が特開昭６３−２６３５３号公報にお
いてσｎ示した、広幅帯状蒸発物を長尺物の裏側を通し
蒸発源に供給する方法に比べ、本発明は生産効率が優れ
、また設備的に簡略である．〈課題を解決するための手
段〉 本発明は、複数の並列して走行する長尺物の進行方向に
対して直角方向に配置した複数個の蒸発源と、前記長尺
物の左右両外側に位置する長尺物の外側側縁に近接して
、前記蒸発源の両側に配置した無効芳気回収装置とを有
するものであり、また、前記無効蒸気回収装置が長尺物
の進行方向に対して平行な回転軸を有する回転可能な円
柱と、前記円柱の外周面を押圧して前記円柱の外周面に
附着した無効渾気を除去する刃とを有するものである． く作用〉 複数の並列して走行する長尺物に対して、複数個のｆ発
源を配置したことにより、均一な膜厚を得ることができ
る． また、上記長尺物の左右両側に位置する長尺物の外側側
縁に近接して、蒸発源の両側に無効英気回収装置を配置
したことにより、暴発物は被蒸着物である長尺物に捕ら
えられるか、または回収されるので、無効蒸気は掻めて
少量となる。

く実施例〉 本発明の一実施例を図面に基づいて説明する．第１図は
本発明の装置の一実施例を示す平面図、第２図は第１図
のＩ−１線断面図である。

第１．２図において、ｌａ−１ｅは被蒸着物である長尺
物２ａ〜２ｅの下に配置された蒸発源である．長尺物２
ａ〜２ｅはそれぞれ平行に走行している．３は蒸発源」
ａ〜ｌｅ中の蒸発物である。

４ａ．４ｂは最外側の長尺物のエッジ近傍に配置された
回転可能な円柱で、円柱４ａ，４ｂには回転軸５ａ，５
ｂが設けてあり、これに駆動系を接続することにより回
転させる． 円柱４ａ，４ｂの側面には、刃６ａ，６ｂが円柱の長さ
にわたって接触している．この円柱４ａ，４ｂを回転さ
せることにより、長尺物２ａ〜２ｅの外側へ飛散し円柱
表面に被着した無効蒸気を研削除去し、貯槽７に貯蔵す
ることにより蒸発物は被蒸着物に捕らえられるかまたは
回収再利用されることになり、無効蒸気は極めて少量と
なる．円柱４ａ，４ｂは蒸気の飛散する範囲をカバーす
る長さを必要とする．円柱の長さに関しては、蒸発源開
口部の寸法、蒸発ｉ１ａ〜１ｅと長尺物２ａ〜２ｅとの
距離などによって変動するが、実験的に容易に確認可能
であるため実施者に好適な値を設定することができる． 貯槽７の代りにベルトコンベアー等の輸送装置を用い、
研削除去された蒸発物を再度蒸発源に投入することも可
能である．また、長尺物２ａ〜２ｅの間隔は可能な限り
狭くすることが望ましい．複数の長尺物２ａ〜２ｅに対
し複数個の蒸発源ｌａ〜１ｅを配置するため、膜厚の均
一性は良好である． 〈発明の効果〉 以上説明したように本発明により均一なドライプレーテ
ィング膜厚分布を存する複数の長尺物を蒸着効率及び生
産性よく製造することが可能である．

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の装置の一実施例を示す平面図、第２図
は第１図の［一！線断面図である．第３図は蒸発源が１
基の従来のドライプレーティング装置、第４図は蒸発源
が複数の従来のドライプレーティング装置である． ａｘｌｅ・・・蒸発源、 ａ〜２ｅ・・・長尺物、 ・・・蒸発物、 ａ，５ｂ・・・回転軸、 ・・・貯槽． ６ａ， ４ｂ・・・円柱、 ６ｂ・・・刃、

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数の並列して走行する長尺物の進行方向に対し
   て直角方向に配置した複数個の蒸発源と、前記長尺物の
   左右両外側に位置する長尺物の外側側縁に近接して、前
   記蒸発源の両側に配置した無効蒸気回収装置とを有する
   ことを特徴とする金属ストリップ等の長尺物の連続ドラ
   イプレーティング装置。
2. （２）無効蒸気回収装置が長尺物の進行方向に対して平
   行な回転軸を有する回転可能な円柱と、前記円柱の外周
   面を押圧して前記円柱の外周面に附着した無効蒸気を除
   去する刃とを有することを特徴とする請求項（１）記載
   の金属ストリップ等の長尺物の連続ドライプレーティン
   グ装置。