JPS63162868A - 薄膜連続製造装置 - Google Patents
薄膜連続製造装置Info
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- JPS63162868A JPS63162868A JP31036486A JP31036486A JPS63162868A JP S63162868 A JPS63162868 A JP S63162868A JP 31036486 A JP31036486 A JP 31036486A JP 31036486 A JP31036486 A JP 31036486A JP S63162868 A JPS63162868 A JP S63162868A
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Links
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- 238000010924 continuous production Methods 0.000 title description 3
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/0005—Separation of the coating from the substrate
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、金属薄膜（金属箔を含む。以下同じ）の連続
製造装置に関するものである。
製造装置に関するものである。
（従来の技術とその問題点）
従来、金属箔の製造方法としては、電気メツキ基板に膜
を形成し、これを剥がして箔とするバッチ処理を主とし
た電気メツキ方式と、溶湯を冷却ロール周面上で急冷、
凝固させ、これを剥がして箔とする溶湯急冷凝固方式と
、何回も圧延を繰返して箔に仕上げる圧延方式とが知ら
れているが、電気メツキ方式及び圧延方式では、箔を連
続的に製造することができない。また、溶湯急冷凝固方
式では、箔の連続的製造ができる反面、箔の厚さを精度
良（制御できないと共に、箔の剥離が良好に行なえない
という不都合を免れなかった。
を形成し、これを剥がして箔とするバッチ処理を主とし
た電気メツキ方式と、溶湯を冷却ロール周面上で急冷、
凝固させ、これを剥がして箔とする溶湯急冷凝固方式と
、何回も圧延を繰返して箔に仕上げる圧延方式とが知ら
れているが、電気メツキ方式及び圧延方式では、箔を連
続的に製造することができない。また、溶湯急冷凝固方
式では、箔の連続的製造ができる反面、箔の厚さを精度
良（制御できないと共に、箔の剥離が良好に行なえない
という不都合を免れなかった。
（発明の目的）
本発明は、前記従来の問題点を解決するためになしたも
ので、真空蒸着により金属薄膜を所望の厚さで連続的に
製造できるようにするこＸを目的とする。
ので、真空蒸着により金属薄膜を所望の厚さで連続的に
製造できるようにするこＸを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明の薄膜連続製造装置は、複数個のガイドロールの
周りに走行可能に巻き掛けられた金属帯板のフープと、
該フープの長手方向一箇所にて金属帯板表面に臨ませた
蒸気口を有する蒸発ルツボとを真空処理室内に設置する
と共に、前記蒸気口のフープ入側に、金属が蒸着する側
の金属帯板表面に蒸着膜剥離用の膜を形成する蒸着前処
理装置を設置し、かつ、蒸気口のフープ出側に、金属帯
板表面に蒸着した薄膜を冷却する冷却装置と、蒸着した
薄膜側を外にして金属帯板を曲げる曲げガイド装置とを
備えた薄膜剥離装置を設置したことを特徴とするもので
ある。
周りに走行可能に巻き掛けられた金属帯板のフープと、
該フープの長手方向一箇所にて金属帯板表面に臨ませた
蒸気口を有する蒸発ルツボとを真空処理室内に設置する
と共に、前記蒸気口のフープ入側に、金属が蒸着する側
の金属帯板表面に蒸着膜剥離用の膜を形成する蒸着前処
理装置を設置し、かつ、蒸気口のフープ出側に、金属帯
板表面に蒸着した薄膜を冷却する冷却装置と、蒸着した
薄膜側を外にして金属帯板を曲げる曲げガイド装置とを
備えた薄膜剥離装置を設置したことを特徴とするもので
ある。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を図面で説明する。
図中１は金属帯板のフープで、例えば３個のガイドロー
ル２Ａ、２Ｂ、２Ｇの周りに走行可能に巻き掛けられて
真空処理室３内に設置されている。
ル２Ａ、２Ｂ、２Ｇの周りに走行可能に巻き掛けられて
真空処理室３内に設置されている。
４は蒸発ルツボで、真空処理室３内に設置されており、
該蒸発ルツボ４の上部には、ガイドロール２Ｂに巻付け
られて弯曲しているフープ１の金属帯板表面に臨ませた
蒸気口５ａを有するダクト５が接続され、かつ、底部に
は、溶解炉のルツボ６内の溶融金属に浸漬させた吸上管
７が接続されている。また、蒸発ルツボ４には、真空処
理室３内の真空により吸上管７を経て溶解ルツボ６から
吸上げた溶融金属を蒸発させる図示しない加熱装置が設
けられている。
該蒸発ルツボ４の上部には、ガイドロール２Ｂに巻付け
られて弯曲しているフープ１の金属帯板表面に臨ませた
蒸気口５ａを有するダクト５が接続され、かつ、底部に
は、溶解炉のルツボ６内の溶融金属に浸漬させた吸上管
７が接続されている。また、蒸発ルツボ４には、真空処
理室３内の真空により吸上管７を経て溶解ルツボ６から
吸上げた溶融金属を蒸発させる図示しない加熱装置が設
けられている。
８は蒸着前処理装置（実施例では油塗布ロール）で、蒸
気口５ａのフープ入側にガイドロール２Ａに対向させて
設置されており、ガイドロール２Ａに巻付けられたフー
プ１の金属が蒸着する側の金属帯板表面に転接しなから
フォンブリン油を塗布し、蒸着膜剥離用の油膜を形成す
る。尚、蒸着膜剥離用の膜としては、油膜に限らず、酸
化膜等であってもよい。
気口５ａのフープ入側にガイドロール２Ａに対向させて
設置されており、ガイドロール２Ａに巻付けられたフー
プ１の金属が蒸着する側の金属帯板表面に転接しなから
フォンブリン油を塗布し、蒸着膜剥離用の油膜を形成す
る。尚、蒸着膜剥離用の膜としては、油膜に限らず、酸
化膜等であってもよい。
９は薄膜剥離装置で、真空処理室３内に設置されており
、蒸気口５ａのフープ出側のガイドロール２Ｃによりフ
ープ１の金属帯板表面に蒸着した薄膜を冷却し、かつ、
この薄膜を外側にして金属帯板を曲げるように構成する
と共に、ガイドロール２Ａに巻付いた金属帯板表面に摺
接して金属帯板表面からの薄膜分離を確実ならしめるド
クターナイフ１０を設けたものである。
、蒸気口５ａのフープ出側のガイドロール２Ｃによりフ
ープ１の金属帯板表面に蒸着した薄膜を冷却し、かつ、
この薄膜を外側にして金属帯板を曲げるように構成する
と共に、ガイドロール２Ａに巻付いた金属帯板表面に摺
接して金属帯板表面からの薄膜分離を確実ならしめるド
クターナイフ１０を設けたものである。
尚、薄膜剥離装置９の薄膜冷却装置としては、ガイドロ
ール２Ｃを冷却ロールとした例につき説明したが、例え
ば冷却プレートを設けても良い。また、薄膜に曲げ歪を
与える曲げガイド機構としては、ガイドロール２Ｃを利
用した例につき説明したが、例えば先端部に円柱面を有
する側面視山形のガイドブロック等を前記冷却プレート
等の後段に設けても同効である。
ール２Ｃを冷却ロールとした例につき説明したが、例え
ば冷却プレートを設けても良い。また、薄膜に曲げ歪を
与える曲げガイド機構としては、ガイドロール２Ｃを利
用した例につき説明したが、例えば先端部に円柱面を有
する側面視山形のガイドブロック等を前記冷却プレート
等の後段に設けても同効である。
１１は薄膜受皿で、前記薄膜剥離装置９のドクターナイ
フ１０の下方位置に設けられており、フープ１の金属帯
板表面から分離される薄膜１２を収納する。
フ１０の下方位置に設けられており、フープ１の金属帯
板表面から分離される薄膜１２を収納する。
尚、真空処理室３には、この薄膜受皿１１を取出す開閉
可能な取入口が設けられている。
可能な取入口が設けられている。
（作 用）
ガイドロール２Ａ又は２Ｃを回転駆動すると、フープ１
は真空処理室３内でエンドレスに図示矢印方向に走行す
る。
は真空処理室３内でエンドレスに図示矢印方向に走行す
る。
このフープｌの金属帯板表面には、蒸気口５ａに到る前
に蒸着前処理装置８により油膜や酸化膜等の蒸着膜分離
用膜が形成され、次いで、この膜上に蒸発ルツボ４から
の金属蒸気が付着し、定速走行するフープ１の金属帯板
表面に蒸着膜分離用膜を介して薄膜が形成される。
に蒸着前処理装置８により油膜や酸化膜等の蒸着膜分離
用膜が形成され、次いで、この膜上に蒸発ルツボ４から
の金属蒸気が付着し、定速走行するフープ１の金属帯板
表面に蒸着膜分離用膜を介して薄膜が形成される。
この薄膜は、蒸気口５ａを通過した後ガイドロール２Ｃ
等により冷却され、かつ、金属帯板を介して曲げ歪が与
えられて、前記蒸着膜剥離用膜の働きで金属帯板表面か
ら自然に剥がれて垂れ下がり、薄膜受皿ｌｌ内に入る。
等により冷却され、かつ、金属帯板を介して曲げ歪が与
えられて、前記蒸着膜剥離用膜の働きで金属帯板表面か
ら自然に剥がれて垂れ下がり、薄膜受皿ｌｌ内に入る。
万一、金属帯板表面から薄膜が自然に剥がれない場合は
、ドクターナイフ１０により強制的に剥離される。
、ドクターナイフ１０により強制的に剥離される。
薄膜が除去されたツー１１は、再びガイドロール２Ａ側
へ走行してその金属帯板表面に蒸着膜剥離用の膜が形成
され、薄膜の蒸着に使用される。
へ走行してその金属帯板表面に蒸着膜剥離用の膜が形成
され、薄膜の蒸着に使用される。
（発明の効果）
以上の通り本発明は、真空処理室内で金属帯仮フープを
エンドレスに走行させ、真空蒸着により該フープの金属
帯板表面に薄膜を連続的に形成すると共に、薄膜の形成
後薄膜を冷却し、かつ、曲げ歪を付与して、薄膜を形成
する側の金属帯板表面に予め形成しておいた蒸着膜剥離
用膜により前記）Ｗ膜を金属帯板表面から確実かつ容易
に剥離させることができるから、薄膜の連続的製造が行
なえると共に、フープ走行速度及び金属蒸発量のコント
ロールにより薄膜の厚さ精度を高めることができる。ま
た、エンドレスに循環走行する金属帯板に真空蒸着装置
と蒸着前処理装置と薄膜剥離装置とを組合わせた簡単な
構成であるから、メンテナンスが容易であると共に、設
備費が安（て済む。
エンドレスに走行させ、真空蒸着により該フープの金属
帯板表面に薄膜を連続的に形成すると共に、薄膜の形成
後薄膜を冷却し、かつ、曲げ歪を付与して、薄膜を形成
する側の金属帯板表面に予め形成しておいた蒸着膜剥離
用膜により前記）Ｗ膜を金属帯板表面から確実かつ容易
に剥離させることができるから、薄膜の連続的製造が行
なえると共に、フープ走行速度及び金属蒸発量のコント
ロールにより薄膜の厚さ精度を高めることができる。ま
た、エンドレスに循環走行する金属帯板に真空蒸着装置
と蒸着前処理装置と薄膜剥離装置とを組合わせた簡単な
構成であるから、メンテナンスが容易であると共に、設
備費が安（て済む。
図面は本発明の一実施例を示す概要図である。
１・・・金属帯板フープ、２Ａ、２Ｂ、２Ｃ・・・ガイ
ドロール、３・・・真空処理室、４・・・蒸発ルツボ、
５・・・ダクト、５ａ・・・金属蒸気口、８・・・蒸着
前処理装置（油塗布ロール）、９・・・薄膜剥離装置、
１０・・・ドクターナイフ、１１・・・薄膜受皿、１２
・・・薄膜。
ドロール、３・・・真空処理室、４・・・蒸発ルツボ、
５・・・ダクト、５ａ・・・金属蒸気口、８・・・蒸着
前処理装置（油塗布ロール）、９・・・薄膜剥離装置、
１０・・・ドクターナイフ、１１・・・薄膜受皿、１２
・・・薄膜。
Claims (1)
- 複数個のガイドロールの周りに走行可能に巻き掛けられ
た金属帯板のフープと、該フープの長手方向一箇所にて
金属帯板表面に臨ませた蒸気口を有する蒸発ルツボとを
真空処理室内に設置すると共に、前記蒸気口のフープ入
側に、金属が蒸着する側の金属帯板表面に蒸着膜剥離用
の膜を形成する蒸着前処理装置を設置し、かつ、蒸気口
のフープ出側に、金属帯板表面に蒸着した薄膜を冷却す
る冷却装置と、蒸着した薄膜側を外にして金属帯板を曲
げる曲げガイド装置とを備えた薄膜剥離装置を設置した
ことを特徴とする薄膜連続製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31036486A JPS63162868A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 薄膜連続製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31036486A JPS63162868A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 薄膜連続製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63162868A true JPS63162868A (ja) | 1988-07-06 |
Family
ID=18004351
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31036486A Pending JPS63162868A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 薄膜連続製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63162868A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013087297A (ja) * | 2011-10-13 | 2013-05-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 金属膜の製造方法 |
-
1986
- 1986-12-26 JP JP31036486A patent/JPS63162868A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013087297A (ja) * | 2011-10-13 | 2013-05-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 金属膜の製造方法 |
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