JPS63162869A - 薄膜連続製造装置 - Google Patents
薄膜連続製造装置Info
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- JPS63162869A JPS63162869A JP31036586A JP31036586A JPS63162869A JP S63162869 A JPS63162869 A JP S63162869A JP 31036586 A JP31036586 A JP 31036586A JP 31036586 A JP31036586 A JP 31036586A JP S63162869 A JPS63162869 A JP S63162869A
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- 238000010924 continuous production Methods 0.000 title description 4
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/0005—Separation of the coating from the substrate
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
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- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、金属ｇｉ膜（金属箔を含む。以下同じ）の連
続製造装置に関するものである。
続製造装置に関するものである。
（従来の技術とその問題点）
従来、金属箔の製造方法としては、電気メッキで基板に
膜を形成し、これを剥がして箔とするバッチ処理を主と
した電気メツキ方式と、溶湯を冷却ロール周面上で急冷
、凝固させ、これを剥がして箔とする溶湯急冷凝固方式
と、何回も圧延を繰返して箔に仕上げる圧延方式とが知
られているが、電気メツキ方式及び圧延方式では、箔を
連続的に製造することができない。また、溶湯急冷凝固
方式では、箔の連続的製造ができる反面、箔の厚さを精
度良く制御できないと共に、箔の剥離が良好に行なえな
いという不都合を免れなかった。
膜を形成し、これを剥がして箔とするバッチ処理を主と
した電気メツキ方式と、溶湯を冷却ロール周面上で急冷
、凝固させ、これを剥がして箔とする溶湯急冷凝固方式
と、何回も圧延を繰返して箔に仕上げる圧延方式とが知
られているが、電気メツキ方式及び圧延方式では、箔を
連続的に製造することができない。また、溶湯急冷凝固
方式では、箔の連続的製造ができる反面、箔の厚さを精
度良く制御できないと共に、箔の剥離が良好に行なえな
いという不都合を免れなかった。
（発明の目的）
本発明は、前記従来の問題点を解決するためになしたも
ので、真空蒸着により金属薄膜を所望の厚さで連続的に
製造できるようにすることを目的とする。
ので、真空蒸着により金属薄膜を所望の厚さで連続的に
製造できるようにすることを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明の薄膜連続製造装置は、真空処理室の入側及び出
側をシールする差圧式真空シール装置を経て真空処理室
内に金属帯板のフープの一部を通過させ、かつ、この金
属帯板表面に臨ませた蒸気口を有する蒸発ルツボを前記
真空処理室内に設置すると共に、真空処理室の入側に、
金属が蒸着する側の金属帯板表面に蒸着膜剥離用の膜を
形成する蒸着前処理装置を設置し、かつ、真空処理室の
出側に、金属帯板表面に蒸着した薄膜を冷却する冷却装
置と、蒸着した薄膜側を外にして金属帯板を曲げる曲げ
ガイド装置とを備えた薄膜剥離装置を設置したことを特
徴とするものである。
側をシールする差圧式真空シール装置を経て真空処理室
内に金属帯板のフープの一部を通過させ、かつ、この金
属帯板表面に臨ませた蒸気口を有する蒸発ルツボを前記
真空処理室内に設置すると共に、真空処理室の入側に、
金属が蒸着する側の金属帯板表面に蒸着膜剥離用の膜を
形成する蒸着前処理装置を設置し、かつ、真空処理室の
出側に、金属帯板表面に蒸着した薄膜を冷却する冷却装
置と、蒸着した薄膜側を外にして金属帯板を曲げる曲げ
ガイド装置とを備えた薄膜剥離装置を設置したことを特
徴とするものである。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を図面で説明する。
図中１は金属帯板のフープで、例えば３個のガイドロー
ル２Ａ、 ２Ｂ、 ２Ｃの周りに走行可能に巻き掛けら
れている。
ル２Ａ、 ２Ｂ、 ２Ｃの周りに走行可能に巻き掛けら
れている。
前記ガイドロール２Ａ、２Ｂ、２Ｃ中のガイドロール２
Ｂは真空処理室３内に設置されており、このガイドロー
ル２Ｂにより、フープ１の一部が、真空処理室３の入側
及び出側を夫々シールする差圧式真空シール装置４．４
“を経て真空処理室３内を貫通している。
Ｂは真空処理室３内に設置されており、このガイドロー
ル２Ｂにより、フープ１の一部が、真空処理室３の入側
及び出側を夫々シールする差圧式真空シール装置４．４
“を経て真空処理室３内を貫通している。
５は蒸発ルツボで、真空処理室３内に設置されており、
該蒸発ルツボ５の上部には、ガイドロール２Ｂに巻付け
られて弯曲しているフープ１の金属帯板表面に臨ませた
蒸気口６ａを有するダクト６が接続され、かつ、底部に
は、溶解炉のルツボ７内の溶融金属に浸漬させた吸上管
８が接続されている。また、蒸発ルツボ５には、真空処
理室３内の真空により吸上管８を経て溶解ルツボ７から
吸上げた溶融金属を蒸発させる図示しない加熱装置が設
けられている。
該蒸発ルツボ５の上部には、ガイドロール２Ｂに巻付け
られて弯曲しているフープ１の金属帯板表面に臨ませた
蒸気口６ａを有するダクト６が接続され、かつ、底部に
は、溶解炉のルツボ７内の溶融金属に浸漬させた吸上管
８が接続されている。また、蒸発ルツボ５には、真空処
理室３内の真空により吸上管８を経て溶解ルツボ７から
吸上げた溶融金属を蒸発させる図示しない加熱装置が設
けられている。
９は蒸着前処理装置（実施例では油塗布ロール）で、真
空処理室３の入側にガイドロール２Ａに対向させて設け
られており、ガイドロール加に巻付けられたフープ１の
金属が蒸着する側の金属帯板表面に転接しなからフォン
ブリン油を塗布し、蒸着膜剥離用の油膜を形成する。尚
、蒸着膜剥離用の膜としては、油膜に限らず、酸化膜等
であってもよい。
空処理室３の入側にガイドロール２Ａに対向させて設け
られており、ガイドロール加に巻付けられたフープ１の
金属が蒸着する側の金属帯板表面に転接しなからフォン
ブリン油を塗布し、蒸着膜剥離用の油膜を形成する。尚
、蒸着膜剥離用の膜としては、油膜に限らず、酸化膜等
であってもよい。
ＩＯは薄膜剥離装置で、真空処理室３の出側のガイドロ
ール２Ｃによりフープ１の金属帯板表面に蒸着した薄膜
を冷却し、かつ、この薄膜を外側にして金属帯板を曲げ
るように構成すると共に、ガイドロール２Ｃに巻付いた
金属帯板表面にその曲がり終端部にて当接して金属帯板
表面からの薄膜分離を確実ならしめるドクターナイフ１
１を設けたものである。尚、Ｆｉｌ膜剥離装置１０の薄
膜冷却装置としては、ガイドロール２Ｃを冷却ロールと
した例につき説明したが、例えば冷却水スプレィ装置を
設けても良い。また、薄膜に曲げ歪を与える曲げガイド
機構としては、ガイドロール２Ｃを利用した例につき説
明したが、例えば先端部に円柱面を有する側面視山形の
ガイドブロック等を前記冷却水スプレィ装置等の後段に
設けても同効である。
ール２Ｃによりフープ１の金属帯板表面に蒸着した薄膜
を冷却し、かつ、この薄膜を外側にして金属帯板を曲げ
るように構成すると共に、ガイドロール２Ｃに巻付いた
金属帯板表面にその曲がり終端部にて当接して金属帯板
表面からの薄膜分離を確実ならしめるドクターナイフ１
１を設けたものである。尚、Ｆｉｌ膜剥離装置１０の薄
膜冷却装置としては、ガイドロール２Ｃを冷却ロールと
した例につき説明したが、例えば冷却水スプレィ装置を
設けても良い。また、薄膜に曲げ歪を与える曲げガイド
機構としては、ガイドロール２Ｃを利用した例につき説
明したが、例えば先端部に円柱面を有する側面視山形の
ガイドブロック等を前記冷却水スプレィ装置等の後段に
設けても同効である。
１２は薄膜巻取ロールで、前記薄膜剥離装置１０の後段
に設けられており、フープ１の金属帯板表面から分離さ
れる１）１１１３を巻取る。
に設けられており、フープ１の金属帯板表面から分離さ
れる１）１１１３を巻取る。
（作 用）
ガイドロール２Ａ又は２Ｃを回転駆動すると、フープ１
はエンドレスに走行し、真空処理室３内を通過する。
はエンドレスに走行し、真空処理室３内を通過する。
このフープ１の金属帯板表面には、真空処理室３内に入
る前に蒸着前処理装置９により油膜や酸化膜等の蒸着膜
分離用膜が形成され、次いで、この股上に真空処理室３
内で蒸発ルツボ５からの金属蒸気が付着し、定速走行す
るフープ１の金属帯板表面に蒸着膜分離用膜を介して薄
膜が形成される。
る前に蒸着前処理装置９により油膜や酸化膜等の蒸着膜
分離用膜が形成され、次いで、この股上に真空処理室３
内で蒸発ルツボ５からの金属蒸気が付着し、定速走行す
るフープ１の金属帯板表面に蒸着膜分離用膜を介して薄
膜が形成される。
この薄膜は、真空処理室３内に出た後、ガイドロール２
０等により冷却され、かつ、金属帯板を介して曲げ歪が
与えられて、前記蒸着膜剥離用膜の働きで金属帯板表面
から自然に剥がれ、薄膜巻取ロール１２に巻取られる。
０等により冷却され、かつ、金属帯板を介して曲げ歪が
与えられて、前記蒸着膜剥離用膜の働きで金属帯板表面
から自然に剥がれ、薄膜巻取ロール１２に巻取られる。
万一、金属帯板表面から薄膜が自然に剥がれなくても、
薄膜巻取ロール１２による巻取りで薄膜を強制的に剥離
させうるが、ドクターナイフ１１によれば、より良好か
つ確実に薄膜の剥離が行なえる。
薄膜巻取ロール１２による巻取りで薄膜を強制的に剥離
させうるが、ドクターナイフ１１によれば、より良好か
つ確実に薄膜の剥離が行なえる。
薄膜が除去されたフープ１は、再びガイドロール２Ａ側
へ走行してその金属帯板表面に蒸着膜剥離用の膜が形成
され、薄膜の蒸着に使用される。
へ走行してその金属帯板表面に蒸着膜剥離用の膜が形成
され、薄膜の蒸着に使用される。
（発明の効果）
以上の通り本発明は、真空処理室内に金属帯板フープの
一部を通過させて、真空蒸着により該フープの金属帯板
表面に薄膜を連続的に形成すると共に、薄膜の形成後薄
膜を冷却し、かつ、曲げ歪を付与して、薄膜を形成する
側の金属帯板表面に予め形成しておいた蒸着膜剥離用膜
により前記薄膜を金属帯板表面から確実かつ容易に剥離
させることができるから、薄膜の連続的製造が行なえる
と共に、フープ走行速度及び金属蒸発量のコントロール
により薄膜の厚さ精度を高めることができる。また、エ
ンドレスに循環走行する金属帯板に真空蒸着装置と蒸着
前処理装置と薄膜剥離装置とを組合わせた簡単な構成で
あるから、メンテナンスが容易であると共に、設備費が
安くて済む。
一部を通過させて、真空蒸着により該フープの金属帯板
表面に薄膜を連続的に形成すると共に、薄膜の形成後薄
膜を冷却し、かつ、曲げ歪を付与して、薄膜を形成する
側の金属帯板表面に予め形成しておいた蒸着膜剥離用膜
により前記薄膜を金属帯板表面から確実かつ容易に剥離
させることができるから、薄膜の連続的製造が行なえる
と共に、フープ走行速度及び金属蒸発量のコントロール
により薄膜の厚さ精度を高めることができる。また、エ
ンドレスに循環走行する金属帯板に真空蒸着装置と蒸着
前処理装置と薄膜剥離装置とを組合わせた簡単な構成で
あるから、メンテナンスが容易であると共に、設備費が
安くて済む。
図面は本発明の一実施例を示す概要図である。
■・・・金属帯板フープ、２Ａ、２Ｂ、２Ｃ・・・ガイ
ドロール、３・・・真空処理室、４．４”・・・差圧式
真空シール装置、５・・・蒸発ルツボ、６・・・ダクト
、６ａ・・・金属蒸気口、９・・・蒸着前処理装置（油
塗布ロール）、ＩＯ・・・薄膜剥離装置、１２・・・薄
膜巻取ロール、１３・・・薄膜。
ドロール、３・・・真空処理室、４．４”・・・差圧式
真空シール装置、５・・・蒸発ルツボ、６・・・ダクト
、６ａ・・・金属蒸気口、９・・・蒸着前処理装置（油
塗布ロール）、ＩＯ・・・薄膜剥離装置、１２・・・薄
膜巻取ロール、１３・・・薄膜。
Claims (1)
- 真空処理室の入側及び出側をシールする差圧式真空シー
ル装置を経て真空処理室内に金属帯板のフープの一部を
通過させ、かつ、この金属帯板表面に臨ませた蒸気口を
有する蒸発ルツボを前記真空処理室内に設置すると共に
、真空処理室の入側に、金属が蒸着する側の金属帯板表
面に蒸着膜剥離用の膜を形成する蒸着前処理装置を設置
し、かつ、真空処理室の出側に、金属帯板表面に蒸着し
た薄膜を冷却する冷却装置と、蒸着した薄膜側を外にし
て金属帯板を曲げる曲げガイド装置とを備えた薄膜剥離
装置を設置したことを特徴とする薄膜連続製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31036586A JPS63162869A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 薄膜連続製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31036586A JPS63162869A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 薄膜連続製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63162869A true JPS63162869A (ja) | 1988-07-06 |
Family
ID=18004364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31036586A Pending JPS63162869A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 薄膜連続製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63162869A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013087297A (ja) * | 2011-10-13 | 2013-05-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 金属膜の製造方法 |
| CN103643205A (zh) * | 2013-12-04 | 2014-03-19 | 王普 | 一种真空镀膜机 |
-
1986
- 1986-12-26 JP JP31036586A patent/JPS63162869A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013087297A (ja) * | 2011-10-13 | 2013-05-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 金属膜の製造方法 |
| CN103643205A (zh) * | 2013-12-04 | 2014-03-19 | 王普 | 一种真空镀膜机 |
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