CN215404515U - 一种用于多孔管壳样品cvd镀膜机进出料机构 - Google Patents
一种用于多孔管壳样品cvd镀膜机进出料机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN215404515U CN215404515U CN202120370710.9U CN202120370710U CN215404515U CN 215404515 U CN215404515 U CN 215404515U CN 202120370710 U CN202120370710 U CN 202120370710U CN 215404515 U CN215404515 U CN 215404515U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- transfer table
- coating machine
- rotating shaft
- porous tube
- feeding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 43
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 42
- 238000007599 discharging Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 99
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 230000007306 turnover Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 210000001503 joint Anatomy 0.000 abstract description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 abstract 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000001659 ion-beam spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 238000005478 sputtering type Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种用于多孔管壳样品CVD镀膜机进出料机构，包括镀膜机主体，所述镀膜机主体内壁设置有链条机构，且链条机构上设置有多个固定块，所述固定块上分别设置有第二中转台和第一中转台，且第一中转台一端设置有转轴，所述转轴一侧设置有驱动电机。该用于多孔管壳样品CVD镀膜机进出料机构通过在镀膜机主体的内部设置链条机构，通过链条机构驱动固定块移动，使固定块在移动的过程中带动第一中转台和第三中转台移动，将出料的产品从第二中转台上推动到第三中转台上，接着再旋转第一中转台，使第一中转台与第二中转台对接，将待加工的产品推动到第二中转台上，由此在出料的同时完成上料工作，提高加工效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及镀膜机设备技术领域，具体为一种用于多孔管壳样品CVD镀膜机进出料机构。
背景技术
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种；主要思路是分成蒸发和溅射两种；蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来；并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜；对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。
目前的镀膜机在对产品进行加工时必须先将镀膜机内部的产品取出后才能放入新的待加工产品，从而增加了产品加工的时间，降低了产品加工的效率，需要进行改进。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于多孔管壳样品CVD镀膜机进出料机构，以解决上述背景技术中提出的镀膜机进出料不便影响产品加工的整体工作进度的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案，一种用于多孔管壳样品CVD镀膜机进出料机构，包括镀膜机主体，所述镀膜机主体内壁设置有链条机构，且链条机构上设置有多个固定块，所述固定块上分别设置有第二中转台和第一中转台，且第一中转台一端设置有转轴，所述转轴一侧设置有驱动电机，且转轴底部设置有第三中转台，所述第一中转台底部设置有转轴，且转轴下端设置有连接杆，并且连接杆一侧与固定块相连接。
优选的，所述第一中转台通过转轴与连接杆构成转动连接，且连接杆与固定块通过螺栓固定连接。
优选的，所述第一中转台顶部设置有第二固定板，且第二固定板一侧设置有第三气缸和第一推板，并且第一推板位于第三气缸的后端。
优选的，所述第二中转台顶部设置有第一固定板，且第一固定板前端设置有第二气缸，并且第一固定板的后端设置有第二推板。
优选的，所述第二中转台位于第一中转台的前端，且第一中转台与第三中转台构成转动连接。
优选的，所述第二固定板另一侧设置有第一气缸和第三推板，且第三推板位于第一气缸的前端。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该用于多孔管壳样品CVD镀膜机进出料机构通过在镀膜机主体的内部设置链条机构，通过链条机构驱动固定块移动，使固定块在移动的过程中带动第一中转台和第三中转台移动，出料时将待加工产品放置到第一中转台上，将出料的产品从第二中转台上推动到第三中转台上，接着再旋转第一中转台，使第一中转台与第二中转台对接，将待加工的产品推动到第二中转台上，由此在出料的同时完成上料工作，提高加工效率。
附图说明
图1为本实用新型一种用于多孔管壳样品CVD镀膜机进出料机构结构示意图；
图2为本实用新型一种用于多孔管壳样品CVD镀膜机进出料机构第一中转台与第三中转台连接结构示意图；
图3为本实用新型一种用于多孔管壳样品CVD镀膜机进出料机构第二中转台侧视图。
图中：1、镀膜机主体，2、链条机构，3、固定块，4、第一推板，5、第一转轴，6、驱动电机，7、第一气缸，8、第一中转台，9、第一固定板，10、第二推板，11、第二中转台，12、第三气缸，13、第二固定板，14、第三推板，15、第三中转台，16、连接杆，17、第二转轴，18、第二气缸。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种用于多孔管壳样品CVD镀膜机进出料机构，包括镀膜机主体1，镀膜机主体1内壁设置有链条机构2，链条机构2由齿轮、链条和电机构成，链条机构2也设置有两个，分别驱动第二中转台11和第一中转台8移动，从而可以构成完整的驱动体系，由于齿轮、链条和电机为现有技术，故在此不做过多描述，且链条机构2上设置有多个固定块3，固定块3设置有两组，每组有三个，固定块3与链条机构2上的链条通过螺栓固定连接，固定块3上分别设置有第二中转台11和第一中转台8，固定块3与第二中转台11的左右两侧通过螺栓固定连接，第一中转台8与固定块3不直接接触，且第一中转台8一端设置有第一转轴5，第一中转台8前端转动连接有第一转轴5，第二中转台11顶部设置有第一固定板9，第二中转台11与第一固定板9通过螺栓固定连接，且第一固定板9前端设置有第二气缸18，第一固定板9与第二气缸18外壁通过螺栓固定连接，并且第一固定板9的后端设置有第二推板10，第一固定板9与第二推板10接触不固定，第二推板10与第二气缸18通过螺栓固定连接；第二中转台11位于第一中转台8的前端，且第一中转台8与第三中转台15构成转动连接；第一转轴5一侧设置有驱动电机6，第一转轴5左侧通过联轴器连接有驱动电机6，且第一转轴5底部设置有第三中转台15，第一转轴5与第三中转台15通过螺栓固定，第一中转台8底部设置有第二转轴17，第一中转台8 与第二转轴17通过螺栓固定，且第二转轴17下端设置有连接杆16，第二转轴17与连接杆 16构成转动连接，第二转轴17通过电机驱动，并且连接杆16一侧与固定块3相连接，连接杆16左侧通过螺栓与固定块3固定连接；第一中转台8通过第二转轴17与连接杆16构成转动连接，且连接杆16与固定块3通过螺栓固定连接；第一中转台8顶部设置有第二固定板13，第一中转台8与第二固定板13通过螺栓固定连接，且第二固定板13一侧设置有第三气缸12和第一推板4，第二固定板13左侧通过螺栓与第三气缸12外壁固定连接，第一推板4与第二固定板13接触不固定，并且第一推板4位于第三气缸12的后端；第二固定板13另一侧设置有第一气缸7和第三推板14，第二固定板13右侧通过螺栓与第一气缸7 固定连接，第三推板14与第二固定板13接触不固定，第三推板14与第三气缸12通过螺栓固定，第一气缸7与第一推板4通过螺栓固定连接，且第三推板14位于第一气缸7的前端；该用于多孔管壳样品CVD镀膜机进出料机构通过在镀膜机主体1的内部设置链条机构2机构，通过链条机构2驱动固定块3移动，使固定块3在移动的过程中带动第一中转台8和第三中转台15移动，出料时将待加工产品放置到第一中转台8上，将出料的产品从第二中转台11上推动到第三中转台15上，接着再旋转第一中转台8，使第一中转台8与第二中转台 11对接，将待加工的产品推动到第二中转台11上，由此在出料的同时完成上料工作，提高加工效率。
工作原理：在使用该用于多孔管壳样品CVD镀膜机进出料机构时，首先将需要上料的产品放置到第一中转台8上，随后分别启动第二中转台11和第一中转台8底部的链条机构2，使第二中转台11从镀膜机主体1的内部出来，将加工完成的产品出来，这时第一中转台8向第二中转台11靠近，随后启动驱动电机6，驱动电机6驱动第一转轴5转动，使第一转轴5在转动的过程中带动第三中转台15与第一中转台8构成水平结构，第三中转台 15的前端与第二中转台11的后端接触，这时启动，第一固定板9上的第二气缸18，第二气缸18推动第二推板10将产品推至第三中转台15上，这时通过电机驱动第二转轴17，第二转轴17驱动第一中转台8以及第三中转台15一同进行转动，当第一中转台8与第三中转台 15互换位置，第一中转台8与第二中转台11接触，启动第三气缸12，第三气缸12推动第三推板14，使第三推板14推动带加工产品移动到第二中转台11上，最后通过链条机构2 驱动第二中转台11进入到镀膜机主体1内部开始加工，这就是该用于多孔管壳样品CVD镀膜机进出料机构的工作原理。
尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种用于多孔管壳样品CVD镀膜机进出料机构，包括镀膜机主体(1)，其特征在于：所述镀膜机主体(1)内壁设置有链条机构(2)，且链条机构(2)上设置有多个固定块(3)，所述固定块(3)上分别设置有第二中转台(11)和第一中转台(8)，且第一中转台(8)一端设置有第一转轴(5)，所述第一转轴(5)一侧设置有驱动电机(6)，且第一转轴(5)底部设置有第三中转台(15)，所述第一中转台(8)底部设置有第二转轴(17)，且第二转轴(17)下端设置有连接杆(16)，并且连接杆(16)一侧与固定块(3)相连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于多孔管壳样品CVD镀膜机进出料机构，其特征在于：所述第一中转台(8)通过第二转轴(17)与连接杆(16)构成转动连接，且连接杆(16)与固定块(3)通过螺栓固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于多孔管壳样品CVD镀膜机进出料机构，其特征在于：所述第一中转台(8)顶部设置有第二固定板(13)，且第二固定板(13)一侧设置有第三气缸(12)和第一推板(4)，并且第一推板(4)位于第三气缸(12)的后端。
4.根据权利要求1所述的一种用于多孔管壳样品CVD镀膜机进出料机构，其特征在于：所述第二中转台(11)顶部设置有第一固定板(9)，且第一固定板(9)前端设置有第二气缸(18)，并且第一固定板(9)的后端设置有第二推板(10)。
5.根据权利要求1所述的一种用于多孔管壳样品CVD镀膜机进出料机构，其特征在于：所述第二中转台(11)位于第一中转台(8)的前端，且第一中转台(8)与第三中转台(15)构成转动连接。
6.根据权利要求3所述的一种用于多孔管壳样品CVD镀膜机进出料机构，其特征在于：所述第二固定板(13)另一侧设置有第一气缸(7)和第三推板(14)，且第三推板(14)位于第一气缸(7)的前端。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120370710.9U CN215404515U (zh) | 2021-02-11 | 2021-02-11 | 一种用于多孔管壳样品cvd镀膜机进出料机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120370710.9U CN215404515U (zh) | 2021-02-11 | 2021-02-11 | 一种用于多孔管壳样品cvd镀膜机进出料机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN215404515U true CN215404515U (zh) | 2022-01-04 |
Family
ID=79667102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202120370710.9U Active CN215404515U (zh) | 2021-02-11 | 2021-02-11 | 一种用于多孔管壳样品cvd镀膜机进出料机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN215404515U (zh) |
-
2021
- 2021-02-11 CN CN202120370710.9U patent/CN215404515U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN215404515U (zh) | 一种用于多孔管壳样品cvd镀膜机进出料机构 | |
| CN101044260A (zh) | 薄膜形成装置及其方法 | |
| WO1996040472A1 (en) | Process equipment for razor blades with simultaneous or sequential deposition and etching capabilities | |
| CN213113477U (zh) | 一种真空镀膜机的靶挡板机构 | |
| CN116944696A (zh) | 具有熔渣处理的激光切割机 | |
| CN205188426U (zh) | 双向进出交替镀膜装置 | |
| CN218453221U (zh) | 一种生物质致密成型燃料加工的环模成型机 | |
| CN220202034U (zh) | 一种往返式真空镀膜装置 | |
| CN108950497B (zh) | 一种基于辉光放电原理将金属沉积在塑胶基材表面的镀膜系统 | |
| CN213772196U (zh) | 一种低辐射玻璃镀膜装置 | |
| CN215046596U (zh) | 一种机械加工自动上料装置 | |
| CN213631601U (zh) | 一种匣钵物料分格装置 | |
| CN215432049U (zh) | 一种片体开槽装置及开槽设备 | |
| CN115520465A (zh) | 锂电池套膜生产线 | |
| CN213835012U (zh) | 一种污泥干化物料水分传导加速装置 | |
| CN212164876U (zh) | 一种打叶复烤烟叶输送设备 | |
| CN211805079U (zh) | 一种切削铁屑收集装置 | |
| CN221398020U (zh) | 一种pvd镀膜工件旋转悬挂装置 | |
| CN217202710U (zh) | 固态发酵布料装置 | |
| CN221414839U (zh) | 一种用于建筑工程的棒料切割机 | |
| CN213172546U (zh) | 溅射均匀的真空镀膜机 | |
| CN221543326U (zh) | 一种不锈钢板加工的上板机 | |
| CN213113466U (zh) | 一种高真空碘化铯物理气相沉积镀膜设备 | |
| CN220812606U (zh) | 一种真空镀膜机的翻转机构 | |
| CN214244163U (zh) | 一种自动污泥处理机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20231011 Address after: 518100 3rd Floor, No. 2151 Shajing West Ring Road, Shasan Community, Shajing Street, Bao'an District, Shenzhen City, Guangdong Province Patentee after: Shenzhen Han's Ruili Taide Precision Coating Co.,Ltd. Address before: 518000 third floor, building 16, Shasan shangxiawei Industrial Zone, Shajing street, Bao'an District, Shenzhen, Guangdong Patentee before: Shenzhen Ruili Taide precision coating Co.,Ltd. |