CN215432049U - 一种片体开槽装置及开槽设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种片体开槽装置及开槽设备,片体开槽装置包括上料机构、旋转机构、定位机构、开槽机构及下料机构,其中:旋转机构包括旋转平台及设在旋转平台上的片体承载机构,旋转平台的旋转路径上依次设有上料工位、定位工位、开槽工位及下料工位,片体承载机构依次旋转至上料工位、定位工位、开槽工位及下料工位;上料机构将片体上料至旋转至上料工位的片体承载机构上;定位机构对旋转至定位工位的片体定位;开槽机构对旋转至开槽工位的片体开槽;下料机构将片体从片体承载机构上取下。通过设置旋转机构并在旋转路径上布置上料、定位、开槽及下料工位,在旋转机构的旋转驱动下,依次实施对电池片的上料、定位、开槽及下料,提升开槽效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及电池生产领域,具体地说是一种片体开槽装置及开槽设备。
背景技术
为了提高电池片的转换效率,需要减小硅片和电极之间的接触电阻,增加硅片与电极之间的欧姆接触。现阶段的通行做法是对硅片与电极的接触位置进行高浓度掺杂。在进行高浓度掺杂前,需要对硅片进行激光开槽。
传统的开槽装置,首先人工将片体上料至开槽工位,然后对片体实施定位以获取到目标开槽位置,完成定位后实施开槽操作,最后人工将开槽后的片体从开槽工位下料。可见,传统的开槽装置,上料、定位、开槽及下料均在开槽工位完成,其开槽效率偏低。
实用新型内容
为了解决上述技术问题,本实用新型一方面提供了一种片体开槽装置,其采用如下技术方案:
一种片体开槽装置,包括上料机构、旋转机构、定位机构、开槽机构及下料机构,其中:旋转机构包括旋转平台及设置在旋转平台上的至少一组片体承载机构,旋转平台的旋转路径上依次设置有上料工位、定位工位、开槽工位及下料工位,旋转平台旋转时带动片体承载机构依次旋转至上料工位、定位工位、开槽工位及下料工位;上料机构设置在上料工位的边侧,上料机构用于将待开槽的片体上料至旋转至上料工位的片体承载机构上;定位机构设置在定位工位的上方,定位机构用于对旋转至定位工位的片体承载机构上的片体定位;开槽机构设置在开槽工位的上方,开槽机构用于对旋转至开槽工位的片体承载机构上的片体开槽;下料机构设置在下料工位的边侧,下料机构用于将开槽后的片体从旋转至下料工位的片体承载机构上取下。
通过设置旋转机构并在旋转机构的旋转路径上依次布置上料、定位、开槽、及下料工位,在旋转机构的旋转驱动下,依次实施电池片的上料、定位、开槽及下料,提升了开槽效率。
在一些实施例中,片体承载机构设置为四组,在旋转平台的带动下,四组片体承载机构分别旋转至上料工位、定位工位、开槽工位及下料工位。
将片体承载机构设置为四组,实现在同一时刻,四组片体承载机构分别位于上料工位、定位工位、开槽工位及下料工位处,从而实现上料、定位、开槽及下料的同步操作,进一步提升开槽效率。
在一些实施例中,每组片体承载机构均包括两个片体承载盘,每个片体承载盘均能承载一片片体,相邻片体承载盘之间均连接有加强筋。
通过将每组片体承载机构设置为包括两个片体承载盘,本实用新型实现了对两片片体的同时开槽处理,进一步提升开槽效率。开槽时,处于不同工位处的片体之间会产生共振,通过在各相邻片体承载盘之间连接加强筋,能够有效降低不同工位处的片体的共振,从而提升开槽效果。
在一些实施例中,片体开槽装置还包括设置在旋转平台同一侧的上料输送机构和下料输送机构,其中:上料输送机构靠近上料机构设置,上料输送机构用于将待开槽的片体朝向上料机构输送,上料机构从上料输送机构上拾取待开槽的片体并将片体上料至旋转至上料工位的片体承载机构上;下料输送机构靠近下料机构设置,下料机构将从旋转至下料工位的片体承载机构上取下的开槽后的片体搬运至下料输送机构上,由下料输送机构将开槽后的片体输送至后道工位。
通过设置上料输送机构实现了对待开槽的片体的自动上料输送。通过设置下料输送机构实现了对开槽后的片体的自动下料输送。特别的,将上料输送机构和下料输送机构设置在旋转平台同一侧,使得本实用新型的结构更加紧凑。
在一些实施例中,上料机构包括第一转动部、第一吸盘组和第二吸盘组,其中:第一吸盘组和第二吸盘组连接在第一转动部上,第一转动部带动第一吸盘组、第二吸盘组同步旋转,以实现第一吸盘组、第二吸盘组在上料输送机构和上料工位之间的位置切换;第一吸盘组旋转至上料输送机构时,第二吸盘组旋转至上料工位,第一吸盘组旋转至上料工位时,第二吸盘组旋转至上料输送机构;第一吸盘组、第二吸盘组均包括两个吸盘,每个吸盘分别吸取一片片体。
通过将上料机构设置为包括第一转动部、第一吸盘组和第二吸盘组,实现:在第一转动部的旋转驱动下,第一吸盘组和第二吸盘组交替地将上料输送机构上的待开槽的片体搬运至上料工位处的片体承载机构上,从而提升上料效率。特别的,第一吸盘组、第二吸盘组均包括两个吸盘,因此,第一吸盘组、第二吸盘组每次均能实施对两片片体的上料。
在一些实施例中,片体开槽装置还包括片体回收机构,其中:下料输送机构位于下料机构的第一侧,片体回收机构位于下料机构的与第一侧相对的第二侧;下料机构包括第二转动部、第三吸盘组和第四吸盘组,其中:第三吸盘组和第四吸盘组连接在第二转动部上,第二转动部带动第三吸盘组、第四吸盘组同步旋转,以实现第三吸盘组在下料工位与下料输送机构之间、第四吸盘组在下料工位与片体回收机构之间的位置切换;第三吸盘组旋转至下料工位时,第四吸盘组旋转至片体回收机构,第三吸盘组旋转至下料输送机构时,第四吸盘组旋转至下料工位;第三吸盘组、第四吸盘组均包括两个吸盘,每个吸盘分别吸取一片片体。
通过将下料机构设置为包括第二转动部、第三吸盘组和第四吸盘,实现:在第二转动部的旋转驱动下,第三吸盘组将下料工位处的经检测合格的开槽后的片体搬运至下料输送机构上,而第四吸盘组则将下料工位处的经检测不合格的开槽后的片体搬运至片体回收机构内回收。特别的,第三吸盘组、第四吸盘组均包括两个吸盘,因此,第三吸盘组、第四吸盘组每次均能实施对两片片体的下料。
在一些实施例中,上料输送机构上设置有上料规整组件,上料规整组件用于实施对待开槽的片体的规整;下料输送机构上设置有下料规整组件,下料规整组件用于实施对开槽后的片体的规整。
通过在料输送机构上设置上料规整组件,实现了对待开槽的片体的规整。通过在下料输送机构上下料规整组件,实现了对开槽后的片体的规整。
在一些实施例中,开槽机构包括激光发生器、第一反射镜、分光镜、第二反射镜、第一振镜和第二振镜,其中:第一反射镜、分光镜及第二反射镜设置在同一轴线上,第一反射镜的反射面朝向激光发生器,分光镜的分光面朝向第一振镜,第二反射镜的反射面朝向第二振镜;第一反射镜将激光发生器发射出的激光反射至分光镜,激光在分光镜的分光面上分光以形成第一激光束和第二激光束,其中,第一激光束照射至第一振镜,第二激光束照射至第二反射镜并被第二反射镜反射至第二振镜;第一振镜和第二振镜的出光方向朝向开槽工位,经第一振镜和第二振镜发出的激光分别实施对位于开槽工位的一片片体的开槽处理。
通过激光发生器、第一反射镜、分光镜、第二反射镜、第一振镜和第二振镜的配合,本实用新型中的开槽机构仅设置一个激光发生器,即能实施对两片片体的开槽,降低了开槽机构的成本。
在一些实施例中,片体开槽装置还包括除尘机构,除尘机构包括除尘框架、风罩、抽风管及风刀,其中:除尘框架位于开槽机构与旋转机构之间,除尘框架内形成有光通道,开槽机构发出的开槽激光经光通道照射至旋转机构;风罩连接在除尘框架的外侧壁上,风罩与除尘框架之间形成风腔,除尘框架内侧壁上设置有与风腔连通的抽风口;抽风管的一端连接在所述风罩上并与风腔连通,抽风管的另一端连接抽风装置;风刀经角度调节机构安装在除尘框架上,角度调节机构用于调节风刀的出风方向。
通过设置除尘机构,能够及时去除开槽过程中残留在电池片表面的粉尘,提升开槽效果。特别的,片体开槽装置上设置有出风方向可调的风刀,开槽过程中,调节好风刀的出风方向,风刀形成的风幕一方面能够将粉尘吹入至抽风口内以提升除尘效果,另一方面防止风幕上方的粉尘重新降落至旋转机构上的电池片上。
本实用新型第二方面提供了一种片体开槽设备,包括片体供料装置、片体开槽装置及片体收料装置,其中:片体供料装置被配置为存储待开槽的片体并将待开槽的片体供应至片体开槽装置;片体开槽装置用于实施对片体的开槽,片体开槽装置为上述任一项所述的片体开槽装置;片体收料装置用于从片体开槽装置上拾取开槽后的片体并储存开槽后的片体。
通过片体供料装置、片体开槽装置及片体收料装置的配合,本实用新型的片体开槽设备实现了片体上料、片体开槽及片体下料的全流程自动化。
附图说明
图1为本实用新型实施例中的片体开槽装置的结构示意图;
图2为本实用新型实施例中的旋转机构在一个视角下的结构示意图;
图3为本实用新型实施例中的旋转机构在另一个视角下的结构示意图;
图4为本实用新型实施例中的上料机构的结构示意图;
图5为本实用新型实施例中的下料机构的结构示意图;
图6为本实用新型实施例中的开槽机构在一个视角下的结构示意图;
图7为本实用新型实施例中的开槽机构在另一个视角下的结构示意图;
图8为本实用新型实施例中的除尘机构在一个视角下的结构示意图;
图9为本实用新型实施例中的除尘机构在另一个视角下的结构示意图;
图10为本实用新型实施例中的开槽设备的结构示意图;
图1至图10中包括:
开槽装置10:
上料输送机构11;
上料机构12,第一转动部121、第一吸盘组122、第二吸盘组123;
旋转机构13,旋转平台131、片体承载机构132、DD马达133、加强筋134、第一片体承载盘1321、第二片体承载盘1322;
定位机构14;
开槽机构15,激光发生器151、第一反射镜152、扩束镜153、分光镜154、第二反射镜155、第一振镜156和第二振镜157;
除尘机构16、除尘框架161、风罩162、抽风管163、风刀164、光通道165、抽风口166;
下料机构17,第二转动部171、第三吸盘组172、第四吸盘组173;
下料输送机构18;
片体供料装置20;
片体收料装置30;
上料工位A、定位工位B、开槽工位C、下料工位D。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。需要注意的是,为便于观察本申请所述各个技术特征,附图隐藏了部分连接结构。
传统的开槽装置,首先人工将片体上料至开槽工位,然后对片体实施定位以获取到目标开槽位置,完成定位后实施开槽操作,最后人工将开槽后的片体从开槽工位下料。可见,传统的开槽装置,上料、定位、开槽及下料均在开槽工位完成,其开槽效率偏低。
鉴于此,本实用新型提供了一种片体开槽装置,如图1至图3所示,该片体开槽装置10包括上料机构12、旋转机构13、定位机构14、开槽机构及下料机构17,其中:
旋转机构13包括旋转平台131及设置在旋转平台131上的至少一组片体承载机构132。其中,旋转平台131的旋转路径上依次设置有上料工位A、定位工位B、开槽工位C及下料工位D。旋转平台131旋转时带动片体承载机构132依次旋转至所述上料工位A、定位工位B、开槽工位C及下料工位D。
上料机构12设置在上料工位A的边侧,上料机构12用于将待开槽的片体上料至旋转至上料工位A的片体承载机构12上,从而实现对待开槽的片体的自动上料。
定位机构14设置在定位工位B的上方,定位机构14用于对旋转至定位工位B的片体承载机构132上的片体定位,以实现对片体上的目标开槽位置的定位。可选的,定位机构14包括相机,定位机构14通过获取片体的影像并通过分析片体的影像以实现对片体上的目标开槽位置的定位。
开槽机构设置在开槽工位C的上方,开槽机构用于对旋转至开槽工位C的片体承载机构上的片体开槽。可选的,开槽机构为激光开槽装置。
下料机构17设置在下料工位D的边侧,下料机构17用于将开槽后的片体从旋转至下料工位D的片体承载机构132上取下,从而实现对开槽后的片体的自动下料。
可见,本实用新型通过设置旋转机构并在旋转机构的旋转路径上依次布置上料、定位、开槽、及下料工位,在旋转机构的旋转驱动下,本实用新型依次实施了电池片的上料、定位、开槽及下料操作,提升了开槽效率。
可选的,旋转平台131连接在DD马达133的驱动端上,DD马达133驱动旋转平台131旋转。
可选的,如图1所述,旋转平台131上设置有四组片体承载机构132,在旋转平台131的带动下,四组片体承载机构132分别旋转至上料工位A、定位工位B、开槽工位C及下料工位D。如此设置,可以实现,在同一时刻,各工位处均存在一组片体承载机构132,因此,各工位处的操作机构均能实施相应的操作。即,上料工位A边侧处的上料机构12将待开槽的片体上料至上料工位A处的片体承载机构132上;定位工位B上方的定位机构14实施对位于定位工位B处的片体承载机构132上的片体的定位;开槽工位C上方的开槽机构实施对位于开槽工位C处的片体承载机构132上的片体的开槽;下料工位D边侧处的下料机构17则实施对位于下料工位D处的片体承载机构132上的开槽后的片体的下料。
继续参考图1至图3所示,可选的,每组片体承载机构132均包括两个片体承载盘,分别为第一片体承载盘1321和第二片体承载盘1322,第一片体承载盘1321和第二片体承载盘1322分别承载一片片体。
由于每组片体承载机构132上均承载有两片片体,当片体承载机构132旋转至上料工位A时,上料机构12同时将两片待开槽的片体上料至片体承载机构132上。当片体承载机构132旋转至定位工位B时,定位机构14同时完成对两片片体的定位。当片体承载机构132旋转至开槽工位C时,开槽机构同时实施对两片片体的开槽处理。当片体承载机构132下料工位D时,下料机构17则将完成开槽的两片片体从片体承载机构132上取下。如此,本实用新型的片体开槽装置10实现了对两片片体的同时开槽处理,从而进一步提升了本实用新型的开槽效率。
如图2和图3所示,各片体承载盘均连接在旋转平台131的周侧,开槽时,处于不同工位处的片体之间容易产生共振,可能导致片体偏移甚至坠落。为了解决该问题,可选的,各相邻片体承载盘之间连接加强筋134,加强筋134有效降低不同工位处的片体的共振。
可选的,如图1所示,本实用新型的片体开槽装置还包括设置在旋转平台131同一侧的上料输送机构11和下料输送机构18,其中:
上料输送机构11靠近上料机构12设置,上料输送机构11用于将待开槽的片体朝向上料机构12输送,上料机构12从上料输送机构11上拾取待开槽的片体并将片体上料至旋转至上料工位A的片体承载机构132上。
下料输送机构18则靠近下料机构17设置,下料机构17将从旋转至下料工位D的片体承载机构132上取下的开槽后的片体搬运至下料输送机构18上,由下料输送机构18将开槽后的片体输送至后道工位。
通过设置上料输送机构11实现了对待开槽的片体的自动上料输送,而通过设置下料输送机构18则实现了对开槽后的片体的自动下料输送。特别的,将上料输送机构11和下料输送机构18设置在旋转平台131同一侧,使得本实用新型的片体开槽装置10的结构更加紧凑。
可选的,如图4所示,上料机构12包括第一转动部121、第一吸盘组122和第二吸盘组123,其中:第一吸盘组122和第二吸盘组123连接在第一转动部121上,第一转动部121带动第一吸盘组122、第二吸盘组123同步旋转,以实现第一吸盘组122、第二吸盘组123在上料输送机构11和上料工位A之间的位置切换。
特别的,第一吸盘组122旋转至上料输送机构11时,第二吸盘组123旋转至上料工位A。第一吸盘组122旋转至上料工位A时,第二吸盘组123则旋转至上料输送机构11。第一吸盘组122、第二吸盘组123均包括两个吸盘,每个吸盘分别吸取一片片体。如此设置,第一吸盘组122和第二吸盘组123能够连续、交替地从上料输送机构11上拾取两片片体并将拾取的两片片体上料至上料工位A处的片体承载机构132上。
可选的,如图1和图5所示,本实用新型的片体开槽装置10还包括片体回收机构19。下料输送机构18位于下料机构17的第一侧,片体回收机构19位于下料机构17的与第一侧相对的第二侧。下料机构17包括第二转动部171、第三吸盘组172和第四吸盘组173,其中:第三吸盘组172和第四吸盘组173连接在第二转动部171上,第二转动部171带动第三吸盘组172、第四吸盘组173同步旋转,以实现第三吸盘组172在下料工位D与下料输送机构18之间、第四吸盘组173在下料工位D与片体回收机构19之间的位置切换。
特别的,第三吸盘组172旋转至下料工位D时,第四吸盘组173旋转至片体回收机构19,第三吸盘组173旋转至下料输送机构10时,第四吸盘组173旋转至下料工位D。通过将下料机构17设置为包括第二转动部、第三吸盘组和第四吸盘,实现下料机构17对片体的分类下料,如,第三吸盘组172将下料工位D处的经检测合格的开槽后的片体搬运至下料输送机构18上,而第四吸盘组173则将下料工位D处的经检测不合格的开槽后的片体搬运至片体回收机构19内回收。
可选的,第三吸盘组172、第四吸盘组173均包括两个吸盘,每个吸盘分别吸取一片片体,如此,第三吸盘组172、第四吸盘组173每次均能实施对两片片体的下料。
可选的,上料输送机构11上设置有上料规整组件111,上料规整组件111用于实施对待开槽的片体的规整。下料输送机构18上设置有下料规整组件181,下料规整组件181用于实施对开槽后的片体的规整。
可选的,上料规整组件111、下料规整组件181分别包括设置在上料输送机构11、下料输送机构18两侧的第一规整部和第二规整部。在上料输送机构11、下料输送机构18的带动下,片体从第一规整部和第二规整部之间穿过,在此过程中,第一规整部和第二规整部配合实施对片体的一侧两个相对边缘的规整。
如图6和图7所示,可选的,开槽机构15包括激光发生器151、第一反射镜152、分光镜154、第二反射镜155、第一振镜156和第二振镜157,其中:第一反射镜152、分光镜154及第二反射镜155设置在同一轴线上,第一反射镜152的反射面朝向激光发生器151。分光镜154的分光面朝向第一振镜156,第二反射镜155的反射面朝向第二振镜157。第一反射镜152将激光发生器151发射出的激光反射至分光镜154,激光在分光镜154的分光面上分光以形成第一激光束和第二激光束,其中,第一激光束照射至第一振镜156,第二激光束照射至第二反射镜155并被第二反射镜155反射至第二振镜157。第一振镜156和第二振镜157的出光方向均朝向开槽工位D,经第一振镜156和第二振镜157发出的激光分别实施对位于开槽工位D的一片片体的开槽处理。
可见,通过对激光发生器151、第一反射镜152、分光镜154、第二反射镜155、第一振镜156和第二振镜157进行布置,本实用新型中的开槽机构15仅设置一个激光发生器,即能实施对两片片体的同时开槽,降低了开槽成本。
可选的,第一反射镜152和分光镜154之间还设置有扩束镜153。
如图1所示,本实用新型还包括设置在开槽工位C的上方的除尘机构16,除尘机构16用于除去开槽过程中产品的粉尘,从而提升开槽效果。
如图8至图9所示,可选的,除尘机构16包括除尘框架161、风罩162、抽风管163及风刀164,其中:除尘框架161位于开槽机构15与旋转机构13之间,除尘框架161内形成有光通道165。开槽机构15发出的开槽激光经光通道165照射至旋转机构13。风罩162连接在除尘框架161的外侧壁上,风罩162与除尘框架161之间形成风腔,除尘框架161内侧壁上设置有与风腔连通的抽风口166。抽风管163的一端连接在风罩162上并与风腔连通,抽风管163的另一端连接抽风装置。风刀164经角度调节机构连接在除尘框架161上,角度调节机构可以调节风刀的安装角度从而实现对风刀的出风方向的灵活调节。
开槽过程中,开启外侧的与抽风管163连通的抽风装置,除尘机构16的风腔内产生负压,开槽过程扬起的粉尘经风口166被吸入至风腔内从而被去除。
由于除尘框架161上设置有出风方向可调节的风刀164,开槽过程中,通过对风刀164的出风方向进行调整。风刀164所述形成风幕一方面能够将粉尘吹入至抽风口内以提升除尘效果,另一方面则能防止风幕上方的粉尘重新降落至旋转机构上的电池片上。
此外,由于除尘机构16内形成有光通道165,因此,设置在除尘机构16上方的开槽机构15发出的开槽激光能够经光通道165顺利地照射至旋转机构13上以实施对片体的开槽。
本实用新型第二方面提供了一种片体开槽设备,如图10所示,该片体开槽设备包括片体供料装置20、片体开槽装置10及片体收料装置30,其中:片体供料装置20被配置为存储待开槽的片体并将待开槽的片体供应至片体开槽装置10。片体开槽装置10用于实施对片体的开槽,片体开槽装置10为上述任一项所述的片体开槽装置。片体收料装置30用于从片体开槽装置10上拾取开槽后的片体并储存开槽后的片体。
通过片体供料装置、片体开槽装置及片体收料装置的配合,本实用新型的片体开槽设备实现了片体上料、片体开槽及片体下料的全流程自动化。
上文对本实用新型进行了足够详细的具有一定特殊性的描述。所属领域内的普通技术人员应该理解,实施例中的描述仅仅是示例性的,在不偏离本实用新型的真实精神和范围的前提下做出所有改变都应该属于本实用新型的保护范围。本实用新型所要求保护的范围是由所述的权利要求书进行限定的,而不是由实施例中的上述描述来限定的。
Claims (10)
1.一种片体开槽装置,其特征在于,所述片体开槽装置包括上料机构、旋转机构、定位机构、开槽机构及下料机构,其中:
所述旋转机构包括旋转平台及设置在所述旋转平台上的至少一组片体承载机构,所述旋转平台的旋转路径上依次设置有上料工位、定位工位、开槽工位及下料工位,所述旋转平台旋转时带动所述片体承载机构依次旋转至所述上料工位、所述定位工位、所述开槽工位及所述下料工位;
所述上料机构设置在所述上料工位的边侧,所述上料机构用于将待开槽的片体上料至旋转至所述上料工位的所述片体承载机构上;
所述定位机构设置在所述定位工位的上方,所述定位机构用于对旋转至所述定位工位的所述片体承载机构上的片体定位;
所述开槽机构设置在所述开槽工位的上方,所述开槽机构用于对旋转至所述开槽工位的所述片体承载机构上的片体开槽;
所述下料机构设置在所述下料工位的边侧,所述下料机构用于将开槽后的片体从旋转至所述下料工位的所述片体承载机构上取下。
2.如权利要求1所述的片体开槽装置,其特征在于,所述片体承载机构设置为四组,在所述旋转平台的带动下,四组所述片体承载机构分别旋转至所述上料工位、所述定位工位、所述开槽工位及所述下料工位。
3.如权利要求2所述的片体开槽装置,其特征在于,每组所述片体承载机构均包括两个片体承载盘,每个所述片体承载盘均能承载一片片体,相邻所述片体承载盘之间均连接有加强筋。
4.如权利要求3所述的片体开槽装置,其特征在于,所述片体开槽装置还包括设置在所述旋转平台同一侧的上料输送机构和下料输送机构,其中:
所述上料输送机构靠近所述上料机构设置,所述上料输送机构用于将待开槽的片体朝向所述上料机构输送,所述上料机构从所述上料输送机构上拾取待开槽的片体并将片体上料至旋转至所述上料工位的所述片体承载机构上;
所述下料输送机构靠近所述下料机构设置,所述下料机构将从旋转至所述下料工位的所述片体承载机构上取下的开槽后的片体搬运至所述下料输送机构上,由所述下料输送机构将开槽后的片体输送至后道工位。
5.如权利要求4所述的片体开槽装置,其特征在于,所述上料机构包括第一转动部、第一吸盘组和第二吸盘组,其中:
所述第一吸盘组和所述第二吸盘组连接在所述第一转动部上,所述第一转动部带动所述第一吸盘组、所述第二吸盘组同步旋转,以实现所述第一吸盘组、所述第二吸盘组在所述上料输送机构和所述上料工位之间的位置切换;
所述第一吸盘组旋转至所述上料输送机构时,所述第二吸盘组旋转至所述上料工位,所述第一吸盘组旋转至所述上料工位时,所述第二吸盘组旋转至所述上料输送机构;
所述第一吸盘组、所述第二吸盘组均包括两个吸盘,每个吸盘分别吸取一片片体。
6.如权利要求4所述的片体开槽装置,其特征在于:
所述片体开槽装置还包括片体回收机构,其中:所述下料输送机构位于所述下料机构的第一侧,所述片体回收机构位于所述下料机构的与所述第一侧相对的第二侧;
所述下料机构包括第二转动部、第三吸盘组和第四吸盘组,其中:
所述第三吸盘组和所述第四吸盘组连接在所述第二转动部上,所述第二转动部带动所述第三吸盘组、所述第四吸盘组同步旋转,以实现所述第三吸盘组在所述下料工位与所述下料输送机构之间、所述第四吸盘组在所述下料工位与所述片体回收机构之间的位置切换;
所述第三吸盘组旋转至所述下料工位时,所述第四吸盘组旋转至所述片体回收机构,所述第三吸盘组旋转至所述下料输送机构时,所述第四吸盘组旋转至所述下料工位;
所述第三吸盘组、所述第四吸盘组均包括两个吸盘,每个吸盘分别吸取一片片体。
7.如权利要求4所述的片体开槽装置,其特征在于:
所述上料输送机构上设置有上料规整组件,所述上料规整组件用于实施对待开槽的片体的规整;
所述下料输送机构上设置有下料规整组件,所述下料规整组件用于实施对开槽后的片体的规整。
8.如权利要求1所述的片体开槽装置,其特征在于:所述开槽机构包括激光发生器、第一反射镜、分光镜、第二反射镜、第一振镜和第二振镜,其中:
所述第一反射镜,所述分光镜及所述第二反射镜设置在同一轴线上,所述第一反射镜的反射面朝向所述激光发生器,所述分光镜的分光面朝向所述第一振镜,所述第二反射镜的反射面朝向所述第二振镜;
所述第一反射镜将所述激光发生器发射出的激光反射至所述分光镜,激光在所述分光镜的分光面上分光以形成第一激光束和第二激光束,其中,所述第一激光束照射至所述第一振镜,所述第二激光束照射至所述第二反射镜并被所述第二反射镜反射至所述第二振镜;
所述第一振镜和所述第二振镜的出光方向朝向所述开槽工位,经所述第一振镜和所述第二振镜发出的激光分别实施对位于所述开槽工位的一片片体的开槽处理。
9.如权利要求1所述的片体开槽装置,其特征在于:所述片体开槽装置还包括除尘机构,所述除尘机构包括除尘框架、风罩、抽风管及风刀,其中:
所述除尘框架位于所述开槽机构与所述旋转机构之间,所述除尘框架内形成有光通道,所述开槽机构发出的开槽激光经所述光通道照射至所述旋转机构;
所述风罩连接在所述除尘框架的外侧壁上,所述风罩与所述除尘框架之间形成风腔,所述除尘框架内侧壁上设置有与所述风腔连通的抽风口;
所述抽风管的一端连接在所述风罩上并与所述风腔连通,所述抽风管的另一端连接抽风装置;
所述风刀经角度调节机构安装在所述除尘框架上,所述角度调节机构用于调节所述风刀的出风方向。
10.一种片体开槽设备,其特征在于,所述片体开槽设备包括片体供料装置、片体开槽装置及片体收料装置,其中:
所述片体供料装置被配置为存储待开槽的片体并将待开槽的片体供应至所述片体开槽装置;
所述片体开槽装置用于实施对片体的开槽,所述片体开槽装置为权利要求1至9任一项所述的片体开槽装置;
所述片体收料装置用于从所述片体开槽装置上拾取开槽后的片体并储存开槽后的片体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202121741056.4U CN215432049U (zh) | 2021-07-29 | 2021-07-29 | 一种片体开槽装置及开槽设备 |
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CN202121741056.4U CN215432049U (zh) | 2021-07-29 | 2021-07-29 | 一种片体开槽装置及开槽设备 |
Publications (1)
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CN215432049U true CN215432049U (zh) | 2022-01-07 |
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ID=79685138
Family Applications (1)
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CN (1) | CN215432049U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115945798A (zh) * | 2022-11-22 | 2023-04-11 | 苏州天弘激光股份有限公司 | 全自动晶圆紫外激光开槽设备 |
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2021
- 2021-07-29 CN CN202121741056.4U patent/CN215432049U/zh active Active
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