JPH02188990A - 液状フォトレジスト剤の塗布方法とその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はプリント配線板面上の配線パターンに対する液
状フォトレジスト剤の塗布方法及びその装置に係る。

［従来の技術］ プリント配線板上の配線パターンに対するソルダーレジ
スト即ち半田付は作業における溶融した半田の流れの拡
大を阻止する方法として、最近フィルム状のフォトソル
ダーレジスト剤（以下レジスト剤と略称する）を同板上
に貼り付けるいわゆるドライフィルム方式が盛んに使わ
れてい、る、同方法を簡単に説明すると、プリント配線
板上にプリントされた多数の配線即ち条状の銅箔をスル
ーホール（ＩＣなどの取付用足のさし込み孔）のあるバ
ターン面上に、上記レジスト剤のフィルムを貼り付ける
ものである。そのフィルム面上に所要の配線パターンの
描いであるフィルム（アートワーク）を載せて紫外線露
光し、それによって上記配線パターンを硬化させ、その
後配線パターン以外の未硬化部のフィルムを剥離して上
記配線パターンをプリント配線板面上に残すものである
。

従って配線パターンは硬化したフィルムによって被覆さ
れ、上記スルーホール内にさし込まれたＩＣの足などの
半田付けにおける半田の流入を食い止めることになるの
である。

しかし上記ドライフィルムレジスト法は材料費が比較的
高く、また完全自動化が非常に困難であるなどの理由か
ら、他の方法が研究されてきた。そして最近ではプリン
ト配線板製作者が、液状レジスト剤を購入し、それを直
接コートする方法がとられている。

上記液状レジスト剤のコーティング法には現在のところ
スクリーン印刷法又はロールコーティング法、カーテン
コーティング法、エアスプレィ法などが採られている。

しかしこれらには種々の問題点があったのである。

その前に、これらの対象となるプリント配線板面の高密
度の微鞘な状態について説明する。−例として現在量も
多く使われているパッケージ方式のＤＩＰ（ＤｕａｌＩ
ｎｌｉｎｅ　Ｐａｃｋａｇｅ）をあげると部品穴（ピン
）間の間隔は、第１２図に示すように１００＋ｅｉｌ（
２，５４■）であり、この間に配線する本数によってフ
ァインパターン度が表わされている。現在量産的には二
本のものが多いが。

更に三本のものが要求されているのが実状である。これ
ら配線はいうまでもなくプリントされた条状の銅箔であ
る。そして第１３図に示すように、部品（ＩＣ）などの
足をスルーホール内に差し込み、その足を半田付けする
場合、その溶融した半田が流出して配線の銅箔部への接
触を防止するためにソルダーレジストが施行されるので
ある。

さて上記ソルダーレジストの施工即ち液状レジスト剤を
上記の各法によりコートした場合の問題点をあげてみる
。

（１）　スクリーン印刷方式 本方式はいわゆる謄写盤方式のものであり、第１４Ａ図
に示すようにスクイーズローラ（Ｒ）で液状レジスト剤
（Ｌｇｒ）をスクリーン（Ｓｃ）上に押し付け、その下
面におかれたプリント配線板（ＰＰ）面上にプリントす
るものである。そのスクィーズローラ（Ｒ）で押付ける
際。

第１４Ｂ図に示すように配線（銅箔）上面には片あたり
やエツジ部の薄層化などが生ずるのである。更に同板（
Ｐ　Ｐ）面上の配線パターン（ＰＷ）間の間隙内に十分
に上記液状レジスト剤が入り込み難いことや、また逆に
スルーホール内に入り込んで、未硬化の液状レジスト剤
を剥離する場合に困鳳をきたすなどという諸欠点がある
。

（２）　ロールコータ方式 本方式もロール（ローラ）を用いてプリント配線板面上
に液状レジスト剤を塗布するもので、上項のスクリーン
方式の場合におけるとほぼ同様の不具合が発生する。

（３）カーテンコーティング方式 本方式は第１５Ａ図に見られるようにスリットダイ（Ｓ
　Ｄ）から液状レジスト剤をカーテン状（Ｆｃ）に自重
により垂下せしめ、プリント配線板（ｐ　ｐ）面上にフ
ィルムコートするものである。従って配線パターン（Ｐ
Ｗ）の上面全面には液状レジスト剤はコートされるが、
上項の如くエツジ部に対する薄層化は免れられない、更
に上記の如く液状レジスト剤はカーテン状に垂下してく
るので、大気中に曝される時間が比較的多く、その間に
同液状レジスト剤中に、含まれている溶剤が蒸発し、濃
度に変化を生じて塗布膜に厚薄を生じることになる。こ
れらを常時管理するための装置が必要であり、工数と装
置費がアップする。

（４）スプレィ方式 本方式の場合には、一般にエアスプレィがとられている
。それは第１６図に見られるようにプリント配線板上の
銅線のパターンのエツジ部が、フラット面に比して薄く
なる０例えばフラット面（Ｆ）上を２０〜３０μとする
とエツジ部（Ｅ）は５μ以下となる。また鎖部を厚く塗
布すると全体的に膜厚となり、上記フラット面部（Ｆ）
は必ｍａ上に厚くなりすぎてしまうのである。

一般のエアスプレィにおける共通的欠点としては、オー
バースプレィが多く、塗着効率は２０％以下である。

よってプリント配線板の治具や同移動用のコンベアは汚
染され、それらの洗浄手入れには多くの工数を要するこ
とは衆知の通りである。

また、これに静電気をかけた場合（一般に５０〜１００
ＫＶ）や、静電気の力に大きく依存しているベル型遠心
力霧化静電塗工の場合にも１次のような問題が発生した
。

第１７図を参照されたい、即ちスルーホール（”Ｈ’）
においては穴の上下のフランジ部における穴の周辺（Ｆ
Ｉ）には液状レジスト剤が塗着せず、その外周縁（ＦＯ
）にのみ厚く塗着されるのである。理由は、穴の周辺は
同種の電気イオンが発生するため、互いに反発するため
のものと推察される。またプリント配線板全体の周縁の
エツジ部（ＰＲ）には、中央部における数倍もの厚さ（
Ｒｔ）の液状レジスト剤が塗布されるのである。

［解決しようとする問題点］ 上述の癲＜、従来の液状レジスト剤のコーティング作業
においては、配線パターン上におけるエツジに対し薄層
化やスルーホールの目詰り等が発生し、またスクリーン
方式やロール方式においては両面に対する塗布などは全
く不可能であった。また各配線パターン間に対する不十
分な塗膜形成が発生し、特にエアスプレィ方式において
は、ミストの逸散が甚だしく治具や移動装置なども汚染
し、また静電塗工においては、代表的なベル型遠心力震
化静電塗工の場合においても、スルーホールや基板外周
縁に対しても上述の如く不都合をきたした。

本発明の動機はこれら諸問題を解決し、より簡易に。

より完全な液状レジスト剤を施工することにあった。

［問題点を解決するための手段］ 上記各種塗布方式中、エアスプレィ方式は、最も一般的
なものである。しかし、上述の如く塗潰効率が２０％前
後という極めて効率が低いということが最大の欠点であ
った。しかし．エアレススプレイ方式を使用すれば、よ
り効率の上昇することは衆知の如く明らかであり、本発
明者は先ず同方式を検討した。更に、同スプレィ方式に
外部帯電型の静電をも与えてみた。そして各種各様の実
験の結果、予期した成果が得られたのである。

本発明の要旨は、液状レジスト剤をプリント配線板上に
塗布するに当り．エアレススプレイ方式を採用し、かつ
そのノズルの先端部にはパターンエア用としての補助エ
アスプレィノズルを取付け、更に外部帯電型の静電気を
印加し、かつこれら諸器具の配置位置及び距離及び液圧
、エア圧、静電圧等にはある必要な制限を与えつつスプ
レィ塗布する方法である。

上述のエアレススプレィと補助エアスプレィ、それに静
電気を印加するなどは已に公知のことである。しかし、
これらを無配慮に配置して行なったのでは、液状レジス
ト剤をプリント配線板上に所望するような塗布を行なう
ことはできない、その状況は、前述の［従来の技術］の
（４）スプレィ方式の項にて説明した通りである。

しかし乍ら、これら上記諸器具のある配置とそれらのあ
る距離に於いては、整然と所望する塗布が行なわれるの
である１次にその実験における諸条件並びにデータにつ
いて説明する。

１）　エアレススプレィノズルについてエアレススプレ
ィノズルには各種各様あるが、本実験にて最も効果のあ
ったのはクロスカットノズル（米国ノードソンコーポレ
ーション日本特許番号１，３８６゜８０３）であった、
該ノズル先端部に更に補助エアスプレィノズルを取付け
た。目的はスプレィパターンに発生するテイルを防止し
、完全なファン形状のスプレィパターンを得るためであ
る。該ノズルは１個のものと、３個並列に固定したもの
を用い、その場合それぞれのスプレィパターンの両端を
若干ラップさせて行なった（第２図）。

２）塗布材料 液状レジスト剤とし、二液型であり、また体積固有電気
抵抗の１ＭΩ／ｃｍ３以下、そして粘度は８０ｃｐｓ（
固形分３０％Ｖ）のものが最適であった。その他粘度の
１０ｃｐｓ〜２００ｃｐｓにおいても有効であった。

３）吐出液圧　　　４０ｋｇ／ｄなイシ６０ｋｇ／ｆｆ
１４）諸器具の配置とそれらの距離 第１図の符号（アルファベットの大文字）参照されたし
。

Ａ”（ノズル孔（６）の先端部（６Ｔ）からプリント配
線板（ＰＰ）までの距ｉＷ）・・・・・・１００〜１８
０履＃Ｂ”（静電気印加用電極（１１）が、ノズル孔（
６）の中心線の延長線（ｃ．）に対し直角に、そして該
電極とノズル孔先端部（６Ｔ）との距離）・・・・・・
５０〜１００■ ｎＣ”（上記電極の先端（１１Ｔ）と上記中心線の延長
線（ｃＱ）との距離）・・・・・・２０〜１００■”Ｄ
”（プリント配線板（ＰＰ）の下面とアース付き金網（
４４）との間隔）・・・・・・３０膳以内上記の各寸法
は、特に基板の電気抵抗値（一般に↓ｏ１″〜１０１７
Ω／−）及び同基板上プリントされた銅箔の配線パター
ンの形や数、その他液状レジスト剤の電気抵抗値等によ
って左右される。

５）静電気印加電圧　　２０〜３０ＫＶの外部帯電型６
）ステッチングスプレィＯＮ・・・・・・１０〜５０ｍ
５ＯＦＦ・・・・・・２０〜２００ｍ５ ７）プリント配線用板　　セラミック板（厚さ０．２〜
２．０■）又はガラスエポ キシ板上に銅箔プリント ８）室温　　　　　２０〜３５℃ ９）相対湿度　　　３０〜８０％ １０）　　ガン固定式の被塗物搬送速度　　２〜４ｍ／
ｗｉｎ１１）　　塗布膜厚さ　　２０±５μ 上記の諸条件による実験の結果は、所望する良い塗布状
態が得られた。その状態の断面図を第４図に示す、即ち
銅箔線（幅１３０〜１６０μ、高さ５０〜１００μ）に
おけるエツジ部（Ｅ）においてはフラット部におけるの
と同様に十分な厚さ（２０〜３０μ）が得られ（Ｔｃ）
。

またスルーホール部″Ｈ”においても、その上面には一
様にエツジのきわまで塗布されて（Ｔｅ）　、小径の穴
（内径０．１〜０．５ｍ）の内部には塗布されず、穴の
貫通した中空状態は維持されたのである。なお穴径の０
．６−以上の場合は穴の内部に若干塗着するが目詰り現
象は発生しなかった。この理由は、静電気の電圧が通常
の場合（５０〜１００ＫＶ）よりも低く（２０〜３０Ｋ
Ｖ）ｔであるため、従来の如く（前述）穴の上面の円環
上における同イオンの反発作用も弱くなり、従ってスプ
レイされるミストの速度に押されて塗着し、かつ穴の内
部はミストの高速のため素通りし、塗着し得ないのでは
ないかと推定される。

次にステッチング塗布を行なった理由について述べる。

エアレススプレィ作業においては、ｓ化するための最低
限の吐出液圧即ち吐出流速を維持することが必要である
。

従ってそれは又５吐出量の最低量にも限界があることに
なり、塗布速度とも関連して最低膜の厚さをも制限され
ることになる。その制限以下に塗布する必要のある場合
には、ステッチングスプレィ塗布（第３Ａ図）シ、即ち
塗布する絶対量を少なくするのである。その時その面上
は波状となるが、塗布後約１秒経過するとレベリングし
て通常と変らない平担（第３Ｂ図）な膜となるのである
。

上記条１件による実験の結果、プリント配線板上のプリ
ント線のエツジにおいて薄膜化することなく、またスル
ーホールの目詰りも防止でき、所期の成果を上げること
ができたのである。

上述の如く、スルーホールに対する目詰りは起こらず、
また塗布作業に際し、基板に圧力を加えることもないの
で、続いてその反対面にプリント配線を施工し塗布する
こともできる（第４図の仮想線参照）、即ち両面塗布が
容易にできるのである。

次に上記方法に基づく装置について説明する。再び第１
図を参照されたい、従来の○Ｎ−０ＦＦ式バルブの備え
られたエアレススプレィガン（１）の先端には、ファン
型スプレィ用のエアレススプレィノズル（５）（以下単
にノズルと略称する）が取付けられ、またそのノズルの
外側にはスプレィパターン修正用の補助エアスプレィノ
ズル（７）が取付けられる。また上記ノズル（５）下方
に対しては静電気印加用電極（１１）が取付けられる。

該電極は、その先端が上記ノズル（５）のノズル孔（６
）の中心線の延長線（ｃｌｌ）に対して直角に向けられ
、かつその先端（１１Ｔ）位置はＸ−Ｙ軸上に調整可能
なる二輪直交スライド式器具（９）を介して上記ガン（
１）の側面に取付けられる。上記電極（１１）はスイッ
チ（１７）を介して高電圧発生装置ＨＶＧ　（１８）に
電気接続される。上記ノズル孔（６）の中心線（ｃＩ２
）延長線上には、それに直角に被塗物であるプリント配
線板（ｐ　ｐ）が収められる保持枠（４９）が置かれ、
該枠の下方には一定方向に定速の下に移動するチェンコ
ンベア（４６）が設けられる。なお上記保持枠（４９）
とチェンコンベア（４６）との間即ちプリント配線板下
方３０履以内には、アース付き金網（４４）が設けられ
る。その他上記ガン（１）に対する塗布物の供給は従来
の如く循環式が望ましい、また開閉バルブ作動用の操作
エア用のソレノイド式エア開閉バルブ（４１）は断続信
号発信用のコントローラ（４５）に電気接続される。

［作用］ 作動する前に塗布物のチエツク、ノズル孔先端部（６Ｔ
）より電極（１１）、被塗物（ＰＰ）　、アース等間の
関係位置の調整、電圧の調整などを行なう必要がある。

これらは、前項の〔間麗点を解決するための手段］の項
にて詳細に説明した通りであり、これらを前提とするこ
とが本発明においては必要である。

プリント配線板のサイズは少なくとも一辺５０■以上あ
り、従って、−個のエアレススプレィノズルによっては
、カバーしきれず、第２図に見られるように、複数個の
ノズル（ＩＡ、ＩＢ、ＩＣ，・・・）を平列即ち一列横
隊に並べ、かつスプレィされるパターンの底部が相互に
若干ラップ（Ｌｐ）するようにして塗布することが望ま
しｔ′％。

また、スプレィに当っては、ステッチング式が望ましい
、理由は、同大の場合は、第５図に示すように、ノズル
（４）から被塗物（ＰＰ）に至るまでの間に、スプレィ
パターンが縞模様に分断される（ｓ　ｐｘ　＊　ｓ　Ｐ
、　−ｓ　ｐｓ・・・）、すると、その分断された空間
に周囲からの空気（ａ）が巻き込まれる。すると液状レ
ジスト剤中に含まれている溶媒が、その空気と接触即ち
気化し易くなり、粘度が上る。その粘度は、プリント配
線板（ＰＰ）に塗着した場合、流れを困難としてプリン
トパターンのエツジ部における薄層化を防ぐことになる
からである。なお。

ステッチング塗布においては塗着直後は第３Ａ図に見ら
れるように塗布面は波型となるが、約１抄機レベリング
して、第３Ｂ図に見られるように平坦になる。

このようにして、第４図に示す如く、プリント部に対し
て、同肉厚の液状レジスト剤の塗布が得られるのである
。更に、これを裏返して裏面を塗布することもできる。

従来のスクリーン式やロール式にては、圧着するため。

裏面にはプリントできず、従って塗布は行なわれなかっ
たのである。

［実施例］ その１．水平式両面塗布装置 本実施例は、プリント配線板の両面を二段階的に塗布す
るものである。即ち先ず一面を塗布し、その直後、それ
を反転して他面を塗布するものである。

本装置の構造を説明する。第６図及び第７図、第８図を
参照されたい、ある一定方向（Ｆ”）に走行する水平型
チェンコンベア（５０）上に二個又は複数個より成る二
列の静電気印加用電極付きエアレススプレィガンノズル
（４及び４Ａ）がある必要とする間隔（Ｌ）を置いて下
向きにセットされる。その間隔は、第一段のノズル（４
）により、ｖ！布されたプリント配線板（ＰＰ）が反転
し。

裏返しとなって１次のノズル（４Ａ）により塗布される
に要する間隔である。

上記反転作動を行なわしめる構造について説明する。

先ず、横型チェンコンベア（５０）上にて両側の相対峙
（じ）する対となっている二個のチェンリンク（５１）
の上方（外方）に向けである高さの支柱（５２）を立て
、その先端部にヒンジ（５３）を設ける。該ヒンジの両
側に差し渡された軸（５４ｇ・・・・・・ｇの付いた符
号については第７図参照）上には”コ”の字型のプリン
ト配線板保持枠（５５ｇ）の背部が固定され、また上記
軸（５４ｇ）の一端の延長部には”２″字型軸（５６ｇ
）が、またその先端部にはローラ（５７ｇ）が取付けら
れる。

本構造の要点は、上記コ″の字型保持枠（５５）を移動
中の中途において反転させるため、上記ローラ（５７）
を１８０度スイングするためのガイドレール（６１）が
取付けられることである。そのガイドレールによってス
イングされるローラ（５７）の軌跡（ＴＢ）を二点鎖線
で示す、スイングの支点となるヒンジ（５３）はチェン
リンクと一体となっているため、その軌跡（ＴＡ）はチ
ェンリンクの走行軌跡（ＴＣ）の−点鎖線と外側に平行
かつＵターンの半円部においては、外側に対する同心円
となる。上記ローラ（５７）がその軌跡（ＴＢ）を通過
させるため、ガイドレール（６１）が設けられる。チェ
ンリンク（５１）とヒンジ（５３）との両軌跡（ＴＣ。

ＴＡ）との間にはアース用の長尺状金網（６０）がチェ
ンコンベア上に取付けられる、 次に本装置の作用について説明する。

チェンコンベア（５０）はある一定方向（”Ｆｎ）に走
行し、先ずそのチェンコンベアの立ち上りから説明する
。戻り即ち下方を走ってくるチェンコンベア（５０）は
、その下面に保持枠（５５）を懸垂して移動してくるの
で、保持枠（５５）はフリー状層となっている。そして
折り返し点に来たり上昇するとヒンジ（５３ｆ）の取付
けられている支柱（５２ｆ）は水平となる。その時、上
記保持枠（５５ｆ）の他端のローラ（５７ｆ）が、ガイ
ドレール（６１）の先端部に接触し、それに沿って即ち
ガイド用ロール軌跡（ＴＢ）に沿って横移動する。ヒン
ジ（５３ｆ）は依然として上記の同心円的軌跡（ＴＡ）
に沿って上昇し、三者の相対関係は上下逆転する。よっ
て保持枠（５５ｇ）は直立する。その時、塗布されるべ
きプリント配線板（ＰＰ）はその中に他の手段により挿
入される。その後、ローラ（５７ｇ）は、ガイドレール
（６１）に沿って上昇し、上記ヒンジの軌跡（ＴＡ）と
一致する。

即ちローラ（５７）とヒンジ（５３）とは同一直線上に
なる。よって該ローラ（５７）の他端である保持枠（５
５）は水平となり、該枠内に収められているプリント配
線板（ＰＰ）上は水平移動しつつ、ガンノズル（４）よ
りスプレィ塗布される。その面の塗布後、ローラ（５７
）は、ガイドレール（６１）に沿ってダウンしく５７ａ
）、、ついに上記保持枠（５５ｂ）を直立させ１次に同
ローラ（５７ｂ）は急上昇して、またヒンジ（５３ｄ）
と同一直線上にきて、即ち保持枠（５５ｄ）を反転させ
て裏返しの水平となる。

そしてその反対面となった上方にあるガンノズル（４Ａ
）よりスプレィ塗布される。その塗布後はチェンコンベ
アと共にＵターンの降下に入り、上記ロールは解放され
。

上記保持枠（５５ｅ）は懸垂状層、即ち下向きとなり。

中に収められた、即ち両面塗布されたプリント配線板（
ＰＰ）は下方に取り出される。なお、上記スプレィ中の
静電気は、保持枠の下方に設けられである金網に伝わっ
てアースされる。

その２．横型両側面塗布装置 上記水平式に走行するチェンコンベアの水平面を全装置
諸共横向きに９０度回転してプリント配線板を編状とし
たものである。そのプリント配線板（ｐ　ｐ）保持枠部
の正面図を第９図に、間部の縦断面図を第１０図に示す
。

その３．水平式上下両面塗布装置 本装置は、プリント配線板を水平に移動するところを上
下両面よりスプレィ塗布するものである。従ってプリン
ト配線板を反転する必要はない。

その４．水平式左右両側面塗布装置 本装置は、上記水平式上下両面塗布装置を９０ｄ回転し
たものである。

［発明の効果］ ミクロン単位の精緻（ち）なプリント配線板上に対する
液状レジスト剤の塗布作業において、本発明の静電式エ
アレススプレィ塗布によって、従来の大きな欠点であっ
たプリント配線のパターンのエツジ部の薄層化を防いで
全面に亘り均一厚さに塗布し、同時にコンマミリ以下の
小径のスルーホールの目詰りを防止し、プリント配線板
の両面の連続的塗布を可能ならしめ、更にミストの分散
防止など、プリント配線板の質の向上並びに生産効率の
アップ、工数の省略化、環境衛生の向上など、多くのメ
リットが得られるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明（以下特記なきものは本発明によるもの
につき同呼称は省略する）の方法及び装置の側断面間第
２図は複数個のガンノズルを一列に横隊に並べて各スプ
レィパターンの底部を互いにラップさせて塗布する状態
の説明図　　第３Ａ図はステンチングスプレイ直後のプ
リント配線板面上における塗布膜の凹凸発生の状態説明
図　　’１Ｉ３Ｂ図は同上状態が数秒後レベリングして
平担となった状態説明図　　第４図は液状レジスト剤が
プリント配線板面上の各プリントパターン上に均一厚に
塗布された状態及び反対面の塗布状態図　　第５図はス
テクチングスプレイにおいて縞模様のスプレィパターン
の間に空気の入り込む状態説明図　　第６図は本実施例
その１．水平式両面塗布装置の側断面図　　第７図は同
上図上”Ｂ”−Ｂ”断面図　　第８図は第６図上＃　Ａ
　＃　　＃　Ａ　＃視図　　第９図は本実施例その２．
積型両側面塗布装置の正面図　　第１０図は同上の所面
図第１１図は実施例その３．水平式上下両面塗布装置の
側面図　　第１２図はプリント配線板の最も高密度とい
われるＤＩＰの一例の拡大説明図　　第１３図は同上の
断面図　　第１４Ａ図は従来のスクリーン式の説明図第
１４Ｂ図は同上図上”Ｅ″部の拡大説明図　　第１５Ａ
図はカーテンコーティング式の説明図　　第１５Ｂ図は
同上図上”Ｇ″部の拡大説明図　　第１６図は従来の方
法によるプリント配線板上のプリントパターンのエツジ
部の薄層化の状態とスルーホールの目詰り現象の状態説
明図　　第１７図は高電圧によるスプレィ塗布における
スルーホールのフランジ内側部の無塗着状態と同外側部
の厚肉塗着の状Ｓ図並びにプリント配線基板周辺部の厚
肉塗着の状態説明図 主要な符号の説明

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. １．　プリント配線板に対する液状フォトレジスト剤を
   塗布する方法において、 ａ．液状フォトレジスト剤は二液型とし、かつ体積固有
   電気抵抗値の１ＭΩ／ｃｍ＾３以下のものを対象とする
   ことと、 ｂ．エアレススプレイ方式とすることと、 ｃ．エアレススプレイノズル（５）の先端部に補助エア
   スプレイノズル（７）を設けることと、 ｄ．エアレススプレイノズル（５）のノズル孔（６）の
   先端部（６Ｔ）から被塗物であるプリント配線板（ＰＰ
   ）までの最短距離の範囲（”Ａ”）が１００ｍｍないし
   １８０ｍｍであることと、 ｅ．設けられる静電気印加用ピン状電極（１１）は、上
   記ノズル孔（６）の中心線の外部延長線（Ｃｌ）に対し
   、直角に、かつノズル孔の先端部（６Ｔ）よりの距離の
   範囲（”Ｂ”）は５０ｍｍないし１００ｍｍであること
   と、 ｆ．上記電極の先端部（１１Ｔ）と上記延長中心線（Ｃ
   ｌ）との最短距離の範囲（”Ｃ”）は２０ｍｍないし１
   ００ｍｍであることと、 ｇ．上記プリント配線板（ＰＰ）の塗布面の反対側には
   アース付き金網（４４）を設け、これらの間隔の範囲（
   ”Ｄ”）は、上記プリント配線板の取付治具（４９）の
   厚さをも含めて３０ｍｍ以内に収めることと、ｈ．吐出
   液圧は３０〜１００ｋｇ／ｃｍ＾２とすることと、ｉ．
   静電気印加電圧の範囲は２０ＫＶないし３０ＫＶである
   こと、 とを条件として塗布作業を行なうことを特徴とする液状
   フォトレジスト剤の塗布方法。
2. ２．　エアレススプレイをステッチング式に行なうこと
   を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の液状フォトレ
   ジスト剤の塗布方法。
3. ３．　液状フォトレジスト剤をスプレイ式にプリント配
   線板上に塗布する装置において、 ａ．一個又は複数個が一列横隊に並べられた一組のエア
   レススプレイガン（１）及びそのノズル（５）を下方に
   向けて設けることと、 ｂ．上記ノズル（５）の先端外側部には補助エアスプレ
   イノズル（７）の取付けられることと、 ｃ．上記ノズル（５）のノズル孔（６）の中心線の下方
   延長線（Ｃｌ）上１００ｍｍないし１８０ｍｍの位置に
   チェンコンベア（４６）のチェンリンク（４７）上直角
   に取付けられた支柱（４８）を介してプリント配線板（
   ＰＰ）がセットされる保持枠（４９）が上記チェンリン
   ク（４７）に平行に取付けられることと、ｄ．静電気印
   加用電極（１１）の先端（１１Ｔ）が上記ノズル孔（６
   ）中心線（Ｃｌ）に対し直角に向い、かつその先端位置
   が上記中心線（Ｃｌ）より２０ｍｍないし１００ｍｍの
   範囲内にかつノズル孔先端（６Ｔ）より５０ｍｍないし
   １００ｍｍの範囲内に設定し得るようＸ−Ｙ両軸直交ス
   ライド具（９）が、上記エアレススプレイガン（１）の
   側面上に取付けられることと、ｅ．上記プリント配線板
   （ＰＰ）の下面より下方３０ｍｍ以内の位置にアース付
   き金網（４４）の設けられることと、 ｆ．上記エアレススプレイガン（１）のエア作動部（２
   １）は、ソレノイドバルブ（４１）を介してタイマ（４
   ５）に電気接続されることと、 ｇ．上記エアレススプレイガン（１）はエアレス液体加
   圧供給装置に配管接続されることと、 ｈ．上記静電気印加用電極（１１）は、２０ＫＶないし
   ３０ＫＶが発生可能の高電圧発生装置にスイッチ（１７
   ）を介して電気接続されること、 とより成ることを特徴とする液状フォトレジスト剤の塗
   布装置。
4. ４．　プリント配線板（ＰＰ）の上面に対するのと同様
   に、その下面に対し下方より上向きのエアレススプレイ
   ガンノズル（１００Ａ）及び上記プリント配線板（ＰＰ
   ）の上面上方部には３０ｍｍ以内の位置にアース付き金
   網（９４Ａ）の設けられることを特徴とする特許請求の
   範囲第３項記載の液状フォトレジスト剤の塗布装置。
5. ５．　水平式チェンコンベアの水平面が、全装置諸共に
   横方向に９０度回転されたものであることを特徴とする
   特許請求の範囲第４項記載の液状フォトレジスト剤の塗
   布装置。
6. ６．　液状フォトレジスト剤をスプレイ式にプリント配
   線板上に塗布する装置において、 ａ．一個又は複数個が一列横隊に並べられた静電気印加
   用電極付きエアレススプレイガンノズルを二個又は二列
   に、ある間隔（Ｌ）を置いて下方に向けて設けることと
   、 ｂ．上記のある間隔（Ｌ）は、これらノズルの下方を下
   記Ｃ項の如く移動するプリント配線板保持枠（５５）の
   １８０度回転のためのものであることと、ｃ．上記プリ
   ント配線板の保持枠（５５）の根本部は、走行するチェ
   ンコンベア（５０）上にあるチェンリンク（５１）上に
   直角に立てられた支柱（５２）の先端部のヒンジ（５３
   ）に結合され、またそのヒンジ（５３）を基点として上
   記直線上に延長された腕（５６）の先端部にはローラ（
   ５７）の設けられることと、ｄ．上記ヒンジ（５３）の
   走行する軌跡（ＴＡ）は、チェンリンクの走行軌跡（Ｔ
   Ｃ）の外側に向け、上記チェンリンク上に固定されてい
   る支柱（５２）の長さの分だけ大きくなっていることと
   、 ｅ．上記ローラ（５７）の上方には、それをガイドする
   レール（６１）が設けられることと、 ｆ．上記レール（６１）には、先ずその入口部において
   上記ヒンジ（５３ｆ）により懸垂されているプリント配
   線用保持枠（５５ｆ）を直立させるために該保持枠延長
   上の腕（５６）の先端のローラ（５７）を上下逆転させ
   るための軌跡（ＴＢ）に沿ってカーブが与えられ、次に
   一面塗布のため上記プリント配線用保持枠（５５）を水
   平にするために上記ローラの軌跡（ＴＢ）を前記ヒンジ
   の軌跡（ＴＡ）と一致させるためのカーブが与えられ、
   続いて上記プリント配線用保持枠（５５）を１８０度反
   転させるためのダウンそしてアップせしめるローラの軌
   跡（ＴＢ）のカーブが与えられ、上記保持枠（５５）の
   反転された後は、該保持枠（５５）が下方に向けて懸垂
   するよう上記ローラを解放せしめるローラの軌跡（ＴＢ
   ）のカーブが与えられることと、 ｇ．上記ヒンジ（５３）の走行軌跡（ＴＡ）の下方には
   ３０ｍｍ以内の間隔をあけてアース付き金網（６０）の
   設けられること、 とより成ることを特徴とする液状フォトレジスト剤の塗
   布装置。
7. ７．　チェンコンベア（５０）の水平面を横に９０度回
   転し、プリント配線板を垂直にすることを特徴とする特
   許請求の範囲第６項記載の液状フォトレジスト剤の塗布
   装置。