JPH0218705A - 磁気センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、磁束密度の変化を電気信号として検出する
磁気センサに関する。

［従来の技術Ｊ 第２図に示すのは、磁気記録媒体に記録された磁気信号
を再生する場合に用いられる磁気センサの一つであり、
磁界の変化に対応して抵抗値か変化する磁気抵抗素子（
ＭＲ素子）を用いたものの一例である。これは、非磁性
基板２１の上に直線状のＭＲ素子２２を形成し、その上
に絶縁層２３を形成した後、ＭＲ素子２２の両側に互い
に隙間２４をあけて第１のヨーク２５と第２のヨーク２
６を成膜形成し、さらに、その隙間２４及び両ヨーク２
５．２６を覆うように非磁性体層２７を成膜形成し、そ
の上を覆うように第３のヨーク２８を成膜しているもの
で、第１のヨーク２５と第３のヨーク２８の間には非磁
性体層２７によってギャップ２９が形成され、第２のヨ
ーク２６と第３のヨーク２８は直接接合されて磁気回路
を形成している。

この磁気センサは、ギャップ２９の面に磁気記録媒体を
摺接させ、磁束変化をヨーク２５．２６２８によって構
成される磁気回路を介してＭＲ素子２２に導入し、電気
抵抗値の変化に変換して出力するように構成されている
。上記の各膜層は通常はスパッタリング等により順次被
膜形成されている。

「発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上記のような従来の技術においては、ス
パッタリングやエツチングを繰り返して行うため、寸法
精度の高いものが製造できる半面、成膜及びエツチング
のための高価な装置が必要となり、設備コストが上昇す
ること、及び製造工程が複雑であるので時間がかかるこ
となどの不具合があった。特に、磁気カードなど記録波
長の長い場合のセンサとして用いるときはギャップ長さ
も長くなり、スパッタリングなどによる非磁性体層の成
膜工程に多大の時間を要していた。

［課題を解決する丸めの手段］ 上記のような課題を解決するために、この発明は、ギャ
ップを構成する非磁性体層を予め一方のヨークに一体に
重合したものである。その重合方法は、クラッド圧延、
または接着剤による接合、あるいはヨークに溝を形成し
た後これを非磁性体材料で充填するなどの方法がある。

［作用　］ このような構成の磁気センサは、ギャップを構成する非
磁性体層を一方の磁性体層と予め一体に重合成形してお
き、これを他方の磁性体層１．：接合することにより製
造される。

磁性体に段差を形成してギャップ側にのみ非磁性体層を
重合ずろようにし、他端側は磁性体のみとする。これに
より、一方ではギャップを構成ｊ７、他方ではヨークど
う１．を密接させて磁気回路を構成することができる。

［実施例３ 以下、図面を参照してこの発明の詳細な説明する。

第１図において、符号ｌは基板であり、非磁性体により
板状に形成されている。この基板１の端面には、上端よ
り一定の距離にＭＲ素子２が仮７方向に延びて成膜形成
されており、その両端に素子２の電気抵抗の変化を導出
するための端子３が設けられている。そして、基板Ｉ及
びＭ　Ｒ素子２の上にこれらを覆う絶縁被膜層４が形成
され、さらにその上に、ＭＲ素子２に沿った隙間５を有
するように第１のヨーク６及び第２のヨーク７が成膜さ
れている。

ＭＲ素子２としてはパーマロイなど、ヨークとしてはフ
ェライト、センダストあるいはパーマロイなどの周知の
ものが適宜採用される。

一方、符号８は、ギャップ９を形成すべき非磁性体層１
０と第３のヨーク１１を形成ずへき磁性体とが層状に重
ねられた構成の複合体である。この非磁性体層１０とし
ては、ヨークＩＩの素材や複合体８の製法と関連して、
洋白などの金属、樹脂等が適宜に選ばれろ。この非磁性
体層１０は第３のヨーク１１において第１のヨーク６に
対向する上端側にのみ重合されており、第２のヨーク７
側においては全厚か磁性体からなっている。すなわち、
第３のヨーク１１には下端側が厚くなるように段差１２
が形成されており、この段差１２により形成された空所
に上記非磁性体か充填されている。この複合体８の製造
方法は、非磁性体ＩＯが金属でかつ第３のヨーク１１が
パーマロイである場合のように双方ともに成形性のよい
しのであるときは、比較的大きな素材の段階で非磁性体
１０とヨーク素材とを断面において段差を有するように
接合し、これを順次圧延し７ていわゆるクラット材とす
る。また、非磁性体が樹脂であり、ヨーク素材がフェラ
イトなどである場合には、所定の幅と厚さに形成したフ
ェライトの一面を研削し２て段差を形成し、その空所に
樹脂を充填すればよい。

このようにして製造した複合体８を、基板１の第１のヨ
ーク６及び第２のヨーク７面に接着剤等を用いて接着す
ることにより、はぼ第２図のものと同等の磁気回路構成
を持つ磁気センサが得られる。この場合、基板【と複合
体８とを直接接合すると、ＩＶｔＲ素子２の」―の部分
の凸部の高さだけ接着剤を充填しなければならず、その
公事２のヨーク７と第３のヨーク１１の間に隙間ができ
、またギャップ９厚さも増えるか、この接着剤の厚さは
ＭＲ素子２の厚さと同程度であり、実質的には問題とな
らない。このような接合の寸法精度をさらに高めるには
、複合体８の非磁性体層ｌＯの表面のＭＲ素子２に該当
する位置に溝を形成した後接合を行なえばよい。

ｔｉお、非磁性体層ＩＯを重合する側のヨーク１１の段
差Ｉ２は、磁気効率の点で実用上問題がなければ形成し
なくてよい。

［発明の効果］ 以上詳述したように、この発明は、ギャップを構成する
非磁性体層を予め磁性体からなるヨークに一体に重合し
た構成としたので、ギャップ層を形成するための成膜工
程が不要となり、ギャップ層が厚い場合でも製造工程か
簡単で時間が短縮されるとともに製造設備も簡略化され
、製造コストを大幅に低下させることができるという優
れた効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第２図は従
来例を示す斜視図である。 ２・・・・・ＭＲ素子、５，６．１１・・・・・・ヨー
ク、９・・・・・ギャップ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 磁性体からなるヨークが非磁性体層を挟んで接合されて
   磁気ギャップを有する磁気回路を構成し、この磁気回路
   中の磁束密度変化を検出する手段が付設されてなる磁気
   センサにおいて、上記非磁性体層は上記ヨークの一方に
   予め一体に重合されていることを特徴とする磁気センサ
   。