JP2636570B2 - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
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- JP2636570B2 JP2636570B2 JP3183792A JP18379291A JP2636570B2 JP 2636570 B2 JP2636570 B2 JP 2636570B2 JP 3183792 A JP3183792 A JP 3183792A JP 18379291 A JP18379291 A JP 18379291A JP 2636570 B2 JP2636570 B2 JP 2636570B2
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- Japan
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- core
- magnetic head
- film magnetic
- thin
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は薄膜磁気ヘッドに係わ
り、特に高密度磁気記録に好適な薄膜磁気ヘッドに関す
るものである。
り、特に高密度磁気記録に好適な薄膜磁気ヘッドに関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】最初に、図９を参照して従来の薄膜磁気
ヘッド２０の構造を説明する。基板２１上に磁性膜を形
成し、フォトリソグラフィーやエッチングにより下コア
２２を形成する。下コア２２上に端部が（磁気）ギャッ
プ２３となるように非磁性材２４を形成する。次に、絶
縁層２５，導体層を形成し、フォトリソグラフィーやエ
ッチング法等を用いて、コイルパターン２６とする。コ
イルパターン２６が形成され段差のついたコイル形成面
上に、絶縁層２７，磁性層を形成して、上コア２８とす
る。
ヘッド２０の構造を説明する。基板２１上に磁性膜を形
成し、フォトリソグラフィーやエッチングにより下コア
２２を形成する。下コア２２上に端部が（磁気）ギャッ
プ２３となるように非磁性材２４を形成する。次に、絶
縁層２５，導体層を形成し、フォトリソグラフィーやエ
ッチング法等を用いて、コイルパターン２６とする。コ
イルパターン２６が形成され段差のついたコイル形成面
上に、絶縁層２７，磁性層を形成して、上コア２８とす
る。
【０００３】従来の薄膜磁気ヘッド２０においては、絶
縁層２５と段差のあるコイルパターン２６上に、絶縁層
２７を形成し、さらにこの絶縁層２７の上に、上コア２
８を形成しているので、層を重ねるごとに、その段差は
大きくなる。例えば、通常の両コアの厚さが約５μｍ、
コイルパターンの厚さが約３μｍの場合、上コア形成直
前においては、段差は１０μｍにまで達する。
縁層２５と段差のあるコイルパターン２６上に、絶縁層
２７を形成し、さらにこの絶縁層２７の上に、上コア２
８を形成しているので、層を重ねるごとに、その段差は
大きくなる。例えば、通常の両コアの厚さが約５μｍ、
コイルパターンの厚さが約３μｍの場合、上コア形成直
前においては、段差は１０μｍにまで達する。
【０００４】このような段差がある面上においては、フ
ォトリソグラフィーによる解像度が極端に悪くなり、段
差の大きさ程度の解像度が限度であった。そのため、コ
イルの巻数を多くするために、コイルパターン２６のピ
ッチ間隔を小さく形成しようとしても解像度が悪いた
め、小さくできない。その結果、その上下に形成する上
下コア２２、２８の長さを大とする必要があり、磁路長
の増加により磁気抵抗が高くなり、薄膜磁気ヘッドとし
ては、性能が悪くなるという問題点があった。
ォトリソグラフィーによる解像度が極端に悪くなり、段
差の大きさ程度の解像度が限度であった。そのため、コ
イルの巻数を多くするために、コイルパターン２６のピ
ッチ間隔を小さく形成しようとしても解像度が悪いた
め、小さくできない。その結果、その上下に形成する上
下コア２２、２８の長さを大とする必要があり、磁路長
の増加により磁気抵抗が高くなり、薄膜磁気ヘッドとし
ては、性能が悪くなるという問題点があった。
【０００５】このような問題点を解決したものとして、
本出願人が先に出願した特開平３−５８３０８号公報記
載の薄膜磁気ヘッドがある。これは、図７の（Ａ）及び
（Ｂ）に示すように、絶縁層にエッチングによりコア形
状の溝を形成し、その溝に磁性体を充填し、表面を平坦
化し、それを積み重ねて磁気回路を形成した薄膜磁気ヘ
ッド３０である。３１，３２ａ，３２ｂ，３３は磁性体
からなるコア、３５はコイルパターン、３６，３７，３
８は絶縁層、３９は磁気ギャップである。
本出願人が先に出願した特開平３−５８３０８号公報記
載の薄膜磁気ヘッドがある。これは、図７の（Ａ）及び
（Ｂ）に示すように、絶縁層にエッチングによりコア形
状の溝を形成し、その溝に磁性体を充填し、表面を平坦
化し、それを積み重ねて磁気回路を形成した薄膜磁気ヘ
ッド３０である。３１，３２ａ，３２ｂ，３３は磁性体
からなるコア、３５はコイルパターン、３６，３７，３
８は絶縁層、３９は磁気ギャップである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前記薄膜磁気ヘッド３
０は上，下，中間の全てのコア３１，３２ａ，３２ｂ，
３３が媒体対向面３４に臨むように露出しているため、
以下のような問題点が生じて、性能の優れた信頼性の高
い薄膜磁気ヘッドを提供することが困難であった。
媒体対向面（スライダ面）３４の加工時またはシステム
稼動時等に前記コアの界面で剥離が起こりやすい。また
剥離が起こった場合は勿論であるが、接合面（界面部
分）に加工変質層等があると、その部分が擬似ギャップ
として作用するため、分解能の低下を招く。薄膜磁気
ヘッド３０を媒体対向面側から見れば明らかなように
（図８参照）、各コア層の合わせが一致していないと例
えば同図（Ｂ）のようになった場合には、下コア３１と
上コア３３の間に対向する面が生じ、疑似ギャップＮＧ
となる。
０は上，下，中間の全てのコア３１，３２ａ，３２ｂ，
３３が媒体対向面３４に臨むように露出しているため、
以下のような問題点が生じて、性能の優れた信頼性の高
い薄膜磁気ヘッドを提供することが困難であった。
媒体対向面（スライダ面）３４の加工時またはシステム
稼動時等に前記コアの界面で剥離が起こりやすい。また
剥離が起こった場合は勿論であるが、接合面（界面部
分）に加工変質層等があると、その部分が擬似ギャップ
として作用するため、分解能の低下を招く。薄膜磁気
ヘッド３０を媒体対向面側から見れば明らかなように
（図８参照）、各コア層の合わせが一致していないと例
えば同図（Ｂ）のようになった場合には、下コア３１と
上コア３３の間に対向する面が生じ、疑似ギャップＮＧ
となる。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決するために、下コア，上コア，これらを接続する前部
及び後部中間コアが絶縁層中の磁性体により構成され、
前記各コア及び前記各コアを囲む前記各絶縁層の表面が
略平坦で、前記コアの接続部のうちいずれか１箇所の接
続部にギャップを形成してなる薄膜磁気ヘッドであっ
て、前記コアのうちギャップを挟むコアのみを媒体対向
面に臨ませ、前記ギャップを挟むコア以外のコアを媒体
対向面から離間させたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド
を提供するものである。
決するために、下コア，上コア，これらを接続する前部
及び後部中間コアが絶縁層中の磁性体により構成され、
前記各コア及び前記各コアを囲む前記各絶縁層の表面が
略平坦で、前記コアの接続部のうちいずれか１箇所の接
続部にギャップを形成してなる薄膜磁気ヘッドであっ
て、前記コアのうちギャップを挟むコアのみを媒体対向
面に臨ませ、前記ギャップを挟むコア以外のコアを媒体
対向面から離間させたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド
を提供するものである。
【０００８】上記のように構成された薄膜磁気ヘッドで
は、ギャップを挟むコアの接合面とギャップを挟むコア
以外のコアの接合面とが、媒体対向面において向かい合
うことがなく、剥離や疑似ギャップが生じない。
は、ギャップを挟むコアの接合面とギャップを挟むコア
以外のコアの接合面とが、媒体対向面において向かい合
うことがなく、剥離や疑似ギャップが生じない。
【０００９】
【実施例】本発明になる薄膜磁気ヘッドの一実施例を以
下図面と共に詳細に説明する。本薄膜磁気ヘッドは、絶
縁層にエッチングによりコア形状の溝を形成し、その溝
に磁性体を充填し表面を平坦化し、それを積み重ねて磁
気回路を形成するものであり、さらに、複数のコア
（層）のうち（磁気）ギャップ（層）を挟んだ２層のみ
を媒体対向面に露出させ、ギャップ層を挟んだ２層のコ
ア以外のコアは媒体対向面から引っ込んだ構造としたも
のである。
下図面と共に詳細に説明する。本薄膜磁気ヘッドは、絶
縁層にエッチングによりコア形状の溝を形成し、その溝
に磁性体を充填し表面を平坦化し、それを積み重ねて磁
気回路を形成するものであり、さらに、複数のコア
（層）のうち（磁気）ギャップ（層）を挟んだ２層のみ
を媒体対向面に露出させ、ギャップ層を挟んだ２層のコ
ア以外のコアは媒体対向面から引っ込んだ構造としたも
のである。
【００１０】［実施例］ 第１図は本発明になる薄膜磁気ヘッド１を示す概略断面
図である。同図に示すように、基板２上には平坦な下部
絶縁層３が形成されており、この下部絶縁層３に形成さ
れた溝に磁性材が充填され、前記下部絶縁層と段差なく
平坦に形成された下コア４を形成している。
図である。同図に示すように、基板２上には平坦な下部
絶縁層３が形成されており、この下部絶縁層３に形成さ
れた溝に磁性材が充填され、前記下部絶縁層と段差なく
平坦に形成された下コア４を形成している。
【００１１】下部絶縁層３上には中間絶縁層５が形成さ
れており、この中間絶縁層５の端部（記録媒体対向面
６）には（磁気）ギャップ７を介して、磁性材からなる
中間コア８ａが下コア４と近接するように埋設され、こ
の中間コア８ａと距離を隔てた内側には磁性材からなる
中間コア８ｂが下コア４と直接接合するように埋設され
ている。中間絶縁層５の内部には、平面的なコイルパタ
ーン１０が前記中間コア８ｂを取り巻くように螺旋状に
埋設されている。コイルパターン１０の一端部は、上部
絶縁層１１に穿設されたスルーホール内に埋められた導
体１２を介して、外部のリード線１３と接合し、外部装
置と電気的な接続が可能となっている。
れており、この中間絶縁層５の端部（記録媒体対向面
６）には（磁気）ギャップ７を介して、磁性材からなる
中間コア８ａが下コア４と近接するように埋設され、こ
の中間コア８ａと距離を隔てた内側には磁性材からなる
中間コア８ｂが下コア４と直接接合するように埋設され
ている。中間絶縁層５の内部には、平面的なコイルパタ
ーン１０が前記中間コア８ｂを取り巻くように螺旋状に
埋設されている。コイルパターン１０の一端部は、上部
絶縁層１１に穿設されたスルーホール内に埋められた導
体１２を介して、外部のリード線１３と接合し、外部装
置と電気的な接続が可能となっている。
【００１２】また、前記中間絶縁層５の上には上部絶縁
層１１が形成され、この上部絶縁層１１には両端部が中
間コア８ａ及び８ｂと接合するように上コア９が形成さ
れ、前記下コア４と共に磁気回路を形成している。さら
に、複数のコア４，８ａ，８ｂ，９のうちギャップ７を
挟んだ下コア４及び中間コア８ａのみを媒体対向面６に
突出（露出）させ、ギャップ７を挟んだコア以外の上コ
ア９は媒体対向面６から引っ込んでいる（１は、記録媒
体対向面からの離間距離である）。
層１１が形成され、この上部絶縁層１１には両端部が中
間コア８ａ及び８ｂと接合するように上コア９が形成さ
れ、前記下コア４と共に磁気回路を形成している。さら
に、複数のコア４，８ａ，８ｂ，９のうちギャップ７を
挟んだ下コア４及び中間コア８ａのみを媒体対向面６に
突出（露出）させ、ギャップ７を挟んだコア以外の上コ
ア９は媒体対向面６から引っ込んでいる（１は、記録媒
体対向面からの離間距離である）。
【００１３】このように、本発明になる薄膜磁気ヘッド
１においては、平坦な３つの絶縁層、すなわち、下部絶
縁層３、中間絶縁層５、上部絶縁層１１が積み重ねら
れ、これら絶縁層内の所定の個所に形成された磁性層が
接続され磁気回路を形成しているため、段差のない各絶
縁層面でフォトリソグラフィが可能となる。よって、寸
法精度の優れた小型のコイルパターン・磁気コアが得ら
れるので、磁気抵抗が低く、性能の良い薄膜磁気ヘッド
を得ることが可能となる。
１においては、平坦な３つの絶縁層、すなわち、下部絶
縁層３、中間絶縁層５、上部絶縁層１１が積み重ねら
れ、これら絶縁層内の所定の個所に形成された磁性層が
接続され磁気回路を形成しているため、段差のない各絶
縁層面でフォトリソグラフィが可能となる。よって、寸
法精度の優れた小型のコイルパターン・磁気コアが得ら
れるので、磁気抵抗が低く、性能の良い薄膜磁気ヘッド
を得ることが可能となる。
【００１４】さらに、ギャップ７を挟んだコア以外の上
コア９の接合面が媒体対向面６に出ることがない。よっ
て、従来の薄膜磁気ヘッドのように剥離が生じることが
ない。また、第２図（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、ギ
ャップ７を挟む下コア４及び中間コア８ａの接合面とギ
ャップ７を挟むコア以外の上コア９の接合面とが、媒体
対向面６において向かい合うことがなく、コアの合わせ
ずれによる擬似ギャップの影響がなくなるため分解能の
低下がない。
コア９の接合面が媒体対向面６に出ることがない。よっ
て、従来の薄膜磁気ヘッドのように剥離が生じることが
ない。また、第２図（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、ギ
ャップ７を挟む下コア４及び中間コア８ａの接合面とギ
ャップ７を挟むコア以外の上コア９の接合面とが、媒体
対向面６において向かい合うことがなく、コアの合わせ
ずれによる擬似ギャップの影響がなくなるため分解能の
低下がない。
【００１５】［実施例２］ 第３図は、（磁気）ギャップ７を上コア９と中間コア８
ａの間に設定した薄膜磁気ヘッド１４である。この薄膜
磁気ヘッド１４では、媒体対向面６に上コア９，中間コ
ア８ａを突出（露出）させた構造とし、ギャップ７を挟
んだコア以外の下コア４は媒体対向面６から引っ込んだ
構造としている。
ａの間に設定した薄膜磁気ヘッド１４である。この薄膜
磁気ヘッド１４では、媒体対向面６に上コア９，中間コ
ア８ａを突出（露出）させた構造とし、ギャップ７を挟
んだコア以外の下コア４は媒体対向面６から引っ込んだ
構造としている。
【００１６】［実施例３］ 第４図は、２層のコイルパターン１０−１，１０−２、
２層の下中間コア８ａ−１，８ｂ−１，上中間コア８ａ
−２，８ｂ−２からなり、（磁気）ギャップ７を下コア
４と下中間コア８ａ−１の間に設定した薄膜磁気ヘッド
１５である。この薄膜磁気ヘッド１５は、媒体対向面６
に下コア４，下中間コア８ａ−１を突出（露出）させた
構造とし、ギャップ７を挟んだコア以外の上コア９，上
中間コア８ａ−２は媒体対向面６から引っ込んだ構造と
している。
２層の下中間コア８ａ−１，８ｂ−１，上中間コア８ａ
−２，８ｂ−２からなり、（磁気）ギャップ７を下コア
４と下中間コア８ａ−１の間に設定した薄膜磁気ヘッド
１５である。この薄膜磁気ヘッド１５は、媒体対向面６
に下コア４，下中間コア８ａ−１を突出（露出）させた
構造とし、ギャップ７を挟んだコア以外の上コア９，上
中間コア８ａ−２は媒体対向面６から引っ込んだ構造と
している。
【００１７】［実施例４］ 第５図は、２層のコイルパターン１０−１，１０−２、
２層の下中間コア８ａ−１，８ｂ−１，上中間コア８ａ
−２，８ｂ−２からなり、（磁気）ギャップ７を下中間
コア８ａ−１と上中間コア８ａ−２の間に設定した薄膜
磁気ヘッド１６である。この薄膜磁気ヘッド１６では、
媒体対向面６に下中間コア８ａ−１，上中間コア８ａ−
２を突出（露出）させた構造とし、ギャップ７を挟んだ
コア以外の上コア９，下コア４は媒体対向面６から引っ
込んだ構造としている。
２層の下中間コア８ａ−１，８ｂ−１，上中間コア８ａ
−２，８ｂ−２からなり、（磁気）ギャップ７を下中間
コア８ａ−１と上中間コア８ａ−２の間に設定した薄膜
磁気ヘッド１６である。この薄膜磁気ヘッド１６では、
媒体対向面６に下中間コア８ａ−１，上中間コア８ａ−
２を突出（露出）させた構造とし、ギャップ７を挟んだ
コア以外の上コア９，下コア４は媒体対向面６から引っ
込んだ構造としている。
【００１８】［実施例５］ 第６図は、２層のコイルパターン１０−１，１０−２、
２層の下中間コア８ａ−１，８ｂ−１，上中間コア８ａ
−２，８ｂ−２からなり、（磁気）ギャップ７を上コア
９と上中間コア８ａ−２の間に設定した薄膜磁気ヘッド
１７である。この薄膜磁気ヘッド１７では、媒体対向面
６に上コア９と上中間コア８ａ−２を突出（露出）させ
た構造とし、ギャップ７を挟んだコア以外の下コア４，
下中問コア８ａ−１は媒体対向面６から引っ込んだ構造
としている。
２層の下中間コア８ａ−１，８ｂ−１，上中間コア８ａ
−２，８ｂ−２からなり、（磁気）ギャップ７を上コア
９と上中間コア８ａ−２の間に設定した薄膜磁気ヘッド
１７である。この薄膜磁気ヘッド１７では、媒体対向面
６に上コア９と上中間コア８ａ−２を突出（露出）させ
た構造とし、ギャップ７を挟んだコア以外の下コア４，
下中問コア８ａ−１は媒体対向面６から引っ込んだ構造
としている。
【００１９】実施例２〜５に示した薄膜磁気ヘッド１４
〜１７においても、平坦な絶縁層が積み重ねられ、これ
ら絶縁層内の所定の個所に形成された磁性層が接続され
磁気回路を形成しているため、段差のない各絶縁層面で
フォトリソグラフィが可能となる。よって、寸法精度の
優れた小型のコイルパターン・磁気コアが得られるの
で、磁気抵抗が低く、性能の良い薄膜磁気ヘッドを得る
ことが可能となる。
〜１７においても、平坦な絶縁層が積み重ねられ、これ
ら絶縁層内の所定の個所に形成された磁性層が接続され
磁気回路を形成しているため、段差のない各絶縁層面で
フォトリソグラフィが可能となる。よって、寸法精度の
優れた小型のコイルパターン・磁気コアが得られるの
で、磁気抵抗が低く、性能の良い薄膜磁気ヘッドを得る
ことが可能となる。
【００２０】さらに、ギャップを挟んだコア以外のコア
の接合面が媒体対向面に出ることがない。よって、従来
の薄膜磁気ヘッドように剥離やコアの合わせずれによる
擬似ギャップの影響がなくなるため分解能の低下がな
い。
の接合面が媒体対向面に出ることがない。よって、従来
の薄膜磁気ヘッドように剥離やコアの合わせずれによる
擬似ギャップの影響がなくなるため分解能の低下がな
い。
【００２１】
【発明の効果】本発明になる薄膜磁気ヘッドは、下コ
ア，上コア，これらを接続する前部及び後部中間コアが
絶縁層中の磁性体により構成され、前記各コア及び前記
各コアを囲む前記各絶縁層の表面が略平坦で、前記コア
の接続部のうちいずれか１箇所の接続部にギャップを形
成してなる薄膜磁気ヘッドであって、前記コアのうちギ
ャップを挟むコアのみを媒体対向面に臨ませ、前記ギャ
ップを挟むコア以外のコアを媒体対向面から離間させた
ものであるから、ギャップを挟むコアの接合面とギャッ
プを挟むコア以外のコアの接合面とが、媒体対向面にお
いて向かい合うことがなく、剥離や疑似ギャップが生じ
ることがない。従って、従来の薄膜磁気ヘッドのように
コアの剥離・コアの合わせずれによる擬似ギャップの影
響がなくなり、分解能の低下がなく、高性能で信頼性の
高い薄膜磁気ヘッドが提供される。また、本発明は、平
坦なコア、平坦な絶縁層、すなわち、下コア、中間コ
ア、上コア、下部絶縁層、中間絶縁層、上部絶縁層が積
み重ねられ、これらコア層内の所定の個所に形成された
磁性層が接続され磁気回路を形成しているため、段差の
ない各絶縁層面でフォトリソグラフィが可能となり、よ
って、寸法精度の優れた小型のコイルパターン・磁気コ
アが得られるので、磁気抵抗が低く、磁気特性の劣化の
ない性能の良好な薄膜磁気ヘッドが提供される。
ア，上コア，これらを接続する前部及び後部中間コアが
絶縁層中の磁性体により構成され、前記各コア及び前記
各コアを囲む前記各絶縁層の表面が略平坦で、前記コア
の接続部のうちいずれか１箇所の接続部にギャップを形
成してなる薄膜磁気ヘッドであって、前記コアのうちギ
ャップを挟むコアのみを媒体対向面に臨ませ、前記ギャ
ップを挟むコア以外のコアを媒体対向面から離間させた
ものであるから、ギャップを挟むコアの接合面とギャッ
プを挟むコア以外のコアの接合面とが、媒体対向面にお
いて向かい合うことがなく、剥離や疑似ギャップが生じ
ることがない。従って、従来の薄膜磁気ヘッドのように
コアの剥離・コアの合わせずれによる擬似ギャップの影
響がなくなり、分解能の低下がなく、高性能で信頼性の
高い薄膜磁気ヘッドが提供される。また、本発明は、平
坦なコア、平坦な絶縁層、すなわち、下コア、中間コ
ア、上コア、下部絶縁層、中間絶縁層、上部絶縁層が積
み重ねられ、これらコア層内の所定の個所に形成された
磁性層が接続され磁気回路を形成しているため、段差の
ない各絶縁層面でフォトリソグラフィが可能となり、よ
って、寸法精度の優れた小型のコイルパターン・磁気コ
アが得られるので、磁気抵抗が低く、磁気特性の劣化の
ない性能の良好な薄膜磁気ヘッドが提供される。
【図１】本発明になる薄膜磁気ヘッドの一実施例を示す
概略断面図である。
概略断面図である。
【図２】薄膜磁気ヘッドを媒体対抗面から見た図で、コ
アのパターン合わせずれが生じた場合を説明する図であ
る。
アのパターン合わせずれが生じた場合を説明する図であ
る。
【図３】磁気ギャップを上コアと中間コアの間に設定し
た薄膜磁気ヘッドの実施例である。
た薄膜磁気ヘッドの実施例である。
【図４】コイル（及び中間コア）を２層にして、磁気ギ
ャップを下コアと下中間コアの間に設定した薄膜磁気ヘ
ッドの実施例である。
ャップを下コアと下中間コアの間に設定した薄膜磁気ヘ
ッドの実施例である。
【図５】コイル（及び中間コア）を２層にして、磁気ギ
ャップを上中間コアと下中間コアの間に設定した薄膜磁
気ヘッドの実施例である。
ャップを上中間コアと下中間コアの間に設定した薄膜磁
気ヘッドの実施例である。
【図６】コイル（及び中間コア）を２層にして、磁気ギ
ャップを上コアと上中間コアの間に設定した薄膜磁気ヘ
ッドの実施例である。
ャップを上コアと上中間コアの間に設定した薄膜磁気ヘ
ッドの実施例である。
【図７】従来の薄膜磁気ヘッドを示す概略断面図及び平
面図である。
面図である。
【図８】従来の薄膜磁気ヘッドを媒体対抗面から見た図
で、コアのパターン合わせずれが生じた場合を説明する
図である。
で、コアのパターン合わせずれが生じた場合を説明する
図である。
【図９】従来の薄膜磁気ヘッドを示す概略断面図であ
る。
る。
１ 薄膜磁気ヘッド ２ 基板 ３ 下部絶縁層 ４ 下コア ５ 中間絶縁層 ６ 記録媒体対向面 ７ （磁気）ギャップ ８ 中間コア ８ａ−１，８ｂ−１ 下中間コア ８ａ−２，８ｂ−２ 上中間コア ９ 上コア １０ コイルパターン １０−１，１０−２ コイルパターン １２ 導体層 １４〜１７ 薄膜磁気ヘッド ｌ 記録媒体対向面からの離間距離
Claims (1)
- 【請求項１】下コア，上コア，これらを接続する前部及
び後部中間コアが絶縁層中の磁性体により構成され、前
記各コア及び前記各コアを囲む前記各絶縁層の表面が略
平坦で、前記コアの接続部のうちいずれか１箇所の接続
部にギャップを形成してなる薄膜磁気ヘッドであって、 前記コアのうちギャップを挟むコアのみを媒体対向面に
臨ませ、前記ギャップを挟むコア以外のコアを媒体対向
面から離間させたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3183792A JP2636570B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3183792A JP2636570B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0668424A JPH0668424A (ja) | 1994-03-11 |
| JP2636570B2 true JP2636570B2 (ja) | 1997-07-30 |
Family
ID=16142010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3183792A Expired - Lifetime JP2636570B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2636570B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60119613A (ja) * | 1983-12-02 | 1985-06-27 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘッドとその製造方法 |
-
1991
- 1991-06-28 JP JP3183792A patent/JP2636570B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0668424A (ja) | 1994-03-11 |
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