JP2952459B2

JP2952459B2 - 浮動磁気ヘッド

Info

Publication number: JP2952459B2
Application number: JP16030693A
Authority: JP
Inventors: 元二江川
Original assignee: Minebea Co Ltd
Current assignee: Minebea Co Ltd
Priority date: 1993-06-04
Filing date: 1993-06-04
Publication date: 1999-09-27
Anticipated expiration: 2014-09-27
Also published as: JPH06349020A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、コンピュータ等の磁気
記録装置である固定磁気ディスク装置に用いられる浮動
磁気ヘッドの改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】固定磁気ディスク装置に使用される浮動
磁気ヘッドは、高密度記録を達成するために狭トラック
化される傾向にあり、狭トラック化が可能なFe-Al-Si合
金やアモルファス磁性体等からなる磁性薄膜を非磁性材
料のスライダーに形成する等してトラック幅相等の厚さ
の積層コアを作製し、狭トラック化に対処するようにし
たものが考案されている。このような浮動磁気ヘッドの
具体的な例を図８（特開平3-19119 号公報参照）、図９
（特開平3-272004号公報参照）、図10（特開平3-49019
号公報参照）、図11（特開平3-125320号公報参照）にそ
れぞれ示す。

【０００３】図８に示す浮動磁気ヘッド１は、非磁性材
料からなる略矩形のスライダー２を有している。スライ
ダー２に設けられる浮上力発生のためのレール（浮上
面）３に位置して、磁気ヘッドコア４の一部を構成する
Fe-Al-Si合金製のスライダー側磁性膜５が挟持状態で設
けられている。スライダー２には、前記スライダー側磁
性膜５と共に主コア部４を構成するFe-Al-Si合金製のヘ
ッドコア側磁性膜６を有するＣ字形の磁気ヘッドコア７
が接着されている。磁気ヘッドコア７は、ヘッドコア側
磁性膜６を非磁性材料の基板８で挟持した構造になって
おり、ヘッドコア側磁性膜６を前記スライダー側磁性膜
５に連接するように配置している。図中９はギャップで
ある。

【０００４】図９に示す浮動磁気ヘッド１は、スライダ
ー側磁性膜５をスライダー２の中央部に形成したものに
なっている。図10に示す浮動磁気ヘッド１は、スライダ
ー２の一方のレール３形成部分に位置させて積層により
得られるスライダー側磁性膜５を挟持状態で設け、かつ
スライダー２の一端部に磁気ヘッドコア７を接着して構
成されている。磁気ヘッドコア７は積層されたヘッドコ
ア側磁性膜６を有して構成されている。ヘッドコア側磁
性膜６は、スライダー側磁性膜５に連接しており、この
スライダー側磁性膜５と共に主コア部４を構成するよう
になっている。

【０００５】図11に示す浮動磁気ヘッド１は、スライダ
ー２に形成したスリット10に、ヘッドコア側磁性膜６を
非磁性材料の基板８で挟持した構造の長手状の主コア部
４を挿入して接着したものになっている。浮動磁気ヘッ
ドの従来の他の例として、本発明者らが先に提案した図
15ないし図20に示すものがある。それらは、図12ないし
図14に示す磁気ヘッドコア7Aを用いて構成したものであ
る。この磁気ヘッドコア7Aは、図12に示すようにして作
製されている。すなわち、図12（ａ）に示す非磁性材料
の第１の基板19にスパッタリング法にてFe-Al-Si合金等
の磁性膜20を成膜し、この磁性膜20にスパッタリング法
にてSiO₂等の絶縁膜21を形成し（同図（ｂ））、さらに
同様にして磁性膜20及び絶縁膜21を交互に積層して積層
コア４を得、この積層コア４を低融点ガラス等にて非磁
性材料の第２の基板22に接着して前記積層コア４を含む
接着構成部材50を得る（同図（ｃ））。そして、この接
着構成部材50を分割する（同図（ｄ））と共にその分割
体51に溝23等の穿設を行なった（同図（ｄ））上で所定
のギャップ幅となるようにSiO₂等の非磁性膜を介して両
者をガラスにて接着（ボンド）する（同図（ｅ））。こ
の後分割処理を行なって同図（ｆ）、図13及び図14に示
すように磁気ヘッドコア7Aを得ることになる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図８、
図９、図10、図11それぞれに示す浮動磁気ヘッド１で
は、磁性膜（スライダー側磁性膜５、ヘッドコア側磁性
膜６）を成膜、積層して得られる主コア部４がレール
（浮上面）３の全長にわたって形成されていることによ
り、外部磁界の影響を受けて外部ノイズを拾いやすく、
本浮動磁気ヘッド１のＳ／Ｎを下げてしまう虞があっ
た。また、磁性膜（スライダー側磁性膜５、ヘッドコア
側磁性膜６）と非磁性材料のスライダー２とでは耐摩耗
性が異なっており、前記磁性膜とスライダー２との間で
偏摩耗が発生し、これに伴って両者の間に段差が生じ、
ゴミの付着等により耐ＣＳＳ性が低下して信頼性を損ね
る虞があった。また、スライダー６には耐ＣＳＳ性を重
視した材料が選択されているが、前記磁性膜との相性の
点では劣ったものになっていた。

【０００７】図８、図９、図10それぞれに示す浮動磁気
ヘッド１では、狭トラック化を行なおうとすると、積層
コア（主コア部４）を非常に薄くせざるをえず、これに
伴って主コア部４のリアギャップ11側の磁気抵抗がギャ
ップ９側の磁気抵抗に比して充分には小さくはならず、
記録再生効率を劣ったものにしてしまう虞があった。図
８、図９、図10、図11それぞれに示す浮動磁気ヘッド１
は、ギャップ９を設ける工程等においてトラックのズレ
を生じ、これにより有効トラック幅が所望の寸法になら
ないという問題があった。又、本発明者らが先に提案し
た図15ないし図20に示す浮動磁気ヘッドは図８ないし図
11に示した浮動磁気ヘッドの問題点を改善した構造とな
っているが、以下の問題点が残っていた。すなわち、図
15ないし図16の構造においては積層コアの厚みがトラッ
ク幅と等しい構造となっているため、図12ないし図14に
示す磁気ヘッドコアの作製時に分割体51の合わせ時にト
ラックずれが起こると、有効トラック幅が変化する問題
がある。又、リアギャップの磁気抵抗が大きく、ヘッド
効率が悪くなるといった問題もある。図17ないし図18に
示すものは、この問題を解決するために、スライダー接
着面と反対側の接着コアを斜面状又は段状に切欠いた。
しかし、スライダー接着面側のトラックずれについては
問題が残っている。図19ないし図20に示すものは、スラ
イダー接着面側の積層コアを接着前に斜面状又は段状に
切欠きを入れ、トラックずれを皆無とした構造になって
いる。しかし、この切欠部にはガラス等の非磁性材を充
填する構造となっているが、耐ＣＳＳについてはガラス
は問題がある。

【０００８】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、耐ＣＳＳ性の向上を図ることができ、充分大きな接
着強度を確保でき、かつ適正な磁気抵抗を確保して記録
再生効率を向上できる浮動磁気ヘッドを提供することを
目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、略矩形を成し一面側に磁気記録媒体に対
する浮上力発生のための浮上面を形成した非磁性材料か
らなるスライダーの側面部に、磁性膜と絶縁膜を交互に
積層した積層コアを非磁性材料の基板の間に介装した構
造の２つのコア体の接着により得られて先端側に記録再
生用ギャップを形成したトラック部を有する磁気ヘッド
コアを、前記トラック部を前記スライダーの浮上面側に
位置させて接着してなり、磁気ヘッドコアの長さを前記
スライダーの側面部に比して短く設定し、磁気ヘッドコ
アの磁気記録媒体との対向面の積層コアの厚さをトラッ
ク幅に相等しくなるように磁気ヘッドコアの積層コアは
スライダーの接着面に対し傾斜し、磁気記録媒体対向面
近傍のみ、接着面に露出し、接着面反対側の磁気ヘッド
コアの側面を段状、または斜面状に切欠いたことを特徴
とする。この場合、積層コアの絶縁膜が該磁気ヘッドコ
アの磁気記録媒体との対向面に露出しないように磁気ヘ
ッドコアを構成するようにしてもよい。

【００１０】

【作用】本発明の構成とすれば、磁気ヘッドコアがスラ
イダーの側面部に比して短いことにより、外部磁界によ
る影響は最小限のものにでき、かつ耐ＣＳＳ性を向上で
きる。また、狭トラック化を図ることができ、かつ磁性
膜の積層により得られる積層コアのギャップ部側の厚さ
に比して積層コアのリアギャップ部側の厚さを厚く設定
してギャップ側の磁気抵抗をリアギャップ側の磁気抵抗
に比して大きい値に設定できる。積層コアの絶縁膜が該
磁気ヘッドコアの磁気記録媒体との対向面に露出しない
ように磁気ヘッドコアを構成することにより、絶縁膜の
厚みがトラック幅に影響しないこととなる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の実施例を図１ないし図７に基
づいて説明する。まず、本発明の第１実施例の浮動磁気
ヘッド１を図１ないし図６に基づいて説明する。この浮
動磁気ヘッド１は、非磁性材料からなる略矩形のスライ
ダー２を有している。スライダー２の上面部が磁気記録
媒体と対向するようになっており、当該部に、浮上力発
生のためのレール３（浮上面）が設けられている。スラ
イダー２の一方のレール３側の側面部13には、記録再生
用ギャップ９を形成したトラック部14を有し、かつスラ
イダー２に比して短い磁気ヘッドコア７が、トラック部
14をレール３側に位置させた状態で低融点ガラス等を用
いて突出した状態で接着されている。

【００１２】この場合、低融点ガラスによる接着は、ス
パッタリング法を用いてスライダー２の接着面（以下、
スライダー接着面という。）16に低融点ガラス膜を形成
して行なっている。なお、低融点ガラスによる接着を行
なう上で、印刷によりスライダー２の接着面に低融点ガ
ラス膜を形成するようにしてもよい。なお、低融点金属
等の他の接着剤を用いてもよい。

【００１３】前記磁気ヘッドコア７は、第１のコア体17
と、第２のコア体18とを有し、第１のコア体17と第２の
コア体18とを接着して構成されている。第１のコア体17
及び第２のコア体18はそれぞれ、非磁性材料の第１の基
板19にスパッタリング法にてFe-Al-Si合金等の磁性膜20
を成膜し、この磁性膜20にスパッタリング法にてSiO₂等
の絶縁膜21を形成し、さらに同様にして磁性膜20及び絶
縁膜21を交互に積層して積層コア（主コア部）４を得、
この積層コア４を低融点ガラス等にて非磁性材料の第２
の基板22に接着して構成されている。この場合、積層コ
ア４は第２の基板22の外面部に対して角度θ₁ 傾斜させ
て介装したものになっており、かつ積層コア４の積層幅
Ｔ_MTL はトラック幅ＴＷの寸法Ａよりも厚くなるように
設定されている。

【００１４】スライダー２に磁気ヘッドコア７が接着さ
れた状態で、磁気ヘッドコア７のスライダー接着面16と
反対側には積層コア４に達する深さで研削によりレール
３の面に対して角度θ₂ を成す傾斜面25が形成されてい
る。この場合、積層コア４の磁気記録媒体との対向面側
部分 4ａが該対向面に露出し、かつ対向面側部分 4ａの
積層コア４の厚さがトラック幅Ａに相等しくなってい
る。なお、本実施例では、研削加工により傾斜面25を得
る場合を例にしたが、イオンミリング等によるエッチン
グ法により傾斜面25を形成してもよい。第１のコア体17
の第１の基板19における第２のコア体18との接着部に
は、図１上下方向に延びる溝23が形成されている。この
溝23には補強用ガラス24が充填されており、第１のコア
体17と第２のコア体18との接着を補強している。

【００１５】主コア部４がスライダー２の側面部13に比
して短いことにより、外部磁界による影響は最小限のも
のにでき、これにより外部ノイズを拾うようなことを防
止してＳ／Ｎを良好な値に維持できる。また、積層コア
の長さが短いため、磁性膜とスライダーとの間での偏摩
耗による耐ＣＳＳ性の低下を防ぐことができる。第１の
コア体17の第１の基板19に形成した溝23に補強用ガラス
24を充填しているので、第１のコア体17と第２のコア体
18との接着強度を大きくできる。上述したような構成に
することにより、積層コア４のギャップ９側の幅がリア
ギャップ11側の幅に比して小さくなって、ギャップ９側
の磁気抵抗がリアギャップ11側の磁気抵抗に比して大き
い値になる。このため、記録再生効率を向上できる。

【００１６】第１のコア体17と第２のコア体18とをギャ
ップ９を挟んで突き合わせる時に生じる積層コア４のト
ラックずれは、磁気ヘッドコア７が磁気記録媒体対向面
4aに露出しないため、オフトラック時に隣接トラックか
らのノイズ信号を拾うことがなくトラック幅を高精度に
コントロールできることになる。また、スライダー２に
対する接着面について、記録媒体対向面4a近傍を除いて
第１の基板22で形成しているため、スライダー２との接
着は従来と同様にガラスや低融点金属を用いて行える。
また磁気ヘッドコア７とスライダー２との接着部は、ご
く薄い接着面のみガラス等の接着剤がレール面に露出す
るのみであり、ＣＳＳ特性が劣化することはない。

【００１７】ここで、磁気ヘッドコアの製造方法を図４
ないし図６に基づいて説明する。まず、図４（ａ）に示
す非磁性材料の第１の基板19にスパッタリング法等にて
Fe-Al-Si合金等の磁性膜20を成膜し、この磁性膜20にス
パッタリング法にてSiO₂等の絶縁膜21を形成し（同図
（ｂ））、さらに同様にして磁性膜20及び絶縁膜21を交
互に積層して積層コア４を得、この積層コア４を低融点
ガラス等にて非磁性材料の第２の基板22に接着して前記
積層コア４を含む接着構成部材50を得る（同図
（ｃ））。そして、この接着構成部材50を分割する（同
図（ｄ））と共にその分割体51に溝23等の穿設を行なっ
た（同図（ｄ））上で所定のギャップ幅となるようにSi
O₂等の非磁性薄膜を介して両者をガラスにて接着（ボン
ド）する（同図（ｅ））。この後、積層コア４に対して
再度角度θ₁ だけ傾けて分割処理を行なって（同図
（ｆ））、図５及び図６に示すように磁気ヘッドコア７
を得ることになる。なお、溝23は、第１のコア体17A の
第１の基板19における第２のコア体18との接着部に形成
するものである。この溝23には補強用ガラス24が充填さ
れており、第１のコア体17A と第２のコア体18との接着
を補強している。なお、補強用ガラス24がレール３に露
出しない状態にされている。これにより、補強用ガラス
24がレール３側に露出することにより生じる、耐ＣＳＳ
性の低下及び信頼性の低下等の問題を惹起することがな
い。図５、図６中一点鎖線Ｒは傾斜面25の形成により
磁気ヘッドコア７のギャップ９側に形成される稜線を示
す。

【００１８】次に図７に基づいて本発明の第２実施例を
説明する。図において、磁性膜20は渦電流損による透磁
率の低下を生じない範囲内で極力厚くし、記録媒体対向
面での幅をトラック幅Ａに比して厚く設定したものにな
っている。これにより絶縁膜21が記録媒体対向面に露出
しない構造にしている。この場合、具体的には、磁性膜
20は６μm ×３層、絶縁膜21は0.1 μm ×２層で積層コ
ア４の厚さは18.2μmであり、トラック幅は３〜５μm
になっている。この図７に示す磁気ヘッドコア７を用い
て構成した浮動磁気ヘッドでは、絶縁膜21の厚みがトラ
ック幅Ａに影響しないこととなり、このため絶縁膜を厚
く形成し電気的に完全に絶縁できるようになる。

【００１９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、磁気ヘ
ッドコアがスライダーの側面部に比して短いことによ
り、外部磁界による影響は最小限のものになるので、外
部ノイズを拾うようなことを防止してＳ／Ｎを良好な値
に維持できる。さらに、積層コアの長さが短いため、磁
性膜とスライダーとの間での偏摩耗による耐ＣＳＳ性の
低下を防ぐことができる。また、積層コアのギャップ部
側の幅を所望のトラック幅と同等寸法にしているので、
磁気ヘッドコアのギャップ形成工程において仮にトラッ
クズレが発生しても、所望のトラック幅を得ることがで
き、積層コアのギャップ側の厚さに比して積層コアのリ
アギャップ側の厚さを厚く設定できるため、ギャップ側
の磁気抵抗がリアギャップ側の磁気抵抗に比して充分大
きい値になるので、記録再生効率を向上できる。絶縁膜
が記録媒体対向面に露出しないように構成することによ
り、絶縁膜の厚みがトラック幅に影響しないこととなる
ので、電気的に絶縁できるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の浮動磁気ヘッドを示す斜
視図である。

【図２】同浮動磁気ヘッドを示す部分拡大図である。

【図３】同浮動磁気ヘッドの部分断面図である。

【図４】同浮動磁気ヘッドの磁気ヘッドコアの製造工程
を示す図である。

【図５】同磁気ヘッドコアを示す斜視図である。

【図６】図５のＡ矢視図である。

【図７】本発明の第２実施例を示す断面図である。

【図８】従来の浮動磁気ヘッドの一例を示す斜視図であ
る。

【図９】従来の浮動磁気ヘッドの他の例を示す斜視図で
ある。

【図１０】従来の浮動磁気ヘッドのさらに他の例を示す
斜視図である。

【図１１】従来の浮動磁気ヘッドのさらに他の例を示す
斜視図である。

【図１２】従来の磁気ヘッドコアの製造工程を示す図で
ある。

【図１３】同磁気ヘッドコアを示す斜視図である。

【図１４】図13の円Ｂ部分の拡大図である。

【図１５】積層コアの厚みをトラック幅と等しいものと
したタイプの従来の浮動磁気ヘッドを示す斜視図であ
る。

【図１６】図15の部分拡大図である。

【図１７】スライダー接着面と反対側の接着コアを斜面
状又は段状に切欠いた構造の従来の浮動磁気ヘッドを示
す斜視図である。

【図１８】図17の部分拡大図である。

【図１９】スライダー接着面側の積層コアに接着前に斜
面状又は段状の切欠きを入れたタイプの従来の浮動磁気
ヘッドを示す斜視図である。

【図２０】図19の部分拡大図である。

【符号の説明】

１浮動磁気ヘッド２スライダー３レール４積層コア 4a 積層コアの磁気記録媒体との対向面側部分７磁気ヘッドコア９ギャップ 11 リアギャップ 13 側面部 14 トラック部 20 磁性膜 21 絶縁膜 25 傾斜面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G11B 5/127 - 5/255 G11B 5/56 - 5/60

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】略矩形を成し一面側に磁気記録媒体に対
する浮上力発生のための浮上面を形成した非磁性材料か
らなるスライダーの側面部に、磁性膜と絶縁膜を交互に
積層した積層コアを非磁性材料の基板の間に介装した構
造の２つのコア体の接着により得られて先端側に記録再
生用ギャップを形成したトラック部を有する磁気ヘッド
コアを、前記トラック部を前記スライダーの浮上面側に
位置させて接着してなり、磁気ヘッドコアの長さを前記
スライダーの側面部に比して短く設定し、磁気ヘッドコ
アの磁気記録媒体との対向面の積層コアの厚さをトラッ
ク幅に相等しくなるように磁気ヘッドコアの積層コアは
スライダーの接着面に対し傾斜し、磁気記録媒体対向面
近傍のみ、接着面に露出し、接着面反対側の磁気ヘッド
コアの側面を段状、または斜面状に切欠いたことを特徴
とする浮動磁気ヘッド。
【請求項２】積層コアの絶縁膜が該磁気ヘッドコアの
磁気記録媒体との対向面に露出しないように磁気ヘッド
コアを構成したことを特徴とする請求項１記載の浮動磁
気ヘッド。