JPS6113414A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents

薄膜磁気ヘツド

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JPS6113414A
JPS6113414A JP13489084A JP13489084A JPS6113414A JP S6113414 A JPS6113414 A JP S6113414A JP 13489084 A JP13489084 A JP 13489084A JP 13489084 A JP13489084 A JP 13489084A JP S6113414 A JPS6113414 A JP S6113414A
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JP
Japan
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magnetic
magnetic head
thin film
thin
substrates
Prior art date
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Pending
Application number
JP13489084A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigemi Imakoshi
今越 茂美
Yutaka Hayata
裕 早田
Hideo Suyama
英夫 陶山
Munekatsu Fukuyama
宗克 福山
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
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Publication of JPS6113414A publication Critical patent/JPS6113414A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3109Details
    • G11B5/313Disposition of layers
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/10Structure or manufacture of housings or shields for heads
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3103Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は薄膜磁気ヘッド特に、例えば記録用の薄膜磁気
ヘッドと再生用薄膜磁気ヘッドとが一体化された複合型
薄膜磁気ヘッド、或いは記録トラックの高密度化に伴な
って例えば1つおきのトラックに関する磁気ヘッドを組
として例えば2組の磁気ヘッド部を交互に互い違いに配
置した配置関係に一体化したいわゆるスタツガー・構成
による薄膜磁気ヘッドに係わる。
背景技術とその問題点 薄膜磁気ヘッド、例えば磁気抵抗効果(以下MRという
)薄膜磁気ヘッドは、低周波用の再生特性に優れている
ことから低周波を扱う磁気記録における再生用ヘッドと
して脚光を浴びているがこの場合記録用の磁気ヘッドと
してインダクテイプ型、すなわち電磁誘導型の磁気ヘッ
ドを設けざるを得ない。したがって、この場合、記録用
の電磁誘導型の薄膜ヘッドと再生用のMR薄膜磁気ヘッ
ドとが組合わされて一体化された複合型磁気ヘッドが必
要となる。
このような第1の磁気ヘッド、例えば電磁誘導型の記録
用薄膜磁気ヘッドと、第2の磁気ヘッド例えば再生用M
R型薄膜ヘッドとの合体による複合型薄膜ヘッドは、例
えば第1図に示すよ5に記録用の電磁誘導型薄膜ヘッド
部(IR)と、再生用MR型薄膜ヘッド部(IP)とが
その各磁気ギャップ部を共通の磁気媒体との対接面(2
)に臨むように接合合体される。これらヘッド部(IR
)及び(IP)は、夫々磁性基板(2R)及び(2P)
上に夫々薄膜磁気コアが形成され、これら薄膜磁気コア
と磁性基板(2R)及び(2P)との間に各磁気媒体と
の対接面(2)K臨んで磁気ギャップGR及びGPを形
成するように被着されて成る。尚再生用磁気ヘッド部(
IP)においてはMR薄膜素子が、その薄膜磁気コアに
よる磁気回路に設けられた他の磁気ギャップ中に配置さ
れて成る。
また、各薄膜磁気ヘッドを覆うように各磁性基板(2R
)及び(2P)上に保護基板(3R)及び(3P)が接
合されて成り、これら各磁性基板(2R)及び(2P)
が互いに背中合わせに接合されて両ヘッド部(IR)及
び(IP)が合体された構成をとる。この場合各ヘッド
に関する端子導出は、磁性基板(2R)及び(2P)の
、保護基板(3R)及び(3P)より外部に突出した後
方側より各トラック(チャンネル)に関する端子導電層
(4)が延在形成されて、これに例えば外部リード(5
)が接続されて端子導出がなされる。
しかしながら、この場合、各磁性基板(2R)及び(2
P)は、その各ヘッド部(IR)及び(IP)の組立て
取り扱いにおける機械的強度を保有する必要があること
から、その厚さは0.7〜1■程度に選ばれるものであ
るため、各ヘッド部(IR)及び(IP)のざるを得な
い。
このような欠点を回避するために、例えば第2図に示す
ように記録用ヘッド部(IR)と再生用ヘッド部(IP
)とを磁性基板(2R)及び(2P)を外側にして保護
基板(3R)及び(3P)を内側にして接合し両基板(
3R)及び(3P)を肉薄とすることによってギャップ
GR及びGP間の間隔を狭める構造も考えられる。
しかしながらこの場合、磁性基板(2R)及び(2P)
間の狭隘な部分での各端子に対する外部リードの尊王は
極めて難しいという欠点が生じる。
発明の目的 本発明は上述した記録用及び再生用磁気ヘッドの複合型
磁気ヘッドにおけるように、或いはスタツガー構造によ
る磁気ヘッドにおけるよう忙、第1及び第2の磁気ヘッ
ド部が一体化されて成る薄膜磁気ヘッドにおいて、第1
及び第2の磁気ヘッド部の磁気ギャップを充分小なる間
隔をもって配置することができるようになすと共に各磁
気ヘッドよりの端子導出例えば端子部に対するリードの
接続等・を容易に行うことができる薄膜磁気ヘッドを提
供するものである。
発明の概要 本発明においては、第1及び第2の磁性基板上に夫々第
1及び第2の薄膜磁気コアが形成されて第1及び第2の
薄膜磁気ヘッド部が構成され、これら第11及び第2の
薄膜磁気ヘッド部は、第1及び第2の磁性基板を有する
側とは反対側で接合合体され、第1及び第2の磁性基板
の対応する一側縁に磁気媒体との対接面が形成され、こ
の磁気媒体との対接面に臨んで、第1及び第2の薄膜磁
気コアと、第1及び第2の磁性基板との間に夫々磁気ギ
ャップが形成され、第1及び第2の磁性基板の磁気媒体
との対接面となる側縁以外の少くとも各一側縁が互いに
他の第2及び第1の磁性基板の対応する側縁より突出さ
れ、これら第1及び第2の磁性基板の各突出側縁に第1
及び第2の薄膜磁気ヘッド部の各端子が夫々導出された
構成とする。
実施例 第3図以下を参照して本発明による薄膜磁気ヘッドの一
例を説明する。
第3図は本発明による薄膜磁気ヘッドの一例の拡大平面
図、第4図はその拡大平面図、第5図は第4図のA−A
線上の拡大断面図、第6図及び第7図はその第1の磁気
ヘッド部の拡大断面図及び拡大平面図、第、8図及び第
9図はその第2の磁気ヘッド部の拡大断面図及び拡大平
面図を示すものでこの例では記録用電磁銹導型薄膜ヘッ
ド部と、再生用MR型薄膜ヘッド部による複合型薄膜磁
気へゝラドの例で、図において(IOR)は第1の磁気
ヘッド部、即ちこの例では記録用電磁誘導型薄膜ヘッド
部を示し、(IOP)は第2の磁気ヘッド部、即ちこの
例では再生用MR型薄膜ヘッド部を示す。
第1の磁気ヘッド部(10R)及び第2の磁気ヘッド部
(IOP)は、第3図及び第4図に示すように夫々磁性
基板a1+及び同上に設けられ、これらが接合合体され
て複合型の薄膜磁気ヘッドが構成される。
先ず第1の磁気ヘッド部即ち記録用電磁誘導型薄膜ヘッ
ド部(IOR)を第6図及び第7図を参照して説明する
第6図及び第7図は、その記録ヘッド部(IOR)の拡
大断面図及び平面パターン図を示す。この記録ヘッド部
(IOR)は、例えばMn−Zn系フェライト、Mn−
Ni系フェライト等より成る磁性基板のように少くとも
10面(lla)が磁性層より成る磁性基板allが設
けられこれの上に多数の電磁誘導型の薄膜磁気ヘッド素
子hrが並置配列されて成る。
この場合、基板αDには、その一平面(lla) K臨
んで、基板Qllの長手方向に沿って溝(121が形成
され、これに非磁性材(131,例えばガラスが充填さ
れる。
また基板(illの面(lla)上には、基板(Ill
が導電性を有する場合にはこれの上にS iOz等の非
磁性絶縁層Q41が被着され、これの上に導体手段Q5
1か被着配置される。この導体手段a9は、例えば全チ
ャンネル(トラック)に対して共通のバイアス線輪とな
る帯状薄膜導電体叫と、各チャンネルに対応して設けら
れる信号線輪となる帯状薄膜導電体Q71とよりなる。
これら導電体Q61及びaηは、少な(ともその一部が
溝Q3に沿って設けられる。そしてこの溝Q3と、これ
の上の導体手段(151を横切って各チャンネルに対応
して夫々パーマロイ等薄膜磁気コアa&が夫々被着され
る。この場合、導体手段a9上にはS iOz等の絶縁
層a9が被着されて薄膜磁性層a&との電気的絶縁がな
される。各磁性層Q81の一端は、例えば絶縁層α9に
よる非磁性ギャップスペーサ−(イ)を介して磁性基板
(Illとの間に作動磁気ギャップGRを形成し、他端
は、例えば絶縁層α9及び(141に穿設した窓C2D
を通じて基板a11の面(lla)K1ia気的に密に
結合・させる。このよう圧して、共通の基板(IIIと
各磁性層0秒とKよって夫々閉磁路が形成されて各チャ
ンネルの磁気ヘッド素子hrが構成されるものである。
また、再生ヘッド部(IOP)は、その各チャンネルの
ヘッド素子hpが磁気抵抗効果(以下MRという)型構
成をとって、第8図にその拡大断面図を、第9図にその
拡大平面パターンを示すように、前述した記録ヘッド部
(10R)の各ヘッド素子hrK  ’対応して共通の
磁性基板(411上に配列されて成る。
基板(4υは、例えば磁性フェライトのNi−Zn系7
エライト、Mn −Zn系フェライト等の磁性体より成
るか少くとも1主面(41a)が磁性層によって構成さ
れる。そして、この基板0υが導電性を有する場合には
、これの上に5i02等の絶縁層(43を介することに
よって、後述するMR素子に対するバイアス磁界を与え
るバイアス磁界発生用の電流通路となる帯状の導電膜よ
り成るバイアス導体(431上K、絶縁層04)を介し
て例えば、Ni−Fe系合金、或いはNi−Co系合金
等のMR効果を有する磁性薄膜より成るMR薄膜素子(
4つが配される。そして、このMR薄膜素子(451上
に薄い絶縁層(9))を介して各一端が跨り、バイアス
導体(43及びMR薄膜素子(l19を横切る方向に延
長して夫々、例えばMoパーマロイより成り、夫々磁気
回路の一部となる対の薄膜磁気コア(旬及び(48)が
被着される。一方、磁気コアCDの前方端と基板0vと
の間には、所要の厚さを有する例えば絶縁層囮より成る
非磁性ギャップスペーサ層(511が介在されて前方の
磁気ギャップGPが形成される。また、磁気ギャップG
Pを構成する磁気コア(47)の後方端と、他方の磁気
コア(481の前方端とは、夫々MR素子(451上に
絶縁層(46)を介して跨るように形成されるも、両端
間には所要の幅をもって離間する不連続部@が形成され
る。両薄膜磁気コア(4で及び08の後方端及び前方端
は、MR薄膜素子(49の両側に夫々絶縁層(46)の
介在によって電気的には絶縁されるも、磁気的には結合
するよう罠なされ、両薄膜磁気コア(4η及び(4&の
不連続邪説)がMR薄膜素子(45Kよって磁気的に連
結されて、基板(4I)−磁気ギャップGP−薄膜磁気
コア(471−MR素子(4!9−薄膜磁気コア(48
一基板0υによる磁気回路が形成されたMR型ヘッド素
子hpが夫々形成される。
また、各基板(11)及び(4I)上に形成した第1及
び第2の磁気ヘッド部(10R)及び(IOP)上には
、これらを覆って8202等の絶縁性保護材層(60R
)及び(60F)を被着する。これら保護材層(60R
)及び(60P)の各表面は平坦に且つできるだけ薄い
厚さに形成する。
そして、これら第1及び第2の薄膜磁気ヘッド部(10
R)及び(IOP)を、互いにその保護材層(60R)
及び(60P)の平坦な表面を突き合せて接合する。
このようにして接合合体された第1及び第2の磁気ヘッ
ド部(10R)及び(IOP)は、これらの前方面が、
両ヘッド部(10R)及び(IOP)の接合合体前、或
いは接合合体後において研磨されて、共通の磁気媒体と
の対接面σOが形成される。
このよう忙して構成された複合型磁気ヘッドは、その磁
気媒体との対接面σQに臨む第1及び第2の薄膜磁気ヘ
ッド部(IOR)及び(l0P)の各ギャップGR及び
GP間の間隔は、両者間に何ら基板が介在されていない
ことから、これらギャップGR及びGPは充分に近接し
て、例えば10〜2011mの間隔をもって配置させる
ことができる。
そして、また本発明においては、特に、第1及び第2の
薄膜磁気ヘッド(10R)及び(IOP)の接合合体状
態において各基板a]J及び(41)の磁気媒体との対
接面σα側の縁部以外の、例えばこの対接面σQの左及
び右側縁部(11L)及び(41R)が、互いに他の基
板0υ及びaDの各右及び左側縁部(41L)及び(1
1R)より夫々側方に突出するようになし、これら各突
出側縁部(IIL)及び(IIR)に、夫々第1及び第
2の薄膜磁気ヘッド部(10R)及び(IOP)の各端
子を導出する。すなわち、例えば、第1の磁気ヘッド夫
々外部回路に接続される端子として、基板(Illの側
縁部(11L)に延在させる。また、第2の磁気へび(
45b)が夫々外部回路に接続される端子として基板(
4υの側縁部(41R)に延在させる。
尚上述した例においては、各磁性基板(Ill及びCD
の端子導出の突出側縁を磁気媒体との対接面σQを挟ん
で左右両側に配置した場合であるが、成る場合は一方の
基板に対しては左または右からその導1、出を行い、他
方の磁気ヘッドに関しては磁気媒体との対接面σ1とは
反対側の後方縁部を他の基板より突出させ、ここから端
子導出を行うようにすることもできる。いずれの場合に
おいても、基板(Ill及びケ1)の各端子部の導出が
なされた側縁部が互いに4pの基板(4υ及び(Ill
と対向することがなく突出するようになす。
尚、上述した例においては、各導体(lH71,(43
)を単層の1ターン構造とした場合であるが、多ターン
の単層構造とするとか、絶縁層を介して多層に積層して
多ターン構造とすることもできるなど種々の構造をとり
得る。例えば、MR型薄膜磁気ヘッド(IOP)におい
て、第10図に示すようKそのバイアス導体(43を渦
巻状のパターンとすることもできる。
また、上述した例においては、第1の磁気ヘッド部(I
OR)が記録用電磁誘導型薄膜ヘッド部であり、第2の
磁気ヘッド部(IOP)が再生用MR型薄膜磁気ヘッド
である場合について説明したが他の組合わせ忙よる磁気
ヘッド部、例えば夫々記録及び再生用の薄膜磁気ヘッド
部が夫々電磁誘導型構成をとるものの組合わせとするこ
ともできるし、また記録及び再生用の複合型磁気ヘッド
に限らず例えばスタツガー構造による薄膜磁気ヘッド等
に本発明を適用することもできる。
発明の効果 上述したように本発明においては、第1の磁気ヘッド部
と第2の磁気ヘッド部を接合合体した薄膜磁気ヘッドに
おいて、各磁気ヘッド部の各チャンネルの磁気ヘッド素
子からの端子導出を夫々各磁気ヘッド部を構成する磁性
基板の突出側縁に導出させるようにして互いに他の磁気
ヘッド部の磁性基板と対向することがないようにしたの
でこれら端子*に対する外部リードの接続を容易に行う
ことができる。
また、各磁気ヘッド部間の磁気ギャップ間に磁性基板、
または保護基板が配置されないような構成としたことK
よってその各磁気ギャップ間の間隔を充分狭はめること
ができる等実用に供してその利益は大である。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は従来の複合型薄膜磁気ヘッドの各例
の路線的斜視図、第3図、第4図及び第5図は本発明に
よる薄膜磁気ヘッドの一例の拡大正面図、拡大平面図及
び第3図のA−A線上の拡大断面図、第6図及び第7図
はその第1の磁気ヘッド部の拡大断面図及び拡大平面図
、第8図及び第9図はその第2の磁気ヘッド部の一例の
拡大断面図及び拡大平面図、第10図は他の例の第2の
磁気ヘッド部のパターン図である。 (IOR)及び(IOP)は夫々第1の磁気ヘッド部及
び第2の磁気ヘッド部、(111及び(40は第1及び
第2の磁性基板、GR及びGPは第1及び第2の磁気ギ
ャップである。 第3図 1R

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 第1及び第2の磁性基板上に夫々第1及び第2の薄膜磁
    気コアが形成されて第1及び第2の薄膜磁気ヘッド部が
    構成され、該第1及び第2の薄膜磁気ヘッド部は、上記
    第1及び第2の磁性基板を有する側とは反対側で接合合
    体され、上記第1及び第2の磁性基板の対応する一側縁
    に磁気媒体との対接面が形成され、該磁気媒体との対接
    面に臨んで、上記第1及び第2の薄膜磁気コアと上記第
    1及び第2の磁性基板との間に磁気ギャップが形成され
    、上記第1及び第2の磁性基板の上記磁気媒体との対接
    面となる側縁以外の少くとも各一側縁が互いに他の第2
    及び第1の磁性基板の対応する側縁より突出され、該第
    1及び第2の磁性基板の各突出側縁に上記第1及び第2
    の薄膜磁気ヘッド部の端子が導出された薄膜磁気ヘッド
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