JPH02174902A - 隔膜脱気装置および脱気方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は膜を介して水と減圧した気相とを接触せしめる
ことにより、水中に溶解含有せる気体を除去する隔膜脱
気装置に関し、中でも特に、溶存酸素濃度０．３ｐｐｍ
以下の低残留溶存酸素水の製造方法並びに装置に関する
。本発明は、例えばボイラー供給水や逆浸透膜への供給
液の脱酸累、半導体洗浄用の超純水の脱酸素、配管や冷
却装置の防錆を目的とした、水や海水の脱酸素や脱炭酸
ガス、気泡の発生の防止を目的とする、例えば写真現像
液の脱気、保存を目的とした水の脱酸素、医療用食品用
の脱酸素水の製造などの分野に利用し得る。

［従来の技術］ 水の脱気方法としては従来、過熱脱気、真空脱気、バブ
リング法、超音波脱気、化学法、隔膜脱気などが知られ
ている。これらの中で隔膜脱気は脱気装置が小型、安価
になること、取扱が容易なこと、脱気に必要なエネルギ
ーが少ないことなどの優れた特長をもっている。しかし
ながら、隔膜脱気法によって水中の溶存気体濃度を０．
３ｐｐ＋ｎ以下の低濃度まで下げることは相当困難であ
った。ここで言う溶存気体濃度は、酸素、窒素、若しく
は炭酸ガスなどの、除去を目的とする単一の気体の濃度
をいう。

隔膜脱気を効率良く行う方法については、例えば特開昭
６０−２５５１４において接触時間や隔膜面積について
、特開昭６０−２５５１２０において周囲温度の効果に
ついて、特開昭５４−１２３７８５、特開昭５８６２６
３７、特開昭５８−８１４０４、特開昭５８−１２９３
４５において隔膜の種類について開示されている。しか
しながら、これらはいずれも残留溶存気体量が０、３ｐ
ｐｍを越える、比較的多量に残存する場合が、あるいは
真空度が３０ｔｏｒｒ以下まで高度に減圧する場合であ
って、真空度が３０〜１００　ｔｏｒｒと言った比較的
低い減圧でも溶存気体濃度が０．３ｐｐｍ以下の低濃度
まで脱気する方法や装置についてはこね、まで知られて
おらず、上記の先行文献の中でも、何らの記述も成され
ていない。

［発明が解決しようとする課題］ 水中に残存する溶存気体濃度を、例えば酸素、窒素、炭
酸ガスなどの水に対する溶解度が比較的高い気体に関し
て０．３ｐｐｍ以下という低残留濃度にまで下げるには
、気相側を２０ｔｏｒｒ以下にまで減圧せねばならず、
このため排気量の大きな真空ポンプを要するのみならず
、水封式真空ポンプ、ダイヤフラム型真空ポンプ、蒸気
エジェクター又は水流アスピレータ−と言った、水蒸気
を多量に含む気体の吸引に適した減圧手段は、減圧度が
不足するため使用することができなかった。このため、
溶存気体量が０．３ｐｐｍ以下の高脱気水の製造には、
曲回転式やドライ型など、水蒸気を多量に含む気体に適
用する場合にはメンテナンスが繁雑で寿命も短いクイブ
の真空ポンプを使用する他ながった。さらに、これらの
気体に関して０．３ｐｐｍ以下までの脱気を、真空度が
３０〜１ｏｏｔｏｒｒと言った比較的低い減圧度であり
ながら、かつ排気すべき気体の体積の１００倍以下とい
う小排気量の減圧手段が使用できる脱気方法については
知られていなかった。

一方、残存気体濃度を小さくすることのできる脱気方法
として、真空脱気が知られている。真空脱気には、充填
塔、濡ｉ壁法、邪魔板法など種々の形態があるが、いず
れにおしても、水相と減圧された気相とを直接接触させ
て、溶存気体を脱気する方法であ−９、設定された温度
における水の沸騰点近くまで減圧するか、あるいは設定
された減圧度における水の沸騰点近くまで水を加温する
ことにより、　０．ｌｐｐｍ以下の低濃度まで脱気する
ことが可能である。しかしながら真空脱気法は、充填塔
などの気液接触部が大型、高価になる、システムが複雑
になる、などの欠点の他に、０．３ｐｐｍ以下にまで脱
気する場合には、多量の水の蒸発が避けられないため、
減圧するための真空ポンプとして、脱気すべき気体の体
積に対して百倍から千倍以上という大排気量のものを使
用する必要があった。そのため、ポンプが大型化し設置
スペースが大となる、ポンプが高価である、運転コスト
がかさむなどの欠点を擁していた。

［課題を解決するための手段］ 本発明者等は、利点の多い隔膜脱気装置において、残存
気体濃度が０．３ｐｐｍ以下まで高度に脱気する場合に
発生する上記の欠点を除去する方法、即ち、水封式真空
ポンプなどが使用でき、真空度が３０〜１００ｔｏｒｒ
と言った比較的低い減圧度でも残存気体濃度が０．３ｐ
ｐｍ以下まで脱気可能な方法について、さらには小排気
量の真空ポンプを用いても低溶存濃度まで脱気できる方
法について鋭意検討した結果、本発明に到達した。

即ち本発明の要旨は、気ｔ１′！の境界を画する隔膜、
該隔膜で隔てられた液相側に供給する木の温度を４０〜
８０℃に加熱するための装置及び、該隔膜で隔てられた
気相側を３０〜１００　ｔｏｒｒに減圧するための装置
を有することを特徴とする、残留溶存気体濃度が０．３
ｐｐｍ以下の水を製造する隔膜脱気装置を提供する点に
ある。また本発明は、このように、隔膜を用い、その片
側に供給する水の温度を好適な温度に調節することによ
り、気相の圧力を比較的簡庫に達成される減圧度の状態
で、高度に脱気された水の製造を可能とする方法を提供
する。

本発明で言う溶存気体濃度ベコ残存気体濃度は、除去を
特徴とする特定の気体に関するものであって、特に断ら
ないかぎり、７トに溶解している全気体種の総和のこと
をいうのでは無い。但し、除去を目的とする気体が複数
の場合にはその合計とする。。

発明者等の検討によａば、第３図に示した如き従来の内
部潅流方式による水の脱酸素の例に見られるように、水
の流量を下げて接触時間を長くするほど残存酸素濃度は
低下するものの限界があり、いかに膜面積や接触時間を
増やしても、また隔膜の種類を選択することによっても
、残存酸素濃度を０．３ｐｐｍ以下（真空度を３０ｔｏ
ｒｒとした場合）にできないことが判明した。残存酸素
１１度を０．３ｐｐｍ以下にするには、さらに減圧する
ことが必要であるが、水蒸気を多量に含む気体の吸引に
適した水封式真空ポンプの使用が不可能になる。

発明者等は種々検討した結果、原水を４０〜８０℃に加
熱する方法が好ましいことを見いだした。即ち、気液接
触隔膜に導く原水の温度を４０〜８０℃に加熱すること
により残存濃度の限界点を下げることができ、しかも、
隔膜１こ適当な特性のものを用いれば、残存気体量を増
すこと無く、こｈまで知られていた隔膜脱気や通當の真
空脱気に比べて、小排気量の真空ポンプの使用が可能に
なる。

残存気体量を減少させるために原水を加熱する方法は、
一般の真空脱気においては周知のことであるが、液体の
自由表面が存在する真空脱気装置の場合と、膜を隔てて
気液が接触している本発明の隔膜脱気装置では、脱気の
機構が全く累なり、容易に類推できる性質のものではな
い６例えば、真空脱気においては、設定された温度にお
いて減圧してゆくか、あるいは設定された真空度におい
で水を加熱してゆくと、水の沸騰点に達し、気体の溶解
度がゼロになると同時に、溶存気体量の無限大倍量の水
蒸気が発生することはＹＭ知である。

しかしながら隔膜脱気の場合には、設定さｔｌだ温度に
おいて減圧度をいかに上げても、あるいは設定された真
空度においで水をどこまで加熱しても、水の沸騰が生じ
ることは無い。従って、隔膜脱気においては、真空脱気
における水の沸騰電性で操作することが可能であり、水
の沸騰と共に溶存気体ｉ震度がゼロになることもない。

このように、一般の真空脱気と隔膜脱気はその機構に於
て全く異なるもので゛ある。

また、特開昭６０−２５５１２０には、隔膜脱気におい
゛乙隔膜の設置された真空チャンバ温度をコントロール
することによって膜の透過速度を増し、残存載体濃度を
減少させる方法が開示されている。

しかしながら該文献は、実施例にもみられるように、高
々５〜３　ｐｐｍ程度までの脱気に関するものであって
、脱気限界濃度を引き下げる方法を提示（−だ本発明と
は全く異なるものである。

本発明の原水の加熱手段には特に制約はなく、スチーム
、熱媒、電気など任意のものを用いることができる。加
熱は原水を熱交換器に通す事によって行ってもよいし、
原水をタンクに貯留した状態で大気開放下で行ってもよ
い。大気開放の貯水タンクを使用し、加熱すると同時に
撹拌や空気バブリングを行うことは、膜モジュールへの
供給水中の溶存気体濃度を低減させ、脱気の負荷が減少
する点で好ましい。原水の温度が高く、過熱の必要がな
い場合や、８０℃を越える場合には、保温や冷却を行う
ことにより、隔膜への供給温度を４０〜８０℃に調節す
る。

本発明に用いる隔膜の気体透過速度定数は、除去すべき
気体に関する透過速度定数が、使用する温度においてＩ
　Ｘ　１０−’　［ｃｍ３（ＳＴＰ）／ｃｍ”、ｓｅｃ
、ｃｍｌｌｇ、以下同じ］以上であり、ｌＸｌ０−’以
上が好ましく、　ｌＸｌ０−’以上がさらに好ましい。

測定はＡＳＴＭＤ１４３４に準拠して行う。本発明に用
いる膜は水を液体のままで透過しない事を要する。膜の
水蒸気透過速度定数は、除去すべき気体の透過速度定数
の０８５倍〜１００倍であることが好ましく、さらに好
ましくは１倍〜１０倍である。気体透過速度定数に対す
る水蒸気透過速度定数の比が小さいほど排気量の小さな
真空ポンプを用いることができるが、比が０．５より小
さくなると、真空ポンプ排気量に係わらず残存気体濃度
が上昇することが判明した。水蒸気透過速度定数の測定
は、膜の一方の側に水を満たし、反対側を１　ｔｏｒｒ
以下に減圧して、水の減少速度をキャピラリーで測定す
る方法、若しくは減圧側のコールドトラップに捕らえら
れた。水の量で測定する方法を採ることができる。この
時、膜の両側の圧力差は、測定温度における水の蒸気圧
として計算する。

膜の気体透過速度定数及び水蒸気透過速度定数は、使用
温度における値を用いるのが本来ではあるが、近似的に
室温（２５℃）での測定値を用いることができる。

このような透過特性に適合するものとしては、均質膜、
気体分離膜、疎水性多孔質膜、限外濾過膜、逆浸透膜な
どを挙げることができる。これらの中で、気体分離膜が
、気体透過速度及び水蒸気遮断性の両面において好まし
く、気体分離膜の中でも、多孔質層と緻密層からなる非
対称複合膜や不均質膜が特に好ましい。又、このような
透過特性に適合する膜素材としては、疎水性高分子材料
があげられる。親水性素材は、水の遮断性及び水蒸気遮
断性の点で好ましくない。疎水性高分子材料の中でもポ
リ（４メチルペンテン１）は、酸素、窒素、炭酸ガスな
どの気体透過係数が大きく、かつ水蒸気透過係数が酸素
透過係数の約１７２であることから、膜の水蒸気透過速
度定数を酸素透過速度定数の約１７２以上の範囲で自由
に製造できるため、特に好ましい素材である。

隔膜の形状については、特に限定することを要しないが
、中空糸膜が、装置体積当りの表面積を大きく取れるこ
と、モジュール化が容易なこと、耐圧強度を出し良いこ
となどの点で好ましい。中空糸膜を使用する場合には、
内部潅流型、外部潅流型のどちらも目的に応じて使用す
ることができる。中空糸膜が非対象膜の場合には、緻密
層が水相に接する側で使用するのが好ましい。

本発明は、水の脱気に関する。水は、上水、工業用水、
などの通常の水の他に、海水や、防錆剤などを添加した
溶液や、有機溶剤などを含む系であってよいし、微生物
その他の固体を分散する系であってもよい。

本発明が適用できる気体については、特に制約はない。

酸素、窒素、炭酸ガスなど水に溶解する気体の脱気に適
用できるし、複数種の溶存気体を脱気することも、複数
種の溶存気体から選択的に一種もしくは複数種の気体を
脱気することも可能である。目的に応じた気体透過速度
、選択透過性を持つ隔膜を選択することができる。

本発明に用いることのできる気相側の減圧手段は、いわ
ゆる真空ポンプの他に、蒸気エジェクタ、水流アスピレ
ータ−などが堂げられる（以下、簡略化のために、これ
らを含めて真空ポンプと称する）。隔膜脱気装置におい
ては、真空ポンプ内で水蒸気の凝結が起こるため、水封
式真空ポンプ、蒸気エジェクタ、水流アスピレータ−が
好ましい。ガスバラストポンプも使用可能であるが、排
気容量の大きなものが必要となる。運転圧力は高いほう
がポンプの排気量が小さくて済むが、原水温度と関係が
あり、運転圧力を高くするためには原水温度を高くする
必要がある。原水がスチームの凝結水である場合など加
熱のエネルギーが問題とならない場合には、真空度は４
０〜１００ｔｏｒｒと弱い減圧がポンプ容量や運転コス
ト面から好ましいが、原水が水道水である場合のように
加熱を必要とする場合や、膜の耐熱性が低い場合には、
原水温度を４０〜５０℃程度に留め、３０〜４０ｔｏｒ
ｒの真空度で運転することが好ましい。又、処理水の残
留気体濃度を０゜１　ｐｐｍ以下にまで脱気するには、
原水温度５０℃以上、真空度３０〜４０ｔｏｒｒで運転
することで目的を達することができる。

真空ポンプの排気量は、過大でも脱気性能上は何ら問題
はないが、設置面積、ポンプ価格、運転エネルギーなど
の点から小さいはうが好ましい。

過不足ない真空ポンプの容量は、真空度、水から取り出
される気体の量、処理水の残存気体の許容量、除去目的
以外の溶存気体の有無および種類と量、原水温度、隔膜
の水蒸気および気体透過速度定数、さらには膜面積など
によって変わるが、発明背等は、第１式によって得られ
る容量以下の排気量を持つ真空ポンプが使用できること
を見いだした。原水に、除去目的以外の気体が含まれる
場合であっても、含まれない場合と同じ排気量の真空ポ
ンプが使用できることは驚くべきことである。除去を目
的とする気体が複数である場合は、気体の量はそれらの
合計とする。

Ｖｐ＝４Ｑｘ　Ｖｇｘ　Ｖｓ　　　　　　　　　（第１
式）Ｖｓ＝５Ｘ１．０″Ｘ　１．０５”Ｘ　ＱｓＸ　Ｓ
　　　　（第３式）ｖｐ　：真空ポンプの排気量　　　
［＋／分］■ｇ　　、脱気される気体の体積　　［Ｎ＋
／分］ｖｓ　：膜を透過する水蒸気体積　［ＮＩ／分］
Ｑｓ　、膜の水蒸気透過速度定数 ［ｃｍ’（ＳＴＰ）／ｃ＋ｎ２．ｓｅｃ、ｃｍＨｇ］Ｑ
ｇ　：膜の気体透過速度定数 ［ｃｍ’（ＳＴＰ）／ｃｍ”、ｓｅｃ、ｃｍＨｇ］Ｄｉ
　　：原水中の溶存気体濃度　　［ｐｐｍ］Ｄｏ　　：
９！！：埋水中の溶存気体濃度　［ｐｐｍ］Ｗ　　：処
理水量　　　　　　　　　［１，／分］ｐ□　　：真空
ポンプ入口圧力　　　　［ｔ、ｏｒｒｌＴ　　：供給水
の温度　　　　　　［’Ｃ］Ｍｗ　：気体の分子量　　
　　　　［ｇ／ｍａｉｌ即ち、実施例にもみられるよう
に、残存気体濃度が０．３ｐｐｍ以下の高度に脱気する
場合ですら、真空ポンプ容量を水から取り出される気体
容量の１０倍以下にすることができる。ここで、第１式
及び第２式で用いる、水から取り出される気体のノルマ
ル体積は、原水及び処理水の溶存気体濃度び処理水量か
ら計算することができる。また、水からホ９出される気
体の真空ポンプ入口での体積は、真空ポンプ入口圧力（
測定Ｖｉ）から、水蒸気分圧を差し引いた分圧を持つと
して見積ることができる。この場合の水蒸気分圧は、装
置の周囲温度（気温）における飽和水蒸気圧とする。又
、原水及び処理水の溶存気体濃度は、ガスクロマトグラ
フや、気体が酸素の場合には溶存酸素濃度計によって測
定するごとができる。

水相側圧力は、脱気速度や残存気体濃度には実質上影響
しないため、隔膜の耐圧や装置の用途目的によって、任
意に設定できる。処理水（脱気水）の圧力が、使用に際
して必要とする圧力以上になるように、モジュール供給
水の圧力をＦ１節することにより、処理水の加圧ポンプ
を省略することができる。

し実施例１ 以下に本発明を実施例と比較例によりさらに具体的に説
明する。しかし、本発明はこれらの実施例に限定される
ものではない。

実施例１ 特開昭５９−２２９３２０の実施例３と同様の方法によ
ってポリ（４メチルペンテン１）からなる中空糸型不均
質膜を製造した。得られた膜の寸法及び透過特性を表１
に示す。この中空糸膜を用いて第１図のような膜面積（
中空糸内表面積）１ｍ２の膜モジュールを製造し、第２
図に概念図で示した装置を用いて水の脱気を行った。排
気容量３７０１ノ分の水封式真空ポンプを用い、中空糸
の外側を真空度３０ｔｏｒｒに減圧した。一方中空糸の
内側に、温度調節した水道水を０．２１／分で流し、排
出口は大気圧解放とした。このとき、モジュール流入口
および排出口での溶存酸素濃度を測定した。水温は、モ
ジュール導入口で測定し、酸素濃度測定には、ポーラロ
グラフ型溶存酸素濃度針を使用した。結果を第１表に示
す。

第１表 中空糸内径／膜厚　　　　２００／２５　　　　［μｍ
］酸累透過速度　（２５℃）　　１．０ｘｌＯ−’　　
［＊］水蒸気透過速度（２５℃）　　３．２ｘｌＯ−’
　　［＊］酸素濃度　　　（３２℃）　　７．９／　０
．３５　　［ｐｐｍ］（入口／出口）　　（４１’Ｃ）
　　７．７／　０．２５　　［ｐｐｍ］（５０℃）　　
７．５／　０．１８　　［ｐｐｒｎ］比較例１ 水温及び気温が２５℃であること以外は実施例１と同じ
条件で、種々の隔膜を用いて脱気測定を行った。隔膜の
特性を第２表に、測定結果を第３図に示す。膜の種類を
かえても、又流量を下げても０、３ｐｐｍ以下にならな
いことが分かる。

実施例２ 隔膜に第２表の（ｉｉ）に記載したポリプロピレン製多
孔質中空糸膜を用いて実施例１と同じ条件′で脱気を行
った。結果は、４１”Ｃにおけるモジュール排出口での
残存酸素濃度は０．２５ｐｐｍであった。

／ ７／ 実施例３ 特開昭５９−２２９３２０の実施例３と同様の方法によ
ってポリ（４メチルペンテンｌ）からなる中空糸型不均
質膜を製造した。得られた膜の寸法及び透過特性を表３
に示す。この中空糸膜を用いて第１図のような膜面積（
中空糸内表面積）１５ｍ２の膜モジュールを製造し、第
２図に概念図で示した装置を用いて水の脱気を行った。

真空ポンプとして排気容量３ＴＯｌ／分の水封式真空ポ
ンプを用いた。一方中空糸の内側に、温度調節した水道
水を流し、排出口は大気圧解放とした。このとき、モジ
ュール流入口および排出口で溶存酸素濃度を、モジュー
ル流入口で水温を測定した。結果を第３表に示す。

／ ／／ ７ｉＥａ表 中空糸内径／膜厚 酸素透過速度　（２５℃） 水蒸気透過速度（２５℃） 酸素濃度　　　（５３℃） （入口／出口） 室温　　　　　　　　　　２５ ポンプ入口圧力　　　　　４１ （＊）：　　［ｃｍ”（ＳＴＰ）／ｃｍ”、ｓｅｃ、ｃ
ｍＨｇ］一方、水封式真空ポンプの代わりに、ドライ型
真空ポンプを用いて同様の測定を行い、ポンプより排出
される気体の酸素濃度を、ガルバニ電池型の酸素濃度計
で測定したところ３７％であった。

残りの６３％は窒素と考えられる。２５℃での水の飽和
水蒸気圧は２３．８ｔｏｒｒであるから、真空ポンプ入
口での酸素分圧は（４１−２３，８）Ｘｏ、３？　＝　
６．３６ｔｏｒｒと計算され、この圧力下での、・脱気
された酸素の体積は１０．４１／分、よって窒素の体積
は１７．７１／分、気体の総体積は２８．１１／分と計
算される。このように真空ポンプは、脱気される酸素量
の３６倍、１、／Ｊｍ］ ［ネ］ ［＊］ ［ｐｐｍ］ ［”Ｃ］ 「七ｏｒｒＪ ２００／２５ ３．５Ｘ　１０−’ ３．８Ｘ１０−’ ７．１／　　０．２９ 脱気される酸素及び窒素の蛍の１３倍という、小容量の
ものでよいことが分かる。

実施例４ 真空ポンプに、排気量６０１７分のドライ型真空ポンプ
を用いたほかは、実施例３と同じ測定を行った。結果を
第４表に示す。脱気される気体体積の３倍弱の極めて小
排気量の真空ポンプの使用が可能であることが分かる。

第４表 酸素濃度　（５５℃）　　　６−８／　０．３０　　　
［ｐｐｍ］（入［コ５／出Ｄ　） 室温　　　　　　　　　２５　　　　　　　ｍ”Ｃ］水
ポンプ口圧力　　　　４５　　　　　　　［ｔｏｒｒ］
［発明の効果］ 本発明は以上の如きものであるから、隔膜によって水の
透過を最小限に止め、簡易な減圧装置による軽度の排気
により、３０〜１００　ｔｏｒｒというあまり減圧され
ていない状態では従来到底到達されない脱気度即ち、残
留溶存気体濃度が０．３ｐｐｍ以下の脱気水を得ること
を可能にするものである。従って、本；ａ明は、高能率
低コストで高度に脱気された水の製造を可能とする。本
発明はまた、適当な水蒸気／気体透過特性を持つ隔膜を
選択することにより、上記の脱気を、小排気量の真空ポ
ンプによって行うことを可能にするものであり、設置ス
ペースの低減、ポンプ価格の低廉化、運転コストの節約
を計ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例で用いた中空糸型膜モジュルの部分縦断
正面図、第２図は本発明の実７１１！！例で用いた脱気
装置の概念図、第３図は従来技術による水の脱酸素特性
を示すグラフである。図中の符号は以下の通りである。 １・・・・・・・・・ケース、２・・・・・・・・・・
・・・中空糸膜、３・・・・・・・・・…脂材止部、４
．６・・・・・・・導入口、５．７・・・・・排出口、
８・・・・・・・・・・・・・キャンプ、トＩ・・・・
・・・・・熱交換器、Ｐ・・・・・・・・・真空用力計
、ＤＯ５Ｉ、ＤＯ５２・・・・・・・・・・・・・・溶
存酸素計、い）・・・・ポリ（４メチルペンテン１）不
均質膜の脱酸素特性、 輸）・・・・ポリプロピレン多孔質膜の脱酸素特性、く
…）・・・・シリコンゴム均質膜の脱酸素特性、（１■
）・・・・ＰＴＦＥ均質膜の脱酸素特性。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、気液の境界を画する隔膜、該隔膜で隔てられた液相
   側に供給する水の温度を４０〜８０℃に加熱するための
   装置及び、該隔膜で隔てられた気相側を３０〜１００ｔ
   ｏｒｒに減圧するための装置を有することを特徴とする
   、残留溶存気体濃度が０．３ｐｐｍ以下の水を製造する
   隔膜脱気装置。 ２、隔膜が、水蒸気の透過速度定数と除去対象の気体の
   透過速度定数との比が１００以下の膜である、請求項１
   に記載の装置。 ３、減圧装置が、脱気する気体量の１００倍以下の排気
   量を有する減圧装置である、請求項１または２に記載の
   装置。 ４、減圧装置が、水封式真空ポンプ、蒸気エジェクター
   、若しくは水流アスピレーターである、請求項１、２ま
   たは３に記載の装置。 ５、気液の境界を隔膜で画し、液相側に供給する水の温
   度を４０〜８０℃に調節し、かつ気相側の圧力を３０〜
   １００ｔｏｒｒに減圧することによって水を脱気し、残
   留溶存気体濃度が０．３ｐｐｍ以下の水を製造する方法
   。 ６、隔膜が、水蒸気の透過速度定数と、除去対象の気体
   の透過速度定数との比が１００以下の膜である、請求項
   ５に記載の方法。 ７、脱気する気体量の１００倍以下の排気量を持つ減圧
   手段を用いることを特徴とする、請求項５に記載の方法
   。 ８、脱気する気体が酸素である、請求項５、６または７
   に記載の方法。