JPH0568808A

JPH0568808A - 隔膜真空脱気装置および隔膜真空脱気方法

Info

Publication number: JPH0568808A
Application number: JP3144994A
Authority: JP
Inventors: Takanori Anazawa; 孝典穴澤; Toshio Kanbe; 利夫神戸
Original assignee: Dainippon Ink and Chemicals Co Ltd
Current assignee: DIC Corp
Priority date: 1991-06-17
Filing date: 1991-06-17
Publication date: 1993-03-23

Abstract

(57)【要約】【目的】液体から脱気する際、装置の間欠的運転にお
ける運転開始後、液体中の溶存気体濃度が所定の値に達
するまでの立ち上がり時間を短縮する。【構成】間欠的運転をするにあたり、運転開始信号に
より減圧手段（２）を稼働させた後、０．５〜６００秒
後に、隔膜モジュール（１）内の隔膜の液体が流れる側
に至る液体流路（４ａ）に設置したバルブ（Ａ）を自動
的に開き、間欠的運転における運転開始後、液体中の溶
存気体濃度が所定の値に達するまでの立ち上がり時間を
短縮させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液体中に溶解している
気体や揮発性物質を除去する隔膜真空脱気装置および隔
膜真空脱気方法に関し、たとえば、ボイラー供給水の脱
酸素、人口透析用水の脱酸素、半導体洗浄用の超純水の
脱酸素脱炭酸ガス、逆浸透膜への供給水の脱酸素、超音
波洗浄液の脱気、食品製造用水の脱気、上中水の赤水防
止、貯蔵水の微生物繁殖防止、食物などの貯蔵用低酸素
水の製造、食用油の脱酸素、有機溶剤の脱酸素、硫化油
の脱硫化水素、飲料水からのトリクレンやトリハロメタ
ンの除去、工業排水からの揮発性有機液体の除去、など
の用途に好適なものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、気体透過性隔膜の一方の側に被処
理液体を流し、他の側の気相を真空ポンプなどの減圧手
段にて減圧することにより液体中の溶存気体や溶存揮発
性物質を除去する隔膜真空脱気装置は、たとえば、特開
昭５５ー１８１６号公報、特開昭６３ー２５８６０５号
公報等により知られている。

【０００３】隔膜真空脱気は、それ以外の脱気方法、例
えば充填塔やスプレー塔を使用した真空脱気に比べて、
小型、軽量、低装置コスト、低残留濃度、装置内の液体
のホールドアップが少ない、運転開始後所定の溶存濃度
になるまでの立ち上がり時間が短いなどの特長があり、
また例えば加熱脱気に比べて、小型、軽量、低運転コス
ト、装置内の液体のホールドアップが少ない、運転開始
後所定の溶存濃度になるまでの立ち上がり時間が短いと
いった特長がある。

【０００４】しかしながら多くの脱気用途においては、
連続運転する場合は少なく、間欠的運転が大部分であっ
て、立ち上がり時間が相対的に短い隔膜脱気装置におい
てもまだ不十分である場合が多い。立ち上がり時間は、
処理液の残留気体濃度を低くすると指数的に長くなり、
その間は脱気液の使用ができない上、場合によってはそ
の間液体を廃棄したり、廃棄するための装置や循環する
ための特別な装置を必要とするという問題があった。ま
た特に、水中の溶存酸素濃度を１０ppb（ppbは１０億分
の１を示す）以下にまで脱気することは、これまでの真
空脱気法では不可能であったのが、隔膜脱気により可能
となり、今後この用途が増加すると予想されるが、立ち
上がりに１時間以上かかるという問題があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、液体の
隔膜脱気装置の間欠的運転時において、特に処理液の残
留気体濃度を低くする場合において、運転再開後、所定
の溶存気体濃度に到達するまでの時間を短くする方法お
よび装置について鋭意検討した結果本発明に到達した。
即ち、本発明者等は、隔膜脱気装置の間欠的運転におけ
る立ち上がり時間を悪化させる最大の要因は、脱気装置
休止時における装置内滞留液体への気体の再溶解である
ことを見いだした。つまり、装置の液体流路には多くの
液体不動部分が存在し、これらの部分に滞留した気体溶
解液体が脱気液体で置換されるのに長時間を有するのが
主要な要因であり、脱気装置休止時の気体の再溶解を防
ぐことにより、立ち上がり時間を短縮することができ
る。また、本発明者等の検討によれば、装置内滞留液体
への気体の再溶解は、脱気モジュール内で発生している
こと、即ち、減圧手段や配管内に存在する、脱気により
発生した気体や空気が、装置の運転休止時に隔膜を通っ
て液体に再溶解するのが主要な再溶解の機構であること
が判明した。

【０００６】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であって、脱気装置休止時における装置内滞留液体への
気体の再溶解が防止され、また、気体の再溶解が生じて
も、立ち上がり時間の増大が防止される、隔膜真空脱気
装置および隔膜真空脱気方法を提供することを目的とし
ている。

【０００７】

【課題を解決する手段】本発明は上記目的を達成するた
めになされたものであり、請求項１の発明である隔膜真
空脱気装置は、隔膜モジュール内の隔膜で隔てられた一
方の側に液体を流しながら他の側を脱気流路を経て減圧
手段にて減圧することにより、液体中に溶解している気
体や揮発性物質を除去する隔膜真空脱気装置において、
減圧手段の運転／停止機構、隔膜モジュールの原液入口
に至る液体流路または処理液出口よりの液体流路に設置
されたバルブＡ、および時間遅延機構を有し、運転開始
信号により減圧手段を稼働させた後、０．５〜６００秒
後にバルブＡを自動的に開き、また運転停止信号により
バルブＡを閉じ、かつ減圧手段を停止させるべく構成さ
れてなることを特徴としている。

【０００８】また、請求項２では、請求項１記載の隔膜
真空脱気装置において、隔膜モジュールと減圧手段との
間の脱気流路に設置されたバルブＢを有し、運転開始信
号により減圧手段を稼働させ、かつバルブＢを開いた
後、０．５〜３００秒後にバルブＡを自動的に開き、ま
た運転停止信号によりバルブＡおよびバルブＢを閉じ、
かつ減圧手段を停止させるべく構成されてなることを特
徴としている。

【０００９】また、請求項３では、請求項１記載の隔膜
真空脱気装置において、隔膜モジュールと減圧手段との
間の脱気流路に設置されたバルブＢを有し、外部より与
えられる運転開始信号により減圧手段を稼働させ、０．
５〜３００秒後にバルブＢを自動的に開いた後、０〜３
００秒後にバルブＡを自動的に開き、また運転停止信号
によりバルブＡおよびバルブＢを閉じ、かつ減圧手段を
停止させるべく構成されてなることを特徴としている。

【００１０】また、請求項４の発明である隔膜真空脱気
装置は、隔膜モジュール内の隔膜で隔てられた一方の側
に液体を流しながら他の側を減圧手段にて減圧すること
により、液体中に溶解している気体や揮発性物質を除去
する隔膜真空脱気装置において、隔膜モジュールの原液
入口に至る液体流路または処理液出口よりの液体流路に
設置されたバルブＡを有し、間欠的運転における休止時
も減圧手段は運転状態を保ち、運転開始信号により隔膜
モジュールの原液入口または処理液出口に設置されたバ
ルブＡを開き、運転停止信号によりバルブＡを閉じるこ
とを特徴としている。

【００１１】また、請求項５の発明である隔膜真空脱気
方法は、隔膜モジュール内の隔膜で隔てられた一方の側
に液体を流しながら他の側を減圧手段にて減圧すること
により、液体中に溶解している気体や揮発性物質を除去
する隔膜真空脱気方法において、運転開始信号により減
圧手段を稼働させた後、０．５〜６００秒後に一方の側
に至る液体流路に設置されたバルブＡを自動的に開き、
運転停止信号によりバルブＡを閉じ、かつ減圧手段を停
止させることを特徴としている。

【００１２】また、請求項６では、請求項５における隔
膜真空脱気方法において、運転開始信号により減圧手段
を稼働させた後、隔膜モジュールと減圧手段との間の脱
気流路に設置されたバルブＢを自動的に開いた後、０．
５〜３００秒後にバルブＡを自動的に開き、運転停止信
号によりバルブＡおよびバルブＢを閉じ、かつ減圧手段
を停止させることを特徴としている。

【００１３】また、請求項７では、請求項６における隔
膜真空脱気方法において、運転開始信号により減圧手段
を稼働させた後、０．５〜３００秒後にモジュールと減
圧手段との間の脱気流路に設置されたバルブＢを自動的
に開き、さらに０〜３００秒後にバルブＡを自動的に開
き、運転停止信号によりバルブＡおよびバルブＢを閉
じ、かつ減圧手段を停止させることを特徴としている。

【００１４】また、請求項８の発明である隔膜真空脱気
方法では、隔膜で隔てられた一方の側に液体を流しなが
ら他の側を減圧手段にて減圧することにより、液体中に
溶解している気体や揮発性物質を除去する隔膜真空脱法
において、隔膜真空脱気装置の運転休止時も減圧手段を
運転状態に保ち、運転開始信号により、一方の側に至る
液体流路に設置されたバルブＡを開き、運転停止信号に
よりバルブＡを閉じることを特徴としている。

【００１５】また、請求項９では、請求項５、６、７ま
たは８記載の隔膜真空脱気方法において、液体が水また
は水溶液であることを特徴としている。

【００１６】また、請求項１０では、請求項５、６、７
または８記載の隔膜真空脱気方法において、脱気される
べき気体が、空気、酸素、窒素または炭酸ガスであるこ
とを特徴としている。

【００１７】

【作用】本発明によれば、間欠的に脱気液を得ようとす
る場合、脱気装置の再稼働と同時に脱気された液体が製
造できるため、脱気不十分な液体の混入が生じない。従
って、流出初期部分を廃棄する必要がないとともに、脱
気不十分な液体の混入を見越して、平均残存濃度を下げ
る為に設定濃度を低くする必要もなくなる。また、溶存
濃度を極めて低くする必要のある用途においては、本発
明により立ち上がり時間が改善される結果、脱気液使用
のかなり前に脱気装置を稼働させる必要性を低減させる
ことができる。

【００１８】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。まず、第１実施例の隔膜真空脱気装置（以下脱気
装置と略称する）は、図１にそのダイアグラムの一例が
示される如きものである。

【００１９】この脱気装置は、隔膜により隔てられた一
方の室（一方の側）および他方の室（他方の側）を備え
た（いずれも図示せず）隔膜脱気モジュール（以下単に
モジュールと略称する）１、減圧手段２、原液タンク
３、原液タンク３からモジュール１の一方の室に原液を
導入するための液体流路４ａ、モジュール１より処理水
を得るための液体流路４ｂ、液体流路４ａの途中に設け
られたバルブＡ、モジュール１の他方の室と減圧手段２
とをつなぐ脱気流路５とからなり、さらに、必要に応じ
て脱気流路５の途中から、リークバルブ６を備えたリー
ク管７を分岐させてもよい。

【００２０】脱気すべき原液は、液体流路４ａからバル
ブＡを経てモジュール１の一方の側に導入されて隔膜の
一方の側に接して流れ、処理液となってモジュール１よ
り流出する。隔膜の他の側は減圧手段２により減圧され
る。

【００２１】この脱気装置は、減圧手段２の運転／停止
機構および時間遅延機構（図示せず）を有し、運転開始
信号により減圧手段２を稼働させ、０．５〜６００秒後
にバルブＡを自動的に開くべく構成されている。そし
て、運転停止信号によりバルブＡを閉じ、減圧手段２を
停止する。リークバルブ６を有する場合には、減圧手段
２の停止／運転にあわせてこれを開閉する。

【００２２】図２は本発明の第２実施例の脱気装置のダ
イアグラムを示している。即ち、この脱気装置は、上記
第１実施例の構成に加え、モジュール１と減圧手段２の
間の脱気流路５の途中にバルブＢが設置されており、運
転開始信号により、減圧手段２を稼働させ、かつバルブ
Ｂを開いた後、０．５〜３００秒後にバルブＡを自動的
に開くべく構成されている。あるいは、運転開始信号に
より、減圧手段２を稼働させ、０．５〜３００秒後にバ
ルブＢを自動的に開き、さらにその後０〜３００秒後に
バルブＡを自動的に開くべく構成されている。そして運
転停止信号により、バルブＡおよびバルブＢを閉じ、減
圧手段２を停止する。

【００２３】本発明のさらにもう一つの実施例として
は、ダイアグラムは図１または図２に示されるものと同
じであるが、間欠的運転における休止時も減圧手段２は
運転状態に保ち、運転開始信号により、液体流路４ａに
設置されたバルブＡを開き、運転停止信号によりバルブ
Ａを閉じるべく構成されている。

【００２４】上記構成要素についてさらに詳細に説明す
ると、モジュール１内の隔膜は、液体から溶存気体や揮
発性物質を除去する隔膜脱気に使用される膜、すなわち
液体が液体のまま透過すること無く、気体が透過する膜
であれば良く、特に制約はない。

【００２５】モジュール１は、上記隔膜をモジュールハ
ウジングに封入したものであり、隔膜の一方の側には、
隔膜に接して被処理液体が流され、隔膜の他の側は減圧
手段２に接続されて減圧される構造を持つ。モジュール
１の構造や特性についても、本発明においては制約を設
ける必要はない。

【００２６】減圧手段２は、真空ポンプが好適である
が、その種類についても特に限定することを要しない。
例えば、水封式真空ポンプ、ドライ型真空ポンプ、ダイ
アフラム型真空ポンプ、スクロ−ル型真空ポンプ、蒸気
エジェクタ、水流アスピレーター、油回転型真空ポンプ
など任意の物が使用可能である。液体が水または水を含
む物である場合には、多量の水蒸気の吸入に耐える必要
があるため、水封式真空ポンプ、水流アスピレータ、蒸
気エジェクタ、ドライ型真空ポンプ、ダイアフラム型真
空ポンプ、スクロ−ル型真空ポンプが適する。水以外
の、例えば有機溶剤の脱酸素においては、ダイアフラム
型真空ポンプ、スクロ−ル型真空ポンプ、油回転型真空
ポンプが好適である。

【００２７】液体流路４ａに設けられるバルブＡは開閉
バルブであり、脱気装置運転開始の信号により液体をモ
ジュール１に流し、運転停止信号により止めるためのも
のである。よってバルブＡは、モジュール１の上流側の
液体流路４ａ、あるいは下流側の液体流路４ｂに設ける
ことができる。しかし、バルブ閉時のウォーターハンマ
ー効果による隔膜やモジュール１の破損を防ぐ意味で、
モジュール１の上流側の液体流路４ａに設けることが好
ましい。各実施例においては、所定のタイミングで自動
的に開閉するための自動バルブである必要があるが、電
磁式、圧空式などその方式は問わない。

【００２８】バルブＢは真空ラインの開閉バルブであ
る。このバルブＢにより、脱気装置の休止中もモジュー
ル１内は真空に保たれる。バルブＢもまた、所定のタイ
ミングで自動的に開閉するための自動バルブである必要
があるが、電磁式、圧空式などその方式は問わない。

【００２９】リークバルブ６は、減圧手段２の運転休止
時に減圧手段２の真空側圧力を常圧に戻すためのもので
あるが、蒸気エジェクタなどその必要のない場合には不
要である。

【００３０】脱気装置の運転開始／停止信号は、手動ス
イッチによるものであってもよいし、また例えば、脱気
装置の後に設けられた脱気液貯蔵タンクのフロート型そ
の他のレベルスイッチや液面計から取り出されるもので
あってもよい。信号は電気的なものであっても機械的な
ものであってもよい。脱気装置はこれらのタンクや運転
開始／停止信号発生装置を内蔵することも可能である。

【００３１】各実施例の脱気装置は時間遅延機構を内蔵
し、バルブＡ、Ｂの開閉のタイミングをコントロールす
る。バルブ開閉のタイミングは、真空系の空間容量、減
圧手段２の排気量、装置内の液体滞留量、使用するバル
ブの数や位置、また運転方法や用途目的により種々の方
法をとり得る。例えば、第１実施例の脱気装置におい
て、運転開始信号により減圧手段２を稼働させ、０．５
〜６００秒後、好ましくは５〜１２０秒後にバルブＡを
開く。そして運転停止信号によりバルブＡを閉じ、減圧
手段２を停止さる。リークバルブ６を有する場合には、
減圧手段２の停止／運転にあわせてこれを開閉する。バ
ルブＡを開くタイミングがこれより早いと、十分脱気さ
れない液体が流出し、立ち上がり時間が長くなる。一方
これより長くしても溶存濃度や立ち上がり時間は変わら
ないため無意味である。本方法は、液体が比較的低沸点
である場合や、休止時間が１時間以上であるような用途
や、それ程高度の脱気を必要としない用途に好適であ
る。

【００３２】また、第２実施例の脱気装置において、運
転開始信号により減圧手段２を稼働させ、その後、また
はほぼ稼働と同時にバルブＢを開いた後、０．５〜３０
０秒後、好ましくは１〜６０秒後にバルブＡを開く。あ
るいはまた、運転開始信号により減圧手段２を稼働さ
せ、０．５〜３００秒後、好ましくは１〜６０秒後にバ
ルブＢを開き、さらにその後０〜３００秒後、好ましく
は０〜３０秒後にバルブＡを開く。そして運転停止信号
により、バルブＡおよびバルブＢを閉じ、減圧手段２を
停止させる。この停止操作は、ほぼ同時にまたはこの順
序で自動的に行う。リークバルブ６を有する場合には、
減圧手段の停止／運転にあわせてこれを開閉する。本方
法は、休止時間が比較的短い用途に好適である。

【００３３】さらに、第１および第２実施例の各脱気装
置において、間欠的運転における休止時も減圧手段２を
運転状態に保つ場合には、運転開始信号によってバルブ
Ａを開き、運転停止信号によりバルブＡを閉じる。本方
法は特に高度脱気を必要とする用途、休止時間が短い用
途、運転開始信号と同時に脱気液が必要とされる用途に
適する。

【００３４】なおこれらの操作は、間欠運転時のもので
あり、脱気装置の完全停止の場合にはこの限りではな
く、モジュール１内を大気圧に戻したり、装置内の滞留
液を抜くことも可能である。

【００３５】以下、試験例を示して実施例を具体的に説
明する。

【００３６】［試験例１］モジュール１内の隔膜を、ポ
リ４メチルペンテン１を素材として溶融成形法により製
造した中空糸不均質膜を用いた。これは、外径260[μ
m]、内径206[μm]であり、ASTM D1434に準じて測定した
気体透過速度は、酸素透過速度2.1×10E-4[cm3(STP)/cm2,sec,cmHg]、窒素透過速度1.8×10E-4[cm3(STP)/cm2,sec,cmHg]、酸素／窒素の分離係数1.2 であった。この中空糸膜約50000本を並行な束状でモジ
ュールハウジングに装填し、中空糸端部を樹脂で封止後
切断することにより、有効膜面積（内径基準）13[m2]の
隔膜脱気モジュールを作成した。このモジュール１およ
び、減圧手段２として、排気量450l/minの水封式真空ポ
ンプ、バルブＡとして電磁開閉バルブ、および時間遅延
機構として電気式タイマーを使用して、図１に示した脱
気（脱酸素）装置を製作した。運転開始信号により直ち
に真空ポンプを稼働させ、リークバルブ６は真空ポンプ
の稼働と同時に閉とし、真空ポンプ稼働後バルブＡ開ま
での時間は３０秒に設定した。また運転停止信号により
直ちに真空ポンプ停止、同時にリークバルブ６開、バル
ブＡ閉とした。

【００３７】この装置に25℃、溶存酸素濃度（ＤＯ）8.
1[ppm]の上水道水を67[l/min]で流し、処理水のＤＯが
定常状態に達した後、運転時間５分、休止時間２分の間
欠運転を行った。この時の脱気装置出口での処理水のＤ
Ｏの時間変化を比較例１の結果とともに図３に示す。

【００３８】［試験例１に対する比較例１］真空ポンプ
稼働と同時にバルブＡを開くこと以外は試験例１と同じ
実験を行ったところ、脱気装置出口での処理水のＤＯの
時間変化を試験例１の結果と共に図３に示す。

【００３９】［試験例２］モジュール１に試験例１と同
じモジュール、減圧手段に排気量260[l/min]の回転スク
ロール型真空ポンプ、バルブＡおよびバルブＢに電磁開
閉バルブ、および時間遅延機構として電気式タイマーを
使用して、図２に示された脱気（脱酸素）装置を製作し
た。タイミングは、運転開始信号の入力と同時に真空ポ
ンプ稼働、同時にリークバルブ閉、同時にバルブＢ開、
５秒後にバルブＡ開に設定した。また運転停止信号と同
時に真空ポンプ停止、同時にリークバルブ６開、同時に
バルブＢ閉、同時にバルブＡ閉とした。この装置を使用
して、原水流量を25[l/min]としたこと、および運転時
間、休止時間共に１時間としたこと以外は試験例１と同
じ試験を行った。結果を比較例２の結果と共に図４に示
す。

【００４０】［試験例２に対する比較例２］バルブＢを
有せず、かつ真空ポンプ稼働と同時にバルブＡを開にす
ること以外は、試験例２と同じ実験を行った。結果を試
験例２の結果と共に図４に示す。

【００４１】［試験例３］タイミングを、運転開始信号
と同時に減圧手段を稼働させ、３０秒後にバルブＢおよ
びバルブＡを開、また運転停止信号と同時にバルブＡお
よびバルブＢを閉じ、減圧手段停止とした事以外は試験
例２と同じ実験を行った。結果を図４に示す。

【００４２】［試験例４］時間遅延機構を用いず、運転
開始信号により直ちにバルブＡを開とし、運転停止信号
により直ちにバルブＡを閉とするものの、間欠運転中
は、真空ポンプは常に運転状態に置くこと、および減圧
手段２に排気量260[l/min]の回転スクロール型真空ポン
プを使用したこと以外は、試験例１と同じ構成の脱気装
置を製作し、原水流量を25[l/min]としたこと、および
運転時間、休止時間共に１分とした事以外は、試験例１
と同様の実験を行った。結果を図５に示す。

【００４３】

【発明の効果】本発明の隔膜真空脱気装置および隔膜真
空脱気方法によれば、間欠的に脱気液を得ようとする場
合、脱気装置の再稼働と同時に脱気された液体が製造で
きるため、脱気不十分な液体の混入生じない。従って、
流出初期部分を廃棄する必要がないとともに、脱気不十
分な液体の混入を見越して、平均残存濃度を下げる為に
設定濃度を低くする必要もなくなる。また、溶存濃度を
極めて低くする必要のある用途においては、本発明によ
り立ち上がり時間が改善される結果、脱気液使用のかな
り前に脱気装置を稼働させる必要性を低減させることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の構成を示すダイアグラム
である。

【図２】本発明の第２実施例の構成を示すダイアグラム
である。

【図３】試験例１および比較例１の結果を示すグラフで
ある。

【図４】試験例２、試験例３および比較例２の結果を示
すグラフである。

【図５】試験例４の結果を示すグラフである。

【符号の説明】

１隔膜モジュール２減圧手段４ａ、４ｂ液体流路５脱気流路ＡバルブＡＢバルブＢ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】隔膜モジュール内の隔膜で隔てられた一
方の側に液体を流しながら他の側を脱気流路を経て減圧
手段にて減圧することにより、液体中に溶解している気
体や揮発性物質を除去する隔膜真空脱気装置において、
減圧手段の運転／停止機構、隔膜モジュールの原液入口
に至る液体流路または処理液出口よりの液体流路に設置
されたバルブＡ、および時間遅延機構を有し、運転開始
信号により減圧手段を稼働させた後、０．５〜６００秒
後にバルブＡを自動的に開き、また運転停止信号により
バルブＡを閉じ、かつ減圧手段を停止させるべく構成さ
れてなることを特徴とする隔膜真空脱気装置。
【請求項２】隔膜モジュールと減圧手段との間の脱気
流路に設置されたバルブＢを有し、運転開始信号により
減圧手段を稼働させ、かつバルブＢを開いた後、０．５
〜３００秒後にバルブＡを自動的に開き、また運転停止
信号によりバルブＡおよびバルブＢを閉じ、かつ減圧手
段を停止させるべく構成されてなることを特徴とする請
求項１記載の隔膜真空脱気装置。
【請求項３】隔膜モジュールと減圧手段との間の脱気
流路に設置されたバルブＢを有し、外部より与えられる
運転開始信号により減圧手段を稼働させ、０．５〜３０
０秒後にバルブＢを自動的に開いた後、０〜３００秒後
にバルブＡを自動的に開き、また運転停止信号によりバ
ルブＡおよびバルブＢを閉じ、かつ減圧手段を停止させ
るべく構成されてなることを特徴とする請求項１記載の
隔膜真空脱気装置。
【請求項４】隔膜モジュールの隔膜で隔てられた一方
の側に液体を流しながら他の側を減圧手段にて減圧する
ことにより、液体中に溶解している気体や揮発性物質を
除去する隔膜真空脱気装置において、隔膜モジュールの
原液入口に至る液体流路または処理液出口よりの液体流
路に設置されたバルブＡを有し、間欠的運転における休
止時も減圧手段は運転状態を保ち、運転開始信号により
隔膜モジュールの原液入口または処理液出口に設置され
たバルブＡを開き、運転停止信号によりバルブＡを閉じ
ることを特徴とする隔膜真空脱気装置。
【請求項５】隔膜モジュール内の隔膜で隔てられた一
方の側に液体を流しながら他の側を減圧手段にて減圧す
ることにより、液体中に溶解している気体や揮発性物質
を除去する隔膜真空脱気方法において、運転開始信号に
より減圧手段を稼働させた後、０．５〜６００秒後に一
方の側に至る液体流路に設置されたバルブＡを自動的に
開き、運転停止信号によりバルブＡを閉じ、かつ減圧手
段を停止させることを特徴とする隔膜真空脱気方法。
【請求項６】運転開始信号により減圧手段を稼働させ
た後、隔膜モジュールと減圧手段との間の脱気流路に設
置されたバルブＢを自動的に開いた後、０．５〜３００
秒後にバルブＡを自動的に開き、運転停止信号によりバ
ルブＡおよびバルブＢを閉じ、かつ減圧手段を停止させ
ることを特徴とする請求項５記載の隔膜真空脱気方法。
【請求項７】運転開始信号により減圧手段を稼働させ
た後、０．５〜３００秒後に隔膜モジュールと減圧手段
との間の脱気流路に設置されたバルブＢを自動的に開
き、さらに０〜３００秒後に液体流路に設置されたバル
ブＡを自動的に開き、運転停止信号によりバルブＡおよ
びバルブＢを閉じ、かつ減圧手段を停止させることを特
徴とする請求項６記載の隔膜真空脱気方法。
【請求項８】隔膜で隔てられた一方の側に液体を流し
ながら他の側を減圧手段にて減圧することにより、液体
中に溶解している気体や揮発性物質を除去する隔膜真空
脱法において、運転休止時も減圧手段を運転状態に保
ち、運転開始信号により、一方の側に至る液体流路に設
置されたバルブＡを開き、運転停止信号によりバルブＡ
を閉じることを特徴とする隔膜真空脱気方法。
【請求項９】液体が水または水溶液であることを特徴
とする請求項５、６、７または８記載の隔膜真空脱気方
法。
【請求項１０】脱気されるべき気体が、空気、酸素、
窒素または炭酸ガスであることを特徴とする請求項５、
６、７または８記載の隔膜真空脱気方法。