JPH02165060A - プローブカード - Google Patents

プローブカード

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Publication number
JPH02165060A
JPH02165060A JP32096288A JP32096288A JPH02165060A JP H02165060 A JPH02165060 A JP H02165060A JP 32096288 A JP32096288 A JP 32096288A JP 32096288 A JP32096288 A JP 32096288A JP H02165060 A JPH02165060 A JP H02165060A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chip
probe
test
probes
contact
Prior art date
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Pending
Application number
JP32096288A
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English (en)
Inventor
Satoshi Nakamoto
中元　敏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は集積回路のプローブテストに用いるプローブカ
ードの構造に関する。
〔従来の技術〕
第２図（ａ）、（ｂ）は従来のプローブカードにおける
センサ用探針を示したものである。従来は、プリント基
板１０１に対しチップ１０４の１辺に接触する１つのセ
ンサ用探針１０２がマウントされており、プローブテス
ト時にはテスト用探針１０３とウェハ上のチップ１０４
間のコンタクト状態を検出していた。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述した従来のプローブカードは、センサ用探針１０２
がプローブカードに対して１つ用意されているだけなの
で、プローブカードが傾いている場合、テスト用探針１
０３及びセンサ用探針１０２のチップ１０４面までの距
離が異なり、センサ用探針１０２がコンタクト検出して
もテスト用探針１０３の一部がオープンしていたり、あ
るいは逆に検出できずにテスト用探針１０３を破損して
しまうという欠点がある。
本発明の目的は前記課題を解決したプローブカードを提
供することにある。
〔発明の従来技術に対する相違点〕
上述した従来のプローブカードに対し１本発明はチップ
とテスト用探針のコンタクト状態を確実に検出できると
いう相違点を有する。
〔課題を解決するための手段〕
前記目的を達成するため、本発明はチップ上の端子から
チップ内にテスト信号及び電源を供給するテスト用探針
を備えたプローブカードにおいて、少なくともチップの
３辺以上に接触し、前記テスト用探針とチップとのコン
タクト状態をチェックする複数のセンサ用探針を有する
ものである。
〔実施例〕
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図（ａ）、（ｂ）は本発明の一実施例を示す平面図
及び側面図である。
図において、本発明のプローブカードを構成するプリン
ト基板１０１にテスト用探針１０３がチップ１０４各周
辺に接触するように配列されているとともに、センサ用
探針１０２がチップ１０４の各コーナにあたるように４
本マウントされている。この４本のセンサ用探針１０２
でウェハ上のチップ１０４とテスト用探針１０３のコン
タクト状態を４点で検出するため、プリント基板１０１
が傾いて設置された場合にもチップ１０４とテスト用探
針１０３とのコンタクト状態を確実に検出することが可
能となる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明はプローブカードにチップ３
辺以上に接触する複数のセンサ用探針をもたせることに
より、チップとテスト用探針のコンタクト状態を確実に
検出できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ）は本発明の一実施例を示す平面図、（ｂ）
は同側面図、第２図（ａ）は従来例を示す平面図、（ｂ
）は同側面図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）チップ上の端子からチップ内にテスト信号及び電
    源を供給するテスト用探針を備えたプローブカードにお
    いて、少なくともチップの３辺以上に接触し、前記テス
    ト用探針とチップとのコンタクト状態をチェックする複
    数のセンサ用探針を有することを特徴とするプローブカ
    ード。
JP32096288A 1988-12-20 1988-12-20 プローブカード Pending JPH02165060A (ja)

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JP (1) JPH02165060A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0474432U (ja) * 1990-11-09 1992-06-30
JPH05340964A (ja) * 1992-06-05 1993-12-24 Mitsubishi Electric Corp ウエハ及びチップの試験装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0474432U (ja) * 1990-11-09 1992-06-30
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