JPH021634B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH021634B2
JPH021634B2 JP56020585A JP2058581A JPH021634B2 JP H021634 B2 JPH021634 B2 JP H021634B2 JP 56020585 A JP56020585 A JP 56020585A JP 2058581 A JP2058581 A JP 2058581A JP H021634 B2 JPH021634 B2 JP H021634B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
suction tool
claws
chip
position regulating
suction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP56020585A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS57138587A (en
Inventor
Eiji Ichitenmanya
Kazuhiro Mori
Kurahei Tanaka
Akira Kabeshita
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP56020585A priority Critical patent/JPS57138587A/ja
Priority to US06/348,404 priority patent/US4473247A/en
Publication of JPS57138587A publication Critical patent/JPS57138587A/ja
Publication of JPH021634B2 publication Critical patent/JPH021634B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/53—Means to assemble or disassemble
    • Y10T29/5313—Means to assemble electrical device
    • Y10T29/53174—Means to fasten electrical component to wiring board, base, or substrate
    • Y10T29/53178—Chip component

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、電子部品等の電子回路基板等への物
品移載装置に係り、特に物品位置規正に関するも
のである。
従来、電子部品、特にリードレスタイプの微小
電子部品（以下チツプ部品と呼ぶ）の回路基板へ
の装着に際しては、一般に真空式の吸着具でチツ
プ部品を吸着し、所定位置へ移載し、装着する方
法が採られている。しかし、この場合チツプ部品
吸着時におけるチツプ部品の位置ズレ、移載中で
のチツプ部品の位置ズレ等、装着精度上問題があ
る。また、位置ズレを防止するため、第１図に示
すように吸着具１の先端形状をチツプ部品２を案
内しやすいようにする方法もあるが、この方法で
はチツプ部品２が傾いたり、また吸着具１の先端
部が回路基板に接触する欠点がある。
さらに、別の方法として、チツプ部品を装着位
置まで移載する途中に位置規正装置を設け、一旦
位置規正装置上に置き位置規正したチツプ部品を
再び吸着して所定位置まで移載する方法がある。
しかし、この方法では、位置規正精度は補正され
るが、移載途中で位置規正のためのロスタイムを
生じ、また特別な位置規正装置を必要とし、位置
規正の後再び吸着する際の位置の多少のズレ等完
全とはいえない。
そこで本願発明者らは上記の欠点を解消するた
めに、第２図〜第９図に示す構成の物品移載装置
を開発した。以下、図面にもとづき説明する。
第２図は、チツプ部品移載装置を示す部分斜視
図である。図において、チツプ部品２は例えば振
動式シユート３で整列され、先端部において吸着
具４によりチツプ部品２を１個づつ吸着し、所定
位置まで移載する。本装置の機構及び動作を第３
図〜第５図により詳しく説明する。第３図におい
て、吸着具４はロツド５と連結しており、外部手
段によるレバー６の揺動によりローラ２１、摺動
リング２２、圧縮ばね２３、さらにロツド５に固
定されたレバー２４を介して、ロツド５及び吸着
具４は上下動作を行う。ここで、圧縮ばね２３は
吸着具４のチツプ部品２への押圧力を所定値に保
つために設けたもので、またロツド５、吸着具４
には、チツプ部品２を吸着するために空気吸引用
の貫通穴５ａ，４ａを設けており、ロツド５の他
端は空気吸引装置につながつている。また、ロツ
ド５は回転ボス７で上下摺動可能なように保持さ
れ、ロツド５に固定されたレバー２４に取付けら
れたガイドロツド２５を回転ボス７に係合させ、
ロツド５と回転ボス７との回り止めとしている。
回転ボス７はベアリング２６を介して、外部手段
により水平方向に移動可能な移動ブロツク８によ
り、回転可能なように保持されている。ここで、
移動ブロツク８は、本体フレーム２７に固定され
た２本のガイドロツド２８，２８′により摺動可
能な摺動ブロツク２９にボルト３０により取付け
られている。
次に、ロツド５の90゜回転機構について主に第
２図により説明する。回転ボス７にはローラ３１
が取付けられており、このローラ３１は本体フレ
ーム２７に固定されたカム３２に常に接触するよ
う付勢される。付勢手段としては、回転ボス７に
固定されたばね掛けピン３３と移動ブロツク８に
固定されたばね掛けピン３４とを引張りばね３５
にて結んでおり、移動ブロツク８の所定長さ水平
移動した時、ローラ３１とカム３２が常に係合す
るため回転ボス７の90゜回転動作を行うことが可
能である。ロツド５の90゜回転動作解除機構につ
いて説明する。摺動ブロツク２９に固定されたエ
アシリンダー３６の先端にはストツパー金具３７
が取付けられており、ストツパー金具３７はエア
シリンダー３６の動作により第３図矢印Ｚ方向に
移動が可能である。ロツド５の90゜回転を解除す
る際、ストツパー金具３７を前進させ、回転ボス
７の所定箇所に押し当て、引張りばね３５の付勢
力をロツクするものである。
次に、チツプ部品移載途中における位置規正機
構について説明する。回転ボス７の一端には圧縮
ばね９を介して摺動ボス１０が該回転ボス７の下
方外周において吸着具４により支持され、上下方
向に摺動可能なようになつている。そして、回転
ボス７に固定したガイドピン１１が摺動ボス１０
に設けた長穴１０ａ内に摺動可能にはめ込まれ、
これにより摺動ボス１０は回転ボス７と共に回転
し、かつ回転ボス７に対し相対的に軸方向に所定
移動可能となる。
摺動ボス１０の一面には支点軸１２，１２′が
ネジ止めされており、位置規正爪１４，１４′が
支点軸１２，１２′回りに回転可能に支持されて
いる。第３図は、吸着具４が上昇端に達し、吸着
具４の上肩部４′が摺動ボス１０を押し上げ、位
置規正爪１４，１４′が閉じて部品の位置規正を
しているところの状態を示している。
この位置規正の構造を第４図〜第８図にもとづ
いて、さらに詳しく説明する。第４図、第５図、
第６図は、それぞれ第３図における正面AA矢視
図、側面図、BB矢視図である。これらの図にお
いて、摺動ボス１０の互いに直角な側面２面には
支点軸１２，１２′，１３，１３′がネジ止めされ
ており、これらの支点軸１２，１２′，１３，１
３′にはそれぞれ部分歯車で噛み合わせた位置規
正爪１４，１４′と１５，１５′がそれぞれ互いに
反対方向に吸着具４の中心線に対して等しい角度
回転可能なようにガイドされている。さらに、位
置規正爪１４と１４′，１５と１５′との間にはそ
れぞれ引張りばね１６及び１７が取付けられ、爪
ををとじる方向に付勢されている。第４図〜第６
図では、位置規正爪１４，１４′と１５，１５′が
閉じている状態にある。第７図、第８図はそれぞ
れ第３図における正面AA矢視図、BB矢視図で、
位置規正爪１４，１４′と１５，１５′が開いた状
態を示す。これらの図において、吸着具４が下降
すると上肩部４′が摺動ボス１０の下部に接触し
つつ、摺動ボス１０を下げ長穴１０ａの上部がガ
イドピン１１に当るまで下がる。この時ガイドピ
ン１１は回転ボス７に固定されているため位置規
正爪１４，１４′はガイドピン１１により開けら
れ、また同様に位置規正爪１５，１５′はガイド
ピン１１′により開けられる。
以上の動作により吸着具４で吸着されたチツプ
部品２は位置規正可能となる。
次に、第９図ａ，ｂ，ｃ，ｄにもとづき原理を
説明する。本図では、説明を容易にするため位置
規正４方向のうち２方向について示す。第９図ａ
において、チツプ部品２は振動式シユート３に一
列に並べて送られており、吸着具４が迎えに行く
ところで、この時位置規正爪１４，１４′は開い
ている。第９図ｂはチツプ部品２を吸着具４で吸
着したところであり、この時も位置規正爪１４，
１４′は開いたままである。第９図ｃで、吸着具
４がチツプ部品２を振動式シート３上から装着基
板１９上の所定位置まで移載する間に位置規正爪
１４，１４′を閉じ、チツプ部品２を位置規正す
る。第９図ｄでは、位置規正爪１４，１４′は開
き、吸着具４を下降させ、基板１９上にチツプ部
品２を装着する。
以上の構成により、従来方法よりもかなりの装
着精度の向上が実現された。しかしながら、この
ような構成においても、すでにチツプ部品が傾針
していたり、中心がずれていたりしている場合４
方向からチツプ部品２を位置規正すると、チツプ
部品２を落下させたり、第１０図ａ，ｂに示すよ
うな横立ちさせたりするなどの問題があつた。
本発明は上記問題点を解消するもので、以下に
その実施例を第１１図〜第１２図にもとづいて詳
細に説明する。
１４，１４′は位置規正爪であるが、その先端
には、角型チツプ部品の下面の辺１０１，１０
１′と当接するような傾斜面１００，１００′を設
けている。
これらの傾斜面１００，１００′は、位置規正
爪１４，１４′が、上述のように部分歯車で互い
にかみ合わされ、吸着具４の中心線に対して反対
方向に等しい角度回転可能になつていること、す
なわち位置規正爪１４，１４′の先端が吸着具４
の先端の中央から反対方向に互いに等しい距離開
かせることができる構成においてのみ設けること
ができるものである。その理由は次の通りであ
る。たとえば、位置規正爪１４，１４′が部分歯
車でかみ合わされておらず、引張りばね１６によ
る付勢のみであれば、傾斜面１００，１００′を
設けた場合、傾斜面１００，１００′とチツプ部
品２の各稜とがともに線接触の状態では安定せ
ず、傾斜面１００，１００′のどちらかとチツプ
部品２の側面が面接触した状態ではじめて安定す
る。このとき、チツプ部品２は吸着具４の中央か
ら位置ずれを生じるとともに、吸着具４の先端の
面に対して傾斜した状態で接触するため、正しく
位置規正できないだけでなく、チツプ部品２の吸
着具４への密着性が悪くなり、落下や横立ちの原
因となる。
本発明においては、位置規正爪１４，１４′が
吸着具４の中央から互いに等しい距離開くための
機構を有し、かつ位置規正爪１４，１４′の先端
に傾斜面１００，１００′を設けているため、チ
ツプ部品がすでに傾斜したり、中心がずれていて
も角型チツプ部品２を吸着すると、角型チツプ部
品２の下面の辺１０１，１０１′のみが位置規正
爪１４，１４′と接し、かつ角型チツプ部品２に
は吸着具４の中心方向に押圧する力Ｘ，X′とさ
らに吸着具４に押し付ける方向の分力Ｚが作用す
るので、吸着具４の先端の吸着面と角型チツプ部
品２との密着が確実に保たれた状態で、位置規正
爪１４，１４′による位置規正が行なわれる。従
つて、チツプ部品が横立ちしたり、落下したりす
ることは皆無である。
角型チツプ部品２の下面１０３は、抵抗チツプ
部品２の場合はセラミツク材質面であるが、上面
１０２はガラスコーテイングされた画であるの
で、前記のような傾斜した面１００，１００′で
角型チツプ部品２を規正すればガラスコーテイン
グされた上面１０２を傷つけることなく規正でき
る。
位置規正爪１５，１５′においても、前記位置
規正爪１４，１４′と同一の先端形状を有してお
り、かつ同様の効果が得られる。
以上本発明によれば、吸着具の中心に対して等
しい距離開閉する１対の位置規正爪の先端に、被
移載物品の下面の辺に当接する傾斜面を設け、位
置規正時に前記傾斜面が被移載物品に及ぼす力の
分力が、前記被移載物品を吸着具に押えつける方
向に働らくようにしたことにより、吸着具と少く
とも１対の規正爪で被移載物品を少くとも３方向
から挟み付けることになるので、規正時における
被移載物品と吸着具との密着がより確実に行わ
れ、位置精度が向上するとともに、被移載物品の
落下や横立ちの問題もなくなる。
また、規正爪が被移載物品の上面および上面の
辺と接触することがないため、被移載物品の上面
に損傷を与えることがない等、大きな効果を発揮
するものである。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来例を示すチツプ吸着具の断面図、
第２図は物品移載装置の部分斜視図、第３図は同
断面図、第４図は第３図におけるＡ−Ａ矢視図、
第５図は第４図におけるＣ−Ｃ矢視図、第６図は
第３図におけるＢ−Ｂ矢視図、第７図は位置規正
爪の開いた状態における第３図Ａ−Ａ矢視図、第
８図は同第３図Ｂ−Ｂ矢視図、第９図ａ，ｂ，
ｃ，ｄは位置規正方法の原理図、第１０図ａ，ｂ
は吸着ミス時のチツプ吸着具の斜視図、第１１図
は角型チツプ部品の斜視図、第１２図は本発明の
一実施例における物品移載装置の位置規正爪によ
る規正原理図である。 ２……チップ部品、４……吸着具、５……ロツ
ド、１４，１４′，１５，１５′……位置規正爪、
２７……本体フレーム、１００，１００′……傾
斜面、１０１，１０１′……下面の辺、１０３…
…チツプ部品の下面。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 被移載物品を吸着する吸着具を先端に備え、
    空気吸引装置が接続されたロツドと、前記ロツド
    を垂直方向及び水平方向に移動可能に支持する本
    体フレームと、前記ロツドと共に移動可能に支持
    され、前記吸着具に吸着された物品をそれぞれ異
    なつた方向より挟むよう開閉自在に支持された少
    なくとも１対の位置規正爪と、前記位置規正爪
    を、前記吸着具の中心に対して等しい距離開閉す
    る手段とからなり、前記位置規正爪の先端には、
    被移載物品の下面の辺に当接する傾斜面を設ける
    ことにより、位置規正時に前記傾斜面が前記被移
    載物品に及ぼす力の分力が、前記被移載物品を前
    記吸着具に押えつける方向に働らくようにしたこ
    とを特徴とする物品移載装置。
JP56020585A 1981-02-13 1981-02-13 Shifter for article Granted JPS57138587A (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP56020585A JPS57138587A (en) 1981-02-13 1981-02-13 Shifter for article
US06/348,404 US4473247A (en) 1981-02-13 1982-02-12 Component mounting apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP56020585A JPS57138587A (en) 1981-02-13 1981-02-13 Shifter for article

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS57138587A JPS57138587A (en) 1982-08-26
JPH021634B2 true JPH021634B2 (ja) 1990-01-12

Family

ID=12031298

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP56020585A Granted JPS57138587A (en) 1981-02-13 1981-02-13 Shifter for article

Country Status (2)

Country Link
US (1) US4473247A (ja)
JP (1) JPS57138587A (ja)

Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5988289A (ja) * 1982-11-10 1984-05-22 株式会社フジキカイ 産業用ロボツトのハンド
JPS59130882U (ja) * 1983-02-21 1984-09-03 新日本製鐵株式会社 円筒体把持装置
JPS59224279A (ja) * 1983-06-01 1984-12-17 富士機械製造株式会社 電子部品の位置決め保持方法および装置
US4770599A (en) * 1984-01-23 1988-09-13 Dynapert Precima Limited Pick-up head for handling electric components
WO1985003404A1 (en) * 1984-01-23 1985-08-01 Dyna/Pert - Precima Limited Head for handling electrical components
GB8406129D0 (en) * 1984-03-08 1984-04-11 Dyna Pert Precima Ltd Orienting electrical components
US4789292A (en) * 1984-04-06 1988-12-06 Holcomb Gregory W End effector for robotic equipment
US4599037A (en) * 1984-07-02 1986-07-08 United Technologies Corporation Method and apparatus for manipulating miniature parts
DE3532500C2 (de) * 1984-09-17 1996-03-14 Tdk Corp Pneumatisch betätigter Bestückungskopf mit Saugkammer für eine Saugpipette
US4593462A (en) * 1984-09-24 1986-06-10 Tdk Corporation Apparatus for automatically mounting chip-type circuit elements on substrate
US4611397A (en) * 1984-10-09 1986-09-16 Universal Instruments Corporation Pick and place method and apparatus for handling electrical components
CA1246121A (en) * 1984-11-15 1988-12-06 Westinghouse Electric Corporation Robotic end effector
US4657470A (en) * 1984-11-15 1987-04-14 Westinghouse Electric Corp. Robotic end effector
US4769904A (en) * 1985-08-02 1988-09-13 Universal Instruments Corporation Method and apparatus for handling leaded and leadless surface mountable components
US4802816A (en) * 1985-10-08 1989-02-07 Excellon Industries Pick and place machine having improved centering jaws
JPH0357436Y2 (ja) * 1985-11-05 1991-12-27
US4741567A (en) * 1987-01-12 1988-05-03 Rca Corporation Robotic system and end effector
JPH0691355B2 (ja) * 1988-01-19 1994-11-14 三洋電機株式会社 電子部品位置決め装置
US4858974A (en) * 1988-05-02 1989-08-22 Stannek Karl H Robotic gripper head
JP2617530B2 (ja) * 1988-09-02 1997-06-04 学校法人早稲田大学 球根りん片植付ハンド
US5018937A (en) * 1988-10-05 1991-05-28 Grumman Aerospace Corporation Shearclip-handling tool
US4950011A (en) * 1988-10-24 1990-08-21 Nicky Borcea Tool for precisely positioning a workpiece
US5056844A (en) * 1990-03-06 1991-10-15 Amistar Corporation Multiple jaw centering head structure for surface mounted component placement machines
JP2566042B2 (ja) * 1990-05-21 1996-12-25 株式会社東芝 光半導体製造装置
JP2641020B2 (ja) * 1993-07-13 1997-08-13 株式会社しなのエレクトロニクス 吸着挟持機構及びそれを用いた温度試験装置
US5605430A (en) * 1994-02-15 1997-02-25 Zierick Manufacturing Corporation Feeder and method of supplying a continuous strip of surface mount contacts to surface mounting equipment
US5449265A (en) * 1994-02-15 1995-09-12 Zierick Manufacturing Corporation Feeder and method of supplying a continuous strip of surface mount contacts to pick-and-place machine
US5572785A (en) * 1994-07-27 1996-11-12 Eastman Kodak Company Apparatus and method for automated assembly of precision components
US5697658A (en) * 1995-05-05 1997-12-16 Samsung Electronics Co., Ltd. Centering apparatus for component mounting device
US6045321A (en) * 1998-03-23 2000-04-04 Lucent Technologies, Inc. Method and apparatus for transporting laser bars
US6139078A (en) * 1998-11-13 2000-10-31 International Business Machines Corporation Self-aligning end effector for small components
JP2007157996A (ja) * 2005-12-05 2007-06-21 Tokyo Seimitsu Co Ltd ワーク搬送装置及びワーク搬送方法
CN100427369C (zh) * 2005-12-26 2008-10-22 哈尔滨工业大学 负压式靶丸拾取器
US8070409B2 (en) * 2007-11-05 2011-12-06 Ajax Tocco Magnethermic Corp. Method and apparatus for transporting steel billets
KR101610272B1 (ko) * 2009-04-15 2016-04-08 한화테크윈 주식회사 진공 노즐 제어 장치 및 이를 갖는 부품 실장기용 헤드 어셈블리
JP6459326B2 (ja) * 2014-09-10 2019-01-30 富士ゼロックス株式会社 保持具、搭載装置、搭載方法、基板装置の製造方法
WO2017119982A1 (en) 2016-01-08 2017-07-13 Berkshire Grey Inc. Systems and methods for acquiring and moving objects
ITUB20160018A1 (it) * 2016-01-25 2017-07-25 Officina Meccanica Di Prec G 3 Di Gamba Walter & C S N C Picker per manipolatore di circuiti integrati
US10099387B2 (en) * 2017-01-24 2018-10-16 Jabil Inc. Apparatus, system and method for providing a vacuum ejector for an end effector
US10493638B1 (en) * 2018-09-11 2019-12-03 Jabil Inc. Apparatus, system and method for providing a vacuum ejector for an end effector
US11511443B2 (en) * 2020-02-10 2022-11-29 The Boeing Company Method and apparatus for drilling a workpiece
CA3189565A1 (en) 2020-07-22 2022-01-27 Berkshire Grey Operating Company, Inc. Systems and methods for object processing using a passively collapsing vacuum gripper
CA3189612A1 (en) 2020-07-22 2022-01-27 Berkshire Grey Operating Company, Inc. Systems and methods for object processing using a vacuum gripper that provides object retention by evacuation

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5325368A (en) * 1976-08-23 1978-03-09 Hitachi Ltd Pellet attaching collet

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2665603A (en) * 1950-01-20 1954-01-12 Hydropress Inc Testing machine clamping device
US3651957A (en) * 1970-03-02 1972-03-28 Motorola Inc Chip packaging and transporting apparatus
US4135630A (en) * 1977-12-08 1979-01-23 Universal Instruments Corporation Centering device for automatic placement of chip components in hybrid circuits
JPS5537283A (en) * 1978-09-08 1980-03-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd Article shifter
JPS5599795A (en) * 1979-01-25 1980-07-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd Device for mounting electronic part
JPS55118690A (en) * 1979-03-05 1980-09-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd Device for carrying electronic part
US4340211A (en) * 1979-03-09 1982-07-20 Pietro Chiappetti Adjustable vee block clamp

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5325368A (en) * 1976-08-23 1978-03-09 Hitachi Ltd Pellet attaching collet

Also Published As

Publication number Publication date
JPS57138587A (en) 1982-08-26
US4473247A (en) 1984-09-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH021634B2 (ja)
JPS6210793B2 (ja)
JP3451132B2 (ja) リードフレーム取出し装置
JPH0581542B2 (ja)
CN213889545U (zh) 具有校平功能的pcb基板输送装置和研磨机
JP2532263Y2 (ja) 板材１枚取り装置
JPH02229499A (ja) 基板搬送装置
JPS6134955B2 (ja)
US5263569A (en) Substrate supply apparatus
JPH0249720Y2 (ja)
JP3684872B2 (ja) 刻印装置
JPH0540958Y2 (ja)
JPH0739863Y2 (ja) 電子部品の実装基板の位置決め装置
JP2839913B2 (ja) 基板保持装置
US6215548B1 (en) Nested glass exposure tool registration device
JPH0528208Y2 (ja)
JP3473532B2 (ja) 基板分割装置
JPH0738515B2 (ja) 電子部品装着装置
JP2507225Y2 (ja) コンベア等における対向ガイドレ―ルの巾調節装置
JPH079925B2 (ja) 基板の位置決め装置
JPH0566021B2 (ja)
JP2636465B2 (ja) 電子部品実装装置
JPH0651040Y2 (ja) 基板バックアップ装置
JPS637699A (ja) 電子部品の位置決め装置
JPS6013113Y2 (ja) 電子機器