JPH02156582A - 磁気センサとその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は電゛極膜の信頼性を向上させた磁気センサとそ
の製造方法に関するものである。

従来の技術 近年、微弱磁界を感知し磁気信号を電気信号に交換する
働きを持つ磁気センサは、回転検出に広く利用されるよ
うになってきた。

以下、従来の磁気センサについて説明する。第６図は従
来の磁気センサの平面図で、８は絶縁基板、９は絶縁基
板８上にパターニングした磁性膜で、この磁性膜９と重
なるように電極膜１０を配置している。さらに、１１は
保護膜である。第６図は第６図のＢ−Ｂ’断面図で、電
極膜１ｏはＯｒを材料とする第一層膜１２と磁性膜９か
ら成る第二層膜と第２層上にノ・ンダ付する際の保護膜
となる第三層膜１３で構成している。また第７図は従来
の磁気センサの製造方法を示す工程図である。まず基板
を洗浄し、第一層膜、磁性膜である第二層膜、第三層膜
を順次、蒸着・パターン形成・エツチング工程を行うこ
とにより形成する。

発明が解決しようとする課題 しかしながら、上記の従来の構成では、ノ・ンダ付する
時必要な信頼性は第三層膜１３の材料及び膜厚に起因す
る。第三層膜１３が薄いとノ・ンダ付した時、電極クワ
レが発生したシ、第一層膜１２のＣｒが第三層１３の表
面まで拡散しハンダ付が困難になシ、使用中に端子が剥
離する事故も起きる。第三層膜１３を厚くすると、材料
により絶縁基板８と電極膜１０の各層の膨張係数の差に
よりハンダ付時電極膜１ｏの一部にストレスがかかシ破
壊される。

さらに、上記の従来の製造法は、各層ごとに蒸着・パタ
ーン形成・エツチングの三工程を繰り返すので工程数が
多く生産性が低い。

本発明は上記従来の問題点を解決するためのものであり
、簡単な構成により、電極膜に高信頼性を有し生産力の
高い磁気センサおよびその製造方法を提供することを目
的とする。

課題を解決するための手段 この目的を達成するために、本発明の磁気センサおよび
その製造方法は、電極膜を第一層膜０ｒ５０Å以上、第
二層膜Ｃｕ　５ｏｏｏ八以上、第三層膜をＮ１またはＮ
１合金５００八以上とする三層構造とし、磁性膜を所定
パターンに形成した後、マスク蒸着により同一真空中で
連続して多層電極膜を形成するものである。

作用 この構造によシ、ハンダ付時の電極クワレ、使用中の端
子剥離の事故が防止でき、信頼性を向上できると共に、
生産性も向上することができる。

実施例 以下、本発明の一実施例を示す第１図〜第４図の図面を
用いて説明する。

（実施例１） 第１図は本発明の第１の実施例を示す平面図で、１はガ
ラス等の絶縁基板、２は所定のパターンに形成された磁
性膜、３はこの磁性膜２と一部が重なるように配置した
電極膜である。また、磁性膜２の表面にはＳｉＯ等から
なる保護膜４が形成されている。第２図は第１図のＡ−
人′断面図で、絶縁基板１上に磁性膜２が形成され、さ
らにその電極取出し部分には５０Å以上のＯｒから成る
第一層膜６．５０００Å以上のＣｕから成る第二層膜６
．５００Å以上のＮＬまたはＮ工合金から成る第三層膜
７が積層されて形成されている。

第４図は、第２図の構造の磁気センサの単位面積当シの
電極膜の剥離強度をＣｒＯ人を１とした時の相対強度で
示したものである。この第４図から明らかなように第一
層膜６のＣｒを５０Å以上とすると、０人の時の約４倍
の電極膜の剥離強度を有する。さらに、第二層膜６のＣ
ｕを５０ｏＯÅ以上、第三層膜７のＮｉまたはＮｉ合金
を５００゛八以上にすると、電極膜３のハンダ耐熱は２
４０℃、８秒の信頼性を持つ。

この構成により、基板１と電極膜３の十分な剥離強度を
第一層膜６で得ることができ、ハンダ付時の絶縁基板１
と電極膜３の各層の膨張係数の差によって生じるストレ
スを第二層膜６のＣｕの延性で吸収でき、ハンダ耐熱に
必要な膜厚５０ｏＯÅ以上もＣｕの蒸気圧が小さいこと
から短時間の蒸着で得られる。さらに第三層膜７で第二
層膜６の酸化防止と共にハンダ耐熱の向上も得られる。

（実施例２） 第３図に本発明の第２の実施例を示しており、磁気セン
サの製造工程を示す。まず基板洗浄を溶剤系の洗浄液で
超音波洗浄等で行い、Ｎｉ　Ｆｅ又はＮｉ　Ｃｏなどの
磁性材料をＫＢ蒸着法あるいはスパッタ法により蒸着す
る。次にこの蒸着膜上にフォトリソグラフィーによりパ
ターンを形成し、エツチングして所定のパターンを形成
した磁性膜を得る。そして、三層の電極膜をマスク蒸着
により同一真空中で連続して形成する。

この構成により、三層の電極膜が一工程で形成できるこ
とから生産性が著しく上がる。また同一真空中で三層を
形成しているので各層の密着力が向上する。さらにマス
ク蒸着のため電極膜のエッヂは適度なＲが付き保護膜と
の密着性が良い磁気センサが得られる。

発明の効果 以上の説明より明らかなように、本発明の磁気センサと
その製造方法は、電極膜を第一層膜として６ｏ、〇へ以
上のＣｒ，第二層膜として５０００Å以上のＣｕ　、第
三層膜として５００人のＮｉまたはＮ１合金の三層構造
とし、この三層電極をマスク蒸着により同一真空中で連
続して形成することにより、電極膜の剥離強度、ハンダ
耐熱共に向上した信頼性の高い磁気センサを高い生産性
で製造することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例による磁気センサの平面図、第
２図は第１図のＡ−Ａ’断面図、第３図は製造工程図、
第４図は本発明の詳細な説明するための特性図、第６図
は従来の磁気センサの平面図、第６図は第６図のＢ−Ｂ
’断面図、第７図は製造工程図である。 １・・・・・・絶縁基板、２・・・・・・磁性膜、３・
・・・・・電極膜、４・・・・・・保護膜、６・・・・
・・第一層膜、６・・・・・・第二層膜、７・・・・・
・第三層膜。 代理人の氏名　弁理士　粟　野　重　孝　ほか１名第 図 第 図 第 図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）絶縁基板上に所定のパターンを形成した磁性膜と
   、この磁性膜と一部が重なるように配置した電極膜とを
   有し、前記電極膜が第一層膜に５０Å以上のＣｒ，第二
   層膜に５０００Å以上のＣｕ，第三層膜に５００Å以上
   のＮｉまたはＮｉ合金を用いた構造である磁気センサ。
2. （２）絶縁基板上に磁性膜を所定のパターンに形成した
   後、マスク蒸着により同一真空中で連続して多層電極膜
   を形成する請求項１記載の磁気センサの製造方法。