JPS63241846A - 耐熱性黒色電極およびその製造方法 - Google Patents
耐熱性黒色電極およびその製造方法Info
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- JPS63241846A JPS63241846A JP62074449A JP7444987A JPS63241846A JP S63241846 A JPS63241846 A JP S63241846A JP 62074449 A JP62074449 A JP 62074449A JP 7444987 A JP7444987 A JP 7444987A JP S63241846 A JPS63241846 A JP S63241846A
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Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、螢光懺示管（以下、ｖＦＤと略称する）の配
線電極や薄膜ＥＬ表示素子の背面電極などに用いて好適
な耐熱性黒色電極に関するものである。
線電極や薄膜ＥＬ表示素子の背面電極などに用いて好適
な耐熱性黒色電極に関するものである。
電気の良導体であるＡｌは、ｖＦＤの配線・電極材料や
薄膜ＥＬ表示素子の背面電極材料として広く用いられて
いる。しかし、Ａｌ電極の表面は光の反射率が極めて高
いので、これを用い次前記表示素子においては、表示面
に外光の反射によるギラツキを生じ易いという欠点があ
る。このＡｌ電極の欠点を改善するものとして、近年こ
れらの素子においては黒色電極の採用が試みられている
。
薄膜ＥＬ表示素子の背面電極材料として広く用いられて
いる。しかし、Ａｌ電極の表面は光の反射率が極めて高
いので、これを用い次前記表示素子においては、表示面
に外光の反射によるギラツキを生じ易いという欠点があ
る。このＡｌ電極の欠点を改善するものとして、近年こ
れらの素子においては黒色電極の採用が試みられている
。
このとき、黒色′１極の材料としては、Ｃ、Ａｓ５ｓ、
５ＩＧｅあるいはＡｌ、Ｉｎ 、Ｃｒ 、Ｍｎ、Ｍｏな
どの酸化物膜が提案されている。
５ＩＧｅあるいはＡｌ、Ｉｎ 、Ｃｒ 、Ｍｎ、Ｍｏな
どの酸化物膜が提案されている。
しかしながら、これらの黒色材料とＡｌ電極を積層した
黒色電極は、付着力が弱く、また耐熱性に乏しい。しか
も、エツチングによるパターニングが難しく、製造工程
が繁雑になる等の欠点があった０ 本発明は上記した従来の欠点に鑑み、表示素子、特に電
子による螢光体の励起面の反対側（基板側）から見るタ
イプのＶＦＤにおける表示面のギラツキを低減して、そ
の表示品位を向上させるなめになされたもので、ｖＦＤ
などの製造工程における熱処理に耐え得る耐熱性の高い
、かつバターニング性の良好な黒色電極を提供すること
を目的とするものである。
黒色電極は、付着力が弱く、また耐熱性に乏しい。しか
も、エツチングによるパターニングが難しく、製造工程
が繁雑になる等の欠点があった０ 本発明は上記した従来の欠点に鑑み、表示素子、特に電
子による螢光体の励起面の反対側（基板側）から見るタ
イプのＶＦＤにおける表示面のギラツキを低減して、そ
の表示品位を向上させるなめになされたもので、ｖＦＤ
などの製造工程における熱処理に耐え得る耐熱性の高い
、かつバターニング性の良好な黒色電極を提供すること
を目的とするものである。
本発明に係る黒色電極は、透光性絶縁基板上に、耐熱性
金属の中にＡｌおよびＭｏの酸化物のうち少くとも１つ
を含んだ黒色薄膜、もしくは耐熱性金属の酸化物の中に
Ａｌ、Ｍｏおよびそれらの酸化物のうち少くとも１つを
含む黒色薄膜を形成したうえ、その上にＡｌ薄膜を積層
形成して２層薄膜から構成したことを特徴とする０ このとき、前記耐熱性金属およびその酸化物は、ＴＩ
、 Ｃｒ 、Ｍｎ 、Ｚｒ 、Ｍｏ 、Ｗおよびそれら
の酸化物のうち少くとも１つを主なる構成材料として用
いる。
金属の中にＡｌおよびＭｏの酸化物のうち少くとも１つ
を含んだ黒色薄膜、もしくは耐熱性金属の酸化物の中に
Ａｌ、Ｍｏおよびそれらの酸化物のうち少くとも１つを
含む黒色薄膜を形成したうえ、その上にＡｌ薄膜を積層
形成して２層薄膜から構成したことを特徴とする０ このとき、前記耐熱性金属およびその酸化物は、ＴＩ
、 Ｃｒ 、Ｍｎ 、Ｚｒ 、Ｍｏ 、Ｗおよびそれら
の酸化物のうち少くとも１つを主なる構成材料として用
いる。
したがって、本発明においては、黒色薄膜とＭ薄膜との
付着力に槍れ、ＶＦＤなどの表示素子の熱工程（空気中
、５８０℃）に耐え得る耐熱性を有し、しかも従来と同
じＡｌのエッチャントで良好表パターニングを行うこと
ができる。
付着力に槍れ、ＶＦＤなどの表示素子の熱工程（空気中
、５８０℃）に耐え得る耐熱性を有し、しかも従来と同
じＡｌのエッチャントで良好表パターニングを行うこと
ができる。
以下、本発明を９面に示す実施例に基づき詳述する。
実施例１゜
第１図は本発明の一実施例を示す主要断面図であシ、こ
こでは、基板側から発光を観察するタイプのＶＦＤ用ガ
ツガラス基板上発明による黒色′電極を作製した場合を
示す。すなわち、この実施例では、スパッタリング用の
ターゲットとして、第２図に示すようなＡｌ板１にＭｏ
酸化物２を埋め込んだ複合ターゲット３を用い、上記Ｖ
ＦＤ用ガツガラス基板１１上常のスパッタ法にて膜厚的
５０ＯＡのＭｏＯｘ ：Ａｌ黒色薄膜１２を形成した０
このとき、複合ターゲット３表面のＭｏ酸化物２の占有
面積は約５０チであシ、スパッタガスにはＡｒ を用
いた。
こでは、基板側から発光を観察するタイプのＶＦＤ用ガ
ツガラス基板上発明による黒色′電極を作製した場合を
示す。すなわち、この実施例では、スパッタリング用の
ターゲットとして、第２図に示すようなＡｌ板１にＭｏ
酸化物２を埋め込んだ複合ターゲット３を用い、上記Ｖ
ＦＤ用ガツガラス基板１１上常のスパッタ法にて膜厚的
５０ＯＡのＭｏＯｘ ：Ａｌ黒色薄膜１２を形成した０
このとき、複合ターゲット３表面のＭｏ酸化物２の占有
面積は約５０チであシ、スパッタガスにはＡｒ を用
いた。
次いで、このＭｏＯｘ：ＡＡ黒色薄膜１２の上に、従来
と向じＡｌスパッタ工程で、１．５μｍ厚のＡｌ、薄膜
１３を積層形成して、これら２層薄膜からなる黒色電極
１４を構成する。しかる後、この黒色電極付き基板を従
来と同じＶＦＤ製造工程に流して、ｖＦＤを製造し次と
ころ、前記黒色電極１４の反射率は約５〜１０％であシ
、従来の黒色電極で生じていた熱工程での電極の白色化
、剥がれ。
と向じＡｌスパッタ工程で、１．５μｍ厚のＡｌ、薄膜
１３を積層形成して、これら２層薄膜からなる黒色電極
１４を構成する。しかる後、この黒色電極付き基板を従
来と同じＶＦＤ製造工程に流して、ｖＦＤを製造し次と
ころ、前記黒色電極１４の反射率は約５〜１０％であシ
、従来の黒色電極で生じていた熱工程での電極の白色化
、剥がれ。
等通不良、エッチング不良などは全く発生しなかった０
実施例２゜
次に、ＭＯ版板上ＡＬ酸化物の小片を面積比で約４０４
置いた複合ターゲットを用いて１．Ａｒガスでスパッタ
して約５０ＯＡのＡ４０ｓ ：Ｍｏ黒色薄膜を形成し念
０続いて、その上にＡｌをターゲットとしてＡｒガスで
スパッタし、１．５μｍのＡｌ薄膜を積層して黒色電極
を形成した。この電極を従来と同じリン酸系Ａｌエツチ
ヤントでバターニングし念ところ、従来の黒色電極で発
生していた膜の剥がれ、電極パターンの乱れなどはなく
、反射率は５〜１０チであつ九。
置いた複合ターゲットを用いて１．Ａｒガスでスパッタ
して約５０ＯＡのＡ４０ｓ ：Ｍｏ黒色薄膜を形成し念
０続いて、その上にＡｌをターゲットとしてＡｒガスで
スパッタし、１．５μｍのＡｌ薄膜を積層して黒色電極
を形成した。この電極を従来と同じリン酸系Ａｌエツチ
ヤントでバターニングし念ところ、従来の黒色電極で発
生していた膜の剥がれ、電極パターンの乱れなどはなく
、反射率は５〜１０チであつ九。
なお、発明者らの実験によれば、本発明で用いる黒色薄
膜は、複合ターゲットにｈｔ、ｈｔ酸化物、Ｍｏおよび
Ｍｏ酸化物のうち少くとも１つを含ませることによシ、
リン酸系ｈｔエッチャントでエツチングが可能でアシ、
従来のバターニング工程を変更する必要はなく、ま几、
ＴＩ、Ｃｒ。
膜は、複合ターゲットにｈｔ、ｈｔ酸化物、Ｍｏおよび
Ｍｏ酸化物のうち少くとも１つを含ませることによシ、
リン酸系ｈｔエッチャントでエツチングが可能でアシ、
従来のバターニング工程を変更する必要はなく、ま几、
ＴＩ、Ｃｒ。
Ｍｎ 、Ｚｒ 、Ｍｏ 、ｗ、ｓｉおよびこれらノ
酸化物のうち少くとも１つを含ませることによ）、耐熱
性の優れた黒色電極が作製できた。
酸化物のうち少くとも１つを含ませることによ）、耐熱
性の優れた黒色電極が作製できた。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、ＶＦＤなどの表示
素子の製造工程における熱処理に耐え得る耐熱性の高い
、しかもパターニング性に優れ穴焦色電極が得られる。
素子の製造工程における熱処理に耐え得る耐熱性の高い
、しかもパターニング性に優れ穴焦色電極が得られる。
し九がって、本発明による黒色電極を配線電極に用いる
ことによυ、表示品位の優れた螢光体の電子励起面の反
対側から見るタイプのＶＦＤを安価に提供することがで
きると共に、そのＶＦＤ以外の他の表示素子、例えば薄
膜ＥＬ表示素子の背面電極に用いた場合にも同様の効果
を得ることができる。
ことによυ、表示品位の優れた螢光体の電子励起面の反
対側から見るタイプのＶＦＤを安価に提供することがで
きると共に、そのＶＦＤ以外の他の表示素子、例えば薄
膜ＥＬ表示素子の背面電極に用いた場合にも同様の効果
を得ることができる。
第１図は本発明による黒色電極の一実施例を示す主要断
面図、第２図は上記実施例において用いた複合ターゲッ
トの一例を示す平面図である。 １・・・・ＡＬ板、２・・−・Ｍｏ酸化物、３・・・・
複合ターゲット、１１・・・Ｏガラス基板、１２・・拳
・ＭＯＯｘ：Ａｌ黒色薄膜、１３・・・・Ａｌ薄展、１
４・・・・黒色電極。 特許出願人 伊勢電子工業株式会社 代理１人 山川政樹（ほか２名） 第１図 第２図
面図、第２図は上記実施例において用いた複合ターゲッ
トの一例を示す平面図である。 １・・・・ＡＬ板、２・・−・Ｍｏ酸化物、３・・・・
複合ターゲット、１１・・・Ｏガラス基板、１２・・拳
・ＭＯＯｘ：Ａｌ黒色薄膜、１３・・・・Ａｌ薄展、１
４・・・・黒色電極。 特許出願人 伊勢電子工業株式会社 代理１人 山川政樹（ほか２名） 第１図 第２図
Claims (2)
- （１） 透光性絶縁基板上に、耐熱性金属の中にＡｌお
よびＭｏの酸化物のうち少くとも１つを含んだ黒色薄膜
、もしくは耐熱性金属の酸化物の中にＡｌ、Ｍｏおよび
それらの酸化物のうち少くとも１つを含む黒色薄膜を形
成したうえ、その上にＡｌ薄膜を積層してこれら２層薄
膜から構成してなることを特徴とする耐熱性黒色電極。 - （２） 耐熱性金属およびその酸化物はＴｉ、Ｃｒ、Ｍ
ｎ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ｗおよびそれらの酸化物のうち少くと
も１つを主なる構成材料とすることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の耐熱性黒色電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62074449A JP2568837B2 (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | 耐熱性黒色電極およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62074449A JP2568837B2 (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | 耐熱性黒色電極およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63241846A true JPS63241846A (ja) | 1988-10-07 |
| JP2568837B2 JP2568837B2 (ja) | 1997-01-08 |
Family
ID=13547556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62074449A Expired - Fee Related JP2568837B2 (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | 耐熱性黒色電極およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2568837B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015071505A (ja) * | 2013-10-02 | 2015-04-16 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバの製造方法及び製造装置 |
| WO2017073147A1 (ja) * | 2015-10-28 | 2017-05-04 | 日本電気硝子株式会社 | 膜付きガラス板の製造方法 |
| CN107833934A (zh) * | 2017-12-11 | 2018-03-23 | 浙江宝利特新能源股份有限公司 | 一种用于光伏组件的膜及光伏组件和制备方法 |
-
1987
- 1987-03-30 JP JP62074449A patent/JP2568837B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015071505A (ja) * | 2013-10-02 | 2015-04-16 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバの製造方法及び製造装置 |
| WO2017073147A1 (ja) * | 2015-10-28 | 2017-05-04 | 日本電気硝子株式会社 | 膜付きガラス板の製造方法 |
| JP2017081781A (ja) * | 2015-10-28 | 2017-05-18 | 日本電気硝子株式会社 | 膜付きガラス板の製造方法 |
| CN107833934A (zh) * | 2017-12-11 | 2018-03-23 | 浙江宝利特新能源股份有限公司 | 一种用于光伏组件的膜及光伏组件和制备方法 |
| CN107833934B (zh) * | 2017-12-11 | 2023-12-19 | 浙江宝利特新能源股份有限公司 | 一种用于光伏组件的膜及光伏组件和制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2568837B2 (ja) | 1997-01-08 |
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| Date | Code | Title | Description |
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