RU2129344C1

RU2129344C1 - Люминесцентная индикаторная панель, видимая при солнечном свете (варианты)

Info

Publication number: RU2129344C1
Application number: RU95120187A
Authority: RU
Inventors: А.Бадзилик Расселл; Л.Монарчи Доминик; Шлам Эллиотт; Р.Свотсон Ричард
Original assignee: Нортроп Грамман Норден Системз Инкорпорейтед
Priority date: 1992-12-14
Filing date: 1993-12-09
Publication date: 1999-04-20
Also published as: JPH08509831A; KR960700621A; US5517080A; CA2151467A1; EP0673589A1; TW307384U; WO1994014297A1

Abstract

Использование: в устройствах отображения информации. Техническим результатом изобретения является создание индикатора больших размеров с улучшенной контрастностью, а также создание электролюминесцентной панели высокого разрешения с улучшенной контрастностью. Сущность: тонкопленочная электролюминесцентная индикаторная панель переменного тока включает металлическую вспомогательную структуру, сформированную на каждом прозрачном электроде и находящуюся в электрическом контакте с каждым прозрачным электродом и калиброванный слой светопоглощающего темного материала, которые объединены для создания индикаторной панели, видимой при солнечном свете. 2 с. и 10 з. п.ф-лы, 6 ил.

Description

Перекрестная ссылка на родственные заявки. Эта заявка связана с совместно поданными заявками: N 07/897210 от 11 июня 1992 на "Термически стабильную электродную структуру с низким сопротивлением для электролюминесцентных дисплеев"; N 07/990991 от 16 декабря 1992 г. на "Тонкопленочный электролюминесцентный дисплей, видимый при солнечном свете"; N 07/990322 от 14 декабря 1992 г. на "Тонкопленочный электролюминесцентный дисплей, видимый при солнечном свете, имеющий затемненные металлические электроды".

Область техники
Изобретение относится к электролюминесцентным индикаторным панелям, в частности обеспечивающим уменьшение отражения окружающего света для улучшения видимости панелей при солнечном свете.

Предшествующий уровень техники
Тонкопленочные электролюминесцентные /ТПЭЛ/ индикаторные панели обладают некоторыми преимуществами по сравнению с известными устройствами отображения информации, например, электронно-лучевыми трубками /ЭЛТ/ и жидкокристаллическими индкаторами /ЖКИ/. По сравнению с ЭЛТ, ТПЭЛ индикаторные панели имеют больший угол зрения, не требуют дополнительного освещения и могут иметь большую площадь изображения.

На фиг. 1 показана ТПЭЛ индикаторная панель, известная из предшествующего уровня техники. ТПЭЛ индикаторное устройство имеет стеклянную панель 10, множество прозрачных электродов 12, первый диэлектрический слой 14, люминофорный слой 16, второй диэлектрический слой 18 и множество металлических электродов 20, перпендикулярных прозрачным электродам 12. Прозрачные электроды 12 обычно выполняются из оксида индий-олово /ИОО/, а металлические электроды 20 обычно из алюминия. Диэлектрические слои 14, 18 защищают люминофорный слой 16 от избыточных постоянных токов. Когда электрический потенциал, например 200 B, прикладывается между прозрачными электродами 12 и металлическими электродами 20, электроны туннелируют с одной из поверхностей раздела между электрическими слоями 14, 18 и люминофорным слоем 16 в люминофорный слой, где они быстро ускоряются. Люминофорный слой обычно состоит из ZnS с добавкой Mn. Электроны, попадающие в люминофорный слой 16, возбуждают Mn, при этом Mn испускает фотоны. Фотоны проходят через первый диэлектрический слой 14, прозрачные электроды 12 и стеклянную панель 10, формируя видимое изображение.

Хотя современные устройства отображения ТПЭЛ подходят для ряда известных применений, более совершенные системы требуют использования индикаторных устройств с более контрастным изображением и с большей яркостью, а также больших по размеру индикаторов, наблюдаемых при солнечном свете. Один из подходов при создании такой панели, контрастной при сильном вешнем освещении, заключается в использовании фильтра - кругового поляризатора, который уменьшает отражение внешнего света. Несмотря на то, что этот проход может обеспечить приемлемую контрастность в условиях умеренной внешней освещенности, он имеет ряд недостатков, в том числе высокую стоимость и максимальное пропускание света на уровне приблизительно 37%.

Сущность изобретения
Задачей настоящего изобретения является создание индикатора, видимого при солнечном свете, что обеспечивается уменьшением отражения окружающего света и увеличением контрастности ТПЭЛ индикатора.

Настоящее изобретение обеспечивает создание ТПЭЛ индикатора больших размеров с улучшенной контрастностью, а также, создание ТПЭЛ панели высокого разрешения с улучшенной контрастностью.

Согласно настоящему изобретению в слоистую структуру ТПЭЛ индикаторной панели, имеющей прозрачные электроды с низким сопротивлением, включают комбинированный слой темного светопоглощающего материала.

В настоящем изобретении предлагается ТПЭЛ индикаторная панель, которая хорошо видна при прямом солнечном свете.

Другая характерная особенность настоящего изобретения заключается в следующем: использованием в ТПЭЛ дисплее, имеющем электроды с низким сопротивлением, калиброванного слоя темного светопоглощающего материала, (электроды с низким сопротивлением позволяют возбуждать дисплей с большей скоростью), позволяет увеличивать размеры дисплеев, например, выше обычных тридцати дюймов.

Эти и другие цели и преимущества настоящего изобретения будут понятны их последующего подробного описания предпочтительных вариантов осуществления изобретения, иллюстрируемого чертежами.

Краткое описание чертежей
На фиг. 1 представлено поперечное сечение ТПЭЛ индикаторной панели 6 известной из предшествующего уровня техники;
На фиг. 2 представлено поперечное сечение ТПЭЛ индикаторной панели, имеющей калиброванный слой из светопоглощающего темного материала и прозрачные электроды с низким сопротивлением;
На фиг. 3 представлен график зависимостей коэффициента поглощения и сопротивления калиброванного темного слоя от соотношения потоков химически активных газов;
На фиг. 4 представлено увеличенное поперечное сечение одной электронной дорожки из ИОО и связанной с ней металлической вспомогательной структуры, показаны на фиг. 2;
На фиг. 5 представлено поперечное сечение другого варианта ТПЭЛ индикатора; и
На фиг. 6 представлено поперечное сечение еще одного варианта изобретения.

Предпочтительные варианты осуществления изобретения
В одном из вариантов настоящего изобретения калиброванный слой из темного светопоглощающего материала введен в электролюминесцентную индикаторную панель для уменьшения отражения окружающего света, падающего на индикаторную панель.

Как показано на фиг. 2, металлическая вспомогательная структура 22 находится в электрическом контакте с прозрачным электродом 12 и вытянута по всей длине электрода 12. Металлическая вспомогательная структура 22 может включать один или более слоев из электропроводящего металла, совместимого с прозрачным электродом 12 и другими структурами ТПЭЛ индикаторной панели. Для уменьшения величины площади светопрозрачной структуры, покрытой металлической вспомогательной структурой 22, металлическая вспомогательная структура должна покрывать лишь малую часть прозрачного электрода 12. Например, металлическая вспомогательная структура 22 может покрывать примерно 10% или менее от площади прозрачного электрода 12. Таким образом, для обычного прозрачного электрода, который имеет ширину примерно 250 мкм /10 мил/, металлическая вспомогательная структура 22 должна перекрывать прозрачный электрод на 25 мкм /1 мил/ или менее. Предпочтительно, чтобы перекрытие составляло от 6 мкм /0,25 мил/ до 13 мкм. Хотя металлическая вспомогательная структура 22 должна перекрывать прозрачный электрод 12 как можно меньше, на практике ширина металлической вспомогательной структуры должна быть такой, чтобы уменьшать электрическое сопротивление. Например, подходящей может быть ширина металлической вспомогательной структуры 22, которая составляет от 50 мкм до 75 мкм /3 мил/. Требования к этим двум конструктивным параметрам могут быть удовлетворены, если металлическая вспомогательная структура 22 перекрывает стеклянную панель 10 так же, как и прозрачный электрод 12. Исходя из современных методов изготовления, толщина металлической вспомогательной структуры 22 должна быть равной или меньше, чем толщина первого диэлектрического слоя 16, для того, чтобы первый диэлектрический слой 16 достаточно хорошо покрывал прозрачный электрод 12 и металлическую вспомогательную структуру. Например, металлическая вспомогательная структура 22 может быть по толщине менее 250 нм. Предпочтительно, чтобы металлическая вспомогательная структура была по толщине менее 200 нм, например, толщиной между 150 нм и 200 нм. Однако при усовершенствовании методов изготовления практически можно будет изготавливать металлическую вспомогательную структуру 22 тоньше, чем первый диэлектрический слой 16.

ТПЭЛ индикаторная панель включает также калиброванный слой из темного светопоглощающего материала 24 для уменьшения количества окружающего света, отраженного алюминиевыми задними электродами 20, и, следовательно, для увеличения контрастности индикатора светопоглощающий слой 24 является калиброванным поглощающим свет слоем, а материал представляет собой всего лишь модификацию материала, используемого для второго диэлектрического слоя 18,0 а не какой-либо особый материал. Материал калиброванного темного слоя - нестехиометрический кремний оксинитрид (SiO_xN_y), который обеспечивает получение высококачественного светопоглощающего слоя, и может быть довольно легко получен путем регулирования отношения между газовыми потоками азота и аргона во время обычного процесса напыления диэлектрика. На фиг. 3 представлен график 49 сопротивления и коэффициента поглощения в зависимости от соотношения между потоками химически активных газов: азот/аргон. Сопротивление на графике отложено по линии 50, а коэффициент поглощения - по линии 52. Калиброванный слой должен иметь сопротивление по меньшей мере 10⁸ Ом/см, и коэффициент поглощения примерно 10⁵ Ом/см. Эти условия соответствуют заштрихованной области 54 на графике, где содержание азота в газовом потоке составляет 3-4%. Толщина калиброванного темного слоя должна быть примерно 2000 ангстрем. Калиброванный слой темного материала 24 должен также иметь диэлектрическую постоянную, которая по меньшей мере, равна или больше, чем диэлектрическая постоянная второго диэлектрического слоя 18, а предпочтительно, имеет диэлектрическую постоянную больше семи.

Как показано на фиг. 4, предпочтительный вариант металлической вспомогательной структуры 22 представляет собой слоистую структуру из адгезионного слоя 26, первого слоя тугоплавкого металла 28, основного проводящего слоя 30 и второго слоя тугоплавкого металла 32. Адгезионный слой 26 способствует связыванию металлической вспомогательной структуры 22 со стеклянной панелью 10 и прозрачным электродом 12. Он может содержать любой электропроводящий металла или сплав, который может образовывать связь со стеклянной панелью 10, прозрачным электродом 12 и первым тугоплавким металлическим слоем 28 без создания напряжений, которые могут привести к отставанию адгезионного слоя 26 или любого другого слоя от этих структур. Подходящими металлами являются Cr, V и Ti. Cr более предпочтителен, потому что он легко испаряется и обладает хорошей адгезией. Предпочтительно, чтобы адгезионный слой 26 был как можно тоньше, при условии, чтобы он образовывал стабильную связь со структурами, с которыми он контактирует. Например, адгезионный слой 26 может иметь толщину от 10 нм до 20 нм. Если первый тугоплавкий металлический слой 28 может образовывать стабильные, слабонапряженные связи со стеклянной панелью 10 и прозрачным электродом 12, адгезионный слой 26 может не потребоваться. В этом случае металлическая вспомогательная структура может иметь только три слоя: два тугоплавких слоя 28, 32 и основной проводящий слой 30.

Тугоплавкие металлические слои 28, 32 защищают основной проводящий слой 30 от окисления и препятствуют диффузии основного проводящего слоя в первый диэлектрический слой 14 и люминофорный слой 16, когда индикатор отжигается для активизации люминофорного слоя, как показано ниже. Следовательно, тугоплавкие металлические слои 28, 32 должны содержать металл или сплав, который является стабильным при температуре отжига, может препятствовать проникновению кислорода в основной проводящий слой 30 и может препятствовать диффузии основного проводящего слоя 30 в первый диэлектрический слой 14 или в люминофорный слой 16. Подходящие металлы содержат W, Mo, Ta, Rh, и Os. Оба тугоплавких металлических слоя могут быть толщиной до 50 нм. Поскольку сопротивление тугоплавкого металлического слоя может быть выше, чем сопротивление основного проводника 30, тугоплавкие металлические слои 28, 32 должны быть как можно тоньше, так чтобы основной проводящий слой 30 был наиболее тонким, насколько это возможно. Предпочтительно, тугоплавкие металлические слои 28, 32 будут толщиной от 20 нм до 40 нм.

Основной проводящий слой 30 проводит большую часть тока через металлическую вспомогательную структуру 22. Он может быть выполнен из любого хорошо проводящего металла или сплава, например из Al, Cu, Ag или Au. Алюминий является предпочтительным, потому, что он имеет высокую проводимость, низкую стоимость и подходит для последующей обработки. Основной проводящий слой 30 должен быть как можно тоньше для минимизации проводимости металлической вспомогательной структуры 22. Его толщина ограничивается полной толщиной металлической вспомогательной структуры 22 и толщинами других слоев. Например, толщина основного проводящего слоя 30 может быть до 200 нм. Предпочтительно, чтобы толщина основного проводящего слоя 30 была от 50 нм до 180 нм.

ТПЭЛ индикатор согласно настоящему изобретению может быть изготовлен любым способом, который обеспечивает формирование необходимой структуры. Прозрачные электроды 12, диэлектрические слои 14, 18, люминофорный слой 16 и металлические электроды 20 могут быть выполнены с помощью обычных методов, известных специалистам, работающим в этой области техники. Металлическая вспомогательная структура 22 может быть выполнена методом обратного травления, методом обратной литографии или другим подходящим методом.

Первый этап при изготовлении ТПЭЛ дисплея, который показан на фиг. 2, заключается в нанесении слоя прозрачного проводника на подходящую стеклянную панель 10. Стеклянная панель может быть из любого высокотемпературного стекла, которое может выдерживать описанный ниже этап отжига люминофора. Например, стеклянная панель может быть из боросиликатного стекла, такого как Corning 7059 /Corning Glassworks, NY/. Прозрачный проводник может быть из любого подходящего материала, который является электропроводящим и имеет достаточное оптическое пропускание для требующегося применения. Например, прозрачный проводник может быть ИОО, полупроводником переходного металла, который содержит примерно 10 мольных процентов индия. Он является электрическим проводником и имеет оптическое пропускание примерно 85% при толщине 200 нм. Прозрачный проводник может быть любой подходящей толщины, чтобы он полностью покрывал стекло и обеспечивал необходимую проводимость. Стеклянные панели с нанесенным слоем ИОО поставляются компанией Donnelly Corporation, Holland /M1/. Остальная процедура изготовления ТПЭЛ индикатора, согласно настоящему изобретению будет описана для случая использования ИОО для прозрачных электродов. Специалисту должно быть понятно, что способ изготовления ТПЭЛ индикатора будет аналогичным и для других прозрачных проводников.

ИОО электроды 12 могут быть сформированы в слое ИОО с помощью обычного метода обратного травления или любого другого подходящего метода. Например, часть слоя ИОО, которая образует ИОО электроды 12, может быть очищена и покрыта маской для травления. Маска для травления может быть выполнена путем нанесения подходящего фоторезистивного реактива на слой ИОО, выдержки реактива фоторезистора при соответствующей длине световой волны и проявления реактива фоторезиста. Для осуществления настоящего изобретения может быть использован реактив фоторезиста, который содержит 2-этоксиэтил ацетат, n - бутил ацетат, ксилен и ксилол в качестве основных ингредиентов. Одним из таких фоторезистивных реактивов является фоторезист AZ 4210 компании Hoechst Celanese Corp. (Somerville, N.Y.). AZ проявитель компании Hoechst Celanese Corp. подходит для использования с фоторезистом AZ 4210. Другие промышленно выпускаемые фоторезистивные химикаты и проявители также могут использоваться при осуществлении настоящего изобретения. Непокрытые маской части ИОО удаляются с помощью реактива для травления, при этом образуются каналы в слое ИОО, которые определяют стороны ИОО электродов 12. Реактив для травления должен удалять не покрытые маской части ИОО без повреждения частей ИОО, покрытых маской, или стекла под частью ИОО, не покрытой маской. Подходящие реактивы для травления ИОО могут быть приготовлены путем смешивания 1000 мл H₂O, примерно 2000 мл HCl и примерно 370 г ангидрида FeCl₃. Такой реактив для травления особенно эффективен, когда он используется при 55^oC. Время, необходимое для удаления ИОО, не покрытого маской, зависит от толщины ИОО слоя. Например, слой ИОО толщиной 300 нм может быть удален за 2 мин. Стороны ИОО электродов 12 должны быть скошены, как показано на чертежах, для того, чтобы первый диэлектрический слой мог в достаточной степени покрыть ИОО электроды. Размер и промежутки между ИОО электродами 12 зависят от размеров ТПЭЛ индикатора. Например, обычный индикатор высотой 12,7 см /5 дюйм/ и шириной 17,8 см /7 дюйм/ может иметь ИОО электроды 12, толщиной 320нм, шириной 250 мкм /10 мил/, при этом расстояние между электродами равно 125 мкм /5 мил/. После травления маска для травления удаляется с помощью подходящего раствора для снятия верхнего слоя, например, содержащего тераметиламмоний гидроксид. Раствор для удаления фоторезиста AZ 400T компании Hoechst Celanese Corp. является промышленно выпускаемым продуктом, подходящим для применения вместе с фоторезистом AZ 4210. Другие промышленно выпускаемые растворы для удаления верхнего слоя также могут использоваться при осуществлении настоящего изобретения.

После формирования ИОО электродов 12 поверх ИОО электродов наносятся слои металлов, которые будут формировать металлическую вспомогательную структуру. Эти слои наносятся любым традиционным методом, обеспечивающим получение слоев однородных по составу и сопротивлению. Подходящими методами являются распыление и термическое испарение. Предпочтительно, чтобы все металлические слои наносились в один прием для обеспечения адгезии за счет предохранения от окисления или поверхностного загрязнения поверхностей раздела металлов. Может использоваться спарительная установка с электронным лучом, например Модель VES-2550 (Airco Temescal, Berkeley, CA) или другая подходящая установка, которая имеет три или более источников металлов. Металлические слои должны наноситься требующейся толщины по всей поверхности панели в том порядке, в котором они примыкают к ИОО.

Металлические вспомогательные структуры 22 могут быть сформированы в металлических слоях с помощью подходящего метода, включая метод обратного травления. Части металлических слоев, которые станут металлическими вспомогательными структурами 22, могут покрываться маской для травления, изготовленной из промышленно выпускаемых фоторезистисных реактивов по традиционным технологиям. Для формирования маски металлических вспомогательных структур могут использоваться те же методы и реактивы, что и для масок ИОО. Не закрытые маской части металлических слоев удаляются с помощью ряда растворов для травления в обратном порядке по сравнению с очередностью их нанесения. Реактивы для травления должны удалять только один, не закрытый маской слой, не повреждая другой металлический слой на панели. Подходящий реактив для травления W можно приготовить путем смешивания 400 мл H₂O, 5 мл 30-процентного /вес. %/ раствора H₂O₂, 3 г KH₂PO₄ и 2 г KOH. Такой раствор для травления, который особенно эффективен при 40^oC, может удалить тугоплавкий металлический слой W толщиной 40 нм за 30 сек. Подходящий реактив для травления алюминия можно приготовить, смешав 25 мл H₂O, 160 мл H₃PO₄, 10 мл HNO₃ и 6 мл CH₃COOH. Этот реактив для травления, который эффективен при комнатной температуре, может удалить 120 нм основного проводящего слоя из алюминия за 3 мин. Для слоя Cr может использоваться промышленно выпускаемый реактив для травления Cr, который содержит HClO₄ и Ce(NH₄)₂(NH₃)₆. Фотомаска CR-7/Cyantek Corp. , Fremont, CA/ - один из реагентов травления Cr, подходящих для настоящего изобретения. Этот реактив для травления особенно эффективен при 40^oC. Другие промышленно выпускаемые реактивы для травления Cr также могут подходить для настоящего изобретения. Как и у ИОО электродов 12, стороны металлических вспомогательных структур 22 должны скашиваться для обеспечения адекватного ступенчатого покрытия.

Диэлектрические слои 14, 18 и люминофорный слой 16 могут наноситься на ИОО линии 12 и металлические вспомогательные структуры 22 любым подходящим традиционным способом, включая распыление, или термическим испарением. Два диэлектрических слоя 14, 18 могут быть любой подходящей толщины, например от 80 нм до 250 мн, и могут содержать любой диэлектрик, способный работать как емкость для защиты люминофорного слоя 16 от избыточных постоянных токов. Предпочтительно, чтобы диэлектрические слои 14, 18 были толщиной 200 нм и содержали SiON. Люминофорный слой 16 может быть из любого обычного ТПЭЛ люминоформа, например ZnS с добавкой менее 1% Mn, и может быть любой подходящей толщины. Предпочтительно, толщина люминофорного слоя равна, 500 нм. После того, как эти слои нанесены, индикатор должен нагреваться до 500^oC в течение 1 часа для отжига люминофора. Отжиг люминофора приводит к перемещению атомов Mn в места, занимаемые Zn в решетке ZnS, откуда они при возбуждении могут испускать фотоны.

После отжига люминофорного слоя 16 на втором диэлектрическом слое 18 формируют металлические электроды 20 любым подходящим методом, включая травление или обратную литографию. Металлические электроды 20 могут быть выполнены из любого хорошо проводящего металла, например из алюминия. Как и для ИОО электродов 12, размер металлических электродов и расстояние между ними зависят от размеров индикатора. Например, обычный ТПЭЛ индикатор высотой 12,7 см /5 дюйм/ и шириной 17,8 см /7 дюйм/ может иметь металлические электроды 20 толщиной по 100 нм, шириной 250 мкм /10 мил/ и межэлектродные промежутки 125 мкм /5 мил/. Металлические электроды 20 должны быть перпендикулярны ИОО электродам 102, так чтобы образовывалась решетка.

На фиг. 5 показан другой вариант осуществления настоящего изобретения. В этом варианте изображение можно наблюдать со стороны цветного фильтра 38 индикатора, а не со стороны стеклянной панели 10. Цветной фильтр 38 позволяет получить многоцветное изображение, а не моноцветное. В этом варианте изобретения алюминиевые электроды 20 расположены на стеклянной панели 10, на алюминиевых электродах 20 - калиброванный слой светопоглощающего материала 24, затем слой первого диэлектрического материала 14, который покрывает слой темного материала 24. Люминофорный слой 16 размещен между слоем первого диэлектрического материала 14 и слоем второго диэлектрического материала 18. Множество прозрачных электродов 12, каждый из которых включает металлическую вспомогательную структуру 22, показанную на фиг. 4, размещены на слое второго диэлектрического материала 18. Выравнивающий слой 39 расположен поверх непокрытых частей второго диэлектрического слоя 18, прозрачных электродов 12 и металлических вспомогательных структур 22, так что образуется плоская поверхность, на которой размещен цветной фильтр 38, например стеклянная пластина с красными и зелеными полосками, примыкающими одна к другой. Выравнивающий слой 39 может включать такие материалы, как например стекловолокно, прозрачный полимерный материал или жидкое стекло. Специалисту в этой области техники понятно, как модифицировать способ изготовления индикатора, подобного тому, который показан на фиг. 5. Например, специалисту должно быть понятно, что прозрачные электроды 12 могут быть сформированы на втором диэлектрическом слое 18 после отжига алюминофорного слоя 16.

На фиг. 16 показан еще один вариант настоящего изобретения. Вариант на фиг. 6 аналогичен варианту, показанному на фиг. 2, эти два варианта отличаются главным образом тем, что изменяемый темный слой 24 и второй диэлектрический слой 18 поменялись местами. Оставшиеся слои в варианте, показанном на фиг. 6, включает те же или в значительной степени те же материалы, что и в варианте на фиг. 2.

Кроме вариантов, показанных на фиг. 2, 5 и 6 ТПЭЛ индикатор согласно настоящему изобретению может иметь любые другие конфигурации, которые могли быть полезны и которые представляют собой комбинацию электродов с низким сопротивлением и светопоглощающего темного материала, например в виде калиброванного слоя из светопоглощающего темного материала.

Настоящее изобретение обладает некоторыми преимуществами перед известными техническими решениями. Например, комбинируя низкорезистивные электроды с калиброванным светопоглощающим слоем темного материала, можно изготовить ТПЭЛ индикаторы различных размеров с большой яркостью. Это делает возможным изготовление больших по размеру индикаторов, например 91 см /36 дюйм/ на 91 см, поскольку электроды с низким сопротивление могут обеспечить для всех частей панели ток, достаточный для того, что вся панель имела одинаковую яркость, а материал калиброванного темного слоя уменьшает отражение окружающего света и улучшает контрастность панели. Индикатор с низкорезистивными электродами и темным слоем может оказаться решающим при достижении такой контрастности, которая достаточна для создания тонкопленочного электролюминесцентного индикатора, видимого при солнечном свете.

Несмотря на то, что изобретение раскрыто на примерах предпочтительных вариантов его осуществления, специалистам в этой области техники должно быть понятно, что могут быть сделаны различные изменения, исключения и добавления в раскрытых вариантах, без изменения сущности настоящего изобретения.

Claims

1. Электролюминесцентная индикаторная панель, видимая при солнечном свете, содержащая стеклянную подложку с рядом расположенных на ней параллельных прозрачных электродов с нанесенным первым диэлектрическим слоем, покрытым слоем люминофорного материала, на который нанесен второй диэлектрический слой, калиброванный слой светопоглощающего темного материала, нанесенный на второй диэлектрический слой для уменьшения отраженного света, а также ряд параллельных металлических электродов, каждый из которых нанесен поверх слоя светопоглощающего темного материала, отличающаяся тем, что каждый прозрачный электрод снабжен металлической вспомогательной структурой, сформированной на части прозрачного электрода и находящейся в электрическом контакте с частью прозрачного электрода.

2. Панель по п.1, отличающаяся тем, что каждая из металлических вспомогательных структур содержит первый тугоплавкий металлический слой, основной проводящий слой, сформированный на первом тугоплавком слое, и второй тугоплавкий металлический слой, сформированный на основном проводящем слое, при этом первый и второй тугоплавкие металлические слои предназначены для защиты основного проводящего слоя от окисления.

3. Панель по п.2, отличающаяся тем, что металлическая вспомогательная структура дополнительно содержит адгезионный слой, сформированный между первым тугоплавким металлическим слоем и прозрачным электродом, при этом адгезионный слой обеспечивает сцепление с прозрачным электродом с первым тугоплавким металлическим слоем.

4. Панель по любому из пп.1 - 3, отличающаяся тем, что металлическая вспомогательная структура покрывает 10% или менее прозрачного электрода.

5. Панель по любому из пп.1 - 4, отличающаяся тем, что слой светопоглощающего темного материала выполнен из PbMnO₃.

6. Панель по любому из пп.1 - 5, отличающаяся тем, что слой светопоглощающего темного материала имеет сопротивление по меньшей мере 10⁸ Ом/см.

7. Панель по любому из пп.1 - 6, отличающаяся тем, что слой светопоглощающего темного материала имеет диэлектрическую постоянную, по меньшей мере равную семи.

8. Панель по любому из пп.1 - 7, отличающаяся тем, что слой светопоглощающего темного материала имеет коэффициент поглощения 10⁵ Ом/см.

9. Панель по любому из пп.1 - 4, отличающаяся тем, что слой светопоглощающего темного материала выполнен из GeN.

10. Панель по любому из пп.1 - 4, отличающаяся тем, что края металлической вспомогательной структуры скошены.

11. Панель по любому из пп.1 - 4, отличающаяся тем, что калиброванный слой светопоглощающего темного материала содержит нестехиометрический кремний оксинитрид SiO_xNg.

12. Электролюминесцентная индикаторная панель, видимая при солнечном свете, с обратным направлением наблюдения, содержащая стеклянную подложку с рядом поверх нее нанесенных параллельных металлических электродов, калиброванный слой светопоглощающего темного материала, сформированный поверх каждого из ряда металлических электродов и свободных частей стеклянной подложки, с нанесенным первым диэлектрическим слоем, покрытым слоем люминофорного материала, на который нанесен второй диэлектрический слой, а также ряд параллельных прозрачных электродов, нанесенных на второй диэлектрический слой, отличающаяся тем, что каждый из прозрачных электродов имеет металлическую вспомогательную структуру, сформированную на части прозрачных электродов и находящуюся в электрическом контакте с частью прозрачных электродов, и тем, что предусмотрен выравнивающий слой, нанесенный на каждый из ряда параллельных прозрачных электродов и свободные части второго диэлектрического материала для создания плоской поверхности.