JPH0215519A - セラミックス超電導体の導電体接合膜形成法 - Google Patents
セラミックス超電導体の導電体接合膜形成法Info
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Landscapes
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、B1−Ca −5r−Cu −0系セラミ
ックス超電導体またはTt−Ca −Sr −Cu −
0系セラミックス超電導体に、良好な電気接合または接
触がなされるための導電体接合膜を形成する方法に関す
るものである。
ックス超電導体またはTt−Ca −Sr −Cu −
0系セラミックス超電導体に、良好な電気接合または接
触がなされるための導電体接合膜を形成する方法に関す
るものである。
近年、 B1−Ca−Sr−Cu−0系セラミックス超
電導体およびTL−Ca−Ba−Cu −0系セラミッ
クス超電導体が提案されたことは広く知られているとこ
ろである。
電導体およびTL−Ca−Ba−Cu −0系セラミッ
クス超電導体が提案されたことは広く知られているとこ
ろである。
上記B1−Ca −Sr−Cu −0系セラミックス超
電導体は、まず、原料粉末としてB1酸化物(以下。
電導体は、まず、原料粉末としてB1酸化物(以下。
Bi2O5で示す) 、 Ca炭酸塩(以下、CaCO
3で示す)。
3で示す)。
Sr炭酸塩(以下、 SrCO3で示す)およびCu酸
化物(以下、 CUOで示す)の粉末を用意し、これら
原料粉末を所定の割合に配合し、混合し、この混合粉末
を温度ニア00〜800℃の範囲内で大気中12時間保
持の焼成処理したのち、粉砕してB1−Ca−Sr −
Cu −0系超を専酸化物粉末とし、ついで。
化物(以下、 CUOで示す)の粉末を用意し、これら
原料粉末を所定の割合に配合し、混合し、この混合粉末
を温度ニア00〜800℃の範囲内で大気中12時間保
持の焼成処理したのち、粉砕してB1−Ca−Sr −
Cu −0系超を専酸化物粉末とし、ついで。
この超電導酸化物粉末を原料粉末としてプレス成形によ
シ圧粉体とし、これを焼結することによシ製造されるこ
とはよく知られているところである。
シ圧粉体とし、これを焼結することによシ製造されるこ
とはよく知られているところである。
さらに、 TL−Ca −Ba−Cu −0系セラミッ
クス超電導体についても、原料粉末としてTt酸化物(
以下、Tb2O3で示す) 、CaCO3、BaCO3
およびCuOの各粉末を用意し、所定の割合に配合し、
混合した後、この混合粉末に600〜700℃の範囲内
の温度に大気中所定時間保持の焼成処理を施し。
クス超電導体についても、原料粉末としてTt酸化物(
以下、Tb2O3で示す) 、CaCO3、BaCO3
およびCuOの各粉末を用意し、所定の割合に配合し、
混合した後、この混合粉末に600〜700℃の範囲内
の温度に大気中所定時間保持の焼成処理を施し。
粉砕してTt−Ca−Ba−Cu −0系超1!樽酸化
物粉末とし、この超電導酸化物粉末を用いて上記Bi
−Ca−Sr−Cu−0系超電専酸化物と同様に製造す
る仁とができることも知られている。
物粉末とし、この超電導酸化物粉末を用いて上記Bi
−Ca−Sr−Cu−0系超電専酸化物と同様に製造す
る仁とができることも知られている。
このようにして得られたB1−Ca −Sr−Cu−〇
系セラミックス超1!導体またはTL−Ca −Ba
−Cu −0系セラミックス超1!導体にリード線を接
合する場合には、上記セラミックス超電導体の電気的接
合部表面に、 Ag 、 Au、Cu等を蒸着すること
によシ導電体接合膜を形成し、上記蒸着による導電体接
合膜の表面1cInハンダ等でリード線をろう付けし。
系セラミックス超1!導体またはTL−Ca −Ba
−Cu −0系セラミックス超1!導体にリード線を接
合する場合には、上記セラミックス超電導体の電気的接
合部表面に、 Ag 、 Au、Cu等を蒸着すること
によシ導電体接合膜を形成し、上記蒸着による導電体接
合膜の表面1cInハンダ等でリード線をろう付けし。
セラミックス超電導体への電流の供給および流出を行な
っていた。
っていた。
ところが、上記B1−Ca −Sr −Cu −0系ま
たはTt−Ca−Ba−Cu−0系セラミックス超電導
体への蒸着による導電体接合膜の形成は、蒸着が真空雰
囲気中の高温で行なわれるために、上記セラミックス超
電導体中に内在する酸素が飛散し、安定していると言わ
れているBi −Ca −Sr −Cu−0系またはT
A −Ca−Ba −Cu −0系セラミックス超電導
体の超電導特性が不安定かつ劣化し、この蒸着膜形成中
の酸素飛散を防止するために可能な限シ室温に近い温度
で行なうと、付着強度の弱い蒸着膜が形成されると1い
う問題点があった。
たはTt−Ca−Ba−Cu−0系セラミックス超電導
体への蒸着による導電体接合膜の形成は、蒸着が真空雰
囲気中の高温で行なわれるために、上記セラミックス超
電導体中に内在する酸素が飛散し、安定していると言わ
れているBi −Ca −Sr −Cu−0系またはT
A −Ca−Ba −Cu −0系セラミックス超電導
体の超電導特性が不安定かつ劣化し、この蒸着膜形成中
の酸素飛散を防止するために可能な限シ室温に近い温度
で行なうと、付着強度の弱い蒸着膜が形成されると1い
う問題点があった。
そこで1本発明者等は、上記セラミックス超電導体の超
電導特性を不安定かつ劣化せしめることなくセラミック
ス超電導体の表面に導電体接合膜を形成すべく研究を行
なった結果。
電導特性を不安定かつ劣化せしめることなくセラミック
ス超電導体の表面に導電体接合膜を形成すべく研究を行
なった結果。
焼結前のBi −Ca −3r −Cu −0系超を導
酸化物粉末またはTt−Ca −Ba −Cu −0系
超電導酸化物粉末の成形体(例えば、圧粉体、ドクター
ブレード法により得られたシート状成形体、スクリーン
印刷法により得られた印刷体等)の表面に、導電材料ペ
ーストを塗布し、上記導電材料は−ストを塗布した成形
体を焼結すると、上記超電導酸化物粉末の成形体は焼結
してセラミックス超電導体になると同時に上記塗布され
た導電材料は−ストは焼付けられ、B1−Ca−Sr
−Cu −0系またはTL−Ca −Ba−Cu −0
系セラミックス超電導体の表面に付着強度のすぐれた導
電体接合膜が形成されるという知見を得たのである。
酸化物粉末またはTt−Ca −Ba −Cu −0系
超電導酸化物粉末の成形体(例えば、圧粉体、ドクター
ブレード法により得られたシート状成形体、スクリーン
印刷法により得られた印刷体等)の表面に、導電材料ペ
ーストを塗布し、上記導電材料は−ストを塗布した成形
体を焼結すると、上記超電導酸化物粉末の成形体は焼結
してセラミックス超電導体になると同時に上記塗布され
た導電材料は−ストは焼付けられ、B1−Ca−Sr
−Cu −0系またはTL−Ca −Ba−Cu −0
系セラミックス超電導体の表面に付着強度のすぐれた導
電体接合膜が形成されるという知見を得たのである。
この発明は、かかる知見にもとづいてなされたものであ
って。
って。
il) B i 203粉末、 CaCO3粉末、
SrCO3粉末およびCuO粉末を所定の割合に配合し
、混合したのち、この混合粉末を焼成処理し、粉砕して
B1−Ca −Sr−Cu−0系超′#L4酸化物粉末
とし、この超を専酸化物粉末を成形して成形体とし。
SrCO3粉末およびCuO粉末を所定の割合に配合し
、混合したのち、この混合粉末を焼成処理し、粉砕して
B1−Ca −Sr−Cu−0系超′#L4酸化物粉末
とし、この超を専酸化物粉末を成形して成形体とし。
ついで上記成形体の表向に、4m材料イーストを塗布し
た後、焼結することによすB1−Ca−Sr−Cu−0
系セラミックス超電導体に導電体接合膜を形成する方法
。
た後、焼結することによすB1−Ca−Sr−Cu−0
系セラミックス超電導体に導電体接合膜を形成する方法
。
および
(2) Tt203粉末、 CaCO3粉末、 Ba
CO3粉末およびCuO粉−末を所定の割合に配合し、
混合したのち。
CO3粉末およびCuO粉−末を所定の割合に配合し、
混合したのち。
この混合粉末を焼成処理し、粉砕してTjt−Ca −
Ba−Cu−0系超電導酸化物粉末とし、この超電導酸
化物粉末を成形して成形体とし。
Ba−Cu−0系超電導酸化物粉末とし、この超電導酸
化物粉末を成形して成形体とし。
ついで上記成形体の表面に、導電材料R−ストを塗布し
た後、焼結することによりTt−Ca −Ba −Cu
−0系セラミックス超電導体に導電体接合膜を形成する
方法。
た後、焼結することによりTt−Ca −Ba −Cu
−0系セラミックス超電導体に導電体接合膜を形成する
方法。
に特徴を有するものである。
上記成形体とは、 B1−Ca −Sr −Cu −0
系超電導酸化物粉末またはTL−Ca −Ba −Cu
−0系超電導酸化物粉末をプレス成形して得られた圧
粉体、ドクターブレード法により得られた上記超電導酸
化物粉末に一スト層を加熱乾燥して得られたシート状成
形体、スクリーン印刷法によシ得られた印刷体。
系超電導酸化物粉末またはTL−Ca −Ba −Cu
−0系超電導酸化物粉末をプレス成形して得られた圧
粉体、ドクターブレード法により得られた上記超電導酸
化物粉末に一スト層を加熱乾燥して得られたシート状成
形体、スクリーン印刷法によシ得られた印刷体。
泥しよう法による射出成形体の乾燥体等、 Bi’−C
a−Sr−Cu−0系超電導酸化物粉末またはTt−C
a−Ba−Cu−0系超電導酸化物粉末を適当な方法で
所定の形状に成形したものをいう。
a−Sr−Cu−0系超電導酸化物粉末またはTt−C
a−Ba−Cu−0系超電導酸化物粉末を適当な方法で
所定の形状に成形したものをいう。
さらに、上記導電材料ペーストとはh AgまたはAg
合金、 AuまたはAu合金、 Pd’fiたはPd合
金等の良導電材料粉末を有機溶剤に混合したものである
が。
合金、 AuまたはAu合金、 Pd’fiたはPd合
金等の良導電材料粉末を有機溶剤に混合したものである
が。
一般に、平均粒径:0,5〜10μ溝のAg粉末釦有m
iJ剤、Nえば、エチルセルロース、テレピン油。
iJ剤、Nえば、エチルセルロース、テレピン油。
ブチルカルピトールアセテ−)、PVA(ポリビニルア
ルコール)等に混合したAgペーストが最も多く使用さ
れる。
ルコール)等に混合したAgペーストが最も多く使用さ
れる。
つぎに、この発明を実施例にもとづいて具体的に説明す
る。
る。
原料粉末として、いずれも平均粒径:lOμ准のBi2
O3粉末、 ’rz2o3粉末、 CaCO3粉末、S
rco 3扮末、 BaCO3粉末およびCuO粉末
を用意した。
O3粉末、 ’rz2o3粉末、 CaCO3粉末、S
rco 3扮末、 BaCO3粉末およびCuO粉末
を用意した。
実施例1
これら原料粉末のうちBi2O3粉末、 CaCO3粉
末。
末。
BrCO5粉末およびCuO粉末t’s 5i2o3粉
末:53.4%、 CaCO3粉末: l L 5 %
、 SrCO3粉末:16.9チおよびCuO粉末二
18,2チ(以上重量%)の割合で配合し、混合し、こ
の混合粉末を大気中、温度二800℃、12時間保持の
条件で焼成処理を行なってB1−Ca −Sr −Cu
−0系超電導酸化物を作成し、ついで、このBi −
Ca −Sr −Cu −0系超電導酸化物を粉砕して
、平均粒径:5μ講のBi −Ca −Sr−Cu−0
系超電導酸化物粉末を製造した。
末:53.4%、 CaCO3粉末: l L 5 %
、 SrCO3粉末:16.9チおよびCuO粉末二
18,2チ(以上重量%)の割合で配合し、混合し、こ
の混合粉末を大気中、温度二800℃、12時間保持の
条件で焼成処理を行なってB1−Ca −Sr −Cu
−0系超電導酸化物を作成し、ついで、このBi −
Ca −Sr −Cu −0系超電導酸化物を粉砕して
、平均粒径:5μ講のBi −Ca −Sr−Cu−0
系超電導酸化物粉末を製造した。
このB1−Ca−3r−Cu −0系超電導酸化物粉末
をプレス成形して、たて:3111X横二8鵡X長さ=
30u+の圧粉体を2個成形し、この2個の圧粉体のう
ちの一方の圧粉体の両端部にAgペーストを塗布し、他
方の圧粉体にはAgペーストを塗布せずに。
をプレス成形して、たて:3111X横二8鵡X長さ=
30u+の圧粉体を2個成形し、この2個の圧粉体のう
ちの一方の圧粉体の両端部にAgペーストを塗布し、他
方の圧粉体にはAgペーストを塗布せずに。
共に大気中、温度=850℃、15時間保持の条件にて
焼結した。
焼結した。
上記Agペーストは、平均粒径:3μm12)Ag扮末
に、有機溶剤としてブチルカルピトールアセテートおよ
びエチルセルロースを20ffi量1添加混合して製造
したものを用いた。
に、有機溶剤としてブチルカルピトールアセテートおよ
びエチルセルロースを20ffi量1添加混合して製造
したものを用いた。
上記焼結された圧粉体は、 B1−Ca −Sr−Cu
−0系セラミックス超電専体とな)、上記一方の圧粉
体の両端に塗布したAgペーストは、上記セラミックス
超電導体の両端に付着強度のすぐれたAg薄膜として焼
付けられていた。
−0系セラミックス超電専体とな)、上記一方の圧粉
体の両端に塗布したAgペーストは、上記セラミックス
超電導体の両端に付着強度のすぐれたAg薄膜として焼
付けられていた。
上記セラミックス超電導体の両端部表面に形成されたA
g薄膜にInろう材を用いてAgワイヤを接続し、上記
セラミックス超電導体の超電導特性を測定した。その結
果を第1表に示す。
g薄膜にInろう材を用いてAgワイヤを接続し、上記
セラミックス超電導体の超電導特性を測定した。その結
果を第1表に示す。
従来例1
一方、従来例として、上記実施例1で製造した他方のA
g#膜のないセラミックス超電導体の両端部に、通常の
蒸着法によりAg蒸着薄膜を形成し、上記Ag蒸着薄膜
にInろう材を用いてAgワイヤを接続し、上記セラミ
ックス超1JL纏体の超電導特性を測定し、その結果も
第1表に示した。
g#膜のないセラミックス超電導体の両端部に、通常の
蒸着法によりAg蒸着薄膜を形成し、上記Ag蒸着薄膜
にInろう材を用いてAgワイヤを接続し、上記セラミ
ックス超1JL纏体の超電導特性を測定し、その結果も
第1表に示した。
第
表
実施例2
上記原料粉末のうち、Tt、203粉末、 CaCO3
粉末。
粉末。
B a CO5粉末、およびCuO粉末を。
’rz2o3粉末: 35.4 % 、 CaCO3
粉末:15,5%。
粉末:15,5%。
BaCO3粉末:30.6%およびCuO扮末二18.
5 %(以上重量Ls)の割合で配合し、混合し、この
混合粉末を酸素雰囲気中、温度二り00℃、10時間保
持の条件で焼成処理し、 Tt−Ca−Ba−Cu −
0系超電導酸化物を作成し、ついで、このTL−Ca
−Ba−Cu−0糸類11L4m化物を粉砕して平均粒
径:5μmのTA −Ca−Ba −Cu −0系超電
導酸化物粉末を製造した。
5 %(以上重量Ls)の割合で配合し、混合し、この
混合粉末を酸素雰囲気中、温度二り00℃、10時間保
持の条件で焼成処理し、 Tt−Ca−Ba−Cu −
0系超電導酸化物を作成し、ついで、このTL−Ca
−Ba−Cu−0糸類11L4m化物を粉砕して平均粒
径:5μmのTA −Ca−Ba −Cu −0系超電
導酸化物粉末を製造した。
このTt−Ca −Ba −Cu −0系超を4酸化物
粉末をプレス成形して、たて:5B×横:8UIX長さ
23010mの圧粉体を2個成形し、この2mの圧粉体
のうち、一方の圧粉体の両端部にAgペーストを塗布し
、他方の圧粉体にはAgバーストを塗布せずに。
粉末をプレス成形して、たて:5B×横:8UIX長さ
23010mの圧粉体を2個成形し、この2mの圧粉体
のうち、一方の圧粉体の両端部にAgペーストを塗布し
、他方の圧粉体にはAgバーストを塗布せずに。
共に酸素雰囲気中、温度:900℃、3時間保持の条件
にて焼結した。
にて焼結した。
上記Agば一ストは、平均粒径:3μmのAg粉末に、
有機溶剤としてブチルカルピトールアセテートおよびエ
チルセルロースを20重量%添加混合して製造したもの
を用いた。
有機溶剤としてブチルカルピトールアセテートおよびエ
チルセルロースを20重量%添加混合して製造したもの
を用いた。
上記焼結された圧粉体は、 T4−Ca −Ba−C’
u −0系セラミックス超電導体となり、上記一方の圧
粉体の両端に塗布したAgイーストは、上記セラミック
ス超t4体の両端に付着強度のすぐれたAgW膜として
焼付けられていた。
u −0系セラミックス超電導体となり、上記一方の圧
粉体の両端に塗布したAgイーストは、上記セラミック
ス超t4体の両端に付着強度のすぐれたAgW膜として
焼付けられていた。
上記セラミックス超電導体の両端部表面に形成されたA
g薄膜にInろう材を用いてAgワイヤを接続し、上記
セラミックス超電導体の超電導特性を測定した。その結
果を第2表に示す。
g薄膜にInろう材を用いてAgワイヤを接続し、上記
セラミックス超電導体の超電導特性を測定した。その結
果を第2表に示す。
従来例2
一方、従来例として、上記実施例2で製造したAg薄膜
のない他方のTL−Ca−Ba−Cu −0系セラミッ
クス超ML4体の両端部に1通常の蒸着法によ9kgM
M薄膜を形成し、上記Ag蒸着薄膜にInろう材を用い
てAgワイヤを接続し、上記セラミックス超電導体の超
1導特性を測定し、その結果も42表に示した。
のない他方のTL−Ca−Ba−Cu −0系セラミッ
クス超ML4体の両端部に1通常の蒸着法によ9kgM
M薄膜を形成し、上記Ag蒸着薄膜にInろう材を用い
てAgワイヤを接続し、上記セラミックス超電導体の超
1導特性を測定し、その結果も42表に示した。
第 2 表
上記第1表および第2表の結果からs Ag薄膜をセラ
ミックス超電導体表面に従来例の蒸着法により形成する
と、セラミックス超電導体の超電導特性が劣化するに対
し、この発明の実施例1および実施例2のようにAg−
Jニーストを、 B1−Ca−Sr −Cu−0系超t
4酸化物粉末またはTt−Ca−Ba−Cu −0系超
電導酸化物粉末の圧粉体を焼結と同時に焼付けてAg接
合膜を形成するとセラミックス超1碑体の超1!導特性
の劣化がみられないことがわかる。
ミックス超電導体表面に従来例の蒸着法により形成する
と、セラミックス超電導体の超電導特性が劣化するに対
し、この発明の実施例1および実施例2のようにAg−
Jニーストを、 B1−Ca−Sr −Cu−0系超t
4酸化物粉末またはTt−Ca−Ba−Cu −0系超
電導酸化物粉末の圧粉体を焼結と同時に焼付けてAg接
合膜を形成するとセラミックス超1碑体の超1!導特性
の劣化がみられないことがわかる。
この実施例では、 B1−Ca−Sr−Cu −0系超
電導酸化物粉末またはTt−Ca −Ba −Cu −
0系超電導酸化物粉末の圧粉体を焼結すると同時に塗布
されたAgペーストを焼付けてAg薄膜を形成したが、
上記超電導酸化物粉末ペーストを、ドクターブレード法
によう成形して得られたシート状成形体または印刷法に
より基板上に印刷した印刷体の表面にAgペーストを塗
布し、上記シート状成形体または印刷体を焼結すると同
時にAg薄膜を形成してもよいっ〔発明の効果〕 上述の如く、この発明によると、リード線等をセラミッ
クス超電導体に接合するための導電体接合膜は、Bi
−、Ca −5r−Cu −0系超電導酸化物粉末また
はTL−Ca −Ba−Cu −0系超電導酸化物粉末
の成形体を焼結すると同時に焼付けられて形成されるた
めに、従来のような蒸ン#膜形成工程を省略することが
でき、しかも導電体接合膜が形成されたセラミックス超
電導体の超を纒特性の劣化がみられないというすぐれた
効果を奏するものである。
電導酸化物粉末またはTt−Ca −Ba −Cu −
0系超電導酸化物粉末の圧粉体を焼結すると同時に塗布
されたAgペーストを焼付けてAg薄膜を形成したが、
上記超電導酸化物粉末ペーストを、ドクターブレード法
によう成形して得られたシート状成形体または印刷法に
より基板上に印刷した印刷体の表面にAgペーストを塗
布し、上記シート状成形体または印刷体を焼結すると同
時にAg薄膜を形成してもよいっ〔発明の効果〕 上述の如く、この発明によると、リード線等をセラミッ
クス超電導体に接合するための導電体接合膜は、Bi
−、Ca −5r−Cu −0系超電導酸化物粉末また
はTL−Ca −Ba−Cu −0系超電導酸化物粉末
の成形体を焼結すると同時に焼付けられて形成されるた
めに、従来のような蒸ン#膜形成工程を省略することが
でき、しかも導電体接合膜が形成されたセラミックス超
電導体の超を纒特性の劣化がみられないというすぐれた
効果を奏するものである。
Claims (2)
- (1)Bi−Ca−Sr−Cu−O系超電導酸化物粉末
を成形して得られた成形体の表面に導電材料ペーストを
塗布したのち焼結することを特徴とするセラミックス超
電導体の導電体接合膜形成法。 - (2)Tl−Ca−Ba−Cu−O系超電導酸化物粉末
を成形して得られた成形体の表面に導電材料ペーストを
塗布したのち焼結することを特徴とするセラミックス超
電導体の導電体接合膜形成法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63166364A JP2748412B2 (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | セラミックス超電導体の導電体接合膜形成法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63166364A JP2748412B2 (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | セラミックス超電導体の導電体接合膜形成法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0215519A true JPH0215519A (ja) | 1990-01-19 |
JP2748412B2 JP2748412B2 (ja) | 1998-05-06 |
Family
ID=15830029
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63166364A Expired - Lifetime JP2748412B2 (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | セラミックス超電導体の導電体接合膜形成法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2748412B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0341782A (ja) * | 1989-07-10 | 1991-02-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 酸化物超電導体膜の電極形成方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01257183A (ja) * | 1988-04-08 | 1989-10-13 | Ube Ind Ltd | 安定化された高温超電導セラミックスの線材およびテープの製造法 |
-
1988
- 1988-07-04 JP JP63166364A patent/JP2748412B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01257183A (ja) * | 1988-04-08 | 1989-10-13 | Ube Ind Ltd | 安定化された高温超電導セラミックスの線材およびテープの製造法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0341782A (ja) * | 1989-07-10 | 1991-02-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 酸化物超電導体膜の電極形成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2748412B2 (ja) | 1998-05-06 |
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