JPH01234305A - 超伝導性材料及びその製造法 - Google Patents
超伝導性材料及びその製造法Info
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- JPH01234305A JPH01234305A JP63059068A JP5906888A JPH01234305A JP H01234305 A JPH01234305 A JP H01234305A JP 63059068 A JP63059068 A JP 63059068A JP 5906888 A JP5906888 A JP 5906888A JP H01234305 A JPH01234305 A JP H01234305A
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E40/00—Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
- Y02E40/60—Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、超伝導性材料及びその製造法に関する。
従来の技術及びその問題点
セラミックス等の耐熱性素地上に、超伝導性を有する酸
化物の焼結体層を設けた超伝導性材料を磁気シールド、
磁気ベアリング等の用途に用いる試みが種々なされてい
る。このような材料を得るためには、原料組成物を直接
耐熱性素地上に塗布し、焼成するという操作では、原料
の分散状態が悪く均一な焼結体を得ることが困難であり
、良好な超伝導性の層を形成することができない。この
ため、従来は、予め条件を制御しつつ原料組成物の均一
混合物を仮焼して超伝導性を有する仮焼結体とした後、
これを粉砕して粉末状とし、次いで溶剤を加えてペース
ト状としたものを素地上に塗布し、所定の条件で焼成し
て、超伝導性層を形成するという方法が一般的である。
化物の焼結体層を設けた超伝導性材料を磁気シールド、
磁気ベアリング等の用途に用いる試みが種々なされてい
る。このような材料を得るためには、原料組成物を直接
耐熱性素地上に塗布し、焼成するという操作では、原料
の分散状態が悪く均一な焼結体を得ることが困難であり
、良好な超伝導性の層を形成することができない。この
ため、従来は、予め条件を制御しつつ原料組成物の均一
混合物を仮焼して超伝導性を有する仮焼結体とした後、
これを粉砕して粉末状とし、次いで溶剤を加えてペース
ト状としたものを素地上に塗布し、所定の条件で焼成し
て、超伝導性層を形成するという方法が一般的である。
このため、従来の製造法は、工程が長く操作が煩雑であ
るという欠点を有している。
るという欠点を有している。
また、耐熱性素地は、その構成成分が超伝導性に悪影響
を及ぼさないものであることが必要であり、高純度アル
ミナを耐熱性素地とする場合には、超伝導性を劣化させ
ることなく超伝導層を形成できることが知られている。
を及ぼさないものであることが必要であり、高純度アル
ミナを耐熱性素地とする場合には、超伝導性を劣化させ
ることなく超伝導層を形成できることが知られている。
しかし、アルミナを用いる場合にも、素地中に５ｉＳＳ
ｉ０２等の不純物が多蛍に存在すると、この上に焼結に
よって超伝導層を形成する際に、不純物が超伝導層に侵
入して、超伝導層の特性が低下するという問題が生じる
。従って、不純物が０．１重量％程度以下の高純度のも
のが要求され、通常の市販のアルミナ製セラミックス製
品をそのまま使用することはできない。このため不純物
が０．１重量％程度以下の高純度のアルミナ製セラミッ
クスを特別に製造することが必要であるが、この製造は
非常に煩雑である。
ｉ０２等の不純物が多蛍に存在すると、この上に焼結に
よって超伝導層を形成する際に、不純物が超伝導層に侵
入して、超伝導層の特性が低下するという問題が生じる
。従って、不純物が０．１重量％程度以下の高純度のも
のが要求され、通常の市販のアルミナ製セラミックス製
品をそのまま使用することはできない。このため不純物
が０．１重量％程度以下の高純度のアルミナ製セラミッ
クスを特別に製造することが必要であるが、この製造は
非常に煩雑である。
また、一般に超伝導性材料は、低温に冷却して用いられ
るが、冷却操作を繰り返すことにより熱サイクルが加わ
ると超伝導層にクラックが生じ易く、耐久性が不足する
という欠点がある。
るが、冷却操作を繰り返すことにより熱サイクルが加わ
ると超伝導層にクラックが生じ易く、耐久性が不足する
という欠点がある。
問題点を解決するための手段
本発明者は、上記した如き問題点に鑑みて、鋭意研究を
重ねてきた。その結果、エチレングリコール、プロピレ
ングリコール等の多価アルコール系溶剤に超伝導層用の
原料組成物を加えて得られるペーストは、原料組成物の
各成分が凝集することなく極めて均一性よく分散したも
のであり、予め仮焼することなく直接耐熱性素地上に塗
布し、所定の条件で焼成するという簡単な操作によって
良好な特性の超伝導層を耐熱性素地上に形成できること
を見出した。また、超伝導層と耐熱性素地との間に、超
伝導層と実質上同一の組成を有する焼結体層を少な（と
も−層設けることによって、各種の市販のセラミックス
を耐熱性素地とする場合にも、耐熱性素地の構成成分や
素地中の不純物等の超伝導層中への侵入を防止すること
ができ、良好な特性の超伝導層の形成が可能となり、し
かも熱サイクルによる熱衝撃を緩和して超伝導層の物性
の低下を長期間に亘って防止することも可能となること
を見出した。
重ねてきた。その結果、エチレングリコール、プロピレ
ングリコール等の多価アルコール系溶剤に超伝導層用の
原料組成物を加えて得られるペーストは、原料組成物の
各成分が凝集することなく極めて均一性よく分散したも
のであり、予め仮焼することなく直接耐熱性素地上に塗
布し、所定の条件で焼成するという簡単な操作によって
良好な特性の超伝導層を耐熱性素地上に形成できること
を見出した。また、超伝導層と耐熱性素地との間に、超
伝導層と実質上同一の組成を有する焼結体層を少な（と
も−層設けることによって、各種の市販のセラミックス
を耐熱性素地とする場合にも、耐熱性素地の構成成分や
素地中の不純物等の超伝導層中への侵入を防止すること
ができ、良好な特性の超伝導層の形成が可能となり、し
かも熱サイクルによる熱衝撃を緩和して超伝導層の物性
の低下を長期間に亘って防止することも可能となること
を見出した。
即ち、本発明は、以下に示す超伝導性材料及びその製造
法を提供するものである。
法を提供するものである。
■多価アルコール系溶剤を用いてペースト状とした超伝
導層用原料組成物を、耐熱性素地上に塗布し、酸素含有
気体の流動下に焼成することを特徴とする超伝導性材料
の製造法（以下「本願第１発明」という）。
導層用原料組成物を、耐熱性素地上に塗布し、酸素含有
気体の流動下に焼成することを特徴とする超伝導性材料
の製造法（以下「本願第１発明」という）。
■多価アルコール系溶剤を用いてペースト状とした超伝
導層用原料組成物を、超伝導層と実質上同一の組成を有
する焼結体層を少なくとも一層設けた耐熱性素地の焼結
体層上に塗布し、酸素含有気体の流動下に焼成すること
を特徴とする超伝導性材料の製造法（以下「本願第２発
明」という）。
導層用原料組成物を、超伝導層と実質上同一の組成を有
する焼結体層を少なくとも一層設けた耐熱性素地の焼結
体層上に塗布し、酸素含有気体の流動下に焼成すること
を特徴とする超伝導性材料の製造法（以下「本願第２発
明」という）。
■耐熱性素地及び該素地上に形成された超伝導層からな
る超伝導性材料において、耐熱性素地と超伝導層との間
に、超伝導層と実質上同一の組成を有する焼結体層を少
なくとも一層設けたことを特徴とする超伝導性材料（以
下「本願第３発明」という）。
る超伝導性材料において、耐熱性素地と超伝導層との間
に、超伝導層と実質上同一の組成を有する焼結体層を少
なくとも一層設けたことを特徴とする超伝導性材料（以
下「本願第３発明」という）。
本発明では、超伝導層を形成するために用いる原料組成
物としては、特に限定はな（、焼成によって超伝導性酸
化物の焼結体となるものとして知られている各種の組成
物をいずれも用いることができる。この様な原料組成物
としては、例えば、Ｙ２０３ 、Ｂ ａ Ｃ０３及びＣ
ｕＯからなる組成物（Ｙ２０３ 、ＢａＣＯ３： Ｃｕ
Ｏ（重量比）＝０．４〜０．８：１〜２：０．７〜１．
４程度）を−例として示すことができ、その他Ｌａ−Ｂ
ａ−Ｃｕ−０系超伝導材料、Ｂａ−Ｎｄ−Ｃｕ−０系超
伝導材料、Ｌａ−３ｒ−Ｃｕ−０系超伝導材料、Ｂ ｉ
−８ｒ−Ｃａ−Ｃｕ−０系超伝導材料等の公知の材料を
いずれも用いることができる。
物としては、特に限定はな（、焼成によって超伝導性酸
化物の焼結体となるものとして知られている各種の組成
物をいずれも用いることができる。この様な原料組成物
としては、例えば、Ｙ２０３ 、Ｂ ａ Ｃ０３及びＣ
ｕＯからなる組成物（Ｙ２０３ 、ＢａＣＯ３： Ｃｕ
Ｏ（重量比）＝０．４〜０．８：１〜２：０．７〜１．
４程度）を−例として示すことができ、その他Ｌａ−Ｂ
ａ−Ｃｕ−０系超伝導材料、Ｂａ−Ｎｄ−Ｃｕ−０系超
伝導材料、Ｌａ−３ｒ−Ｃｕ−０系超伝導材料、Ｂ ｉ
−８ｒ−Ｃａ−Ｃｕ−０系超伝導材料等の公知の材料を
いずれも用いることができる。
本願第１発明方法では、耐熱性素地としては、超伝導層
用原料組成物の焼成温度において、変質が生じることが
なく、しかも素地の構成成分や素地中の不純物が超伝導
層に侵入して超伝導層の特性を低下させることがないも
のであればいずれも用いることができる。この様な耐熱
性素地としは、アルミナを例示することができ、不純物
による影響をさけるために、純度９９．９重量％程度以
上のものが好ましく用いられる。
用原料組成物の焼成温度において、変質が生じることが
なく、しかも素地の構成成分や素地中の不純物が超伝導
層に侵入して超伝導層の特性を低下させることがないも
のであればいずれも用いることができる。この様な耐熱
性素地としは、アルミナを例示することができ、不純物
による影響をさけるために、純度９９．９重量％程度以
上のものが好ましく用いられる。
本願第１発明方法では、まず、エチレングリコーメル、
プロピレングリコール等の多価アルコール系溶剤を用い
て、これに原料組成物を均一に分散させてペーストを得
る。ペースト中の原料組成物量は６０〜９５重合％程度
とすることが好ましい。この様にして、多価アルコール
系溶剤を用いて得られるペーストは、溶剤中に原料組成
物の各成分が均一に分散したものであり、しかも各成分
は凝集することなく微細な粒子の状態で存在している。
プロピレングリコール等の多価アルコール系溶剤を用い
て、これに原料組成物を均一に分散させてペーストを得
る。ペースト中の原料組成物量は６０〜９５重合％程度
とすることが好ましい。この様にして、多価アルコール
系溶剤を用いて得られるペーストは、溶剤中に原料組成
物の各成分が均一に分散したものであり、しかも各成分
は凝集することなく微細な粒子の状態で存在している。
このため、該ペーストを用いることによって、原料組成
物を均一に分散した状態で直接耐熱性素地上に塗布する
ことができる。
物を均一に分散した状態で直接耐熱性素地上に塗布する
ことができる。
ペーストの塗布方法は特に限定はなく、使用目的に応じ
て耐熱性素地上に、均一に塗布する方法や、適当なスク
リーン材等を用いて、各種のパターンを印刷する方法を
採用できる。塗布厚は、使用目的に応じて適宜決定すれ
ばよく、特に限定はないが、例えば１０μｍ〜２００μ
ｍ程度の範囲において良好な超伝導層が形成される。
て耐熱性素地上に、均一に塗布する方法や、適当なスク
リーン材等を用いて、各種のパターンを印刷する方法を
採用できる。塗布厚は、使用目的に応じて適宜決定すれ
ばよく、特に限定はないが、例えば１０μｍ〜２００μ
ｍ程度の範囲において良好な超伝導層が形成される。
ペーストを塗布した後、通常、溶剤を揮散させるために
、溶剤の沸点を考慮にいれて、１５０〜２００℃程度で
３０分〜５時間程度加熱する。また、ｌ／２０気圧程度
の真空中において、２０〜２００℃程度で、２０分〜３
時間程度保つことによっても溶媒を揮散させることがで
きる。多価アルコール系溶剤は、上記温度範囲において
、すみやかにほぼ完全に揮散し、塗布物中には殆んど残
留しない。このため焼成後の超伝導層では、残留物の存
在による特性の低下が生じることはない。
、溶剤の沸点を考慮にいれて、１５０〜２００℃程度で
３０分〜５時間程度加熱する。また、ｌ／２０気圧程度
の真空中において、２０〜２００℃程度で、２０分〜３
時間程度保つことによっても溶媒を揮散させることがで
きる。多価アルコール系溶剤は、上記温度範囲において
、すみやかにほぼ完全に揮散し、塗布物中には殆んど残
留しない。このため焼成後の超伝導層では、残留物の存
在による特性の低下が生じることはない。
次いで、原料組成物を焼成して耐熱性素地上に、超伝導
層を形成させる。焼成条件は、超伝導材料を形成し得る
条件として公知の条件を適宜採用できる。好ましい条件
としては、酸素含有気体の流動下において、０．５〜ｂ 度で徐々に昇温し、９００〜１１００℃程度で１〜４時
間程度焼成し、次いで４〜０．５℃／１ｎｉｎ程度の速
度で冷却する方法を示すことができる。
層を形成させる。焼成条件は、超伝導材料を形成し得る
条件として公知の条件を適宜採用できる。好ましい条件
としては、酸素含有気体の流動下において、０．５〜ｂ 度で徐々に昇温し、９００〜１１００℃程度で１〜４時
間程度焼成し、次いで４〜０．５℃／１ｎｉｎ程度の速
度で冷却する方法を示すことができる。
酸素含有気体としては、酸素含量５容量％程度以上のも
のであればよく、通常は乾燥空気が用いられる。また純
酸素を単独で用いることもできる。
のであればよく、通常は乾燥空気が用いられる。また純
酸素を単独で用いることもできる。
酸素含有気体の流動条件は、焼成炉の構造や容量により
一様ではないが、例えば７Ω程度の焼成炉を用いる場合
には、１０〜２０！２／ｍｉｎ程度、好ましくは１３〜
１８ρ／ｍｉｎ程度とすればよい。
一様ではないが、例えば７Ω程度の焼成炉を用いる場合
には、１０〜２０！２／ｍｉｎ程度、好ましくは１３〜
１８ρ／ｍｉｎ程度とすればよい。
尚、冷却過程において、５５０〜６００℃程度、好まし
くは５６５〜５７５℃程度の温度に３０分〜４時間程度
保持することによって、より一層良好な超伝導層が形成
される。
くは５６５〜５７５℃程度の温度に３０分〜４時間程度
保持することによって、より一層良好な超伝導層が形成
される。
本願第１発明方法では、前述したように、耐熱性素地中
の構成成分や不純物による超伝導層への影響を排除する
ために、高純度の特定の耐熱性素地を使用するが、超伝
導層と耐熱性素地との間に、超伝導層と実質上同一の組
成を有する焼結体層を形成することによって、耐熱性素
地中の構成成分や不純物の超伝導層への影響を排除して
、広く各種の市販のセラミックスを耐熱性素地として使
用することが可能となる。例えばアルミナ、安定化ジル
コニア、マグネシア、水晶、窒化シリコン等の市販品を
そのまま使用できる。
の構成成分や不純物による超伝導層への影響を排除する
ために、高純度の特定の耐熱性素地を使用するが、超伝
導層と耐熱性素地との間に、超伝導層と実質上同一の組
成を有する焼結体層を形成することによって、耐熱性素
地中の構成成分や不純物の超伝導層への影響を排除して
、広く各種の市販のセラミックスを耐熱性素地として使
用することが可能となる。例えばアルミナ、安定化ジル
コニア、マグネシア、水晶、窒化シリコン等の市販品を
そのまま使用できる。
超伝導層の下層として用いる超伝導層と実質上同一の組
成を有する焼結体層（以下「下地層という」）とは、具
体的には、超伝導層の原料組成物と同一の配合成分を有
し、かつ各成分の配合口の割合（重量％）が超伝導層用
の原料組成物の配合割合と同−又は±１０重量％程度以
内の違いの組成物を焼成して得られるものをいう。例え
ば、超伝導層用の原料組成物として、Ｙ２Ｏ３２０重量
％、ＢａＣＯ３５０重量％及びＣｕ０ ３０重ｉ％から
なる組成物を用いる場合には、下地層用の原料組成物と
しては、Ｙ２Ｏ３１０〜３０重量％程度、ＢａＣＯ３４
０〜６０重世％程度及びＣｕＯ２０〜４０重量％程度の
ものを用いることができる。
成を有する焼結体層（以下「下地層という」）とは、具
体的には、超伝導層の原料組成物と同一の配合成分を有
し、かつ各成分の配合口の割合（重量％）が超伝導層用
の原料組成物の配合割合と同−又は±１０重量％程度以
内の違いの組成物を焼成して得られるものをいう。例え
ば、超伝導層用の原料組成物として、Ｙ２Ｏ３２０重量
％、ＢａＣＯ３５０重量％及びＣｕ０ ３０重ｉ％から
なる組成物を用いる場合には、下地層用の原料組成物と
しては、Ｙ２Ｏ３１０〜３０重量％程度、ＢａＣＯ３４
０〜６０重世％程度及びＣｕＯ２０〜４０重量％程度の
ものを用いることができる。
下地層は、原料組成物を均一に混合した後、溶剤と混合
してペースト状とするか、或いは原料組成物の均一混合
物を仮焼成した後粉砕し、この粉砕物を溶剤と混合して
ペースト状とし、次いでペーストを耐熱性素地に塗布し
、焼成することによって形成することができる。
してペースト状とするか、或いは原料組成物の均一混合
物を仮焼成した後粉砕し、この粉砕物を溶剤と混合して
ペースト状とし、次いでペーストを耐熱性素地に塗布し
、焼成することによって形成することができる。
仮焼成は、８００〜１２００℃程度の温度で１〜１０時
間程時間熱することによって行なうことがでる。仮焼結
体は、超伝導性を示す必要がないので、仮焼成の雰囲気
を厳密に調整する必要はなく、通常大気雰囲気中で加熱
を行なえばよいが、超伝導体の形成される雰囲気として
知られている各種の条件下で仮焼成を行なってもかまわ
ない。
間程時間熱することによって行なうことがでる。仮焼結
体は、超伝導性を示す必要がないので、仮焼成の雰囲気
を厳密に調整する必要はなく、通常大気雰囲気中で加熱
を行なえばよいが、超伝導体の形成される雰囲気として
知られている各種の条件下で仮焼成を行なってもかまわ
ない。
仮焼結体を得た後、これを粉砕して粉末状とする。粉砕
物の粒径は特に限定されることはなく、溶剤の添加によ
ってペースト状となるものであればよく、例えば乳鉢等
を用いて粉砕して得られるもので充分である。
物の粒径は特に限定されることはなく、溶剤の添加によ
ってペースト状となるものであればよく、例えば乳鉢等
を用いて粉砕して得られるもので充分である。
仮焼成は特に必須の工程ではないが、仮焼成を行なうこ
とによって、緻密な仮焼結体が形成される。これを粉砕
した後、耐熱性素地上に塗布し、焼成して得られる下地
層は、原料組成物を直接塗布し、焼成して得られる下地
層に比して、緻密で高強度のものとなる。
とによって、緻密な仮焼結体が形成される。これを粉砕
した後、耐熱性素地上に塗布し、焼成して得られる下地
層は、原料組成物を直接塗布し、焼成して得られる下地
層に比して、緻密で高強度のものとなる。
次いで、上記下地層用の原料組成物又は仮焼結体の粉砕
物を、メタノール、エタノール等の１価アルコール、ア
セトン等の通常の超伝導材料の製造において用いられる
溶剤や多価アルコール等の溶剤と混合してペースト状と
した後、耐熱性素地上に均一に塗布する。原料組成物又
は仮焼結体の粉砕物は、ペースト中に６０〜９５重量％
程度とすることが適当である。
物を、メタノール、エタノール等の１価アルコール、ア
セトン等の通常の超伝導材料の製造において用いられる
溶剤や多価アルコール等の溶剤と混合してペースト状と
した後、耐熱性素地上に均一に塗布する。原料組成物又
は仮焼結体の粉砕物は、ペースト中に６０〜９５重量％
程度とすることが適当である。
ペーストの塗布厚は、特に限定はなく、原料組成物や粉
砕物の粒径等によって一様ではないが、通常２０μｍ程
度以上、好ましくは、３０〜１５０μｍ程度とすればよ
い。
砕物の粒径等によって一様ではないが、通常２０μｍ程
度以上、好ましくは、３０〜１５０μｍ程度とすればよ
い。
粉砕物のペーストを塗布した後、８００〜１２００℃程
度で１〜４時間程度焼成することによって耐熱性素地上
に下地層が形成される。下地層は、超伝導性を示す必要
がないので、焼成雰囲気を特に厳密に制御する必要はな
く、通常、大気雰囲気中で焼成すればよいが、超伝導体
が形成される雰囲気で焼成を行なってもよい。尚、得ら
れる超伝導性材料をセラミックス基板として用いる場合
には、下地層は、非超伝導層とすることが必要である。
度で１〜４時間程度焼成することによって耐熱性素地上
に下地層が形成される。下地層は、超伝導性を示す必要
がないので、焼成雰囲気を特に厳密に制御する必要はな
く、通常、大気雰囲気中で焼成すればよいが、超伝導体
が形成される雰囲気で焼成を行なってもよい。尚、得ら
れる超伝導性材料をセラミックス基板として用いる場合
には、下地層は、非超伝導層とすることが必要である。
下地層を設けることによって、耐熱性素地の構成成分や
不純物が超伝導層に侵入することが防止され、市販の各
種のセラミックス材料を耐熱性素地として用いることが
可能となる。また熱サイクルによる熱衝撃を緩和できる
ので、超伝導層におけるクラックの発生を長期間に亘っ
て防止できる。
不純物が超伝導層に侵入することが防止され、市販の各
種のセラミックス材料を耐熱性素地として用いることが
可能となる。また熱サイクルによる熱衝撃を緩和できる
ので、超伝導層におけるクラックの発生を長期間に亘っ
て防止できる。
これは、低温に冷却して用いられる超伝導性材料にとっ
て重要な特性である。
て重要な特性である。
下地層は、−層でも充分に効果を発揮できるが、二層以
上設けることによって、耐熱性素地からの不純物の影響
をより完全に防ぐことが可能となり、また、熱衝撃の緩
和作用も大きくなる。
上設けることによって、耐熱性素地からの不純物の影響
をより完全に防ぐことが可能となり、また、熱衝撃の緩
和作用も大きくなる。
下地層を二層以上設ける場合には、合計膜厚として３０
〜３００μｍ程度で充分な効果を発揮できるが、この範
囲に特に限定されるものではない。
〜３００μｍ程度で充分な効果を発揮できるが、この範
囲に特に限定されるものではない。
また、各層の焼成温度は、耐熱性素地に近い層から順次
、２０〜５０℃程度低い温度とし、超伝導層の焼成温度
を最も低い温度とすることが好ましい。この様にすると
超伝導層に近い層はど焼結時の活性が徐々に小さくなり
、超伝導層への不純物の侵入を略々完全に防止すことが
できる。例えば、下地層を三層設ける場合には、第−層
を１０００°Ｃで焼成し、第二層を９７０〜９８０℃程
度、第三層を９４０〜９５０℃程度で焼成すればよい。
、２０〜５０℃程度低い温度とし、超伝導層の焼成温度
を最も低い温度とすることが好ましい。この様にすると
超伝導層に近い層はど焼結時の活性が徐々に小さくなり
、超伝導層への不純物の侵入を略々完全に防止すことが
できる。例えば、下地層を三層設ける場合には、第−層
を１０００°Ｃで焼成し、第二層を９７０〜９８０℃程
度、第三層を９４０〜９５０℃程度で焼成すればよい。
本願第２発明方法では、上記した方法によって下地層を
形成した耐熱性素地上に、前述した本願第１発明の方法
と同様にして、超伝導履用の原料組成物のペーストを塗
布し、焼成することによって、超伝導層を形成すること
ができる。
形成した耐熱性素地上に、前述した本願第１発明の方法
と同様にして、超伝導履用の原料組成物のペーストを塗
布し、焼成することによって、超伝導層を形成すること
ができる。
本願第３発明の超伝導性材料は、例えば上記本願第２発
明の方法によって得られるものであり、耐熱性素地と超
伝導層との間に、超伝導層と実質上同一の組成を有する
焼結体層を少なくとも一層設けてなるものである。また
、本願第３発明の超伝導性材料における超伝導層は、本
願第１発明の方法に従って形成する他に、超伝導体の形
成条件として公知のいずれの条件を採用して形成しても
よい。例えば原料組成物を酸素含有気体の流動下で８０
０〜１２００°Ｃ程度で仮焼成した後これを粉砕し、こ
の粉砕物に溶剤を加えてペースト状とし、次いで、下地
層に塗布し、酸素含有気体の流動下で８００〜１２００
℃程度で焼成することによって超伝導層を得ることがで
きる。酸素含有気体としては、空気、酸素等が用いられ
るが、これに限定されるものではなく、また気体の流動
速度も例えば７ｇ程度の焼成炉では、１０〜２０Ｑ／ｍ
ｉｎ程度とすることが多いが、これも限定的ではない。
明の方法によって得られるものであり、耐熱性素地と超
伝導層との間に、超伝導層と実質上同一の組成を有する
焼結体層を少なくとも一層設けてなるものである。また
、本願第３発明の超伝導性材料における超伝導層は、本
願第１発明の方法に従って形成する他に、超伝導体の形
成条件として公知のいずれの条件を採用して形成しても
よい。例えば原料組成物を酸素含有気体の流動下で８０
０〜１２００°Ｃ程度で仮焼成した後これを粉砕し、こ
の粉砕物に溶剤を加えてペースト状とし、次いで、下地
層に塗布し、酸素含有気体の流動下で８００〜１２００
℃程度で焼成することによって超伝導層を得ることがで
きる。酸素含有気体としては、空気、酸素等が用いられ
るが、これに限定されるものではなく、また気体の流動
速度も例えば７ｇ程度の焼成炉では、１０〜２０Ｑ／ｍ
ｉｎ程度とすることが多いが、これも限定的ではない。
発明の効果
本発明に・より、以下の如き効果が奏される。
■本願第１発明の方法によれば、ペースト状の原料組成
物を塗布し、焼成するという非常に簡単な方法によって
、セラミックス等の素地上に、超伝導層を形成すること
ができる。
物を塗布し、焼成するという非常に簡単な方法によって
、セラミックス等の素地上に、超伝導層を形成すること
ができる。
■本願第２発明の方法によれば、高純度の特定の耐熱性
素地に限定されることなく、通常の市販のセラミックス
材料等を素地として用いて、非常に簡単な方法で良好な
特性の超伝導層を形成することができ、素地の調製の煩
雑さが解消される。
素地に限定されることなく、通常の市販のセラミックス
材料等を素地として用いて、非常に簡単な方法で良好な
特性の超伝導層を形成することができ、素地の調製の煩
雑さが解消される。
■耐熱性素地と超伝導層の間に下地層を少くとも一層設
けた超伝導材料は、耐熱性素地の構成成分や不純物が超
伝導層の特性に影響を与えることを防止し得るものであ
り、また、熱サイクルによる熱衝撃が緩和されて、超伝
導層の特性の変化を長期間防止し得るものである。
けた超伝導材料は、耐熱性素地の構成成分や不純物が超
伝導層の特性に影響を与えることを防止し得るものであ
り、また、熱サイクルによる熱衝撃が緩和されて、超伝
導層の特性の変化を長期間防止し得るものである。
■本発明により得られる超伝導性材料は、磁気シールド
、磁気ベアリング、セラミックス基板等の各種の用途に
極めて有用である。
、磁気ベアリング、セラミックス基板等の各種の用途に
極めて有用である。
実施例
以下に実施例を示して本発明を更に詳細に説明する。
実施例１
■アルミナ板上への下地層の形成
Ｙ２０３ ： ＢａＣＯ３： ＣｕＯ（重量比＞−０
、６：１． ５：１． ０の原料組成物（純度９９．９
％）を混合し、電気炉中、空気の非流動状態で９８０℃
で２時間仮焼成した。この仮焼成物を乳鉢を用いて粉砕
して粉末状とし、粉砕物３ｇとエチレングリコール１．
２ｇとを混合してペーストとした。このペーストを市販
のアルミナ板上に塗布し、２００°Ｃで１時間空気中で
乾燥した後、４℃／ｍｉｎの昇温速度で加熱し、９８０
℃で１時間保持した。次いで１℃／ｍａｉｎで常温まで
冷却した。この工程を２回繰り返すことによってアルミ
ナ板上に合計膜厚１１０μｍの下地層を形成した。下地
層は４．２″′に以上の温度では超伝導性を示さないも
のであり、室温での抵抗は５．７７ Ｘ １０−２Ωｍ
であった。得られた下地層を有するアルミナ板（以下「
下地層形成アルミナ板」という）を耐熱性素地として、
この上に以下の方法で超伝導層を形成した。
、６：１． ５：１． ０の原料組成物（純度９９．９
％）を混合し、電気炉中、空気の非流動状態で９８０℃
で２時間仮焼成した。この仮焼成物を乳鉢を用いて粉砕
して粉末状とし、粉砕物３ｇとエチレングリコール１．
２ｇとを混合してペーストとした。このペーストを市販
のアルミナ板上に塗布し、２００°Ｃで１時間空気中で
乾燥した後、４℃／ｍｉｎの昇温速度で加熱し、９８０
℃で１時間保持した。次いで１℃／ｍａｉｎで常温まで
冷却した。この工程を２回繰り返すことによってアルミ
ナ板上に合計膜厚１１０μｍの下地層を形成した。下地
層は４．２″′に以上の温度では超伝導性を示さないも
のであり、室温での抵抗は５．７７ Ｘ １０−２Ωｍ
であった。得られた下地層を有するアルミナ板（以下「
下地層形成アルミナ板」という）を耐熱性素地として、
この上に以下の方法で超伝導層を形成した。
■超伝導層の形成
Ｙ’２０３ ： ＢａＣＯ３： ＣｕＯ（重量比）＝０
、６：１． ５：１．０の原料組成物（純度９９．９９
％）を均一に混合し、セラミック乳鉢で微粉末となるよ
うに粉砕した後、粉砕物３ｇとエチレングリコール０．
６ｇとを混合してペーストを得た。次いで上記した下地
層形成アルミナ板に、ペーストを均一に塗布した試料（
本発明品１及び２）、及び１００メツシユのスクリーン
を用いてペーストによるパターンを印刷した試料（本発
明品３）を作製した。
、６：１． ５：１．０の原料組成物（純度９９．９９
％）を均一に混合し、セラミック乳鉢で微粉末となるよ
うに粉砕した後、粉砕物３ｇとエチレングリコール０．
６ｇとを混合してペーストを得た。次いで上記した下地
層形成アルミナ板に、ペーストを均一に塗布した試料（
本発明品１及び２）、及び１００メツシユのスクリーン
を用いてペーストによるパターンを印刷した試料（本発
明品３）を作製した。
一方、比較品として、市販のアルミナ板、市販の安定化
ジルコニア板、及び市販のベリリア板の各々を耐熱性素
地として用い、上記したペーストを均一に塗布した試料
（比較品１〜３）を作製した。
ジルコニア板、及び市販のベリリア板の各々を耐熱性素
地として用い、上記したペーストを均一に塗布した試料
（比較品１〜３）を作製した。
これらの試料を電気炉で２００ ”Ｃで２時間乾燥し、
次いで１℃／ ｍ ｉ ｎの昇温速度で加熱し、９２５
℃で１時間保持した後、１℃／ｍｉｎで室温まで冷却し
た。加熱開始後、５時間経過後（約４００℃）から乾燥
空気を１６Ω／ｍｉｎの流速で流しつつ加熱を行ない、
２０時間経過時（冷却過程的８００℃）まで空気の流動
を継続した。また、冷却過程において、５７０℃で１時
間部度を維持した。
次いで１℃／ ｍ ｉ ｎの昇温速度で加熱し、９２５
℃で１時間保持した後、１℃／ｍｉｎで室温まで冷却し
た。加熱開始後、５時間経過後（約４００℃）から乾燥
空気を１６Ω／ｍｉｎの流速で流しつつ加熱を行ない、
２０時間経過時（冷却過程的８００℃）まで空気の流動
を継続した。また、冷却過程において、５７０℃で１時
間部度を維持した。
得られた試料の超伝導層の特性を第１表に示す。
第１表から明らかなように、本発明品１〜３では、超伝
導層の膜厚が１００μｍの場合には８８．５’ ｋで抵
抗値ゼロとなり、また膜厚が２５μｍの場合であっても
４６．０’ Ｋで抵抗値ゼロとなった。このことから、
ペースト状の原料組成物を塗布し、焼成するという簡単
な方法で超伝導層を有する材料が得られることが判る。
導層の膜厚が１００μｍの場合には８８．５’ ｋで抵
抗値ゼロとなり、また膜厚が２５μｍの場合であっても
４６．０’ Ｋで抵抗値ゼロとなった。このことから、
ペースト状の原料組成物を塗布し、焼成するという簡単
な方法で超伝導層を有する材料が得られることが判る。
一方、下地層を設けることなく、直接素地上にペースト
状の原料組成物を塗布し、焼成して得た試料では、市販
のアルミナ及び市販のベリリアを素地とした場合には、
いずれも４．２°Ｋまで冷却しても抵抗値はゼロとなら
ず、また市販の安定化ジルコニア素地とした場合には、
２３．８°Ｋまで冷却して初めて抵抗値ゼロとなるなど
、本発明品に比して特性が劣るものであった。
状の原料組成物を塗布し、焼成して得た試料では、市販
のアルミナ及び市販のベリリアを素地とした場合には、
いずれも４．２°Ｋまで冷却しても抵抗値はゼロとなら
ず、また市販の安定化ジルコニア素地とした場合には、
２３．８°Ｋまで冷却して初めて抵抗値ゼロとなるなど
、本発明品に比して特性が劣るものであった。
また、本発明品１〜３の試料について、室温と４．２’
Ｋとの間のヒートサイクルを１０回行なったところ、
その抵抗値に変化は生じなかったが、比較界１〜３の試
料については、２回のヒートサイクルテストで抵抗値が
大きく変化した。
Ｋとの間のヒートサイクルを１０回行なったところ、
その抵抗値に変化は生じなかったが、比較界１〜３の試
料については、２回のヒートサイクルテストで抵抗値が
大きく変化した。
比較例１
実施例１における本発明品１〜３の超伝導層の形式にお
いて用いたエチレングリコールに代えて、エタノール、
メタノール及びアセトンの各々を用いる他は、本発明品
１〜３と同様にして、超伝導性拐料を作製した。得られ
た材料を４．２°Ｋまで冷却したがいずれの材料も抵抗
値ゼロにならなかった。
いて用いたエチレングリコールに代えて、エタノール、
メタノール及びアセトンの各々を用いる他は、本発明品
１〜３と同様にして、超伝導性拐料を作製した。得られ
た材料を４．２°Ｋまで冷却したがいずれの材料も抵抗
値ゼロにならなかった。
（以 上）
Claims (3)
- （１）多価アルコール系溶剤を用いてペースト状とした
超伝導層用原料組成物を、耐熱性素地上に塗布し、酸素
含有気体の流動下に焼成することを特徴とする超伝導性
材料の製造法。 - （２）多価アルコール系溶剤を用いてペースト状とした
超伝導層用原料組成物を、超伝導層と実質上同一の組成
を有する焼結体層を少なくとも一層設けた耐熱性素地の
焼結体層上に塗布し、酸素含有気体の流動下に焼成する
ことを特徴とする超伝導性材料の製造法。 - （３）耐熱性素地及び該素地上に形成された超伝導層か
らなる超伝導性材料において、耐熱性素地と超伝導層と
の間に、超伝導層と実質上同一の組成を有する焼結体層
を少なくとも一層設けたことを特徴とする超伝導性材料
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63059068A JPH01234305A (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 | 超伝導性材料及びその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63059068A JPH01234305A (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 | 超伝導性材料及びその製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01234305A true JPH01234305A (ja) | 1989-09-19 |
Family
ID=13102666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63059068A Pending JPH01234305A (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 | 超伝導性材料及びその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01234305A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02152109A (ja) * | 1988-11-29 | 1990-06-12 | Tsuaitowan Fuaaren Koniejishuien Jiouyuen | アルミナ基材上に形成したＹ−Ｂａ−Ｃｕ−Ｏ系超伝導体膜およびその形成方法 |
| US7674401B2 (en) * | 2001-12-18 | 2010-03-09 | Asahi Kasei Kabushiki Kaisha | Method of producing a thin conductive metal film |
| WO2011071103A1 (ja) * | 2009-12-09 | 2011-06-16 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 希土類超電導膜形成用溶液およびその製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01226783A (ja) * | 1988-03-04 | 1989-09-11 | Res Dev Corp Of Japan | スクリーン印刷によるＢｉ−Ｓｒ−Ｃａ−Ｃｕ−Ｏ系超伝導膜の製造方法 |
| JPH01272011A (ja) * | 1987-08-21 | 1989-10-31 | Ube Ind Ltd | 超電導材料 |
-
1988
- 1988-03-11 JP JP63059068A patent/JPH01234305A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01272011A (ja) * | 1987-08-21 | 1989-10-31 | Ube Ind Ltd | 超電導材料 |
| JPH01226783A (ja) * | 1988-03-04 | 1989-09-11 | Res Dev Corp Of Japan | スクリーン印刷によるＢｉ−Ｓｒ−Ｃａ−Ｃｕ−Ｏ系超伝導膜の製造方法 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02152109A (ja) * | 1988-11-29 | 1990-06-12 | Tsuaitowan Fuaaren Koniejishuien Jiouyuen | アルミナ基材上に形成したＹ−Ｂａ−Ｃｕ−Ｏ系超伝導体膜およびその形成方法 |
| US7674401B2 (en) * | 2001-12-18 | 2010-03-09 | Asahi Kasei Kabushiki Kaisha | Method of producing a thin conductive metal film |
| WO2011071103A1 (ja) * | 2009-12-09 | 2011-06-16 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 希土類超電導膜形成用溶液およびその製造方法 |
| JP5445982B2 (ja) * | 2009-12-09 | 2014-03-19 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 希土類超電導膜形成用溶液およびその製造方法 |
| US8865628B2 (en) | 2009-12-09 | 2014-10-21 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Solution for forming rare-earth superconductive film and production method thereof |
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