JPH02128492A - 印刷配線板の製造方法 - Google Patents
印刷配線板の製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野]
本発明は、金属層上に全面的に施された金属性腐食レジ
スト層を、電磁放射線により選択的に再び除去し、この
ようにして露出された金属層を腐食することにより導体
路パターンを構造化することのできる印刷配線板を製造
する方法に関する。
スト層を、電磁放射線により選択的に再び除去し、この
ようにして露出された金属層を腐食することにより導体
路パターンを構造化することのできる印刷配線板を製造
する方法に関する。
この種の方法は例えば欧州特許出願公開第0O6230
0号明細諸から公知である。この公知方法の場合導体路
間の金属層を腐食により完全に除去することを可能とす
るために、まずその上にある腐食レジスト層を同様に完
全に除去しなければならない。しかし、有利にはレーザ
での走査法で実施される腐食レジスト層の除去は経費が
嵩みかつ時間を要する。このことは特に導体路が比較的
に互いに離れており、従ってレーザで除去すべき腐食レ
ジスト層の表面が比較的大きい場合に当てはまる。
0号明細諸から公知である。この公知方法の場合導体路
間の金属層を腐食により完全に除去することを可能とす
るために、まずその上にある腐食レジスト層を同様に完
全に除去しなければならない。しかし、有利にはレーザ
での走査法で実施される腐食レジスト層の除去は経費が
嵩みかつ時間を要する。このことは特に導体路が比較的
に互いに離れており、従ってレーザで除去すべき腐食レ
ジスト層の表面が比較的大きい場合に当てはまる。
本発明は印刷配線板の公知の製法を、金属性腐食レジス
ト層の選択的除去を電磁放射線により迅速かつ経費をか
けずに行うことができるように改良することをその課題
とする。
ト層の選択的除去を電磁放射線により迅速かつ経費をか
けずに行うことができるように改良することをその課題
とする。
この課題は以下の方法工程によって、すなわちa) 電
気絶縁性基板上に金属層及び第1腐食レジスト層を順次
施し、 b)第1腐食レジスト層の後に導体路となる図形に直接
隣接する範囲を電磁放射線により除去し、C) 工程b
)で露出された金属層の範囲を基板の表面に達するまで
腐食除去し、 d)金属層の残留する範囲上に第2金属性腐食しシスト
層を施し、 e) 導体路パターンに相当しない範囲を陽極接続し、 f) 陽極接続された範囲内ですべての腐食レジストを
電解により除去し、 g) 工程e)で露出した金属層の範囲を基板の表面に
達するまで完全に腐食除去する ことによって解決される。
気絶縁性基板上に金属層及び第1腐食レジスト層を順次
施し、 b)第1腐食レジスト層の後に導体路となる図形に直接
隣接する範囲を電磁放射線により除去し、C) 工程b
)で露出された金属層の範囲を基板の表面に達するまで
腐食除去し、 d)金属層の残留する範囲上に第2金属性腐食しシスト
層を施し、 e) 導体路パターンに相当しない範囲を陽極接続し、 f) 陽極接続された範囲内ですべての腐食レジストを
電解により除去し、 g) 工程e)で露出した金属層の範囲を基板の表面に
達するまで完全に腐食除去する ことによって解決される。
本発明方法の場合従来の方法とは異なり、後に導体路と
なるパターンに直接隣接する第1腐食レジスト層の範囲
のみを電磁放射線により除去する。
なるパターンに直接隣接する第1腐食レジスト層の範囲
のみを電磁放射線により除去する。
電磁放射線による輪郭仕様は、除去すべき第1腐食レジ
スト層の表面膨張を少なくするために迅速に行うことの
できる、導体路パターンの狭い周回とみなすことができ
る。この腐食処理後なお導体路間に金属層の不所望の範
囲が残存するが、これは、後の導体路を第2腐食レジス
ト層で被覆した後、僅かな経費で陽極接続され、適当な
溶液中でその保護腐食レジスト層から解放除去される。
スト層の表面膨張を少なくするために迅速に行うことの
できる、導体路パターンの狭い周回とみなすことができ
る。この腐食処理後なお導体路間に金属層の不所望の範
囲が残存するが、これは、後の導体路を第2腐食レジス
ト層で被覆した後、僅かな経費で陽極接続され、適当な
溶液中でその保護腐食レジスト層から解放除去される。
その際腐食レジストでの導体路の被覆はそのまま残るこ
とから、導体路間の金属層の不所望の範囲を問題なく腐
食除去することができる。
とから、導体路間の金属層の不所望の範囲を問題なく腐
食除去することができる。
本発明方法の主要条件は基板上の導体路を完全に絶縁す
ることである。すなわち導体路は陽極接続されるべきで
ない島状構造部でなければならない。これに対してすべ
ての不所望な金属面は電気的に互いに接続されているこ
とを必要とするが、これは導体路パターンの相応する形
状によって又は端子、接続ブリッジ又は同様のものによ
って問題なく達成することができる。
ることである。すなわち導体路は陽極接続されるべきで
ない島状構造部でなければならない。これに対してすべ
ての不所望な金属面は電気的に互いに接続されているこ
とを必要とするが、これは導体路パターンの相応する形
状によって又は端子、接続ブリッジ又は同様のものによ
って問題なく達成することができる。
本発明方法の有利な一実施態様によれば、工程C)で実
施した腐食除去処理の後第1腐食レジスト層を、第2腐
食レジスト層を施す前に完全に除去することが提案され
る。第1腐食レジスト層のこの除去によって、後の導体
路上への及び特に導体路側面上への第2腐食レジスト層
の塗布が促進される。すなわち以後の腐食処理工程で導
体路の一層確実な保護が保証される。
施した腐食除去処理の後第1腐食レジスト層を、第2腐
食レジスト層を施す前に完全に除去することが提案され
る。第1腐食レジスト層のこの除去によって、後の導体
路上への及び特に導体路側面上への第2腐食レジスト層
の塗布が促進される。すなわち以後の腐食処理工程で導
体路の一層確実な保護が保証される。
更に本発明方法のもう一つの有利な実施態様によれば、
金属層を銅の無電流及び電気析出法により基板に施すこ
とが提案される。この方法は特に、スルーホールを有す
る印刷配線板を製造し、銅を無電流及び電気析出させる
ことにより相当するスルーホールの金属化を達成するの
に有利である。
金属層を銅の無電流及び電気析出法により基板に施すこ
とが提案される。この方法は特に、スルーホールを有す
る印刷配線板を製造し、銅を無電流及び電気析出させる
ことにより相当するスルーホールの金属化を達成するの
に有利である。
更に、第1腐食レジスト層及び第2g食レジスト層用に
錫又は錫−鉛合金を使用することも特に好ましいことが
判明した。この種の腐食レジスト層は例えばレーザで容
易に構造化することができると共に、他方ではまた腐食
処理に際してその下に存在する金属層を一層確実に保護
することを保証する。
錫又は錫−鉛合金を使用することも特に好ましいことが
判明した。この種の腐食レジスト層は例えばレーザで容
易に構造化することができると共に、他方ではまた腐食
処理に際してその下に存在する金属層を一層確実に保護
することを保証する。
第1腐食レジスト層及び第2腐食レジスト層は有利には
無電流金属析出法により施される。それというのもこの
方法は特に経済的に実施することができ、同時にスルー
ホール内の金属層を一層確実に保護し得るからである。
無電流金属析出法により施される。それというのもこの
方法は特に経済的に実施することができ、同時にスルー
ホール内の金属層を一層確実に保護し得るからである。
電磁放射線はレーザにより発生させると有利であるが、
その理由はレーザビームは第1腐食レジスト層を所望の
範囲内で切除するか又は蒸発させるのに特に適している
からである。基板に対して相対的なレーザビームの移動
は、自由にプログラミングすることが可能であるので有
利である。すなわち導体路パターンの輪郭描写はレーザ
ビームで迅速に実施することができ、また特に容易に変
更可能である。
その理由はレーザビームは第1腐食レジスト層を所望の
範囲内で切除するか又は蒸発させるのに特に適している
からである。基板に対して相対的なレーザビームの移動
は、自由にプログラミングすることが可能であるので有
利である。すなわち導体路パターンの輪郭描写はレーザ
ビームで迅速に実施することができ、また特に容易に変
更可能である。
本発明方法の経済性を更に高めるためには、注入された
スルーホールを有する三次元の射出成形された基板を使
用することが特に有利である。この種の基板は射出成形
により経済的に大量生産することができ、また基板又は
印刷配線板は電磁放射線により何等の問題もなく三次元
的に構造化することができる。
スルーホールを有する三次元の射出成形された基板を使
用することが特に有利である。この種の基板は射出成形
により経済的に大量生産することができ、また基板又は
印刷配線板は電磁放射線により何等の問題もなく三次元
的に構造化することができる。
(実施例)
本発明の実施例を図面に基づき以下に詳述する。
第1図に示された基板1は注入されたスルーホール2を
有するベース材料の横断面図である。この種の印刷配線
基板用材料としては特に耐高熱性の熱可塑性樹脂が適し
ているが、ここに詳述する実施例ではガラス繊維補強さ
れたポリエーテルイミドを使用した。
有するベース材料の横断面図である。この種の印刷配線
基板用材料としては特に耐高熱性の熱可塑性樹脂が適し
ているが、ここに詳述する実施例ではガラス繊維補強さ
れたポリエーテルイミドを使用した。
第1図に示された基板1をまず後に施すべき導体路及び
スルーホール接点の接着強度を高めるために酸洗いし、
引続き洗浄する。その際基板1の酸洗い並びに洗浄には
市販の浴を使用するが、この場合酸洗い浴は特に原料で
あるポリエーテルイミドに同調させた。
スルーホール接点の接着強度を高めるために酸洗いし、
引続き洗浄する。その際基板1の酸洗い並びに洗浄には
市販の浴を使用するが、この場合酸洗い浴は特に原料で
あるポリエーテルイミドに同調させた。
基板1を酸洗いし、洗浄した後、第2図に薄い層3とし
て示されている核形成層を施す。核形成層3が基板1の
表面及びスルーホール2の壁面上に施されたことは図に
明らかである。核形成層3の塗布は基板1をP d C
I 2 − S n Cl z浴に浸漬することによっ
て行った。しかし核形成層3を施すには有機パラジウム
化合物をベースとする市販の浴も適している。
て示されている核形成層を施す。核形成層3が基板1の
表面及びスルーホール2の壁面上に施されたことは図に
明らかである。核形成層3の塗布は基板1をP d C
I 2 − S n Cl z浴に浸漬することによっ
て行った。しかし核形成層3を施すには有機パラジウム
化合物をベースとする市販の浴も適している。
核形成層3を塗布した後これを活性化するが、これは添
加方法で通常行われている還元又は促進処理である。引
続き第3図に示すように無電流の化学的金属析出法によ
り最も外側にある薄層を施した。市販の無電流銅浴中で
施されたこの基本層ちまた基板1の表面及びスルーホー
ル2の壁面を被覆するものであることは明らかである。
加方法で通常行われている還元又は促進処理である。引
続き第3図に示すように無電流の化学的金属析出法によ
り最も外側にある薄層を施した。市販の無電流銅浴中で
施されたこの基本層ちまた基板1の表面及びスルーホー
ル2の壁面を被覆するものであることは明らかである。
引続き全面的に無電流鋼めっきし、銅で電気的に補強す
ることにより、例えば厚さ30μmの金属層4が生ずる
。
ることにより、例えば厚さ30μmの金属層4が生ずる
。
次いで第4図に示すように金属層4上に無電流金属析出
法により第1腐食レジスト層5に(これは杢実施例では
錫からなる)を施す。
法により第1腐食レジスト層5に(これは杢実施例では
錫からなる)を施す。
その後第5図に示すように第1腐食レジスト層5をスキ
ャン法でNd−YAGレーザにより構造化するが、第5
図では放射線は矢印Sで簡単に示されている。腐食レジ
スト層5の除去が後の導体路パターンに密接する範囲6
に限定されていることが認められる。
ャン法でNd−YAGレーザにより構造化するが、第5
図では放射線は矢印Sで簡単に示されている。腐食レジ
スト層5の除去が後の導体路パターンに密接する範囲6
に限定されていることが認められる。
第1腐食レジスト層5を上記のように選択的に除去した
後、金属層4の露出した範囲を腐食処理Qこより除去す
るが、このためには削減方法で通常用いられている腐食
溶液を使用することができる。
後、金属層4の露出した範囲を腐食処理Qこより除去す
るが、このためには削減方法で通常用いられている腐食
溶液を使用することができる。
第6図は、この腐食工程ですでに導体路パターンが生じ
ており、同時に導体路間にはなお金属層4の不所望な範
囲8が残存していることを示す。
ており、同時に導体路間にはなお金属層4の不所望な範
囲8が残存していることを示す。
第7図から明らかなように第1腐食レジスト層5を剥離
した後第8図に示すように金属層4の残留範囲上に、す
なわち不所望な範囲8上にも第2の金属性腐食レジスト
層7を施すが、これは本実施例では錫からなり、また導
体路の側面をも保護する。引続き第9図に示すように導
体路間のすべての不所望な範囲8を陽極接続するが、そ
の際この陽極接点は士印で示されている。この処理によ
り引続き適当な電解液中で、例えば硼−弗化水素溶液中
で、不所望な範囲8中の第2腐食レジスト層7を電解的
に溶解することができ、その結果は第9図に示されてい
る。
した後第8図に示すように金属層4の残留範囲上に、す
なわち不所望な範囲8上にも第2の金属性腐食レジスト
層7を施すが、これは本実施例では錫からなり、また導
体路の側面をも保護する。引続き第9図に示すように導
体路間のすべての不所望な範囲8を陽極接続するが、そ
の際この陽極接点は士印で示されている。この処理によ
り引続き適当な電解液中で、例えば硼−弗化水素溶液中
で、不所望な範囲8中の第2腐食レジスト層7を電解的
に溶解することができ、その結果は第9図に示されてい
る。
第2wX食レジスト層7を上記のようにして選択的に除
去する場合、導体路に相応する腐食レジスト層7の範囲
は溶解されない。従って次の腐食工程において、金属層
4の露出された不所望範囲8は基板1の表面に至るまで
腐食除去することができる。その後第10図に示すよう
に基板1上には基板表面上及びスルーホール2中の金属
層4の導体路パターンに相応する範囲のみが残る。導体
路パターン上に残存する第2腐食レジスト層7は錫から
なることから、これを除去する必要はない。
去する場合、導体路に相応する腐食レジスト層7の範囲
は溶解されない。従って次の腐食工程において、金属層
4の露出された不所望範囲8は基板1の表面に至るまで
腐食除去することができる。その後第10図に示すよう
に基板1上には基板表面上及びスルーホール2中の金属
層4の導体路パターンに相応する範囲のみが残る。導体
路パターン上に残存する第2腐食レジスト層7は錫から
なることから、これを除去する必要はない。
少なくともスルーホール2の範囲ではこの錫により後に
実施するデバイスのろう付けが促進される。
実施するデバイスのろう付けが促進される。
導体路を製造する際の最終工程として例えば130°C
の温度での熱処理を実施することができる。
の温度での熱処理を実施することができる。
金属層4の残存する範囲を引続き加熱錫めっきすること
によりろう付は個所を設けることもできる。
によりろう付は個所を設けることもできる。
しかし場合によっては残りの第2腐食レジスト層7を剥
離除去することも可能であり、この易剥離は第1腐食レ
ジスト層5の除去と同様に化学的方法により実施すると
有利である。
離除去することも可能であり、この易剥離は第1腐食レ
ジスト層5の除去と同様に化学的方法により実施すると
有利である。
先に記載した方法の一変法によれば金属層4上に有機腐
食レジスト層5を設ける。この場合電気泳動的に、すな
わち電着塗装法によって施すことのできる有機腐食レジ
ストを使用するのが有利である。例えばシブレイ(Sh
ipley)社の商品名「イーグルTMJ (Eag
le TM)で販売されているレジスト材料が好適であ
る。構造化は、第5図に矢印Sで示したのと同様にこの
場合にもスキャン法で行う。
食レジスト層5を設ける。この場合電気泳動的に、すな
わち電着塗装法によって施すことのできる有機腐食レジ
ストを使用するのが有利である。例えばシブレイ(Sh
ipley)社の商品名「イーグルTMJ (Eag
le TM)で販売されているレジスト材料が好適であ
る。構造化は、第5図に矢印Sで示したのと同様にこの
場合にもスキャン法で行う。
第1図から第10図までは本発明による印刷配線板の製
造時における種々の処理工程を示す略示図である。 1・・・基板 2・・・スルーホール 3・・・核形成層 4・・・金属層 5・・・第1腐食レジスト層 7・・・第2金属性腐食レジスト層 S・・・電磁放射線 U− 一
造時における種々の処理工程を示す略示図である。 1・・・基板 2・・・スルーホール 3・・・核形成層 4・・・金属層 5・・・第1腐食レジスト層 7・・・第2金属性腐食レジスト層 S・・・電磁放射線 U− 一
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)a)電気絶縁性基板(1)上に金属層(4)及び第
1腐食レジスト層(5)を順次施し、b)第1腐食レジ
スト層(5)の後に導体路となるパターンに直接隣接す
る範囲(6) を電磁放射線(S)により除去し、 c)工程b)で露出された金属層(4)の範囲を基板(
1)の表面に達するまで腐食除 去し、 d)金属層(4)の残留する範囲上に第2金属性腐食レ
ジスト層(7)を施し、 e)導体路パターンに相当しない範囲(8)を陽極接続
し、 f)陽極接続された範囲(8)内ですべての腐食レジス
トを電解により除去し、 g)工程e)で露出した金属層(4)の範囲を基板(1
)の表面に達するまで完全に腐 食除去する 諸工程を有することを特徴とする印刷配線板の製造方法
。 2)工程c)で実施した腐食処理の後第1腐食レジスト
層(5)を、第2腐食レジスト層(7)を施す前に、完
全に除去することを特徴とする請求項1記載の方法。 3)金属層(4)を銅の無電流及び電気析出により基板
(1)に塗布することを特徴とする請求項1又は2記載
の方法。 4)第1腐食レジスト層(5)及び第2腐食レジスト層
(7)として錫又は錫−鉛合金を使用することを特徴と
する請求項1ないし3の1つに記載の方法。 5)第1腐食レジスト層(5)及び第2腐食レジスト層
(7)を無電流金属析出法により塗布することを特徴と
する請求項1ないし4の1つに記載の方法。 6)電磁放射線(S)をレーザにより発生させることを
特徴とする請求項1ないし5の1つに記載の方法。 7)レーザビームの移動を基板(1)に対して相対的に
自由にプログラミングすることを特徴とする請求項6記
載の方法。 8)注入されたスルーホール(2)を有する三次元の射
出成形基板(1)を使用することを特徴とする請求項1
ないし7の1つに記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3833094 | 1988-09-29 | ||
DE3833094.6 | 1988-09-29 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02128492A true JPH02128492A (ja) | 1990-05-16 |
Family
ID=6363987
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1253721A Pending JPH02128492A (ja) | 1988-09-29 | 1989-09-27 | 印刷配線板の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4943346A (ja) |
EP (3) | EP0469635A1 (ja) |
JP (1) | JPH02128492A (ja) |
DE (1) | DE58907030D1 (ja) |
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