JPH02127478A - 帯電防止塗料 - Google Patents

帯電防止塗料

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JPH02127478A
JPH02127478A JP28105488A JP28105488A JPH02127478A JP H02127478 A JPH02127478 A JP H02127478A JP 28105488 A JP28105488 A JP 28105488A JP 28105488 A JP28105488 A JP 28105488A JP H02127478 A JPH02127478 A JP H02127478A
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JP
Japan
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weight
antimony
tin oxide
antistatic
particle size
Prior art date
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Pending
Application number
JP28105488A
Other languages
English (en)
Inventor
Yuji Shioda
雄治 塩田
Tatsuaki Tsuboi
坪井 龍明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Cement Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Cement Co Ltd
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Publication date
Application filed by Sumitomo Cement Co Ltd filed Critical Sumitomo Cement Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、帯電防止塗料に係わり、特に透明導電塗料
に関するものである。
「従来技術とその課題」 近年、半導体ウェハー保存用容器やその他の電子・電機
部材、じゅうたん、床材、壁材等の建築用部材などにお
いて、帯電防止を施すことの必要性が高まっている。こ
のような不導体の、帯電防止を施すためのものとして種
々の帯電防止塗料が提供されており、例えばカーボン粉
末や金属粉末、さらにはカーボン繊維や金属繊維を混入
して導電性を持たU・た塗料や、アルキルアミンハロケ
ン化物のようなイオン伝導性のある有機物からなる塗料
が知られている。
しかしながら、このような塗料において前者のものにあ
っては、塗布被膜のもつ色調が灰色または黒色がかった
ものになるため、帯電防止処理を施す不導体の色調を損
うこととなって好ましくない。また後者にあっては、塗
布することによって透明な帯電防止被膜を形成させるこ
とは可能であるが、湿度が高い状態でないと帯電防1L
の効果が14られず、しかも取れやすいという欠点を有
している。
また、特公昭63−13463では、アンチモンを含有
した酸化錫を50〜90重量%配重重、残部を有機バイ
ングーとする塗料が示されているものの、この塗料にあ
っても未だ十分な導電性が得らず、より良好な導電性を
有する帯電防止塗料が求められている。
この発明は」二足事情に鑑みてなされたもので、その目
的とするところは、より良好な導電性を有する透明な帯
電防止塗料を提供することにある。
「課題を解決するための手段」 この発明の帯電防止塗料では、アンチモン0.1〜20
重量%を含有し、その平均粒径が05μ訳以下の酸化錫
の粉末90〜98重量%と、何機バインダー10〜2重
量%とを配合してなることを上記課題の解決手段とした
以下、この発明の帯電防止塗料について詳しく説明する
帯電防止塗料の材料として酸化錫単体を用いると、透明
ではあるが導電性がかなり悪いものとなるので、酸化錫
にアンチモンを0.1〜20重量%添加し、ドープして
導電性を与えたものを用いる。ここで、アンチモンの添
加量かO,1重量%未満であると、はとんど導電性に効
果が無いものとなり、20重量%を越えると青黒くなっ
てヘイズし大きくなり不透明なものとなって不適である
この場合に、加熱によりアンチモンの拡散効果を高め、
十分均一にドープして導電性を高めるが好ましい。
また、このようなアンチモンをドープした酸化錫を用い
るにあたり、その粒径として平均粒径が0.5μ度以下
のものを用いる。すなわち、帯電防止塗料を塗布して導
電膜を得る場合、一般に5μm以下の厚さの導電膜を形
成するのが普通である。
したがって、充填剤や顔料などの粒子径としては、膜厚
の1/7以下でなければ膜の平滑性が得られ1″、また
粒度分布による最大粒径を考慮すると、平均粒径が05
μ肩以下でなければならない。さらに平均粒径が0.5
μM以上であると、粒径に依存する光の吸収が著しく大
きくなることからも、平均粒径は0.5μ穐以下でなけ
ればならない。
このようなアンチモン含有酸化錫の配合mとしては90
〜98重量%とされ、残部すなわち10〜2重爪%は有
機バインダーが配合されろ。この場合にアンチモン含有
酸化錫の配合量が988重重を越えろと、全光線透過率
が低下し塗膜強度が急激に低下して不適である。
また、アンチモン含有酸化錫が92%に近づくとヘイズ
が高くなる傾向が見られることから、アンチモン含有参
加錫を92%程度配合したものは防眩を必要とする所に
何用なものとなる。
なお、本発明者の知見によれば、アンチモン含有酸化錫
を500重重〜90重量%配合し、残部を有機バインダ
ーとする塗料については特公昭63−13463に示さ
れているものの、このものでは樹脂の量(バインダー量
)がアンチモン含有酸化錫の粒子の間隙を埋めるのに必
要な量よりも多(なる。そして、本発明者は鋭意研究の
結果、アンチモン含有酸化錫を90重量%以上とし、そ
の残部を有機バインダーとすれば、より一層良好な導電
性を有し、かつ透明な帯電防止塗料を得ることができる
ことを見出したのである。また、特公昭63−1346
3に示された塗料にあっては、その実施例を見てらアン
チモン含有酸化錫がアンチモン含有酸化錫と樹脂の含量
に対して44.8%、73.3%、52,9%、71.
4%、75.0%、89.6%と63.6%の7種を挙
げているだけであり、該特許の発明者は明らかに90%
以上の配合の所に良好な配合のものが存在するのに気か
つかなかっl二ことを示している。
「実施例」 以下、この発明を実施例によりさらに具体的に説明する
(実施例1 ) SbCf!322.8重量部とS nCL260重量部
を熱水3000重量部に溶かし、この溶液に25%・N
!13溶液を400重量部加えて反応uしめ、生成反応
物を洗浄して不要のN H、CQ分を除いた後、溶媒を
除去してsbをIO重1%含存するSnO2の扮を得た
。得られた5nOtの粒径は0.03μm以下であった
このS b含有酸化物を500℃で5分間加熱し、sb
のドープを十分に行った。ドープ後のsb含有酸化錫9
2重量部にアクリル樹脂8重重%とトルエンl000重
重部とを加え、Sb含有酸化物が十分に分散するよう混
合して帯電防止塗料を得た。
この帯電防1F塗料をスプレーにて全光線透過率85%
、ヘイズ08%のガラスに塗布し、120℃で20分間
乾燥して膜厚lμ厘の導電膜を形成した。
この導電膜の物性を調べたところ、表面抵抗が4XI0
3Ω/(inch)”、全光線透過率が80%、ヘイズ
が2.8%であった。また、膜強度をクロスカット法で
調べたところ、100/+00という結果が得られた。
(実施例2 ) 実施例1で得られたsb含含酸酸化物500℃で5分間
加熱処理して十分にドープした。ドープ後のsb含含酸
酸化物90重量部アクリル樹脂10重M部とトルエンl
000重量部とを加え、Sb含含酸酸化物十分に分散す
るよう混合して帯電防止塗料を得た。
この帯電防止塗料をスプレー1こで全光線透過率85%
、ヘイズ0.8%のガラス(こ塗布し、120℃で20
分間乾燥して膜厚lμ厘の導電膜を形成し )こ 。
この導電膜の物性を調べたところ、表面抵抗が2xlO
’Ω/(inch)”、全光線透過率が82%、ヘイズ
が2.0%であった。まjこ、膜強度をクロスカット法
で調べたところ、100/100という結果が得られた
「発明の効果」 以上説明したように、この発明の帯電防止塗料は、アン
チモン0.1〜20重量%を含有する酸化錫の平均粒径
が0,5μm以下の粉末90〜98重量%と、¥f機バ
インダーlO〜2重里%とを配合してなる乙のであるか
ら、透明で良好な導電性を有するものとなり、またこれ
から得られた導電膜は優れた膜強度を有するしのとなる

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. アンチモン0.1〜20重量%を含有し、その平均粒径
    が0.5μm以下の酸化錫の粉末90〜98重量%と、
    有機バインダー10〜2重量%とを配合してなることを
    特徴とする帯電防止塗料。
JP28105488A 1988-11-07 1988-11-07 帯電防止塗料 Pending JPH02127478A (ja)

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JP28105488A JPH02127478A (ja) 1988-11-07 1988-11-07 帯電防止塗料

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JPH02127478A true JPH02127478A (ja) 1990-05-16

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JP28105488A Pending JPH02127478A (ja) 1988-11-07 1988-11-07 帯電防止塗料

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JP (1) JPH02127478A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03115471A (ja) * 1989-09-29 1991-05-16 Japan Synthetic Rubber Co Ltd 塗料用組成物
US6466482B2 (en) 2000-03-09 2002-10-15 Hitachi, Ltd. Semiconductor device

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US6791881B2 (en) 2000-03-09 2004-09-14 Hitachi, Ltd. Semiconductor device
US7405971B2 (en) 2000-03-09 2008-07-29 Renesas Technology Corp. Semiconductor device

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