JPH02127478A - 帯電防止塗料 - Google Patents
帯電防止塗料Info
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- JPH02127478A JPH02127478A JP28105488A JP28105488A JPH02127478A JP H02127478 A JPH02127478 A JP H02127478A JP 28105488 A JP28105488 A JP 28105488A JP 28105488 A JP28105488 A JP 28105488A JP H02127478 A JPH02127478 A JP H02127478A
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Landscapes
- Paints Or Removers (AREA)
- Conductive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は、帯電防止塗料に係わり、特に透明導電塗料
に関するものである。
に関するものである。
「従来技術とその課題」
近年、半導体ウェハー保存用容器やその他の電子・電機
部材、じゅうたん、床材、壁材等の建築用部材などにお
いて、帯電防止を施すことの必要性が高まっている。こ
のような不導体の、帯電防止を施すためのものとして種
々の帯電防止塗料が提供されており、例えばカーボン粉
末や金属粉末、さらにはカーボン繊維や金属繊維を混入
して導電性を持たU・た塗料や、アルキルアミンハロケ
ン化物のようなイオン伝導性のある有機物からなる塗料
が知られている。
部材、じゅうたん、床材、壁材等の建築用部材などにお
いて、帯電防止を施すことの必要性が高まっている。こ
のような不導体の、帯電防止を施すためのものとして種
々の帯電防止塗料が提供されており、例えばカーボン粉
末や金属粉末、さらにはカーボン繊維や金属繊維を混入
して導電性を持たU・た塗料や、アルキルアミンハロケ
ン化物のようなイオン伝導性のある有機物からなる塗料
が知られている。
しかしながら、このような塗料において前者のものにあ
っては、塗布被膜のもつ色調が灰色または黒色がかった
ものになるため、帯電防止処理を施す不導体の色調を損
うこととなって好ましくない。また後者にあっては、塗
布することによって透明な帯電防止被膜を形成させるこ
とは可能であるが、湿度が高い状態でないと帯電防1L
の効果が14られず、しかも取れやすいという欠点を有
している。
っては、塗布被膜のもつ色調が灰色または黒色がかった
ものになるため、帯電防止処理を施す不導体の色調を損
うこととなって好ましくない。また後者にあっては、塗
布することによって透明な帯電防止被膜を形成させるこ
とは可能であるが、湿度が高い状態でないと帯電防1L
の効果が14られず、しかも取れやすいという欠点を有
している。
また、特公昭63−13463では、アンチモンを含有
した酸化錫を50〜90重量%配重重、残部を有機バイ
ングーとする塗料が示されているものの、この塗料にあ
っても未だ十分な導電性が得らず、より良好な導電性を
有する帯電防止塗料が求められている。
した酸化錫を50〜90重量%配重重、残部を有機バイ
ングーとする塗料が示されているものの、この塗料にあ
っても未だ十分な導電性が得らず、より良好な導電性を
有する帯電防止塗料が求められている。
この発明は」二足事情に鑑みてなされたもので、その目
的とするところは、より良好な導電性を有する透明な帯
電防止塗料を提供することにある。
的とするところは、より良好な導電性を有する透明な帯
電防止塗料を提供することにある。
「課題を解決するための手段」
この発明の帯電防止塗料では、アンチモン0.1〜20
重量%を含有し、その平均粒径が05μ訳以下の酸化錫
の粉末90〜98重量%と、何機バインダー10〜2重
量%とを配合してなることを上記課題の解決手段とした
。
重量%を含有し、その平均粒径が05μ訳以下の酸化錫
の粉末90〜98重量%と、何機バインダー10〜2重
量%とを配合してなることを上記課題の解決手段とした
。
以下、この発明の帯電防止塗料について詳しく説明する
。
。
帯電防止塗料の材料として酸化錫単体を用いると、透明
ではあるが導電性がかなり悪いものとなるので、酸化錫
にアンチモンを0.1〜20重量%添加し、ドープして
導電性を与えたものを用いる。ここで、アンチモンの添
加量かO,1重量%未満であると、はとんど導電性に効
果が無いものとなり、20重量%を越えると青黒くなっ
てヘイズし大きくなり不透明なものとなって不適である
。
ではあるが導電性がかなり悪いものとなるので、酸化錫
にアンチモンを0.1〜20重量%添加し、ドープして
導電性を与えたものを用いる。ここで、アンチモンの添
加量かO,1重量%未満であると、はとんど導電性に効
果が無いものとなり、20重量%を越えると青黒くなっ
てヘイズし大きくなり不透明なものとなって不適である
。
この場合に、加熱によりアンチモンの拡散効果を高め、
十分均一にドープして導電性を高めるが好ましい。
十分均一にドープして導電性を高めるが好ましい。
また、このようなアンチモンをドープした酸化錫を用い
るにあたり、その粒径として平均粒径が0.5μ度以下
のものを用いる。すなわち、帯電防止塗料を塗布して導
電膜を得る場合、一般に5μm以下の厚さの導電膜を形
成するのが普通である。
るにあたり、その粒径として平均粒径が0.5μ度以下
のものを用いる。すなわち、帯電防止塗料を塗布して導
電膜を得る場合、一般に5μm以下の厚さの導電膜を形
成するのが普通である。
したがって、充填剤や顔料などの粒子径としては、膜厚
の1/7以下でなければ膜の平滑性が得られ1″、また
粒度分布による最大粒径を考慮すると、平均粒径が05
μ肩以下でなければならない。さらに平均粒径が0.5
μM以上であると、粒径に依存する光の吸収が著しく大
きくなることからも、平均粒径は0.5μ穐以下でなけ
ればならない。
の1/7以下でなければ膜の平滑性が得られ1″、また
粒度分布による最大粒径を考慮すると、平均粒径が05
μ肩以下でなければならない。さらに平均粒径が0.5
μM以上であると、粒径に依存する光の吸収が著しく大
きくなることからも、平均粒径は0.5μ穐以下でなけ
ればならない。
このようなアンチモン含有酸化錫の配合mとしては90
〜98重量%とされ、残部すなわち10〜2重爪%は有
機バインダーが配合されろ。この場合にアンチモン含有
酸化錫の配合量が988重重を越えろと、全光線透過率
が低下し塗膜強度が急激に低下して不適である。
〜98重量%とされ、残部すなわち10〜2重爪%は有
機バインダーが配合されろ。この場合にアンチモン含有
酸化錫の配合量が988重重を越えろと、全光線透過率
が低下し塗膜強度が急激に低下して不適である。
また、アンチモン含有酸化錫が92%に近づくとヘイズ
が高くなる傾向が見られることから、アンチモン含有参
加錫を92%程度配合したものは防眩を必要とする所に
何用なものとなる。
が高くなる傾向が見られることから、アンチモン含有参
加錫を92%程度配合したものは防眩を必要とする所に
何用なものとなる。
なお、本発明者の知見によれば、アンチモン含有酸化錫
を500重重〜90重量%配合し、残部を有機バインダ
ーとする塗料については特公昭63−13463に示さ
れているものの、このものでは樹脂の量(バインダー量
)がアンチモン含有酸化錫の粒子の間隙を埋めるのに必
要な量よりも多(なる。そして、本発明者は鋭意研究の
結果、アンチモン含有酸化錫を90重量%以上とし、そ
の残部を有機バインダーとすれば、より一層良好な導電
性を有し、かつ透明な帯電防止塗料を得ることができる
ことを見出したのである。また、特公昭63−1346
3に示された塗料にあっては、その実施例を見てらアン
チモン含有酸化錫がアンチモン含有酸化錫と樹脂の含量
に対して44.8%、73.3%、52,9%、71.
4%、75.0%、89.6%と63.6%の7種を挙
げているだけであり、該特許の発明者は明らかに90%
以上の配合の所に良好な配合のものが存在するのに気か
つかなかっl二ことを示している。
を500重重〜90重量%配合し、残部を有機バインダ
ーとする塗料については特公昭63−13463に示さ
れているものの、このものでは樹脂の量(バインダー量
)がアンチモン含有酸化錫の粒子の間隙を埋めるのに必
要な量よりも多(なる。そして、本発明者は鋭意研究の
結果、アンチモン含有酸化錫を90重量%以上とし、そ
の残部を有機バインダーとすれば、より一層良好な導電
性を有し、かつ透明な帯電防止塗料を得ることができる
ことを見出したのである。また、特公昭63−1346
3に示された塗料にあっては、その実施例を見てらアン
チモン含有酸化錫がアンチモン含有酸化錫と樹脂の含量
に対して44.8%、73.3%、52,9%、71.
4%、75.0%、89.6%と63.6%の7種を挙
げているだけであり、該特許の発明者は明らかに90%
以上の配合の所に良好な配合のものが存在するのに気か
つかなかっl二ことを示している。
「実施例」
以下、この発明を実施例によりさらに具体的に説明する
。
。
(実施例1 )
SbCf!322.8重量部とS nCL260重量部
を熱水3000重量部に溶かし、この溶液に25%・N
!13溶液を400重量部加えて反応uしめ、生成反応
物を洗浄して不要のN H、CQ分を除いた後、溶媒を
除去してsbをIO重1%含存するSnO2の扮を得た
。得られた5nOtの粒径は0.03μm以下であった
。
を熱水3000重量部に溶かし、この溶液に25%・N
!13溶液を400重量部加えて反応uしめ、生成反応
物を洗浄して不要のN H、CQ分を除いた後、溶媒を
除去してsbをIO重1%含存するSnO2の扮を得た
。得られた5nOtの粒径は0.03μm以下であった
。
このS b含有酸化物を500℃で5分間加熱し、sb
のドープを十分に行った。ドープ後のsb含有酸化錫9
2重量部にアクリル樹脂8重重%とトルエンl000重
重部とを加え、Sb含有酸化物が十分に分散するよう混
合して帯電防止塗料を得た。
のドープを十分に行った。ドープ後のsb含有酸化錫9
2重量部にアクリル樹脂8重重%とトルエンl000重
重部とを加え、Sb含有酸化物が十分に分散するよう混
合して帯電防止塗料を得た。
この帯電防1F塗料をスプレーにて全光線透過率85%
、ヘイズ08%のガラスに塗布し、120℃で20分間
乾燥して膜厚lμ厘の導電膜を形成した。
、ヘイズ08%のガラスに塗布し、120℃で20分間
乾燥して膜厚lμ厘の導電膜を形成した。
この導電膜の物性を調べたところ、表面抵抗が4XI0
3Ω/(inch)”、全光線透過率が80%、ヘイズ
が2.8%であった。また、膜強度をクロスカット法で
調べたところ、100/+00という結果が得られた。
3Ω/(inch)”、全光線透過率が80%、ヘイズ
が2.8%であった。また、膜強度をクロスカット法で
調べたところ、100/+00という結果が得られた。
(実施例2 )
実施例1で得られたsb含含酸酸化物500℃で5分間
加熱処理して十分にドープした。ドープ後のsb含含酸
酸化物90重量部アクリル樹脂10重M部とトルエンl
000重量部とを加え、Sb含含酸酸化物十分に分散す
るよう混合して帯電防止塗料を得た。
加熱処理して十分にドープした。ドープ後のsb含含酸
酸化物90重量部アクリル樹脂10重M部とトルエンl
000重量部とを加え、Sb含含酸酸化物十分に分散す
るよう混合して帯電防止塗料を得た。
この帯電防止塗料をスプレー1こで全光線透過率85%
、ヘイズ0.8%のガラス(こ塗布し、120℃で20
分間乾燥して膜厚lμ厘の導電膜を形成し )こ 。
、ヘイズ0.8%のガラス(こ塗布し、120℃で20
分間乾燥して膜厚lμ厘の導電膜を形成し )こ 。
この導電膜の物性を調べたところ、表面抵抗が2xlO
’Ω/(inch)”、全光線透過率が82%、ヘイズ
が2.0%であった。まjこ、膜強度をクロスカット法
で調べたところ、100/100という結果が得られた
。
’Ω/(inch)”、全光線透過率が82%、ヘイズ
が2.0%であった。まjこ、膜強度をクロスカット法
で調べたところ、100/100という結果が得られた
。
「発明の効果」
以上説明したように、この発明の帯電防止塗料は、アン
チモン0.1〜20重量%を含有する酸化錫の平均粒径
が0,5μm以下の粉末90〜98重量%と、¥f機バ
インダーlO〜2重里%とを配合してなる乙のであるか
ら、透明で良好な導電性を有するものとなり、またこれ
から得られた導電膜は優れた膜強度を有するしのとなる
。
チモン0.1〜20重量%を含有する酸化錫の平均粒径
が0,5μm以下の粉末90〜98重量%と、¥f機バ
インダーlO〜2重里%とを配合してなる乙のであるか
ら、透明で良好な導電性を有するものとなり、またこれ
から得られた導電膜は優れた膜強度を有するしのとなる
。
Claims (1)
- アンチモン0.1〜20重量%を含有し、その平均粒径
が0.5μm以下の酸化錫の粉末90〜98重量%と、
有機バインダー10〜2重量%とを配合してなることを
特徴とする帯電防止塗料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28105488A JPH02127478A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 帯電防止塗料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28105488A JPH02127478A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 帯電防止塗料 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02127478A true JPH02127478A (ja) | 1990-05-16 |
Family
ID=17633665
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28105488A Pending JPH02127478A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 帯電防止塗料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02127478A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03115471A (ja) * | 1989-09-29 | 1991-05-16 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | 塗料用組成物 |
US6466482B2 (en) | 2000-03-09 | 2002-10-15 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor device |
-
1988
- 1988-11-07 JP JP28105488A patent/JPH02127478A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03115471A (ja) * | 1989-09-29 | 1991-05-16 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | 塗料用組成物 |
US6466482B2 (en) | 2000-03-09 | 2002-10-15 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor device |
US6628549B2 (en) | 2000-03-09 | 2003-09-30 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor device |
US6791881B2 (en) | 2000-03-09 | 2004-09-14 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor device |
US7405971B2 (en) | 2000-03-09 | 2008-07-29 | Renesas Technology Corp. | Semiconductor device |
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