JPH02104726A - セラミックス中空繊維の製造方法 - Google Patents

セラミックス中空繊維の製造方法

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JPH02104726A
JPH02104726A JP63253438A JP25343888A JPH02104726A JP H02104726 A JPH02104726 A JP H02104726A JP 63253438 A JP63253438 A JP 63253438A JP 25343888 A JP25343888 A JP 25343888A JP H02104726 A JPH02104726 A JP H02104726A
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JP
Japan
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fiber
fibers
formula
gas
ammonia
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JP63253438A
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English (en)
Inventor
Akira Hayashida
章 林田
Minoru Takamizawa
高見沢 稔
Yoshifumi Takeda
竹田 好文
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Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 及東上立机朋分駅 本発明は炭化珪素及び窒化珪素で構成されるセラミック
スの中空繊維の製造方法に関する。
の   び 日が  しようとする課題セラミックスは
、耐熱性、耐摩耗性、高温強度等に優れた材料として注
目を集めているが、固く、そして脆いため、セラミック
スを加工することは極めて困難である。従って、セラミ
ックス製品を製造する場合、セラミックス材料の微粉末
を加圧等の方法により予め所望の形状に成形した後、焼
結する方法、或いはセラミックス前駆体としての有機重
合体を熔融若しくは溶剤に溶解し、これを所望の形状に
加工した後、焼成して無機化する前駆体法等が採用され
ている。上記前駆体法の最大の特徴は、微粉末による焼
結法では不可能な形状のセラミックス製品を得ることが
でき、従って繊維状の製品を製造し得ることである。
この場合、一般にセラミックスと呼ばれるもののうちS
iC及びSi、N4は、それぞれSiCが耐熱性、高温
強度に優れ、Si、N4が耐熱衝撃性、破壊靭性に優れ
るなど、高温での優れた特性を有するために広く注目を
集めているところであり、本発明者らも先に特開昭62
−290730号、特開昭63−117037号、特願
昭62−25786号、特願昭62−313264号に
前駆体法による5iC−8i、N4系のセラミックスの
製造に用いられる有機シラザン重合体の製造法並びに該
有機シラザン重合体からセラミックスを得る方法を提案
したものである。
また、前駆体法を利用してセラミックス前駆体から製造
されるセラミックス繊維は、近年、R維強化型複合材料
の強化材料として注目を集めており、その軽量、耐熱か
つ高強度という特徴を生かしてプラスチック、金属、セ
ラミックス等と複合化させることが行なわれている。特
に、内部を空洞化したセラミックス中空繊維は、他のセ
ラミックス繊維よりもより軽量であることから複合材料
用強化繊維としてより好適である上、超硬材料等の重い
材料のための軽量骨材、更には断熱材、濾材などとして
も極めて有効である。
従来、かかるセラミックス中空繊維を製造する方法とし
ては、下記■、■の方法が知られている。
■樹脂中に無機系粉末を均一に分散させた混合物を中空
状に紡糸し、次いでこの中空繊維中の樹脂を除去する方
法(USP4175153゜USP4222977、U
SP4104445)。
■炭素繊維に金属塩を含浸させて乾燥・焼成し、セラミ
ックスとなした後、酸化して内部の炭素繊維を除去する
方法(特開昭61−245315号)。
しかしながら、■の方法は無機系粉末を分散した樹脂混
合物を中空状に紡糸する為に細い繊維を得ることができ
ないこと、また■の方法では芯線として炭素繊維を用い
る為に高価となるなどの不利があり、いずれも実用性に
劣るものであった。
本発明は上記事情に鑑みなされたもので、有機シラザン
重合体(セラミックス前駆体)から容易かつ簡単にしか
も安価に高品位のセラミックス中空繊維を製造し得るセ
ラミックス中空繊維の製造方法を提供することを目的と
する。
するための   び 本発明者は上記目的を達成すべく鋭意検討を行なった結
果、有機シラザン重合体を熔融し紡糸して繊維を得た後
、これを不融化処理をするに当り、式(1) %式% (但し、Rは水素原子、低級アルキル基、アルケニル基
又はアリール基、Xは塩素原子、臭素原子又は沃素原子
を示す、aは0〜2であるが、aが2の場合、Rは互に
同一でも異なっていてもよい、) で示されるケイ素化合物。
式(2) (但し、Xは上記と同様の意味を示す。)で示されるホ
ウ素化合物、 式(3) (但し、Xは上記と同様の意味を示し、bは3又は5で
ある。) で示されるリン化合物、及び 式(4) MXo (但し、MはAQ、Ti、V、Fe、Ga、Ge。
Zr、Nb、Sn、Sb、Te、Ta、W又はBiを示
し、Cは該金属の原子価である。Xは上記と同様の意味
を示す、) で示される金属化合物 を不融化処理剤として使用し、その1種又は2種以上の
蒸気を含む気体を用いて有機シラザン重合体の成形物を
処理した後、更にアンモニアガス又はアンモニアを含む
気体で表面を加アンモニア分解処理して表面に不融化膜
を形成することにより、この不融化膜を形成した繊維を
焼成し熱分解すると、内部が空洞なセラミックス中空繊
維が得られ、従って、セラミックス前廓体から容易かつ
簡単にしかも安価に高品位のセラミックス中空繊維が得
られることを見い出し、本発明をなすに至った。
ここで、上述したような方法によりセラミックス中空繊
維が得られる理由は必ずしも明らかではないが、下記の
反応によるものと推察される。
即ち、まず第一工程で繊維表面に存在する=N−H基と
上記不融化処理剤とが例えば下記反応式Aのように反応
する。
〈反応式A〉 次に、第二工程でこの繊維表面にアンモニアガス又はア
ンモニアを含む気体を通過させることにより、下記反応
式Bのように加アンモニア分解反応が進行して繊維表面
に結合した不融化処理剤に窒素の結合が生成されていく
〈反応式B〉 この不融化処理剤が窒素を介して生成した結合は三次元
的に広がり、繊維表面に皮膜を形成して不融化が達成さ
れていく。この不融化処理されて表面に不融化膜が形成
された繊維は、熱分解によりセラミック化されるもので
あるが、この場合はセラミック化の過程で繊維は重量減
少して収縮し。
不融化条件の差異によってこの繊維は種々の形態をとる
こととなる。即ち、この三次元的に広がった結合による
皮膜が不十分であると融着を起こし、また不融化はされ
ていてもなお皮膜が弱いと、熱分解の際に起こる収縮に
よって繊維断面が偏平あるいは楕円の形状を示すが1本
発明の如く、十分に加アンモニア分解反応を行なって強
固な皮膜を形成させると、その後の熱分解の際に皮膜の
変形が起こらず、収縮が起こるために内部に空洞が形成
し、中空繊維となるものであると推案される。
従って1本発明は、有機シラザン重合体を熔融。
紡糸して繊維を得た後、該繊維の表面を上記式(1)〜
(4)で示される化合物から選ばれる1種又は2種以上
の蒸気を含む気体で処理し、次いでアンモニアガス又は
アンモニアを含む気体で加アンモニア分解処理して、表
面に不融化膜を形成し、次に該繊維を熱分解して、内部
が空洞なセラミックス中空繊維を得ることを特徴とする
セラミックス中空繊維の製造方法を提供する。
以下、本発明につき更に詳しく説明する。
本発明で用いられる有機シラザン重合体には特に制限は
ないが、既に本発明者らが特開昭62−29073Q号
、特開昭63−117037号、特願昭62−2578
6号、更には特願昭62−313264号で提案した有
機シラザン重合体が好適に用いられる。
例えば特開昭62−290730号の製造方法によれば
、メチルジクロロシラン、メチルトリクロロシラン、ジ
メチルジクロロシランの混合物とアンモニアを反応させ
てアンモノリシス生成物を得た後、該アンモノリシス生
成物を脱水素縮合可能な塩基性触媒により縮合させるこ
とによって有機シラザン重合体が得られる。
また特開昭63−117037号、特願昭62−257
86号の方法によれば、一般式CI)及び〔■〕 仄              K X (但し、Rは水素、塩素、臭素、メチル基、エチル基、
フェニル基又はビニル基、R1は水素又はメチル基、R
2水素、メチル基、エチル基、フェニル基又はビニル基
、Xは塩素又は臭素をそれぞれ示す。)で示される有機
珪素化合物の少なくとも1種以上と、一般式(m) 丸 (但し、R2は水素、メチル基、エチル基、フェニル基
又はビニル基、Xは塩素又は臭素をそれぞれ示す。) で示される有機珪素化合物との混合物を出発原料として
用い、特開昭62−290730号の製造方法と同様に
アンモニアと反応せしめ、得られたアンモノリシス生成
物を更に脱水素縮合することによって有機シラザン重合
体が得られる。
更に、特願昭62−313264号の製造方法によれば
、一般式(IVl R3 (但し、R1はメチル基、エチル基又はフェニル基、X
は塩素、臭素をそれぞれ示す。)で示される有機珪素化
合物の1種以上と、一般式(但し、R1はメチル基、エ
チル基又はフェニル基、R,は水素原子又はビニル基、
Xは塩素、臭素をそれぞれ示す。) で示される有機珪素化合物の1種以上とを混合し、この
混合物をアンモニアと反応させてシラザン化合物を得た
後、該シラザン化合物をアルカリ触媒。
例えばKOH,NaOH等により重合させることによっ
て有機シラザン重合体が得られる。
また、Andrianov S (Vysokomol
、 5Oyed 4.  NOT。
1060〜1063 (1962))によるザン)をK
OHで加熱重合させた有機シラザン重合体も好適に用い
られる。
前記した有機シラザン重合体は、これをセラミックス前
邸体として用い、熔融紡糸法により紡糸して繊維状に成
型したのち、この繊維を熱分解することにより、5iC
−8i□N4質のセラミックス繊維を製造できるが、本
発明では熱分解に先立ってまず表面に不融化膜を形成す
るもので、この不融化処理方法としては、まず不融化第
1工程として下記式(1)〜(4)で示される化合物を
不融化処理剤として用い、その1種又は2種以上の蒸気
を含む気体で処理し、次いで不融化第2工程としてアン
モニアガス又はアンモニアを含む気体で処理するという
不融化方法を採用し、これにより繊維表面に強固な不融
化膜を形成するものである。
このような不融化処理により、上記反応式A、Hの反応
が起こって、式(1)〜(4)の化合物からなる不融化
処理剤が窒素を介して生成した結合が三次元的に広がり
、繊維表面に強固な皮膜を形成し、引き続く熱分解の過
程で生起する収縮に際し、被膜の変形を伴わずに熱分解
が行なわれ、セラミックス化した繊維は中空状になるも
のである。
ここで、第一工程の不融化処理剤としては、下記のもの
を使用する。
式(1) %式% (但し、Rは水素原子、低級アルキル基、アルケニル基
又はアリール基、Xは塩素原子、臭素原子又は沃素原子
を示す、aは0〜2であるが、aが2の場合、Rは互に
同一でも異なっていてもよい。) で示されるケイ素化合物、 式(2) (但し、Xは上記と同様の意味を示す。)で示されるホ
ウ素化合物、 式(3) PXb (但し、Xは上記と同様の意味を示し、bは3又は5で
ある。) で示されるリン化合物、及び 式(4) %式% Biを示し、Cは該金属の原子価である。Xは上記と同
様の意味を示す。) で示される金属化合物。
この場合、上記式(1)〜(4)の不融化処理剤として
、具体的にはCH,5iCJ、(CH,)2SiCQz
(C2H5)S i CLl (C2H4)2 S I
 CQxv CyHs S 1 CQxv(C6H,)
、5iCI2.、CH,=CH5i(1,。
(CH,=CH)2S 1cQ2. HS iCu、、
 H,S 1cQz。
S x CQ 4− H(CHz)SxCμzs H(
CH2=CH)S i CLt(CH,=CH)C,H
,S 1CQ2. BCQ、、、 BB r、、 B 
I、。
PCB3.PCB、、PBr、、PI、、hQcQ3.
TiC+2.。
FeCl2.VCQ4.GaCQ、、GaCQ4.Zr
CQ4゜NbCQ、、5nCQ、、5bCfl、、Ta
CQS、TeC11,。
WCQ、、BiCQ、などが例示され、これらの1種又
は2種以上が使用されるが、この中でも特にH81CI
23.BCQ、、PCB3.AΩCQiy T x C
a2などが好適に用いられる。
これら物質を含む気体を用いて処理する方法に特に限定
はないが1例えば、N、、Ar等の不活性ガスを用いて
、これら不融化処理剤に不活性ガスを通過させ、同伴す
る蒸気を繊維の存在する領域に流入させることによって
行なえばよい。この処理法において、これら不融化処理
剤のガス濃度は、不融化処理剤の温度を調整し、その蒸
気圧をコントロールすることにより、所望のガス濃度に
制御すればよく、濃度が高い場合は不活性ガスで所望の
濃度に希釈する方法も採用される。なお、不融化処理剤
の蒸気濃度は、有機シラザン重合体の不融化剤との反応
性に応じて適宜TA整することが好ましいが、一般にO
,OOO1mon/Q〜0.1璽o Q / Qの範囲
に制御することが特に好ましい。
処理温度、処理時間については、用いる有機シラザン重
合体によっても異なるが、処理中に不融状態が維持でき
る十分に低い温度(即ち、ポリマーの融点より十分低い
温度)で不融化するに十分な時間(通常5〜240分)
処理すればよい。更にこの場合、不融化処理剤の蒸気濃
度が低い場合は繊維同志の融着が発生するため、処理時
間を長くすることが望ましく、逆に高い場合は繊維表面
にゲル状物を生成して焼成後の繊維強度を低下させるた
め、処理時間を短くすることが望ましい。
この第1工程の処理により、繊維は一般の有機溶剤(例
えばベンゼン、ヘキサン、トルエン、テトラヒドロフラ
ン等)に不溶なものとなるが、この第1工程の処理のみ
ではその後の熱分解工程において熔融してしまうもので
、不融化が完全でないため、本発明においては次の第2
工程、即ちアンモニアガス又はアンモニアを含む気体に
よる処理が不可欠である。
この第2工程においても、その処理法に特に限定はなく
、ただ単に第1工程で得られた処理繊維をアンモニアガ
ス又は不活性ガスで希釈したアンモニアガスに所定の時
間暴露することによって、不融化を完結することができ
る。またこの第2工程の処理では、アンモニアガスの濃
度が0.01〜100容量%、好ましくは0.2〜50
容量%。
より好ましくは0.5〜10容量%であることが望まし
く、ガス濃度が高い場合はアルゴン、ヘリウム等の希ガ
ス、窒素ガスなどの不活性ガスでアンモニアガスを希釈
し、この希釈したアンモニアガスを繊維上に通過させ、
所要時間処理する方法が好適に採用される。なお、処理
温度、処理時間については、第1工程と同様に使用する
有機シラザン重合体により異なるが、ポリマーの融点よ
り十分低い温度、特にO’C〜ポリマーの融点よりも3
0℃低い温度で長時間、特に30〜360分処理するこ
とが好ましい。処理温度が0℃に満たないと不経済にな
る場合があり、ポリマー融点より30℃低い温度よりも
高温で処理すると、不融化段階で融着する場合がある。
また、処理時間が30分より短いと、熱分解後の繊維が
中空にならない場合があり、360分より長いと繊維の
強度劣化が著しくなる場合がある。
このようにして不融化処理することによって得られた繊
維は、次いで常法により焼成、熱分解し、これによって
セラミックス中空繊維を得るものである0例えば、上記
した本発明者らの提案した有機シラザン重合体を用いて
繊維を成型し、不融化した後、この不融化処理繊維を無
張力下又は張力下において高温焼成することにより、5
iC−5i、N4を主体とする強度、弾性率に優れたセ
ラミックス中空繊維を得ることができる。なお、この工
程において、焼成は真空中あるいはArなどの不活性ガ
ス、N2ガス、N2ガス、NH,ガス等の1種又は2種
以上のガス中において700〜2000℃、特に700
〜1600℃で行なうことが好適である。この場合、繊
維は張力下で焼成することが特に好ましく、これによっ
て引張強度100〜200kg/at”、弾性率lO〜
20t/rrn2の物性を有する高品質のセラミックス
中空繊維を製造できる。
災匪立処来 以上説明したように、本発明によれば、高度な中空繊維
製造技術を必要とせず、前駆体法を利用して簡便かつ工
業的に有利にセラミックス中空繊維を製造することがで
き、しかも得られるセラミックス中空繊維は、複合材料
用軽量骨材、その他機々な用途に応用することができる
。この場合、本発明者らが先に提案した有機シラザン重
合体を用いれば、高強度、高弾性率をもつSiC,Si
、N4からなるセラミックスの中空繊維を得ることがで
きる。
以下、実施例を示し、本発明を具体的に説明するが、本
発明は下記実施例に限定されるものではない。
〔実施例1〕 特開昭62−290730号記載の方法に準じ、撹拌機
、温度計、NH,導入管、水冷コンデンサーを装備し、
乾燥した2Qの4つロフラスコにヘキサン1500mQ
を仕込んだ後、メチルジクロロシラン80.5g、メチ
ルトリクロロシラン14.9g、ジメチルジクロロシラ
ン25.8gを加え。
常温にて過剰の気体状アンモニアを90Ω/Hrの速度
で1.25時間この溶液に加えた(アンモニア全添加量
5.0モル)。この反応混合物を室温下に放置し、その
際未反応アンモニアが逃げられるように冷却器を空冷凝
縮器に変えた0次に、ドライボックス中で反応混合物か
ら副生じた塩化アンモニウムを濾過により除去した。更
にケークを1.5Qのヘキサンで3回洗浄し、濾液から
減圧下(60℃/ 1 mmHg)においてヘキサンを
ストリップした。残留物(アンモノリシス生成物)は透
明な流動性の液体で、52.5gを得た。
次いで、500dの3つロフラスコに撹拌機、温度計、
滴下ロートを取り付け、ドライボックス中で水素化カリ
ウム0.4g及びNaHで脱水処理したテトラヒドロフ
ラン(THF)250ffIQをフラスコに注入した。
このフラスコをドライボックス中より取り出し、窒素管
路に連結した。常温下、混合物を撹拌して水素化カリウ
ムを分散させながら滴下ロートよりTHFlooIQに
溶解した上記アンモノリシス生成物52.sgを1時間
かけてゆっくりと加えた。この添加の間に大量の気体の
発生がみられ、2時間後に反応温度をTHFの還流温度
とし、この状態で更に1.5時間保持した0反応開始か
ら3.5時間後に気体の発生が停止した。その後、フラ
スコを室温に冷却し、沃化メチル4gを加えるとKIの
白色沈殿が生じた。
更に30分間撹拌後、大部分のTHF溶媒を減圧で留去
し、残留する白色スラリーに100mQのヘキサンを加
えた。この混合物を濾過し、濾液を減圧下(1mHg)
180℃にてヘキサンを除去すると49gの粘稠固体(
有機シラザン重合体)が得られた。このものは融点12
8℃1分子量1365(ベンゼンモル凝固点降下法)で
あり、ヘキサン、ベンゼン、THF及びその他の有機溶
媒に可溶であった。また、IRからは3400(11−
″にNH1298001−”にC−H12150(2m
−”に5i−H11260011−’に5i−CH,の
各々の吸収が認められた。
このようにして得られた有機シラザン重合体く重合体A
)を0.2−φの細孔を有する紡糸口金より150℃に
加熱して熔融紡糸した。得られた原糸は13〜14/a
の直径であった。
次いで、得られた原糸(0,1〜0.2g)をAQ、○
、ボートに乗せ、直径50mmφのムライト管型炉に入
れた。管型炉を不活性ガス(N 2又はAr)で置換後
、第1工程としてトリクロロシランを入れたバブラー装
置を用いてN2ガスをこのバブラー装置に通し、一定濃
度のトリクロロシランガスを含むN2ガスを管型炉に通
過させた。なお、トリクロロシランガスの濃度は温度を
コントロールすることにより所望の濃度に調整した。次
いで第2工程として炉内を再び不活性ガス(N x又は
Ar)で置換した後、N2ガスで希釈し、又は希釈せず
に第1表に示す濃度を有するアンモニアガスを炉内に流
して処理し、不融化した。アンモニアガスにより所定の
時間処理した後、再び管型炉内をN2ガスにて置換し、
N2気流中で昇温速度150℃/ Hrで1200℃に
加熱し、この温度で繊維を30分間熱分解した後、冷却
した。
第1表に上記トリクロロシラン処理条件、アンモニアガ
ス処理条件及び焼成後の繊維の状態の結果を示す。
第1表の結果かられかる通り、焼成後の繊維は全て中空
繊維であった。なお、No、3で得られた中空繊維につ
いて物性を評価したところ、この繊維断面の倍率350
0倍の走査型電子顕微鏡写真ll!察から繊維径的11
μ、内径約5μの中空状で、引張強度は120 kg 
/ mm”、引張弾性率は13t/am2であった。ま
た、この繊維の組成はSL:61.5%、C:18.6
%、N:20.0%であり、SiC,Si3N4を主体
とするセラミック繊維であることが確認された。また、
X線回折による結果、第1図に示すように非晶質である
ことが確認され、更にこの繊維を1700℃に加熱して
再度x1回折の測定を行なったところ、第2図に示すよ
うにSiC及びSi、N4からなるセラミックスである
ことが確認された。
〔実施例2〕 実施例1で製造した重合体Aを熔融紡糸して得られた繊
維径12〜13μの繊維を用い、不融化処理第1工程の
不融化剤を種々変えた以外は実施例1と同様の方法で焼
成した。第1及び第2工程条件及び焼成後の繊維状態の
結果を第2表に示す。
第2表の結果から認められるように、不融化処理第1工
程の不融化剤としてケイ素化合物以外にホウ素、リン、
チタン、アルミニウム化合物を用いた場合のいずれも良
好な中空繊維が得られた。
この中でもNo、9のPO2,を用いて処理した中空繊
維の繊維強度は繊維径12μ、引張強度150kg/■
2、引張弾性率14t/m”の良好な物性を有していた
【実施例3〕 出発原料にメチルジクロロシラン、1,2−ビス(メチ
ルジクロロシリル)エタン、メチルトリクロロシランの
3種のクロロシランを用い、各々混合割合を75:10
:15モル%として、実施例1と同様にアンモニアと反
応させてアンモノリシス生成物を得た後、該アンモノリ
シス生成物をKHにて脱水素縮合して、シラザン重合体
(重合体B)を得た。このものは融点96℃1分子量8
20(ベンゼンモル凝固点降下法)であった。
得られた重合体Bを実施例1と同様の紡糸装置を用いて
110℃にて熔融紡糸することにより、繊維径13〜1
4μの繊維を得た。次いで得られた繊維をムライト管型
炉に入れ、実施例1と同様に不融化剤、各種処理条件を
変更して不融化処理したのち、同様に焼成した。第1及
び第2工程条件及び焼成後の繊維状態の結果を第3表に
示す。
第3表の結果かられかる通り、全て中空繊維が得られた
〔実施例4〕 特願昭62−313264号記載の方法に準じ。
出発原料のジメチルジクロロシランとメチルビニルジク
ロロシランを用い、各々の混合割合を50〜50モル%
として、ヘキサン溶媒中でアンモニアと反応させた。得
られたアンモノリシス生成物30gに触媒としてKOH
o、3gを加え、280℃にて反応させることにより、
有機シラザン重合体(重合体C)24gを得た。このも
のは融点116℃、分子量1520 (ベンゼンモル凝
固点降下法)で、IRから゛は3400ae−’にNH
2980cm−’にC−H11420cM−’にCH,
=CH。
L260C!11−”に5i−CH3の各々の吸収が認
められた。
得られた重合体Cを用いて実施例1と同様に135℃に
て熔融紡糸し、繊維径12〜13μの繊維を得た1次い
で前記実施例と同様に繊維をムライト管型炉に入れ、各
種条件で不融化処理して1200℃で熱分解した。第1
.第2工程条件及び焼成後の繊維状態の結果を第4表に
示す。
第4表の結果から明らかなように、No、 19〜23
において、焼成後に得られた繊維は全て中空状となった
【図面の簡単な説明】
第1図は実施例1中のN001のセラミックス繊維(1
200℃焼成物)のX線回折パターンを示すグラフであ
り、第2図は上記セラミックス繊維を更に1700℃で
焼成した後のX線回折パターンを示すグラフである。 出願人  信越化学工業 株式会社 代理人  弁理士 小 島 隆 司

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.有機シラザン重合体を熔融、紡糸して繊維を得た後
    、該繊維の表面を下記式(1)〜(4)で示される化合
    物から選ばれる1種又は2種以上の蒸気を含む気体で処
    理し、次いでアンモニアガス又はアンモニアを含む気体
    で加アンモニア分解処理して、表面に不融化膜を形成し
    、次に該繊維を熱分解して、内部が空洞なセラミックス
    中空繊維を得ることを特徴とするセラミックス中空繊維
    の製造方法。 式(1) RaSiX_4_−_a (但し、Rは水素原子、低級アルキル基、アルケニル基
    又はアリール基、Xは塩素原子、臭素原子又は沃素原子
    を示す。aは0〜2であるが、aが2の場合、Rは互に
    同一でも異なっていてもよい。) で示されるケイ素化合物、 式(2) BX_3 (但し、Xは上記と同様の意味を示す。) で示されるホウ素化合物。 式(3) PX_b (但し、Xは上記と同様の意味を示し、bは3又は5で
    ある。) で示されるリン化合物、及び 式(4) MX_c (但し、MはAl,Ti,V,Fe,Ga,Ge,Zr
    ,Nb,Sn,Sb,Te,Ta,W又はBiを示し、
    cは該金属の原子価である。Xは上記と同様の意味を示
    す。) で示される金属化合物。
JP63253438A 1988-06-30 1988-10-07 セラミックス中空繊維の製造方法 Pending JPH02104726A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2004536772A (ja) * 2001-07-30 2004-12-09 ギマク・ディ・マッキャグナン・ジョルジオ セラミック材料でマイクロ製造物品を製造する方法、および前記方法により製造されたマイクロ製造物品
US8491716B2 (en) 2009-12-31 2013-07-23 Korea Institute Of Energy Research Inorganic hollow yarns and method of manufacturing the same

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