JPH01315378A - 超音波洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、超音波洗浄装置に関し、とくに、液晶表示装
置の製造工程のような流し化された量産ライン等におい
て使用される枚莱送り式の超音波洗浄！’！ｉ置に関す
る。

（従来の技術） 液晶表示装置の製造工程等では超音波洗浄が用いられて
いるが、この種の超音波洗浄装置としては、たとえば、
第４図および第５図に示すようなものが用いられている
。

この従来の装置は、洗浄槽１内に搬送装置２として、両
端に段付きローラ３を設けた回転ｌＮ１４を水平状に並
設するとともに、洗浄槽１内の底部に超音波′Ｆｊ１動
子５を設け、かつ、洗浄槽１内に洗浄用の媒体としての
水６を収納したものである。

そして、液晶表示装置の基板などの被洗浄物７が洗浄槽
１内の水６中をローラ３によって支持搬送されながら超
音波振動子５上を通過し、これとともに被洗浄物７は洗
浄用の媒体としての水６を介して下方から超音波振動を
受け、超音波洗浄される。

（発明が解決しようとするｔｍ題） 一般に流し化ラインにおいては、被洗浄物をその洗浄を
施したい面を上向きにして搬送することが多いが、上記
のように、超音波振動子が被洗浄物の下方にあると、被
洗浄物の下面には強力なキャビテーションによる洗浄効
宋があっても、本来洗浄したい上面にはさほどキャビテ
ーションは発生せず、一般に、上面は下面に比べて６０
％程度の洗浄効果しか１９られない。

また、キャビテーションによって発生した泡が、水平状
に設けられている超音波振動子５の振動面である上面や
被洗浄物７の下面などに付着し、超音波が吸収されて、
洗浄効果が著しく低下している。

本発明は、上記従来の装置における問題点を解消し、洗
Ｅ効果を高めることを目的とするものである。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） 本発明の超音波洗浄装置は、洗浄槽内に被洗浄物を搬送
する搬送装置を設け、この搬送装置の上方に、水平に対
し傾斜状に設けられた超音波振動子を配設したものであ
る。

（作用） 本発明では、被洗浄物をその洗浄面を上向きにして搬送
するとともに、超音波振動子によって上方から超音波振
動を作用させることにより、洗浄面でのキャビテーショ
ンの発生が活発になり、洗浄効果を上げる。また、上方
の出音波振動子を水平に対して傾斜させることにより、
キャビテーションによって発生した残留泡を容易に逃が
すことができ、安定した超音波洗浄が行なえる。

（実施例） 以下、本発明の一実浦例を第１図および第２図を参照し
て説明する。

第１図において、１１は上面を開口した洗浄槽で、この
洗浄槽１１内に搬送装置１２が設けられている。この搬
送装置１２は、第２図にも示ずように、洗浄槽１１の両
側壁器に多数の回転＠１３が所定間隔をおいて平行にか
つ上下方向に傾斜して並設され、この各回転軸１３の両
端に搬送用の段トｊぎのローラ１４が取付けられている
。

上記搬送装置１２の上方に、すなわち、上記回転軸１３
の上方に所定間隔をおいて超音波振動子１５が設けられ
ている。そして、この超音波振動子１５は、撮動面であ
る下面が回転軸１３と平行となるように水平に対して傾
斜状に設けられている。

上記洗浄槽１１の長さ方向の両端面に上記回転軸１３と
平行に傾斜したスリット状の入口１６および出口１７が
設けられている。また、上記洗浄槽１１の下部周囲にド
レイン槽１８が設けられている。

２０はタンクで、このタンク２０に管路２１を介してポ
ンプ２２が接続され、このポンプ２２に管路２３を介し
て上記洗浄槽１１の長さ方向の中間下部が接続されてい
るとともに、上記タンク２０とドレイン槽１８の一端下
部とが管路２４で接続されている。そして、上記洗浄４
！１１内に洗浄用の媒体として水が収納されている。

上記構成において、上記の超音波洗浄装置の洗浄槽１１
は、たとえば、液晶表示装置の基板の一連の製造ライン
中の洗浄工程に配置される。

そして、液晶表示装置の基板などの被洗浄物２６は、入
口１６を通って洗浄＄９１１内に送り込まれ、洗浄槽１
１内の水の中をロー５１４により、！ａｉ波振動子１５
と平行となるように傾斜支持されながら搬送され、ｌＢ
ｇ波振動子１５の下方を通過し、これとともに被洗浄物
２６は洗浄用の媒体としての水を介して上方から超音波
振動子を受け、超音波洗浄され、出口１７を通り扱けて
、次工程へと搬送される。

また、洗浄槽１１内には洗浄用の媒体としての水か−・
定水位で収納されているが、その水は、常時、入口１６
および出口１７から流出し、この流出した水はドレイン
槽１８で受けられ、管路２４を介してタンク２０に溜め
られ、管路２１を介してポンプ２２に導かれるとともに
、ポンプ２２により管路２３により洗浄槽１１に戻され
、洗浄槽１１の水の水位を超音波振動子１５の振動部が
常時水中に沈むように−・定水位に保っている。この際
、水をポンプ２２によって洗浄槽１１に戻すとき、洗浄
槽１１の入口１６と出口１７との中間の底面付近に戻す
ことにより、洗浄槽１１内の洗浄水に澱みのないように
することができる。

このように、被洗浄物２６をその洗浄面を上向きにして
搬送し、ｆＢ音波振動子１５によって上方から超音波振
動を作用させる際、被洗浄物２６の洗浄面とその上方の
超音波振動子１５の振動面とは両者とも水平に対し傾斜
した状態で互いに平行で対向しているので、被洗浄物２
６への超音波の伝達の効率がよく、洗）ｐ面でのキャビ
テーションの発生が活発になり、洗浄効果が向上する。

また、上方の超音波振動子１５と被洗浄物２６が斜めに
なっているので、キャビテーションによって発生した泡
、すなわち、洗浄効果に寄与した後にｆＰ１音波振動子
１５や被洗浄物２６に付着して洗浄効果の妨げとなる残
留泡を容易に逃がすことができてｆＪ肴し難くなり、安
定した超音波洗浄を行なうことができる。

さらに、超音波振動子１５が被洗浄物２６の上側に位置
しているので、ｔｊ　Ｗラインなどのように洗浄面が上
向きで搬送される場合、そのままの向きで流すことがで
きる。

なお、上記実施例において、超音波振動子１５の振動面
およびローラ１４によって支持される被洗浄物２６の洗
浄面は、水平に対し５〜１５度、たとえば１０度程度傾
斜させればよい。また、超音波振動子１５と被洗浄物２
６との距離は、超音波の周波数特有の定在波がピークと
なるように設定する。

次に、第３図に示す実施例は、搬送装置１２の各回転輪
１３すなわちローラ１４を水平状に設けるとともに、こ
れに対応して洗浄Ｐ５１１の入口１６および出口１７ち
水平状に設け、また、搬送装置１２上に２個の超音波振
動子１５を搬送方向に沿って配設し、この各超音波振動
子１５をそれぞれ人口１６および出口１７側を高くした
傾斜状に設けたものである。すなわら、各超音波振動子
１５は、ローラ１４の回転軸１３に対しては平行である
が、被洗浄物２６の搬送方向に対して傾斜されている。

その伯の構成は、前記第１図に示すものと同様である。

この構成では、被洗浄物２６は洗浄槽１１内においてロ
ーラ１４により水平に搬送されるが、前記と同様に超音
波振動子１５によって超音波振動を受け、残留泡は超音
波振動子１５の下面の搬送方向への傾斜により容易に逃
がすことができる。この実施例の場合も、超音波振動子
１５の振動面は水平に対し５〜１５度桿度傾斜させれば
よい。

〔発明の効果〕

本発明によれば、被洗浄物をその洗浄面を上向きにして
搬送し、超音波振動子によって上方から超音波振動を作
用させることにより、被洗浄物の洗浄面とその上方の超
音波振動子の振動面とを対向させているので、被洗浄物
への超音波の伝達の効率がよく、洗浄面でのキャビテー
ションの発生が活発になり、洗浄効果を向上させること
ができる。また、上方の超音波振動子が斜めになってい
るので、キャビテーションによって発生した泡、すなわ
ち、洗浄効果に寄与した後に超音波振動子に付着して洗
浄効果の妨げとなる残留泡を容易に逃がすことができて
付着し難くなり、安定した超音波洗浄を行なうことがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の装置の一実施例を示す斜視図、第２図
は第１図の一部の正面図、第３図は本発明の装置の他の
実施例を示す斜視図、第４図は従来の装置の断面図、第
５図は第４図の一部の正面図である。 １１・・洗浄槽、１２・・搬送装置、１５・・超音波振
動子、２６・・被洗浄物。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）洗浄槽と、 この洗浄槽内に設けられ被洗浄物を搬送する搬送装置と
   、 この搬送装置の上方に配設されかつ水平に対し傾斜状に
   設けられた超音波振動子と、 を備えたことを特徴とする超音波洗浄装置。