JPH01301037A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） この発明は例えば半導体基板等のリードフレームを収納
したフレームマガジンを搬送する搬送装置に関する。

（従来の技術） 半導体基板のリードフレームを収納するフレームマガジ
ンは、その側面の一方もしくは、対向される側壁の双方
がリードフレームを取出しおよび収納するために開口さ
ｉており、フレームマガジンを高速で搬送する時に上記
開口部がらリードフレームが飛出してしまうことがあっ
た。このため搬送装置にリードフレーム飛出し防止機構
を設けることが必要である。

一般的には第８図に示されるような搬送装置ｌが使用さ
れてい゛た。この−送装置１は揺動可能に支持された本
体２の下部に吸着手段としての複数の吸着バッド３、・
・・が設けられ、エアシリンダー４によって上記本体２
の傾き角を変更するようになっている。ここで、上記吸
着バッド３、・・・は図示しない例えば真空ポンプに接
続されることで被搬送物としての図示しないフレームマ
ガジンを吸着保持するように構成されている。

このような搬送装置１は図示しない駆動装置により上記
本体２が移動され、吸着バッド３、・・・でフレームマ
ガジンを吸着保持した後に、上記本体２がエアシリンダ
ー４により所定角度傾けられることで、上記フレームマ
ガジン内に収容されているリードフレームが搬送中に外
側に飛出さないようにするものである。

こうした搬送装置１はフレームマガジンを持上げてから
所定角度傾けるまでに時間を要し、搬送時間が長くなる
という欠点があった。

また、第９図および第１０図に示搬送装置１ａはフレー
ムマガジン５の側部に押え板６を設け、この押え板６を
上記フレームマガジン５に対して進退させるエアシリン
ダー７を設けることで、搬送の際に上記フレームマガジ
ン５の開口部を上記押え板６によって塞ぐことでリード
フレームの飛出しを防止したものである。さらに第１１
図および第１２図に示す搬送装置１ｂは駆動源を上記エ
アシリンダー７からモータおよびラックとビニオンの駆
動機構にしたものである。モータ８の回転軸の一端には
ビニオン９が設けられ、このビニオン９にはラック１０
が噛合されている。このう・ツク１０の端部には押え板
１１が結合されており、フレームマガジン５の開口され
た側面に対向されている。ここで、上記押え板１１には
」１記ラック１０と平行に設けられた棒状の支持体１２
の端部が結合されており、上記ラック１０と支持体１２
とはそれぞれ複数のリニアボールベアリング１３、・・
・によって軸方向に摺動自在に支持されている。また、
モータ８の他端°には複数のギヤを介してポテンショメ
ータ１４が設けられている。こうした搬送装置１ｂは、
上記モータ８の正逆回転の制御を行なう図示しない制御
装置やフレームマガジン５の保持を検知する図示しない
センサー等を設ける必要があり、制御回路が複雑で搬送
装置が非常に高価なものであった。

また、第１３図に示すようにＤＣソレノイド１５によっ
て押え板１１を移動する搬送装置ＩＣもあるが、ＤＣソ
レノイド１５の特性上ストロークを長くとれないという
欠点があった。

そして、」二記のような各搬送装置はエアシリンダー４
．７、モータ８、およびＤＣソレノイド１５等の駆動源
を必要とするものであり、搬送装置の構造が複雑で高価
なものであった。なお、上記のようにマガジンの開口部
を押え板で塞ぐものとしては他に特開昭６３−３７６３
０号公報に記載された技術が知られている。

（発明が解決しようとする課８） 搬送装置が被搬送物を吸着保持して移動する際に、上記
被搬送物内に収容された部品が飛出すことを防止するた
めに種々の構造がある。搬送装置本体を傾けるものや押
え板を設けるものであるが、いずれの構造においても部
品飛出しを防止する装置を駆動する駆動源が必要であり
、このための制御装置は検知装置を設けることで、装置
自体が複雑で高価なものになってしまうという事情があ
った。

この発明は上記課題に着目してなされたものであり、被
搬送物内から部品が飛出すことを防止する機構に特別な
駆動源を必要とせず、被搬送物を把持するときの本体と
同被搬送物の間の相対的な変位を利用して、被搬送物内
に収容された部品が飛出すことを防止できる搬送装置を
提供することを目的とする。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） この発明は、本体の下部に被搬送物を保持する吸着手段
を設け、上記本体に吸着手段よりも被搬送物側に弾性的
に突出され同被搬送物に当接しこの当接力によって退避
する当接体を設け、この当接体の進退移動力を駆動源と
する駆動手段を設け、この駆動手段によって駆動され上
記被搬送物を吸着手段が吸着保持したときに同被搬送物
の側部を押え込む手段を設けた搬送装置にある。

（作用） 被搬送物が吸着手段によって吸着保持されると、当接体
が上記被搬送物に当接して移動され、この移動力に駆動
手段が連動して、上記押え込み手段が被搬送物の側部を
押え、これにより、収容された部品が被搬送物の側部か
ら飛出すことを防止できる。

（実施例） 以下、この発明における第１実施例を第１図乃至第６図
を参照して説明する。

矩形箱状に形成された本体１６の下部には吸着手段とし
ての複数の吸着パッド１７、・・・が設けられ、この吸
着パッド１７、・・・にはそれぞれ図示しない真空ポン
プの吸込側が接続されている。

また、本体１６の下面の略中央部には当接体１８が設け
られている。この当接体１８は上下方向に軸心を有して
円柱状に形成された円柱部１９と、この円柱部１９の下
端に一体的に設けられた円板状の当接板部２０とを有し
ており、上記円柱部１９の側部には軸方向に沿って歯型
が形成され丸ラックとなっている。この円柱部１９は上
記本体１６の下面に貫通状態に設けられて上下方向に摺
動自在になっている。

そして、上記当接板部２０の上面と本体１６の下面との
間には、上記円柱部１９に同心状にコイルばね２１が設
けられている。このコイルばね２１は上記当接体１８を
下側に向かって弾性的に付勢している。

そして、円柱部１つの上側部にはピニオン２２が噛合し
ている。このビニオン２２は段数のベアリング２３、・
・・によって回転自在に支持された回転軸２４の中途部
に結合されている。

この回転軸２４の中途部には平歯車２５が結合されてお
り、この平歯車２５にはリニアボールベアリング２６、
・・・に支持された丸ラック２７が噛合されている。こ
の丸ラック２７には摺動軸２８が平行に設けられており
、この摺動軸２８は同様にリニアボールベアリング２６
、・・・に支持されている。

そして、上記丸ラック２７および摺動軸２８との双方の
端部には押え込み手段としての押え板２９の上端が結合
されている。この押え板２９は支持プレート３０と抑圧
プレート３１とを有しており、上記支持プレート３０の
上端が上記丸ラック２７と摺動軸２８とに結合されてお
り、下側部には段数の貫通孔３２、・・・が板厚方向に
穿設されている。そして、これらの貫通孔３２、・・・
には支持ピン３３、・・・がそれぞれ挿通されている。

これら支持ピン３３は上記支持プレート３０の外側面に
係合する頭部３４を有しており、先端側を吸着保持され
るフレームマガジン５側に向けて設けられている。さら
に、これら支持ピン３３、・・・の先端には上記抑圧プ
レート３１が結合されており、この抑圧プレート３１と
上記支持プレート３０との間には上記支持ピン３３、・
・・にそれぞれ同心状に設けられて双方を互いに離れる
方向に付勢するコイルばね３５、・・・が設けられてい
る。これにより上記抑圧プレート３１は支持プレート３
０に対して弾性的に支持されている。また、上記押圧プ
レート３１にはウレタンゴム３６が貼着されている。

さらに、上記本体１６の下面には被搬送物としてのフレ
ームマガジン５の有無を検知するビームセンサー３７が
設けられている。

このように形成された搬送装置は、フレームマガジン５
を保持する場合に第３図乃至第５図に示されるように動
作する。まず、図示しない駆動装置により本体１６が駆
動され、フレームマガジン５上から降下される。この本
体１６の降下により当接体１８の当接板部２０が始めに
上記フレームマガジン５に当接され、コイルばね２１が
圧縮されることで同当接体１８が上昇される。

上記押え板２９がこの当接体１８の上昇に連動する駆動
手段としてのラックアンドピニオン機構により上記フレ
ームマガジン５に近接する方向に移動される。

そして、上記フレームマガジン５の上面に吸着パッド１
７、″・・・が吸着され、この吸着パッド１７、・・・
による吸着保持と同時に上記押え板２つがフレームマガ
ジン５に 側方から当接される。ここで、上記フレームマガジン５
の上記押え板２９が当接される側面には略全面に例えば
半導体基板のリードフレームが複数個収容されるための
収容孔が開口されている。

このように吸着パッド１７、・・・によりフレームマガ
ジン５が吸着保持された状態で、押え板２９が同フレー
ムマガジン５の開口部を塞ぐことによリ、搬送中におい
て、収容されたリードフレームが外側に飛出すことを防
止できる。そして、上記抑え板２９の駆動手段は、上記
当接体１８がフレームマガジン５に当接して持上げられ
ることによって駆動されるので、特別な駆動源や検知手
段を必要としない。

また、押え板２９の構造はコイルばね３５、・・・やウ
レタンゴム３６等を使用して弾性的にフレームマガジン
５の開口部を押え込むようになっているので、確実に上
記開口部を閉鎖できるとともに、素早い動作でもフレー
ムマガジン５側にショックを与えることを防止できる。

また、搬送が終了され、上記フレームマガジン５の吸着
保持を解除するときには、上記吸着パッド１７、・・・
の吸引を停止し、本体１６が上昇することで解除され、
当接体１８がこれにともない降下される。この当接体１
８の降下により、押え板２９がフレームマガジン５から
退避される。この際の駆動力は上記コイルばね２１の復
元力である。

なお、押え板２９の移動のストロークを変更する場合に
はピニオン２２と平歯車２５の歯数比を変えることで調
節できる。

また、上記抑え板２９の配設構造は上述にのみ限定され
ず、例えば第６図に示されるように２つ対向する位置に
設けたもの等も含まれる。

以下この発明における第２実施例を第７図を参照して説
明する。矩形箱状に形成された本体３８の下面には複数
個の吸着パッド３９、・・・が設けられており、これら
の吸着パッド３９、・・・には図示しない真空ポンプの
吸込側が接続されており、図示しない制御装置により、
吸引および吸引の停止が制御されるようになっている。

また、上記本体３８の下面中央部には当接体４０が貫通
状態に設けられている。この当接体４０は円柱部４１と
この下部に設けられた当接板部４２とによって形成され
、上記本体３８の下面と当接板部４２との間には上記円
柱部４１に同心状のコイルばね４３が設けられている。

さらに、本体３８内にある上記円柱部４１の上端には２
本の第１のリンク４４．４５の一端が同方向に回動自在
に連結されている。これらの 第１のリンク４４．４５の他端には第２のリンク４６．
４７の一端が回動自在に連結され、同第２のリンク４６
．４７の中途部は本体３８の下面に回動自在に支持され
、先端側が外側に突出されている。

これら第２のリンク４６．４７の先端側には、それぞれ
押え板４８．４９が対向されるように設けられている。

この押え板４８．４９はコイルばねによって弾性的に支
持されている。

上述のように構成されることで、上記吸着パッド３９、
・・・が被搬送物である図示しないフレームマガジンを
保持したときに、当接体４０が上昇される。この当接体
４０の上昇により第１のリンク４４．４５の一端が上昇
される。そして、第２のリンク４６．４７は、その中途
部を支点として回動され、上記抑え板４８．４９が上記
フレームマガジンの側面に当接されるようになっている
。

この実施例における搬送装置は上記抑え板４８．４９を
駆動するのに特別の駆動源を必要とせず、このため駆動
源を制御するための電磁弁、リレー、制御回路、および
検出器等が不要であり、本体３８内の構造を簡単にでき
、安価な装置として製造できる。

また、上記各実施例において、本体１６．３８がフレー
ムマガジンに対して上下方向に移動することに連動して
押え板２９．４８．４９等が動くので同押え板２・９．
４８．４９を駆動するための特別の制御が不要であり、
本体１６．３８の移動と同期して駆動するので、搬送工
程の時間を短縮できる。また、上記抑え板２９．４８．
４９の駆動手段は、フレームマガジン５に衝撃を与えな
いように上下駆動される本体１６．３８に同期して連動
するラックアンドピニオンやリンク機構であり、従来の
エアシリンダーやソレノイドに比較してマガジンに接触
したときの衝撃を小さくできる。

さらに、駆動源がないので搬送中にトラブルが生じ電源
等が切れてもマガジンを離さない限り押え板２９．４８
．４９は動かないので、不用意に収納部品が飛出すこと
を防止できる。

また、上記各実施例では駆動手段にラックアンドビニオ
ン機構やリンク機構を利用していたがこれに限定されず
、上記当接体１８．４０の上下方向の動きを押え［２９
，４８，４９のフレームマガジン５への進退移動に変換
する機構であればよい。

〔発明の効果〕

吸着保持するときに本体が被搬送物に対して移動する移
動力を駆動源として押え板を駆動するので特別な駆動源
を必要とせず、これにより駆動源を制御するための制御
装置や、検知手段等も不要になり、装置内の構造を簡素
化できる搬送装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第６図はこの発明における第１実施例であり
、第１図は搬送装置の構成を示す正断面図、第２図は第
１図中における■−■線部分の断面図、第３図乃至第５
図は搬送装置がフレームマガジンを吸着保持する工程を
順を追って示す側面図、第６図は搬送装置の応用例を示
す側面図、第７図はこの発明における第２実施例の正断
面図、第８図乃至第１３図は従来例であり、第８図は本
体を傾ける構造を有する搬送装置の正面図、第９図は駆
動手段にエアシリンダーを利用した搬送装置の正面図、
第１０図は第９図中に示されるＸ−Ｘ線方向から見た断
面図、第１１図は押え板の駆動源にモータを利用した搬
送装置の正断面図、第１２図は第１１図中のｘｎ−ｘｎ
線部分の断面図、第１３図は駆動手段にＤＣソレノイド
を利用した搬送装置の正断面図である。 １６・・・本体、１７・・・吸着パッド（吸着手段）、
１８・・・当接体、２２・・・ピニオン（駆動手段）、
２７・・丸ラック（駆動手段）、２９・・・押え板（抑
圧手段）。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 本体と、この本体の下部に設けられ被搬送物を保持する
   吸着手段と、上記本体に設けられ上記吸着手段よりも被
   搬送物側に弾性的に突出され同被搬送物に当接しこの当
   接力により本体側へ退避する当接体と、この当接体の進
   退移動力を駆動源とする駆動手段と、この駆動手段によ
   って駆動され上記被搬送物を吸着手段が吸着したときに
   上記被搬送物の側部に近接または当接する手段とを具備
   することを特徴とする搬送装置。