JPH01289147A - 半導体装置用コンタクトピン - Google Patents

半導体装置用コンタクトピン

Info

Publication number
JPH01289147A
JPH01289147A JP11828488A JP11828488A JPH01289147A JP H01289147 A JPH01289147 A JP H01289147A JP 11828488 A JP11828488 A JP 11828488A JP 11828488 A JP11828488 A JP 11828488A JP H01289147 A JPH01289147 A JP H01289147A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor device
contact
members
contact pin
socket
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP11828488A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2576882B2 (ja
Inventor
Ichiro Midorikawa
一郎 緑川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP11828488A priority Critical patent/JP2576882B2/ja
Publication of JPH01289147A publication Critical patent/JPH01289147A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2576882B2 publication Critical patent/JP2576882B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Connecting Device With Holders (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 半導体装置用コンタクトピンの改良に関し、インダクタ
ンスを減少して、伝播される信号電圧電流に歪が発生す
ることを防止し、ノイズが混入することを防止する半導
体装置用コンタクトピンを提供することを目的とし、 半導体装置のパッドに弾性的に押圧されて、前記パッド
とICソケットの端子との間を導通するコンタクト導体
を有する半導体装置用コンタクトピンにおいて、前記コ
ンタクト導体は針状部材よりなり、該針状部材は、導電
性スリーブにガイドされ、絶縁部材を介して弾性押圧部
材によって押圧されて摺動して前記パッドに接触し、前
記針状部材は、前記導電性スリーブを介して前記ICソ
ケットの端子と接続されるように構成される。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体装置用コンタクトピンの改良に関し、
特に、インダクタンを減少し、伝播される信号電圧電流
に歪が発生することを防止し、ノイズが混入することを
防止する改良に関する。
〔従来の技術〕
半導体装置用コンタクトピンについて図を参照して説明
する。
第2図参照 図はコンタクト導体11と弾性押圧部材3とよりなる半
導体装置用コンタクトピン7がICソケットに装着され
た状態を示す断面図である。6は樹脂等の絶縁物からな
るケースであり、ケース6の底板に半導体装置用コンタ
クトピン7の弾性押圧部材3が埋め込まれ、弾性押圧部
材3はICソケットの端子8と接続されている。
半導体装置9を半導体装置用コンタクトピン7上に載置
し、半導体装置9のパッド12と半導体装置用コンタク
トピン7のコンタクト導体11とを接触させ、次いで、
ケース6とピンをもって連結されている樹脂、金属等か
らなるカバー10をケース6に係止することにより、コ
ンタクト導体11が弾性押圧部材3によって半導体装置
9のパッド12に押圧される。この結果、半導体装置9
のパッド12とICソケットの端子8とがコンタクト導
体11と弾性押圧部材3とを介して導通されるので、端
子8に試験用電圧、電流を入力して、半導体装置9を試
験することが可能となる。
第3a図、第3b図、第3c図参照 半導体装置用コンタクトピンの弾性押圧部材3には、第
3a図に示すように、スプリングよりなるもの、第3b
図に示すように、コンタクト導体自身が仮バネ状弾性体
よりなるもの、第3c図に示すように、コンタクト導体
自身が針状弾性体よりなるもの等がある。
〔発明が解決しようとする課題〕
半導体装置の多ピン化、高速化が進むにつれ、半導体装
置をICソケットに搭載して試験をする場合に、半導体
装置のパッドとICソケットの端子との間を接続する半
導体装置用コンタクトピンのインダクタンスの大きさが
問題となる。インダクタンスをし、半導体装置に入力さ
れる信号電流播される信号電圧電流に歪が発生したり、
ノイズが混入したりする。特に、ピン数の多い高速用半
導体装置において、この現象が顕著に現れる。
本発明の目的は、この欠点を解消することにあり、イン
ダクタンスを減少して、伝播される信号電圧電流に歪が
発生することを防止し、ノイズが混入することを防止す
る半導体装置用コンタクトピンを提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記の目的は、半導体装!(9)のパッド(12)に弾
性的に押圧されて、前記パッド(12)とICソケット
の端子(8)との間を導通するコンタクト導体を存する
半導体装置用コンタクトピンにおいて、前記コンタクト
導体は針状部材(1)よりなり、該針状部材(1)は、
導電性スリーブ(2)にガイドされ、絶縁部材(4)を
介してスプリング、板ばね等の弾性押圧部材(3)によ
って押圧されて摺動して前記パッドに接触し、前記針状
部材(1)は、前記導電性スリーブ(2)と試験用配線
が形成されている多層プリント板(5)とを介して前記
ICソケットの端子(8)と接続されてなる半導体装置
用コンタクトピンによって達成される。
〔作用〕
針状部材1と弾性押圧部材3とが絶縁部材4によって電
気的に分離され、半導体装置9のパッド12と接触する
針状部材1は、導電性スリーブ2を介して試験用配線が
形成されている多層プリント板5の特定の配線と接続さ
れる。多層プリント板の配線はICソケットの端子8と
接続されているので、半導体装置9のパッド12と【C
ソケットの端子8とは導通され、端子8に信号電圧電流
を入力して半導体装置9を試験することができる。
半導体装置用コンタクトピンのコンタクト導体は、絶縁
部材4によって弾性押圧部材3と絶縁されて短く形成さ
れるので、インダクタンスが減少し、波形歪やノイズの
発生が防止される。
〔実施例〕
以下、図面を参照しつ一1本発明に係る二つのの実施例
について説明する。
第1■ 第1a図参照 図は半導体装置用コンタクトピン7がICソケットに装
着された状態を示す。半導体装置用コンタクトピン7の
弾性押圧部材3は樹脂等からなるケース6に固定され、
スリーブ2は試験用配線が形成された多層プリント板5
に装着されて、プリント板の特定の試験用配線と接続さ
れる。半導体装置用コンタクトピン7の針状部材1は、
絶縁部材4を介してスプリングよりなる弾性押圧部材3
によって上方に押圧される。半導体装置9のバッドが針
状部材1と接触するように半導体装置9を半導体装置用
コンタクトピン7上に載置し、カバー10をケース6と
係止することによって半導体装置9を半導体装置用コン
タクトピン7に押圧し、半導体装置9のバッド12と針
状部材1とを導通ずる。この結果、半導体装置9のバッ
ド12は針状部材1と、針状部材1と接触するスリーブ
2と、スリーブ2と接続されている多層プリント板に形
成されている特定の配線とを介して、ICソケット端子
8と接続されるので、ICソケット端子8に信号電圧電
流を入力して半導体装置9を試験することができる。半
導体装置用コンタクトピン7のコンタクト導体は、絶縁
部材4によって弾性押圧部材3と絶縁されて短く形成さ
れるので、インダクタンスが減少し、伝播される信号電
圧電流に歪が発生せず、ノイズも混入しない。また、半
導体装置用コンタクトピンにおける付加的静電容量や、
信号の反射も少(なる。
11班 第1b図参照 第1例のスプリングよりなる弾性押圧部材に代えて、板
バネよりなる弾性押圧部材が使用されており、第1例と
同じ作用を有する。
〔発明の効果〕
コンタクト導体は針状部材よりなり、導電性スリーブに
ガイドされ、絶縁部材を介して弾性押圧部材によって押
圧されて摺動し、半導体装置のバッドに接触する。針状
部材は導電性スリーブを介してICソケットの端子と接
続されるので、ICソケットの端子に試験用電圧電流を
入力して半導体装置の各種試験をすることができる。半
導体装置用コンタクトピンのコンタクト導体は、絶縁部
材をもって弾性押圧部材と絶縁され、短く形成されるの
で、インダクタンスが減少し、その結果、伝播される信
号電圧電流に歪が発生することが防止され、また、ノイ
ズが混入することが防止される。特に多ピン、高速半導
体装置において、この効果は顕著である。
【図面の簡単な説明】
第1a図は、本発明に係る半導体装置用コンタクトピン
の第1実施例の構造図である。 第1b図は、本発明に係る半導体装置用コンタクトピン
の第2実施例の構造図である。 第2図は、従来技術に係る半導体装置用コンタクトピン
の構造図である。 第3a図は、スプリング式コンタクトピンの断面図であ
る。 第3b図は、仮バネ状コンタクトピンの断面図である。 第3c図は、針状コンタクトピンの断面図である。 1・・・針状部材、 2・・・スリーブ、 3・・・弾性押圧部材、 4・・・絶縁部材、 5・・・多層プリント板、 6・・・ケース、 7・・・コンタクトピン、 8・・・ICソケット端子、 9・・・半導体装置、 10・・・カバー、 11・・・コンタクト導体。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】  半導体装置(9)のパッド(12)に弾性的に押圧さ
    れて、前記パッド(12)とICソケットの端子(8)
    との間を導通するコンタクト導体を有する半導体装置用
    コンタクトピンにおいて、 前記コンタクト導体は針状部材(1)よりなり、該針状
    部材(1)は、導電性スリーブ(2)にガイドされ、絶
    縁部材(4)を介して弾性押圧部材(3)によって押圧
    されて摺動して前記パッドに接触し、 前記針状部材(1)は、前記導電性スリーブ(2)を介
    して前記ICソケットの端子(8)と接続されてなる ことを特徴とする半導体装置用コンタクトピン。
JP11828488A 1988-05-17 1988-05-17 半導体装置用コンタクトピン Expired - Lifetime JP2576882B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11828488A JP2576882B2 (ja) 1988-05-17 1988-05-17 半導体装置用コンタクトピン

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11828488A JP2576882B2 (ja) 1988-05-17 1988-05-17 半導体装置用コンタクトピン

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01289147A true JPH01289147A (ja) 1989-11-21
JP2576882B2 JP2576882B2 (ja) 1997-01-29

Family

ID=14732864

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11828488A Expired - Lifetime JP2576882B2 (ja) 1988-05-17 1988-05-17 半導体装置用コンタクトピン

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2576882B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5772451A (en) * 1993-11-16 1998-06-30 Form Factor, Inc. Sockets for electronic components and methods of connecting to electronic components
CN116598267A (zh) * 2023-05-30 2023-08-15 先之科半导体科技(东莞)有限公司 结型场效应晶体管

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5772451A (en) * 1993-11-16 1998-06-30 Form Factor, Inc. Sockets for electronic components and methods of connecting to electronic components
US6669489B1 (en) 1993-11-16 2003-12-30 Formfactor, Inc. Interposer, socket and assembly for socketing an electronic component and method of making and using same
US6913468B2 (en) 1993-11-16 2005-07-05 Formfactor, Inc. Methods of removably mounting electronic components to a circuit board, and sockets formed by the methods
CN116598267A (zh) * 2023-05-30 2023-08-15 先之科半导体科技(东莞)有限公司 结型场效应晶体管
CN116598267B (zh) * 2023-05-30 2024-01-30 先之科半导体科技(东莞)有限公司 结型场效应晶体管

Also Published As

Publication number Publication date
JP2576882B2 (ja) 1997-01-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
GB1514060A (en) Contact structure for an electronic test system
KR980005984A (ko) 반도체 웨이퍼상의 복수의 집적회로 테스트 방법
JPS6324168A (ja) 電気コネクタ
JPH07244114A (ja) 半導体デバイステスト装置
US5199887A (en) Surface mounting connector
US6483331B2 (en) Tester for semiconductor device
JPH01289147A (ja) 半導体装置用コンタクトピン
MY115457A (en) Structure of ic device interface unit
JP3165648B2 (ja) 導電性接触子構造
JP3130769B2 (ja) 半導体装置
JPH05218149A (ja) プローブ装置
US4950981A (en) Apparatus for testing a circuit board
US5610531A (en) Testing method for semiconductor circuit levels
JP2001052824A (ja) インターコネクタ
JP2625180B2 (ja) 回路基板
JP2002318246A (ja) Icテスタのポゴピンブロック
JPH0755890A (ja) 部品実装基板の検査装置
JP2570033B2 (ja) プリント配線板用導通検査機
JPH10197605A (ja) Ic検査装置
JPH05347335A (ja) プローブカード
JPS63293483A (ja) 電子部品の電気試験装置
JPH07260860A (ja) 信号測定用装置
JPH0541416A (ja) プローブカード及びフロツグリング
JPH0346578A (ja) 半導体装置のバイアス印加試験用ソケット
JPS607079U (ja) プリント板試験治具