JPH01258349A - 走査型電子顕微鏡用断面試料ホルダー - Google Patents
走査型電子顕微鏡用断面試料ホルダーInfo
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- JPH01258349A JPH01258349A JP8450888A JP8450888A JPH01258349A JP H01258349 A JPH01258349 A JP H01258349A JP 8450888 A JP8450888 A JP 8450888A JP 8450888 A JP8450888 A JP 8450888A JP H01258349 A JPH01258349 A JP H01258349A
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- Japan
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- sample
- holder body
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- electron microscope
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
この発明は走査型電子顕を鏡（以下、ＳＦＭと呼ぶ：
Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃ
ｏｐｅ）用の断面観察用試料ホルダーに関するものであ
る。
Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃ
ｏｐｅ）用の断面観察用試料ホルダーに関するものであ
る。
〔従来の技術」
第３図は従来のＳＥＭ用断開断面試料ホルダー視図で、
図において、（１）は試料、（２）は試料（１）をホル
ダー（３）Ｋ導電固定するための銀ペースト、カーボン
ペースト等の導電性ペーストを示す。（３）はホルダー
本体で、第４図（ａ）〜（０）に示すように台座型に加
工されている。また、ホルダー本体（３）は通常しんち
ゅう、アルミ、カーボン等の材質からなる。
図において、（１）は試料、（２）は試料（１）をホル
ダー（３）Ｋ導電固定するための銀ペースト、カーボン
ペースト等の導電性ペーストを示す。（３）はホルダー
本体で、第４図（ａ）〜（０）に示すように台座型に加
工されている。また、ホルダー本体（３）は通常しんち
ゅう、アルミ、カーボン等の材質からなる。
次に動作について説明する。試料（１）は導電性ペース
ト（２）によってホルダー（３）に導通接着固定される
。この導電性ペースト（２）は銀を溶剤中に溶かし込ん
であシ、試料固定のためには１〜５分程度のドフィヤー
乾燥が必要で、このホルダー主体（３）をＳＦＭ中のス
テージにマウントし真空中（〜１０−’〜ｌＯ″Ｔｏｒ
ｒ）でａ察を行う。
ト（２）によってホルダー（３）に導通接着固定される
。この導電性ペースト（２）は銀を溶剤中に溶かし込ん
であシ、試料固定のためには１〜５分程度のドフィヤー
乾燥が必要で、このホルダー主体（３）をＳＦＭ中のス
テージにマウントし真空中（〜１０−’〜ｌＯ″Ｔｏｒ
ｒ）でａ察を行う。
従来の８ＥＭ用断面試料ホρダーは以上のように構成さ
れていたため、試料の接着の仕方によシ観察すべき試料
面が試料ごとに変化し、測長寸法誤差が大きくなシまた
、導電性ペーストの乾燥に時間を要し、ペーストからの
脱ガス、脱ごみでＳＥＭ真空度を低下させたシ、二次電
子検出用シンチレータの汚染、破損をもたらす等の課題
があったＯ この発明は上記のような課題を解消する丸めになされた
もので、所望の観察試料を常に同一基準面に設置が出来
るとともに測長寸法誤差が小さく、かつＳＥＭ真空度低
下の防止、シンチレータ汚染、破損の防止、更にＳＥＭ
作業能率の改善を目的とする。
れていたため、試料の接着の仕方によシ観察すべき試料
面が試料ごとに変化し、測長寸法誤差が大きくなシまた
、導電性ペーストの乾燥に時間を要し、ペーストからの
脱ガス、脱ごみでＳＥＭ真空度を低下させたシ、二次電
子検出用シンチレータの汚染、破損をもたらす等の課題
があったＯ この発明は上記のような課題を解消する丸めになされた
もので、所望の観察試料を常に同一基準面に設置が出来
るとともに測長寸法誤差が小さく、かつＳＥＭ真空度低
下の防止、シンチレータ汚染、破損の防止、更にＳＥＭ
作業能率の改善を目的とする。
〔課題を解決するための手段」
この発明に係るＳＥＭ用断面試料ホルダーは試料を物理
的に保持することによシ、銀ペースト等の導電性ペース
トを使用することなく、また基準平面も常に一定位置に
なる様設定される。
的に保持することによシ、銀ペースト等の導電性ペース
トを使用することなく、また基準平面も常に一定位置に
なる様設定される。
この発明におけるＳＥＭ用試料ホルダーは成形された（
しんちゅう製）ホルダー本体と、試料を固定するための
試料押え板及びねじ部分からなシ、試料を物理的に圧着
保持する。
しんちゅう製）ホルダー本体と、試料を固定するための
試料押え板及びねじ部分からなシ、試料を物理的に圧着
保持する。
Ｃ発明の実施例」
以下、この発明の一実施例を図について説明する◎第１
図において、（１）は試料、（３）はホルダー本体で、
第２図（ａ）〜（Ｑ）に示す様に加工されている。
図において、（１）は試料、（３）はホルダー本体で、
第２図（ａ）〜（Ｑ）に示す様に加工されている。
（４）は試料（１）を固定するための押え板で、この押
え板（４）はねじ（５）によってねじ止めされる。この
押え板（４）によ）試料（１）はホルダー本体（３）に
圧着、固定されている。尚、（３ａ）はホルダー本体（
３）の上端に設けられた突起部である。
え板（４）はねじ（５）によってねじ止めされる。この
押え板（４）によ）試料（１）はホルダー本体（３）に
圧着、固定されている。尚、（３ａ）はホルダー本体（
３）の上端に設けられた突起部である。
この発明は以上のように構成されているため、ホルダー
本体（３）の突起部（３ａ）の面に観察すべき試料（１
）の断面を押え板（４）とねじ（５）で固定して揃えて
やれば、ホルダー本体（３）の下部からこの突起部（３
ａ）までの高さｈは常に一定となる。
本体（３）の突起部（３ａ）の面に観察すべき試料（１
）の断面を押え板（４）とねじ（５）で固定して揃えて
やれば、ホルダー本体（３）の下部からこの突起部（３
ａ）までの高さｈは常に一定となる。
なお、上記実施例ではホルダー本体（３）の材質を特に
指定しておらず材質は任意であるが、試料がＳＥＭ内電
磁レンし内に固定される場合は磁場の影響が強くなるの
で、磁性体材質のものは避けることが望ましい。また、
試料とホルダー本体（３）間の導電性を良くするために
ホルダー本体（３）、押え板（４）に、金コーティング
をすることに更に効果会向上できる。
指定しておらず材質は任意であるが、試料がＳＥＭ内電
磁レンし内に固定される場合は磁場の影響が強くなるの
で、磁性体材質のものは避けることが望ましい。また、
試料とホルダー本体（３）間の導電性を良くするために
ホルダー本体（３）、押え板（４）に、金コーティング
をすることに更に効果会向上できる。
〔発明の効果」
以上のようにこの発明によれば、導電性ペーストを使用
せずに試料を圧着、固定するようにしたため、ペースト
からの脱ガス、脱ごみによる真空度の低下、Ｖンチレー
タの汚染、破損を防止でき、またドライヤ乾燥も不要で
スピーデイな試料装着による作業能率の向上を図れると
ともにまた、観察試料対象面を同一基準面に設置するた
め、測長寸法誤差を大中に低減することが出きる等の効
果がある。
せずに試料を圧着、固定するようにしたため、ペースト
からの脱ガス、脱ごみによる真空度の低下、Ｖンチレー
タの汚染、破損を防止でき、またドライヤ乾燥も不要で
スピーデイな試料装着による作業能率の向上を図れると
ともにまた、観察試料対象面を同一基準面に設置するた
め、測長寸法誤差を大中に低減することが出きる等の効
果がある。
第１図はこの発明の一実施例による断面試料ホμグーの
斜視図、第２図（ａ）〜（ｏ）は第１図の正面図、平面
図および側面図、第３図は従来の断面試料ホルダーの斜
視図、第４図（ａ）〜（ｃ）は第３図の正面図、平面図
および側面図である。 図において、（１）は試料、（３）はホルダー本体、（
３ａ）は突起部、（４）は押え板、（５）はねじである
。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
斜視図、第２図（ａ）〜（ｏ）は第１図の正面図、平面
図および側面図、第３図は従来の断面試料ホルダーの斜
視図、第４図（ａ）〜（ｃ）は第３図の正面図、平面図
および側面図である。 図において、（１）は試料、（３）はホルダー本体、（
３ａ）は突起部、（４）は押え板、（５）はねじである
。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 走査型電子顕微鏡用の試料ホルダーの試料断面を固定し
基準面をそろえる為のホルダー本体と、試料をホルダー
本体に固定する金具と、及びこの金具と本体とをねじじ
めするねじを有したことを特徴とする走査型電子顕微鏡
用断面試料ホルダー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63084508A JPH0760662B2 (ja) | 1988-04-05 | 1988-04-05 | 走査型電子顕微鏡用断面試料ホルダー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63084508A JPH0760662B2 (ja) | 1988-04-05 | 1988-04-05 | 走査型電子顕微鏡用断面試料ホルダー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01258349A true JPH01258349A (ja) | 1989-10-16 |
| JPH0760662B2 JPH0760662B2 (ja) | 1995-06-28 |
Family
ID=13832585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63084508A Expired - Fee Related JPH0760662B2 (ja) | 1988-04-05 | 1988-04-05 | 走査型電子顕微鏡用断面試料ホルダー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0760662B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57112457U (ja) * | 1980-12-29 | 1982-07-12 | ||
| JPS61156171U (ja) * | 1985-03-19 | 1986-09-27 |
-
1988
- 1988-04-05 JP JP63084508A patent/JPH0760662B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57112457U (ja) * | 1980-12-29 | 1982-07-12 | ||
| JPS61156171U (ja) * | 1985-03-19 | 1986-09-27 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0760662B2 (ja) | 1995-06-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |