JP2526199Y2 - ウェハホルダの固定構造 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】 本考案は、半導体製造装置等に
おいてウェハを所定位置に固定するための構造に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】 真空中などでウェハを位置決め固定す
る方式としては、例えば図３(a) に示すように、ウェハ
Ｗをクランパ３２ａ等により固定面３１ａに押圧するこ
とによって固定する方法、あるいは同図(b) に示すよう
に、固定面３１ｂ上にリング状のガイド３２ｂを配置し
て、このガイド３２ｂにより位置決め固定する方法があ
る。なお、この二つの方法においては、ウェハＷを直接
的に固定する場合と、ウェハＷをホルダに装着した状態
で、そのホルダを固定面に位置決めする場合がある。

【０００３】また、他の固定方法として、ウェハを直接
的に固定・保持する静電吸着方式などがある。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】 ところで、図３(a)
に示したウェハホールド機構によれば、固定面３１ａの
裏面側に、クランパ３２ａの駆動部３３ａが必要で、こ
の部分の構造が大型になる。しかも、クランパ３２ａな
どの移動部からのパーティクルによるウェハＷの汚染の
問題などもある。また、(b) に示したガイド構造による
と、ガイド３２ｂの先端部とウェハＷの周縁との間に隙
間が必ず必要なことから、固定されるウェハＷがその隙
間に相当する分だけがたつくといった欠点がある。なお
これら(a) ，(b) の構造においては、ウェハＷをホルダ
に装着した状態で位置決め固定する場合であっても、上
記と同様な問題がある。

【０００５】一方、静電吸着方式によると、電場が生じ
ることから、電子・イオンビーム等の荷電粒子を取り扱
う装置に適用した場合には、電場によりビームが曲がっ
たりする等の問題が発生する。本考案は、上記の従来の
諸問題点を一挙に解決すべくなされたもので、その目的
とするところは、駆動部のない簡単な構造で、しかも電
場を発生させることなくウェハホルダを精度良く位置決
め固定することが可能な構造を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】 上記の目的を達成する
ための構成を、実施例に対応する図１を参照しつつ説明
すると、本考案は、ウェハが装着されるホルダ１を、所
定位置に配置した固定部２に固定するための構造であっ
て、ホルダ１のウェハ装着面の裏面側に、少なくとも１
個が円錐形状である複数個の突起１１・・１３を所定の位
置関係で設けるとともに、固定部２には、突起のうちの
円錐形状の突起１１に嵌り合う形状の穴２１、および他
の一つの突起１２の一部に当接し得る形状の溝２２が、
それぞれ各突起１１・・１２の位置関係に対応して形成さ
れていることによって特徴づけられる。

【０００７】

【作用】 ホルダ１を固定部２の上方に、その一つの突
起１１が固定部の穴２１に上方に、かつ突起１２が溝２
２の上方に位置するように配置し、この状態から、ホル
ダ１を固定部２に向けて降下させると、円錐形状の突起
１１が円錐形状の穴２１に嵌り込み、これによりホルダ
１は固定部２に対する一点が正確に位置決めされ、さら
に突起１２の一部（円錐面）が溝２２の壁面に当接する
ことによってその回転が規制される。従って、ホルダ１
を固定部２に常に正確に位置決め固定できる。

【０００８】

【実施例】 本考案の実施例を、以下、図面に基づいて
説明する。図１は本考案実施例の構成を示す全体斜視図
である。円盤状のホルダ１の下面には、３個の円錐形状
の突起１１・・１３が同心円上に沿って設けられている。
一方、固定部２の上面には、先の突起１１が嵌り合う形
状の円錐形状の穴２１が形成されたブロック２１ａ、お
よび突起１２の円錐面が当接し得る２面を有するＶ溝２
２が形成されたブロック２２ａ、ならびに当てプレート
２３が、それぞれホルダ１の突起１１・・１３の位置関係
に対応して配置されている。すなわちこの固定部２は、
その穴２１にホルダ１の突起１１を嵌め込んだ状態で
は、他の突起１２の円錐面がＶ溝２２の２面に当接し、
かつ、突起１３の先端部が、当てプレート２３の上面に
当接する構造となっている。

【０００９】次に、以上の構造のホルダ１を固定部２に
固定する場合の手順を、図２および先の図１を参照しつ
つ説明する。まず、(a) に示すように、ウェハＷを装着
したホルダ１を搬送機１００に搭載する。この搭載時に
は、ホルダ１が固定部２の上方に位置したときに、ホル
ダ１の各円突起１１，１２，１３が、それぞれ穴２１，
Ｖ溝２２，当てプレート２３のほぼ真上に配置されるよ
うにしておく。

【００１０】次に、搬送機１００の前進により、ホルダ
１を平行移動させて固定部２の上方位置に配置する(b)
。この状態から搬送機１００を降下させると、ホルダ
１の突起１１が固定部２の穴２１に嵌り込むとともに、
突起１２の円錐面がＶ溝２２の２面に当接して、ホルダ
１が固定部２に対して平面的に位置決めされ、かつ突起
１３の先端が当てプレート２３の上面に当接すること
で、ホルダ１の固定部２に対する傾きも規制されてホル
ダ１は固定部２に対して平行に配置される。そして、こ
の状態から、搬送機１００をさらに降下させると、ホル
ダ１は固定部２へと完全に移し置かれ、この移し置きが
完了した時点で、(c) に示すように、搬送機１００を後
退させる。

【００１１】なお、以上の本考案実施例においては、ホ
ルダ１に３個の円錐形状の突起１１・・１３を設けている
が、このうち固定時のホルダ１の傾きを規制するための
突起１３は、例えば、当てプレート２３を高くして、位
置決め固定時には、そのプレート上面がホルダ１の下面
に当接するようにしておくか、あるいは当てプレートを
円錐形状として、その先端が同様にホルダ１の下面に当
接するようにしておけば、この突起１３を省くことも可
能である。また、突起１２は、特に円錐形状でなくて
も、一般に使用されている位置決めピンなどの他の形状
であってもよい。

【００１２】

【考案の効果】 以上説明したように、本考案によれ
ば、ウェハ搬送用のホルダに少なくとも１個が円錐形状
である複数個の突起を、また固定部にはその各突起に対
応した位置に円錐形状の穴およびＶ溝等を設けるだけ
で、ホルダを固定部に位置決め固定できるので、ウェハ
のホールドのための駆動部が不要で、全体としての構造
を簡略化および小型化できる。しかも、電気的な要素を
一切含まないことから電場の発生もなく、荷電粒子を取
り扱う装置への適用の可能である。さらに、円錐形状を
用いた位置決め構造であるので、加工精度に応じた位置
決め精度を得ることができ、これによりウェハのがたつ
きなども発生しない。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本考案実施例の構成を示す全体斜視図

【図２】 本考案実施例の位置決め固定の手順を説明す
る図

【図３】 ウェハの位置決め固定の従来の構造例を示す
図

【符号の説明】 １・・・・ホルダ １１，１２，１３・・・・円錐形状の突起 ２・・・・固定部 ２１・・・・円錐形状の穴 ２２・・・・Ｖ溝 ２３・・・・当てプレート Ｗ・・・・ウェハ

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェハが装着されるホルダを、所定位置
   に配置した固定部に固定するための構造であって、上記
   ホルダのウェハ装着面の裏面側に、少なくとも１個が円
   錐形状である複数個の突起を所定の位置関係で設けると
   ともに、上記固定部には、上記突起のうちの円錐形状の
   突起に嵌り合う形状の穴、および他の一つの上記突起の
   一部に当接し得る形状の溝が、それぞれ上記の各突起の
   位置関係に対応して形成されていることを特徴とするウ
   ェハホルダの固定構造。