JPH0749788Y2 - 荷電粒子線描画装置等におけるカセツト - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は荷電粒子線描画装置や電子線測長装置等におい
て、加工材料を移動ステージに装着する際に使用される
カセットの改良に関するものである。

［従来の技術］ 電子線描画装置においては加工材料、例えばウエハをカ
セットに収納し、このカセットを電子線の光軸と直交す
る平面内で水平移動する移動ステージに装着するように
なしている。

ここで、ウエハへの描画にあたってはウエハに形成した
複数の基準マークに電子線を照射し、このマーク部分か
らの反射電子等を検出することによって、該基準マーク
のXY座標を正確に測定し、その値からウエハの各パター
ンの位置と電子線との位置ずれを正確に求めるようにな
し、この位置ずれを補償するように電子線を偏向して電
子線とウエハとの間の精密な位置合わせを行なうように
している。しかしながら、電子線の偏向による位置合わ
せでは補償できる位置ずれの量に限界があり、マーク検
出を行なう前に電子線とウエハとをかなりの精度で位置
決めしておく必要がある。そこで、従来はウエハの基準
辺（オリエンテーションフラットと呼ばれている）が常
に一定位置に来るようにウエハをカセットに取付けると
共に、カセットの基準面が常に一定位置に来るようにカ
セットを移動ステージに装着することにより、結果的に
ウエハが電子線の光軸に対して常に一定の位置に配置さ
れるようにしていた。

その際使用されるカセットの構造を第２図に示す。即ち
ウエハ１を保持する保持体２上に３本のピン3a,3b,3cを
植設し、ウエハ１を保持体２に保持する際、ウエハ１の
基準辺Ｆがピン3a,3bに、また、外周の一部がピン3cに
夫々当接するようにこのウエハをバネ（図示せず）によ
り押圧する。そして第３図に示すようにウエハ１を保持
した保持体２をホルダ４の開口５に嵌合させ、板バネ６
によって保持体２を上方に押圧することによりウエハ１
をリング状の受け体７と保持台２とで挾持して固定す
る。このとき、保持体２にはホルダ４に形成したキー溝
8aに嵌合したキー8bが設けてあり、ホルダに対する保持
体の挿入方向、即ちウエハ１の向きが規制される。尚、
9a,9bは前記ホルダの開口５内壁に形成した長溝で、板
バネ６の開放端が嵌合される。10a,10b,10cは受け体７
に形成された穴で、前記各ピン3a,3b,3cが夫々嵌合され
る。11a乃至11dは受け体７をホルダ４に固定するための
ビスである。12は板バネ６を保持体２に取付けるための
押しネジである。

このような構造のカセットにより、基準辺が常に一定位
置に来るようにウエハをカセットに取付けることができ
る。しかしながら、基準辺Ｆと各基準マークとの相対位
置は各ウエハによってかなりバラツキがあり、場合によ
っては基準マークが電子線によって位置合わせのできる
許容範囲から外れてしまうことがある。そのため、カセ
ットを露光室内に装填する前に光学顕微鏡で基準マーク
位置を調べ、基準マークが前記許容範囲内に収まるよう
にウエハの向きを微調整している。

［考案が解決しようとする問題点］ ところが、従来のカセットは前述したようにウエハ１を
キー8bにより回転が阻止された保持体２により挾持する
ようになしてあるため、微調整にあたっては保持体２を
一旦ホルダ４から取外してウエハを微小回転させた後、
再度保持体をホルダにセットして光学顕微鏡で確認する
という動作を繰り返さなければならない。その結果、調
整に長い時間を費やすと共に、取扱いが非常に面倒であ
る。

そこで、本考案はこのような不都合を解決することので
きる新規なカセットを提供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本考案は荷電粒子線の光軸
と直交する平面内で移動する移動ステージに着脱可能に
装着されるホルダと、板状の加工材料を保持する保持体
を挿脱する開口を有し、該保持体に保持した加工材料の
中心を回転中心として任意の角度回転可能に前記ホルダ
に取付けられた回転体と、該回転体上面の開口縁部分に
張り出す様にこの回転体に固定された受け体と、該回転
体の開口内に挿脱される前記加工材料を保持する保持体
と、前記荷電粒子線に対する加工材料の向きを規制する
ため前記保持体に取付けられた位置規制手段と、前記保
持体を介して前記加工材料を受け体に押圧して固定する
ための弾性体と、前記回転体の回転をロックするための
ロック手段と、該ロック手段を解除するための手段とか
らなることを特徴とするものである。

以下、本考案の実施例を図面に基づき詳説する。

［実施例］ 第１図は本考案の一実施例を示す断面図であり、第２図
及び第３図と同一番号のものは同一構成要素を示すもの
である。

同図において、13はホルダ４の中央部に回転可能に置か
れた回転体で、その回転中心Ｏは、保持体２を該回転体
内に装着した時に該保持体に保持したウエハ１の中心と
一致し、ホルダ４を露光室内の移動ステージ（図示せ
ず）に装着したとき光軸と平行になるようになしてあ
る。この回転体13の上面にはリング状の受け体７が数本
のビス11a,11b…によって固定され、この受け体の外側
の張り出し部分7aによってこの回転体がホルダ４に対し
て支持される。さらに、回転体13の中央部にはウエハ１
を挿脱する開口14が設けてあって板バネ６を有する保持
体２は下方向から装填される。さらに、また、この回転
体13の開口内壁に保持体２に設けられた回転止め用キー
8bが嵌合するキー溝8a及び板バネ６が嵌合する長溝9a,9
bが夫々形成されている。

15は前記回転体13の外周近傍に置かれ、かつホルダ４に
軸16及び支持台17を介して回動可能に取付けられたレバ
ーで、その一端（作用点）は回転体13の外周に形成した
環状の溝18に係合し、また他端にはホルダ４の上面に埋
設された押しピン19が当接している。さらに、このレバ
ーはスプリング20により押圧され、レバーの作用点が常
に回転体13に押し付けられていてこの回転体の回転をロ
ックするようになしてある。ここで、レバーと押しピン
とスプリングとからなるロック機構は複数組用意され、
夫々が軸対称に配置される。

21a,21b…は前記受け体７の上面に形成した凹部で、こ
の各凹部内に先端が細く形成された棒体等からなる回転
用治具（図示せず）を係合させることによって回転体13
を回転させるためのものである。

かかる構成において、ウエハ１を装填したホルダ４を光
学顕微鏡にセットして基準マークを観察し、その基準マ
ークが電子線による位置合わせの許容範囲からズレてい
るときには、先ずリング状の押圧用治具によってホルダ
４の上面から突出している押しピン19を下方に押圧する
ことによりレバー15をスプリング20の押圧力に抗して回
動させ、このレバーを回転体13から切り離して回転体13
への押圧力を解除する。この状態において回転用治具を
受け体７の凹部21a,21b…内に係合させて回転体を任意
方向に微小回転させれば、キー溝8a,キー8bを介して保
持体２（ウエハ１）が同方向に回転するため、基準マー
クのズレを容易に補正することができる。

尚、前述の説明では光学顕微鏡を用いて基準マークのズ
レの補正を行なうようになした場合について述べたが、
露光室内に外部から操作可能になしたリング状の押圧用
治具及び回転用治具を組み込むことにより露光室内で行
なうこともできる。また、レバー15及び回転体13の回転
駆動をソレノイドやモータ等を用いることにより電気的
に制御することも可能である。さらに、ウエハを挾持す
る受け体はリングとなしたが、必ずしもリング状となす
必要はなく、複数の板体を等間隔に配置するようになし
ても良い。

［考案の効果］ 以上詳述した本考案においては、ウエハに形成した基準
マークのズレの補正にあたり、その都度保持体をホルダ
から脱着しながらウエハを微小回転させるという動作を
試行錯誤することなく基準マーク像を観察しながらその
ズレを補正することができる。そのため、調整を短時間
で行なうことができると共に、取扱が非常に容易とな
る。又、本考案では、板状の加工材料を保持する保持体
を挿脱する開口を有する回転体は、該保持体に保持した
加工材料の中心を回転中心として回転可能に前記ホルダ
に取付けられているので、該回転体を加工材料の中心を
ずらすことなく任意の角度回転させることが出来るの
で、基準のパターンに対して任意の角度回転させたパタ
ーンをパターン描画データを増やすことなく加工材料上
に描画することが可能となる。更に、本考案では、前記
回転体の回転をロックするロック手段に対して該ロック
手段を解除するための手段を有しているので、該ロック
解除手段で回転体の回転のロックを解除した下で該回転
体を回転させることが出来るため、互いに接する回転体
とホルダの両面及び受け体とホルダの両面を劣化させる
ことがない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２図及び第
３図は従来例を説明するための各々分解斜視図及び断面
図である。 1:ウエハ、2:保持体 3a,3b,3c:ピン 4:ホルダ、5,14:開口 6:板バネ、7:受け体 8a:キー溝、8b:キー 9a,9b:長溝 10a,10b,10c:穴 11a乃至11d:ビス 12:押しネジ、13:回転体 15:レバー、16:軸 17:支持台、18:溝 20:スプリング、21a,21b:凹部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】荷電粒子線の光軸と直交する平面内で移動
   する移動ステージに着脱可能に装着されるホルダと、板
   状の加工材料を保持する保持体を挿脱する開口を有し、
   該保持体に保持した加工材料の中心を回転中心として任
   意の角度回転可能に前記ホルダに取付けられた回転体
   と、該回転体上面の開口縁部分に張り出す様にこの回転
   体に固定された受け体と、前記荷電粒子線に対する加工
   材料の向きを規制するため前記保持体に取付けられた位
   置規制手段と、前記保持体を介して前記加工材料を受け
   体に押圧して固定するための弾性体と、前記回転体の回
   転をロックするためのロック手段と、該ロック手段を解
   除するための手段とからなる荷電粒子線描画装置等にお
   けるカセット。