JP5085394B2 - 回転機構及び電子線描画装置 - Google Patents
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Description
以下、本発明の第1の実施形態を図1〜図8(B)に基づいて説明する。図1には本実施形態に係る電子線描画装置100の概略構成が示されている。この電子線描画装置100は、例えば真空度が10−4Pa程度の環境下において、レジスト材がコーティングされた基板Wに電子ビームを照射して、基板Wの描画面に微細パターンを描画する描画装置である。
次に、本発明の第2の実施形態を図9〜図18(B)に基づいて説明する。ここで、前述した第1の実施形態と同一の構成部分については、同一の符号を用いるとともに、その説明を簡略し、または省略するものとする。
回転テーブル32の回転中心(図15中のX軸とY軸の交点)と基板Wの中心との偏心量(以下、単に基板Wの偏心量という)の測定は、まず、移動装置34を介して基板WをX軸方向へ移動させて、例えば図14の概略図に示されるように、照射装置10からの電子線が基板Wの外縁部に入射する位置へ基板Wを位置決めする。次に、図中の白抜き矢印に示されるように基板Wを回転させ、所定の角度毎に基板Wに入射した電子線の2次電子信号を不図示の検出器を介して取得する。本実施形態では、一例として図15を参照するとわかるように、基板Wが30度回転するごとに矩形状のフィールドF1〜F12を電子線で走査し、この走査により得られる電子線の2次電子信号に基づいて12枚の画像を形成する。
基板Wの偏心量εを算出したら、次に偏心量εに基づいて保持ブロック45A〜45Cを移動させて、基板Wの中心を回転テーブル32の回転中心に位置決めする。保持ブロック45A〜45Cの移動は、保持ブロック45Cを代表的に取り上げて示す図である図17(A)及び図17(B)を参照するとわかるように、1組の接触電極70a(ただし、紙面奥側の接触電極70aは不図示)と、X軸方向に微小移動するマイクロヘッド70bとを備えた位置調整装置70を用いて行う。
Claims (11)
- 基板を回転軸回りに回転する回転機構であって、
所定の円に内接、又は外接するように形成された少なくとも3つの円形開口を有し、前記基板の中心を、前記所定の円の中心へ一致させた状態で、前記基板を保持するトレイと;
前記トレイを載置して前記回転軸回りに回転し、前記回転軸を中心とする円の円周に沿って、前記少なくとも3つの円形開口のうちの少なくとも2つの円形開口に個別に内接して配置された少なくとも2つの第1位置決め部材と、前記少なくとも3つの円形開口のうちの前記少なくとも2つの円形開口以外の円形開口に内接可能に配置された第2位置決め部材とを有する回転テーブルと;
前記第2位置決め部材を、前記回転軸を中心とする円の半径方向へ移動する移動機構と;を備える回転機構。 - 前記少なくとも3つの円形開口は、相互に大きさが等しく、それぞれ前記所定の円に内接しており、
前記少なくとも2つの第1位置決め部材それぞれは、前記所定の円に内接して配置されており、
前記第2位置決め部材は、前記所定の円に内接可能に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の回転機構。 - 前記少なくとも3つの円形開口は、相互に大きさが等しく、それぞれ前記所定の円に外接しており、
前記少なくとも2つの第1位置決め部材それぞれは、前記所定の円に外接して配置されており、
前記第2位置決め部材は、前記所定の円に外接可能に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の回転機構。 - 前記少なくとも3つの円形開口は前記所定の円の円周に沿って等間隔で配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の回転機構。
- 前記トレイは、前記基板が載置される面の上面を、前記所定の円の半径方向へ移動する複数の保持ブロックを更に備え、前記基板は、前記複数の保持ブロックによって、前記基板の中心が前記所定の円の中心に位置決めされた状態で、前記トレイに保持されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の回転機構。
- 前記保持ブロックは、前記トレイに前記所定の円の半径方向に形成された溝に沿って摺動することにより、前記トレイ上を移動することを特徴とする請求項5に記載の回転機構。
- 前記保持ブロックを、任意の位置で固定するロック機構を更に備える請求項6に記載の回転機構。
- 前記ロック機構は、前記溝内に位置する前記保持ブロックの少なくとも一部を、前記所定の円の半径方向に直交する方向に伸張させることにより得られる摩擦力によって、前記保持ブロックを固定することを特徴とする請求項7に記載の回転機構。
- 前記ロック機構は、印加される電圧に応じて前記保持ブロックの少なくとも一部を伸縮させる圧電素子を備えていることを特徴とする請求項8に記載の回転機構。
- 前記圧電素子に所望の電圧を印加する電圧印加装置と;
前記保持ブロックを前記溝に沿って摺動させる移動機構とを;を更に備える請求項9に記載の回転機構。 - 基板にパターンを描画する電子線描画装置であって、
請求項1〜10のいずれか一項に記載の回転機構と;
前記回転機構によって回転される基板に電子線を照射する照射装置と;を備える電子線描画装置。
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