JP2000076708A - 光学記録媒体作製用原盤記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ビーム照射により、記録形成を行う場合に、
照射機構の偏荷重を支える。 【解決手段】 回転基台３１と、照射機構３２と、照射
機構を走査する案内機構４０と、案内機構を送り位置決
めするための送り位置決め駆動機構４１を有する光学記
録媒体作製用原盤記録装置において、照射機構３２は、
照射機構支持部３３により、直接あるいは間接に支持さ
れるようにし、照射機構３２は、照射機構支持部３３の
ほぼ先端部において、基板１と対向するように配置し、
照射機構３２の近傍に圧力保持機構３４が、照射機構支
持部３３に接続配置し、圧力保持機構３４には、気体静
圧パッドハウジング３７が接続されるようにし、気体静
圧パッドハウジング３７の内部には、気体供給パッド３
８を配置し、気体供給パッド３８の底面は、基板１と対
向するように、気体静圧パッドハウジング３７の底部に
配置し、気体供給パッド３８を介して、照射機構３２
と、基板１との間に気体を供給するようにし、圧力保持
機構３４の圧力は一定になるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ビーム照射により
所定パターンの記録形成を行う光学記録媒体作製用原盤
記録装置に係わる。

【０００２】

【従来の技術】オーディオ用、ビデオ用、その他の各種
情報を記録する光学記録媒体として、その記録もしくは
再生を光照射によって行う光ディスク、光カード、光磁
気ディスク、相変化光学記録媒体等のＲＯＭ（Read Onl
y Disk) 型、追記型、書換え型等の光学記録媒体がある
が、例えば、コンパクトディスクにおけるような、ＲＯ
Ｍ型においては、データ情報、トラッキングサーボ信号
等の記録がなされる位相ピット、プリグルーブ等の微細
凹凸、また、追記型、書換え型都付の光磁気、あるいは
相変化等のよる光学記録媒体においても、プリグルーブ
等の微細凹凸の形成がなされる。

【０００３】これら、微細凹凸が形成された光学記録媒
体の基板を作製する場合、この微細凹凸に対応する凹凸
面を有するスタンパーにより、圧縮成形、射出成形等に
よって作製される。このスタンパーは、光学記録媒体用
の原盤に金属メッキを施し、これを剥離することによ
り、複製される。

【０００４】図４に示す例えば表面を充分平滑研磨した
ガラス基板１０を回転基台（図示せず）上に載置し、所
定の回転数で回転された状態で、図５に示すように、ア
ルカリ可溶性となるフォトレジスト１１を、例えば０．
１μｍ程度の厚さに均一に塗布する。

【０００５】次に、図６に示すように、レーザー光Ｌに
より、フォトレジスト１１を所定パターンに露光する。
この露光は、ガラス基板１０を回転させながら、レーザ
ー光Ｌを、ガラス基板１０の半径方向に、一回転あた
り、等距離ずつ送ることにより、フォトレジスト１１
に、溝の潜像を、一定間隔で、スパイラル状に生じさせ
て行う。

【０００６】次に、図７に示すように、ガラス基板１０
をアルカリ性現像液で現像し、露光部を除去する。この
ようにすると、ガラス基板１０上に、所定の微細凹凸パ
ターン１１ａの形成がされた光学記録媒体用の原盤２０
を作製することができる。

【０００７】上述のように、フォトレジストに露光光を
照射してパターン露光を行う光学記録媒体作製用原盤記
録装置１００について、図８にその概略図を示す。光学
記録媒体作製用原盤記録装置においては、高精度化と、
小型化が求められている。このため、基板を跨ぐような
２本のガイドに搭載したテーブルにスポット照射機構を
搭載して走査するような構成とすると、ビーム照射を行
う可動部が重く、大きな機構構成となり、送り位置決め
の制御性も悪化するため、可動部を小型軽量化し、さら
に、照射機構を片持ち梁のほぼ先端部に設置して、基板
面に対向させる構成とすることが一般的に行われてい
る。

【０００８】この光学記録媒体作製用原盤記録装置１０
０においては、回転基台１０１上に載置された基板１０
の表面に、記録する信号に応じて点滅するレーザービー
ムスポット等を照射する照射機構１０２、例えば対物レ
ンズを、照射機構支持部１０３を用いて支持し、ボイス
コイルモーター等の変位駆動機構１０４で駆動制御する
ことにより、この照射機構１０２の、基板面に垂直な方
向あるいは面方向の位置を変化させることができるよう
な構造を有する。

【０００９】上述したように、光学記録媒体作製用原盤
記録装置においては、特に、高精度化、小型化が求めら
れているため、図８に示すように、照射機構を片持ち梁
の、ほぼ先端部に設置して基板１０に対向させる構成と
されている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図８に
示したような従来の構成の光学記録媒体作製用原盤記録
装置１００においては、照射機構１０２が照射機構支持
部１０３のほぼ先端部に形成されているため、照射機構
１０２を走査するための、案内機構１０６、およびこれ
を送り位置決めするための送り位置決め駆動機構１０４
においては、片持ち梁部分の重量が偏荷重として加わ
り、ピッチングモーメント力が働くため、この、照射機
構支持部１０３に均等荷重が加わる場合に比べて、軸受
性能が駆動制御の安定性に影響を及ぼし、送り位置決め
精度が悪化するという問題が生じている。

【００１１】また、基板１０は、極力平坦な面内で回転
するように構成することが必要であるが、基板１０の厚
さに不均一なむらを完全に除去することが実際には困難
であり、基板１０を回転基台１０１により回転させる
と、スポットが照射される基板１０の表面の高さに変動
が生じる。

【００１２】これに対応するために、一般的に、自動焦
点制御機構１０５により、照射するスポットの位置を基
板１０の表面に正確に合わせる操作が行われているが、
このように、照射機構１０２自体を基板１０の厚さの不
均一に合わせて追従させるようにすると、照射機構１０
２の質量と加速度から、加振力が生じ、その加振力は、
片持ち梁のほぼ先端部に生じるので、案内機構１０６
は、ピッチング振動を受けるので、送り位置決め駆動機
構１０４の制御精度が悪化するという問題が生じた。

【００１３】そこで、本発明は、上述した従来の実情に
鑑みて提案されたものであり、基板１０上に、ビーム照
射を行って、所定パターンの記録を行う際の、片持ち梁
部分の重量が、偏荷重として加わり、駆動制御の安定性
に悪影響を与えてしまうことを効果的に回避した構造の
光学記録媒体作製用原盤記録装置を提供する。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明の光学記録媒体作
製用原盤記録装置においては、フォトレジストを塗布し
た基板を載置し、基板を回転させる回転基台と、レジス
ト上に、記録ビームを集束し照射する照射機構と、照射
機構を基板面に対向して、回転基台に対して垂直方向及
びこれに直交する面方向に移動可能として照射機構を走
査する案内機構と、案内機構を送り位置決めするための
送り位置決め駆動機構とを有するものとし、照射機構
は、照射機構支持部と、直接あるいは間接に支持されて
なり、照射機構は、照射機構支持部のほぼ先端部におい
て、基板と対向するように配置されて成るものとし、照
射機構の近傍あるいはその周囲の同軸上に、圧力を一定
に保つ圧力保持機構が、照射機構支持部に接続配置し、
圧力保持機構には、気体静圧パッドハウジングが接続さ
れて成り、気体静圧パッドハウジングの内部には、気体
静圧パッドハウジングの底面に臨んで気体供給パッド
が、基板と対向するように配置されて成り、気体供給パ
ッドを通じて、光照射機構と、基板との間に気体を供給
するものとする。

【００１５】本発明の光学記録媒体作製用原盤記録装置
においては、照射機構が、照射機構支持部において、片
持ち梁の構成で設置されてなることによる、案内機構へ
の荷重分布の不均一を、打ち消すように、照射機構を支
える。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明は、ビデオ用、オーディオ
用の光学記録媒体、例えばコンパクトディスク（Ｃ
Ｄ）、ＣＤ−ＲＯＭ、ビデオディスク、光磁気ディス
ク、ミニディスク（ＭＤ）、ディジタルバーサタイルデ
ィスク（ＤＶＤ）等の、光学記録媒体を構成する基板を
作製するための原盤を作製する、光学記録媒体作製用原
盤記録装置を提供する。

【００１７】本発明の光学記録媒体作製用原盤記録装置
は、フォトレジストを塗布した基板を載置し、基板を回
転させる回転基台と、レジスト上に、記録ビームを集束
し照射する照射機構と、照射機構を基板面に対向して、
回転基台に対して垂直方向及びこれに直交する面方向に
移動可能として照射機構を走査する案内機構と、案内機
構を送り位置決めするための送り位置決め駆動機構とを
有する構成のものである。

【００１８】また、照射機構は、照射機構支持部と、直
接あるいは間接に支持されてなり、照射機構は、照射機
構支持部のほぼ先端部において、基板と対向するように
配置されて成るものである。

【００１９】また、照射機構の近傍あるいはその周囲の
同軸上に、圧力を一定に保つ圧力保持機構が、照射機構
支持部に接続配置し、圧力保持機構には、例えば円筒状
の気体静圧パッドハウジングが接続されて成る。この気
体静圧パッドハウジングは、例えばステンレス、アルミ
ニウムの円筒形状のものを適用することができ、気体静
圧パッドハウジングの照射機構が配置されるようになさ
れている。

【００２０】また、気体静圧パッドハウジングの内部に
は、気体静圧パッドハウジングの底面に臨んで、例えば
セラミックス、カーボンよりなるリング形状の多孔質の
気体供給パッドが、基板と対向するように配置されて成
り、気体供給パッドを通じて、光照射機構と、基板との
間に気体が供給されるものである。

【００２１】また、この気体供給パッドには、気体供給
管が接続されてなり、この気体供給管を介して例えば空
気、窒素等のガスが送り込まれるようになされている。

【００２２】以下、本発明の光学記録媒体作製用原盤記
録装置の一例について、図を参照して説明する。なお、
本発明は、以下に示す例に限定されるものではない。特
に、以下の例においては、ガラス基板上に塗布したフォ
トレジストを、レーザー光を照射し、対物レンズにより
集光することにより露光し、所定のパターンを形成する
例について説明するが、本発明は、この例の限定される
ものでは、なく、光ビームの他、電子ビームを電子レン
ズにより集光して、所定パターンの記録形成を行う場合
についても同様に適用することができる。

【００２３】先ず、本発明装置の説明に先立って、光学
記録媒体用の原盤を作製する方法について説明する。

【００２４】図４に示す例えば表面を充分平滑研磨した
ガラス基板１０をを回転基台（図示せず）上に載置し、
所定の回転数で回転された状態で、図５に示すように、
アルカリ可溶性となるフォトレジスト１１を、例えば
０．１μｍ程度の厚さに均一に塗布する。

【００２５】次に、図６に示すように、レーザー光Ｌに
より、フォトレジスト１１を所定パターンに露光する。
この露光は、ガラス基板１０を回転させながら、レーザ
ー光Ｌを、ガラス基板１０の半径方向に、一回転あた
り、等距離ずつ送ることにより、フォトレジスト１１
に、溝の潜像を、一定間隔でスパイラル状、あるいは同
心円状に生じさせて行う。

【００２６】次に、図７に示すように、ガラス基板１０
をアルカリ性現像液で現像し、露光部を除去する。この
ようにすると、ガラス基板１０上に、所定の微細凹凸パ
ターン１１ａの形成がされた光学記録媒体用の原盤２０
を作製することができる。

【００２７】本発明装置は、上述した原盤を作製するた
めの、パターン露光を行う場合に用いることができるも
のであり、以下、図１を参照して、本発明装置について
説明する。

【００２８】図１に示す光学記録媒体作製用原盤記録装
置３０は、例えば、鋳鉄、天然石等の形状寸法安定性、
振動減衰性に優れたマシンベース（図示せず）上に構成
される。このマシンベースは、例えば空気ばね等の除振
機構により、床振動を減衰、絶縁できる構成とされてい
る。

【００２９】この光学記録媒体作製用原盤記録装置３０
においては、所定の回転数で、面方向に回転する機能を
有する回転基台３１と、この回転基台３１上に載置され
た原盤１の表面に、記録する信号に応じて点滅するレー
ザービームスポット等を照射し集束させる照射機構３２
を有してなる。

【００３０】この光学記録媒体作製用原盤記録装置３０
は、照射機構３２を相対的に基板１の面方向、すなわち
半径方向に走査できるような、例えば、クロスローラー
ガイド、気体静圧案内等による案内機構４０およびこれ
を送り位置決めするための、送り位置決め駆動機構４１
を具備している。

【００３１】また、この照射機構３２は、昇降機構（図
示せず）により基板１との高さ方向の距離を、調整する
ことができるようになされている。また、この照射機構
３２は、光学記録媒体作製用原盤記録装置３０全体とし
ての重量を軽量化させて装置の小型化を図る必要性か
ら、案内機構４０から張り出すように接続された照射機
構支持部３３の先端部に設置されてなる、いわゆる片持
ち梁のほぼ先端部に配置されてなる。

【００３２】また、この照射機構３２の近傍、あるいは
照射機構３２の周囲の同軸上に、例えばベローズ、また
はダイアフラム等の空気バネ、あるいは容易に変形可能
なチャンバー室等を有する構成の、圧力保持機構３４を
設ける。この圧力保持機構３４には、気体供給管３６が
接続されてなり、この気体供給管３６を通じて、例え
ば、電空比例制御弁等の、すなわち指令電圧又は電流と
気体２次圧力が比例関係になるように制御された圧力制
御弁よりなる圧力制御機構３５により圧力制御された気
体、例えば空気、窒素等のガスが送り込まれるようにな
されており、これにより、この圧力保持機構３４内の圧
力が、一定に保たれるようになされている。

【００３３】また、この圧力保持機構３４の下方には、
気体静圧パッドハウジング３７が接続されてなる。この
気体静圧パッドハウジング３７は、例えばステンレス、
アルミニウムの円筒形状のものを適用することができ、
円筒の中空部には、照射機構３２が配置されてなる。

【００３４】気体静圧パッドハウジング３７には、例え
ばセラミックス、カーボンよりなるリング形状の通気性
を有する多孔質の気体供給パッド３８が埋め込まれてな
り、この気体供給パッド３８は、その底面の多孔質面
が、原盤１と、対向するように配置されている。

【００３５】また、この気体供給パッド３８には、気体
供給管３９が接続されてなり、この気体供給管３９を介
して例えば空気、窒素等のガスが送り込まれるようにな
されている。

【００３６】次に、図１に示した光学記録媒体作製用原
盤記録装置３０を用いて、基板１の露光を行う手順の一
例について説明する。

【００３７】先ず、圧力制御機構３５により、気体圧力
を調整し、気体供給管３６を介して、圧力保持機構３４
に送り込む。また、一方において、気体供給管３９を介
して、気体供給パッド３８に気体を送り込む。このよう
にすると、気体供給パッド３８は通気性の多孔質である
ため、供給された気体は、基板１と、気体静圧パッドハ
ウジング３７および照射機構３２との間に吹き込まれ
る。

【００３８】次に、昇降機構（図示せず）により、照射
機構３２を基板１に近づけるように降下させて、照射機
構３２と、原盤１との間の距離を、おおむね所望の距離
に合わせる。

【００３９】このようにして照射機構３２を降下させ
て、照射機構３２と、基板１との間の距離がせばまって
いき、例えば３０〜４０μｍ程度にすると、基板１と、
照射機構３２との間には、上述のように気体が吹き込ま
れているため、基板１と、照射機構３２との間の圧力が
急激に高くなり、照射機構３２を基板１上において基板
面から離れる方向に押し上げる力が働く。すなわち、照
射機構３２を、基板１上において、基板と非接触で対向
配置することができる。

【００４０】また、圧力保持機構３４には、上述したよ
うに圧力制御機構３５により、圧力制御されて気体が供
給されてなり、この内部の圧力は均一に保持されるよう
になされているため、結果として照射機構支持部３３の
先端部において、下方向の荷重を上方向に押し上げる力
により支えることができるようになる。

【００４１】これにより、照射装置３２を原盤１上にお
いて、対向配置するための、片持ち梁部分の重量が、偏
荷重として加わり、駆動制御の安定性に悪影響を与えて
しまうことを効果的に回避することができる。

【００４２】また、基板１は、フォトレジストの表面が
平滑であることが望ましいが、厳密に平滑面を形成する
とは、実際には困難であり、基板１表面が平滑でないと
きに基板１を回転させた場合に、照射機構３２と基板１
面の間の距離が変動してしまう。これによりこの空間の
圧力が変動してしまい、この力の変動分に起因した、偏
荷重が、案内機構４０や送り位置決め駆動機構４１の駆
動制御の安定性に悪影響を与えてしまう。これを回避す
るために、圧力制御機構により圧力制御を行って圧力保
持機構３４の気体を送り込み、照射機構支持部３３の先
端部において、常に、一定の、上方向に押し上げる力が
働くようにして、偏荷重を相殺し、打ち消すようにす
る。

【００４３】次に、変位駆動機構４２により、照射機構
３２の微調整を行い、基板１上に、正確に焦点が合うよ
うにする。

【００４４】このように基板１上に焦点を合わせたの
ち、図４〜図７を用いて、説明したように、レーザー光
Ｌを、基板１の半径方向に、一回転あたり、等距離ずつ
送ることにより、溝の潜像を、一定間隔で、スパイラル
状、あるいは同心円状に生じさせて行い、その後、例え
ばアルカリ性現像液で現像し、露光部を除去する。この
ようにすると、所定のパターン１の形成がされた光学記
録媒体用の原盤を作製することができる。

【００４５】次に、本発明の光学記録媒体作製用原盤記
録装置の他の一例について、図２を参照して説明する。
図２に示す光学記録媒体作製用原盤記録装置６０におい
ては、図１に示した光学記録媒体作製用原盤記録装置３
０と構成上共通する部分については、同一符号を付し
て、重複説明を省略する。

【００４６】図２に示す光学記録媒体作製用原盤記録装
置６０においては、気体静圧パッドハウジング３７の中
に埋め込まれた気体供給パッド３８に、圧力制御機構４
４により圧力制御された気体が、気体供給管３９を介し
て供給されるようになされている。また、この気体供給
パッドに加えて、気体静圧パッドハウジング３７の中
に、例えば、リング状の気体吸収パッド４８を埋め込ん
だ構成を有するものである。この気体吸収パッド４８
は、その底面が基板１と対向するように配置されてい
る。

【００４７】また、この気体吸収パッド４９には、気体
吸引管４６が接続されてなり、この気体吸引管４６を介
して、圧力制御機構４５により圧力制御されて、基板１
と光照射機構３２との間にある気体を吸引するようにな
されている。

【００４８】このように、光照射機構３２と基板１との
間に、気体供給パッド３８を介して気体を送り込むのみ
ならず、気体吸収パッド４８によって光照射機構３２と
基板１との間の気体を吸収することができるようにする
と、光照射機構３２と基板１との間の気体供給量をさら
に精密に制御し、この間の圧力の調整をさらに精密に行
うことができるようになる。

【００４９】また、この気体静圧パッドハウジング３７
と、上記照射機構支持部３３とは、図１において示した
チャンバー室等の圧力保持機構３４の代わりに、例えば
ロードセル、圧電素子等の圧力を検出することのできる
発生力検出機構５０を設置するものとする。この発生力
検出機構５０により、検出される力が、常に一定になる
ように、上記圧力制御機構４４および４５を調整するも
のとする。

【００５０】これにより、図１に示した構造の光学記録
媒体作製用原盤記録装置と同様に、照射機構支持部３３
の先端部を、下方向の荷重を上方向に押し上げる力によ
り支えることができるようになる。すなわち、照射装置
３２を基板１上において、対向配置するための、片持ち
梁部分の重量が、偏荷重として加わり、駆動制御の安定
性に悪影響を与えてしまうことを効果的に回避すること
ができる。

【００５１】次に、本発明の光学記録媒体作製用原盤記
録装置の、更に他の一例について、図３を参照して説明
する。図３に示す光学記録媒体作製用原盤記録装置７０
においては、図１に示した光学記録媒体作製用原盤記録
装置３０と構成上共通する部分については、同一符号を
付して、重複説明を省略する。

【００５２】図３に示す光学記録媒体作製用原盤記録装
置７０においては、気体静圧パッドハウジング３７の中
に埋め込まれた気体供給パッド３８に、圧力制御機構４
４により圧力制御された気体が、気体供給管３９を介し
て供給されるようになされている。また、この気体供給
パッドに加えて、気体静圧パッドハウジング３７の中
に、例えば、リング状の気体吸収パッド４８を埋め込ん
だ構成を有するものである。この気体吸収パッド４８
は、その底面が基板１と対向するように配置されてい
る。

【００５３】また、この気体吸収パッド４９には、気体
吸引管４６が接続されてなり、この気体吸引管４６を介
して、圧力制御機構４５により圧力制御されて、基板１
と照射機構３２との間にある気体を吸引するようになさ
れている。

【００５４】このように、照射機構３２と基板１との間
に、気体供給パッド３８を介して気体を送り込むのみな
らず、気体吸収パッド４８によって照射機構３２と基板
１との間の気体を吸収することができるようにすると、
照射機構３２と基板１との間の気体供給量をさらに精密
に制御し、この間の圧力の調整をさらに精密に行うこと
ができる。

【００５５】また、この図３に示した光学記録媒体作製
用原盤記録装置７０においては、気体静圧パッドハウジ
ング３７と、照射機構支持部３３とは、図１において示
したチャンバー室等の圧力保持機構３４の代わりに、例
えばロードセル、圧電素子等の圧力を検出することので
きる発生力検出機構５１と、伸縮が可能な積層型圧電ア
クチュエータ５２を、積層したものを介して、接続され
ているものとする。なお、この積層型圧電アクチュエー
タは、例えばピエゾ素子よりなるが、このピエゾ素子と
は、電圧をかけると分極により厚さが変化することで高
さ方向の長さが変化する素子である。

【００５６】また、この図３に示した光学記録媒体作製
用原盤記録装置７０においては、照射機構３２と、照射
機構支持部３３とが、間接的に接続した構造を有する。
すなわち、照射機構３２と、照射機構支持部３３とは、
気体静圧パットハウジング３７、積層型圧電アクチュエ
ータ５２、および発生力検出機構５１を介して接続され
てなるものである。

【００５７】この図３に示した光学記録媒体作製用原盤
記録装置７０においては、発生力検出機構５１により、
検出される力が、常に一定になるように、上記圧力制御
機構４４および４５により、供給、あるいは吸収する気
体の圧力を制御し、積層型圧電アクチュエータ５２の伸
縮を調整するものとする。

【００５８】これにより、図１に示した構造の光学記録
媒体作製用原盤記録装置と同様に、照射機構支持部３３
の先端部を、下方向の荷重を上方向に、一定の押し上げ
る力により支えることができるようになる。すなわち、
照射装置３２を原盤１上において、対向配置するため
の、片持ち梁部分の重量が、偏荷重として加わり、駆動
制御の安定性に悪影響を与えてしまうことを効果的に回
避することができる。

【００５９】上述のように、図１〜図３を示して説明し
た実施例においては、ビームを集光し、基板上に照射す
るレンズとして、単一の対物レンズを代表させて示した
が、本発明装置は、このような例に限定されるものでは
なく、複数の集束レンズ系を用いた場合についても同様
に適用することができる。また、レーザービームに代え
て、電子ビームを用いた場合には、電子レンズを適用す
ることができる。

【００６０】

【発明の効果】本発明の光学記録媒体作製用原盤記録装
置によれば、照射機構が照射機構支持部の先端部に形成
されている構成を有するが、基板と、照射機構との間
に、気体が吹き込まれる構成としたため、基板と照射機
構との間に、照射機構を基板上において基板面から離れ
る方向に押し上げる力を発生させることができ、照射機
構を、基板上において、基板と非接触で対向配置するこ
とができた。

【００６１】そして、圧力保持機構は、上述したように
圧力制御機構により、圧力制御されて気体が供給される
ような構成とし、この圧力保持機構における圧力が均一
に保持されるような構成としたため、結果として、基板
の平坦性が不均一であって、照射機構と基板との間の距
離に変動が生じた場合においても、照射機構支持部の先
端部における下方向の荷重を上方向に押し上げる力によ
り支えることができるようになり、偏荷重を打ち消し、
光学記録媒体作製用原盤記録装置における、安定した駆
動制御を確保することができ、送り位置決め制御の精度
を向上させることができた。

【００６２】照射装置を基板上において、対向配置する
ための、片持ち梁部分の重量が、偏荷重として加わり、
駆動制御の安定性に悪影響を与えてしまうことを効果的
に回避することができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光学記録媒体作製用原盤記録装置の概
略図を示す。

【図２】本発明の光学記録媒体作製用原盤記録装置の他
の一例の概略図を示す。

【図３】本発明の光学記録媒体作製用原盤記録装置の他
の一例の概略図を示す。

【図４】ガラス基板の概略断面図を示す。

【図５】ガラス基板上に、フォトレジストを塗布した状
態を示す。

【図６】フォトレジスト上に、対物レンズによりレーザ
ー光を集光させた状態を示す。

【図７】原盤の概略断面図を示す。

【図８】従来の光学記録媒体作製用原盤記録装置の概略
図を示す。

【符号の説明】

１…基板、１０…ガラス基板、１１…フォトレジスト、
３０，６０，７０，１００…光学記録媒体作製用原盤記
録装置、３１，１０１…回転基台、３２，１０２…照射
機構、３３，１０３…照射機構支持部、３４…圧力保持
機構、３５，４４，４５…圧力制御機構、３７…気体静
圧パットハウジング、３８…気体供給パッド、３９，３
６…気体供給管、４１，１０４…送り位置決め駆動機
構、４２…変位駆動機構、４８…気体吸収パッド、５０
…発生力検出機構、５１…発生力検出機構、５２…積層
型圧電アクチュエータ、１０５…自動焦点制御機構、４
０，１０６…案内機構

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フォトレジストを塗布した基板を載置
   し、該基板を回転させる回転基台と、 該レジスト上に、記録ビームを集束し照射する照射機構
   と、 該照射機構を上記基板面に対向して、上記回転基台に対
   して垂直方向及びこれに直交する面方向に移動可能とし
   て照射機構を走査する案内機構と、 該案内機構を送り位置決めするための送り位置決め駆動
   機構とを有し、 上記照射機構は、照射機構支持部と、直接あるいは間接
   に支持されてなり、 上記照射機構は、上記照射機構支持部のほぼ先端部にお
   いて、上記基板と対向するように配置されて成り、 上記照射機構の近傍あるいはその周囲の同軸上に、圧力
   を一定に保つ圧力保持機構が、上記照射機構支持部に接
   続配置されて成り、 上記圧力保持機構には、気体静圧パッドハウジングが接
   続されて成り、 上記気体静圧パッドハウジングの内部には、該気体静圧
   パッドハウジングの底面に臨んで気体供給パッドが、上
   記基板と対向するように配置されて成り、 上記気体供給パッドを通じて、上記光照射機構と、上記
   基板との間に気体を供給することを特徴とする光学記録
   媒体作製用原盤記録装置。
2. 【請求項２】 上記圧力保持機構が、チャンバー室を有
   して成ることを特徴とする請求項１に記載の光学記録媒
   体作製用原盤記録装置。
3. 【請求項３】 上記光照射機構を構成する気体静圧パッ
   ドハウジングの上記底面に臨んで、気体吸収パッドとが
   備えられており、 上記気体吸収パッドを通じて、上記照射機構と、上記基
   板との間の気体を吸収することを特徴とする請求項１に
   記載の光学記録媒体作製用原盤記録装置。
4. 【請求項４】 上記圧力保持機構が、圧力を検出するこ
   とができる発生力検出機構を有して成ることを特徴とす
   る請求項１に記載の光学記録媒体作製用原盤記録装置。
5. 【請求項５】 上記圧力保持機構が、圧力を検出するこ
   とができる発生力検出機構と、積層型圧電アクチュエー
   タが積層された構成を有して成ることを特徴とする請求
   項１に記載の光学記録媒体作製用原盤記録装置。