JP2002009019A - 加工テーブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 チャックテーブルをその上面精度に影響を及
ぼすことなくテーブル基台に取り付けることができると
ともに、その取付け作業性を良好にすることができる加
工テーブルを提供する。 【解決手段】 テーブル基台と、該テーブル基台の上面
に載置されるチャックテーブルと、該チャックテーブル
をテーブル基台に取り付けるためのチャックテーブル取
付機構とを有する加工テーブルであって、チャックテー
ブル取付機構は、テーブル基台の外周に装着され上側が
開放された係合凹部を備えた一対のブラケットと、チャ
ックテーブルの外周に装着され一対のブラケットに設け
られた係合凹部に遊嵌する一対の係合ピンと、一対の係
合ピンに一端が係止されチャックテーブルをテーブル基
台の上面に向けて押圧するとともに、一対の係合ピンを
係合凹部の一側壁に向けて押圧するバネ部材とを具備し
ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、切削装置等の工作
機械において被加工物を吸引保持するための加工テーブ
ルに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエーハやセラミックス基板等の
被加工物を切削する切削装置には、被加工物を吸引保持
するための加工テーブルが配設されている。従来用いら
れている加工テーブルについて、図６および図７を参照
して説明する。加工テーブル３０は、テーブル基台４０
と、、このテーブル基台４０の上面に載置されるチャッ
クテーブル５０と、チャックテーブル５０をテーブル基
台４０に取り付けるためのチャックテーブル取付機構６
０からなっている。このような加工テーブル３０を構成
するチャックテーブル取付機構６０は、被加工物の種類
や大きさに対応したチャックテーブルに適宜交換できる
ように構成されている。テーブル基台４０は、中央に円
形状の嵌合凸部４０１を備えているとともに、嵌合凸部
４０１の上面に開口する吸引通路４０２を備えている。
また、テーブル基台４０の上端部外周には互いに平行に
形成された一対のブラケット取付部４０３、４０３が設
けられている。この一対のブラケット取付部４０３、４
０３には、それぞれ２個のネジ穴４０４、４０４が設け
られている。チャックテーブル５０は、その外周部に互
いに平行に形成された一対の被支持部５０１、５０１を
備えており、この被支持部５０１、５０１にそれぞれ２
個のネジ穴５０２、５０２が設けられている。

【０００３】次に、チャックテーブル取付機構６０につ
いて説明する。従来用いられているチャックテーブル取
付機構６０は、一対のブラケット６０１、６０１と、該
一対のブラケット６０１、６０１を上記テーブル基台４
０に取付けるための取付けボルト６０６、６０６と、該
一対のブラケット６０１、６０１に上記チャックテーブ
ル５０を固定するための固定ボルト６０７、６０７とか
らなっている。一対にブラケット６０１、６０１はＬ字
状に形成され装着部６０２と支持部６０３とを有してお
り、装着部６０２には上記ブラケット取付部４０３に形
成された２個のネジ穴４０４、４０４の間隔と同一間隔
を有する２個のボルト挿通穴６０４、６０４が設けら
れ、支持部６０３には上記チャックテーブル支持部５０
１に形成された２個のネジ穴５０２、５０２の間隔と同
一間隔を有する２個のボルト挿通穴６０５、６０５が設
けられている。このように構成された一対にブラケット
６０１、６０１は、それぞれ装着部６０３に形成された
ボルト挿通穴６０４、６０４に取付けボルト６０６、６
０６を挿通しこの取付けボルト６０６、６０６を上記一
対のブラケット取付部４０３に設けられたネジ穴４０
４、４０４に螺合することにより、テーブル基台４０に
装着される。そして、テーブル基台４０に装着された一
対のブラケット６０１、６０１の支持部６０３に設けら
れたボルト挿通穴６０５、６０５に固定ボルト６０７、
６０７を挿通しこの固定ボルト６０７、６０７を上記一
対の被支持部５０１に設けられた２個のネジ穴５０２、
５０２に螺合することにより、チャックテーブル５０が
一対のブラケット６０１、６０１に支持される。このよ
うにチャックテーブル５０はチャックテーブル取付機構
６０によってテーブル基台４０に取り付けられる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】而して、上記従来の加
工テーブルは、チャックテーブルをテーブル基台に装着
したブラケットにボルトによって固定する構成であるた
め、ボルトの締付によって発生する応力がチャックテー
ブルの上面精度に影響を及ぼす。また、チャックテーブ
ルを交換する際にその都度ボルトを外し締め直す必要が
あり、作業性が悪いとともに、締付トルクの調整が難し
い等の問題がある。

【０００５】本発明は上記事実に鑑みてなされたもので
あり、その主たる技術課題は、チャックテーブルをその
上面精度に影響を及ぼすことなくテーブル基台に取り付
けることができるとともに、その取付け作業性を良好に
することができる加工テーブルを提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記主たる技術課題を解
決するため、本発明によれば、上面に開口する吸引通路
を備えたテーブル基台と、該テーブル基台の上面に載置
されるチャックテーブルと、該チャックテーブルを該テ
ーブル基台に取り付けるためのチャックテーブル取付機
構とを有する加工テーブルにおいて、該チャックテーブ
ル取付機構は、該テーブル基台の外周に装着され上側が
開放された係合凹部を備えた一対のブラケットと、該チ
ャックテーブルの外周に装着され該一対のブラケットに
設けられた該係合凹部に遊嵌する一対の係合ピンと、該
一対の係合ピンに一端が係止され該チャックテーブルを
該テーブル基台の上面に向けて押圧するとともに、該一
対の係合ピンを該係合凹部の一側壁に向けて押圧する弾
性付勢手段と、を具備する、ことを特徴とする加工テー
ブルが提供される。

【０００７】上記チャックテーブルは上記テーブル基台
の上面と平行な平面内において回動可能に載置されてお
り、上記一対のブラケットおよび一対の係合ピンは、チ
ャックテーブルの回動中心に対して点対象の位置に設け
られている。また、上記弾性付勢手段は、主にチャック
テーブルをテーブル基台の上面に向けて付勢する第１の
バネ部材と、少なくとも係合ピンを上記係合凹部の一側
壁に当接するように付勢する第２のバネ部材とからなっ
ている。また、上記チャックテーブルの上面には、被加
工物を位置決めする位置決め部材が配設されていること
が望ましい。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明に従って構成された
加工テーブルの好適な実施形態について、添付図面を参
照して詳細に説明する。

【０００９】図１には、本発明に従って構成された加工
テーブルを装備した切削装置としてのダイシング装置の
斜視図が示されている。図示の実施形態におけるダイシ
ング装置は、略直方体状の装置ハウジング２を具備して
いる。この装置ハウジング２内には、被加工物を吸着保
持する加工テーブル３が切削送り方向である矢印Ｘで示
す方向に移動可能に配設されている。加工テーブル３
は、テーブル基台４と、このテーブル基台４の上面に載
置されるチャックテーブル５と、このチャックテーブル
５をテーブル基台４に取り付けるためのチャックテーブ
ル取付機構６とを具備しており、図示しない回転機構に
よって回動可能に構成されている。加工テーブル３を構
成するテーブル基台４とチャックテーブル５およびチャ
ックテーブル取付機構６については、後で詳細に説明す
る。

【００１０】図示の実施形態におけるダイシング装置
は、切削手段としてのスピンドルユニット７を具備して
いる。スピンドルユニット７は、図示しない移動基台に
装着された割り出し方向である矢印Ｙで示す方向および
切り込み方向である矢印Ｚで示す方向に移動調整される
スピンドルハウジング７１と、該スピンドルハウジング
７１に回転自在に支持され図示しない回転駆動機構によ
って回転駆動される回転スピンドル７２と、該回転スピ
ンドル７２に装着された切削ブレード７３とを具備して
いる。

【００１１】図示の実施形態におけるダイシング装置
は、上記加工テーブル３を構成するチャックテーブル５
の上面に保持された被加工物の表面を撮像し、上記切削
ブレード４３によって切削すべき領域を検出したり、切
削溝の状態を確認したりするための撮像機構８を具備し
ている。この撮像機構８は顕微鏡やＣＣＤカメラ等の光
学手段からなっている。また、ダイシング装置は、アラ
イメント手段８によって撮像された画像を表示する表示
手段９を具備している。

【００１２】次に、上述したダイシング装置の加工処理
動作について簡単に説明する。上記加工テーブル３を構
成するチャックテーブル５の上面に被加工物１０を載置
し、図示しない吸引手段を作動することによりチャック
テーブル５上に被加工物１０を吸引保持する。このよう
にして被加工物１０を吸引保持した加工テーブル３は、
撮像機構８の直下まで移動せしめられる。加工テーブル
３が撮像機構８の直下に位置付けられると、撮像機構８
によって被加工物１０に形成されている切断ライン（ス
トリート）が検出され、スピンドルユニット７の割り出
し方向である矢印Ｙ方向に移動調節して精密位置合わせ
作業が行われる。

【００１３】その後、被加工物１０を吸引保持した加工
テーブル３を切削送り方向である矢印Ｘで示す方向（切
削ブレード７３の回転軸と直交する方向）に移動するこ
とにより、加工テーブル３に保持された被加工物１０は
切削ブレード７３により所定の切断ライン（ストリー
ト）に沿って切断される。即ち、切削ブレード７３は割
り出し方向である矢印Ｙで示す方向および切り込み方向
である矢印Ｚで示す方向に移動調整されて位置決めされ
るスピンドルユニット７に装着され、回転駆動されてい
るので、加工テーブル３を切削ブレード７３の下側に沿
って切削送り方向に移動することにより、加工テーブル
３に保持された被加工物１０は切削ブレード７３により
所定の切断ライン（ストリート）に沿って切削される。
このようにして被加工物１０の切断が終了した後、被加
工物１０を保持した加工テーブル３は、最初に被加工物
１０を吸引保持した図１で示す位置に戻され、ここで被
加工物１０の吸引保持を解除する。

【００１４】次に、上記加工テーブル３を構成するテー
ブル基台４とチャックテーブル５およびチャックテーブ
ル取付機構６について、図２乃至図５を参照して詳細に
説明する。図示の実施形態におけるテーブル基台４は、
図３および図４に示すように中央に円形状の嵌合凸部４
１を備えているとともに、嵌合凸部４１の上面に開口す
る吸引通路４２を備えている。また、テーブル基台４の
上端部外周には上記円形状の嵌合凸部４１の中心に対し
て点対象となる位置に互いに平行に形成された一対のブ
ラケット取付部４３、４３が設けられている。この一対
のブラケット取付部４３、４３には、それぞれ２個のネ
ジ穴４４ａ、４４ｂが設けられている。

【００１５】チャックテーブル５は、被加工物を吸着保
持する吸着チャック部５１と、テーブル基台４に装着す
るための嵌合部５２と、吸着チャック部５１と嵌合部５
２の外周部を連結する連結部５３と、吸着チャック部５
１と嵌合部５２との間に形成された空間部５４とからな
っている。吸着チャック部５１には、その上面に格子状
の基準ライン５１１が形成されているとともに、上記空
間部５４と連通し上面に開口する複数個の連通口５１２
が設けられている。なお、チャックテーブル５を構成す
る吸着チャック部５１の上面には、上記格子状の基準ラ
イン５１１の隅部に対応する３か所に被加工物を位置決
めする位置決め部材５５が配設されている。嵌合部５２
の中央には上記テーブル基台４に設けられた嵌合凸部４
１に対応する直径を有する嵌合凹部５２１を備えてお
り、この嵌合凹部５２１を嵌合凸部４１に嵌合すること
によりチャックテーブル５をテーブル基台４の上面に載
置する。従って、チャックテーブル５は、テーブル基台
４の上面に載置された状態においてはテーブル基台４の
上面と平行な平面内において嵌合凸部４１を中心として
回動可能である。上記連結部５３には、その外周に互い
に平行に形成された一対の被支持部５３１、５３１が設
けられている。この一対の被支持部５３１、５３１に
は、後述する一対の係合ピンを装着するための一対のネ
ジ穴５３２、５３２が設けられている。この一対のネジ
穴５３２、５３２は、上記嵌合部５２に設けられた嵌合
凹部５２１の中心に対して点対象となる位置に設けられ
ている。

【００１６】次に、チャックテーブル取付機構６につい
て説明する。図示の実施形態におけるチャックテーブル
取付機構６は、一対のブラケット６１、６１と、この一
対のブラケット６１、６１を上記テーブル基台４に取付
けるための取付けボルト６２ａ、６２ｂと、上記チャッ
クテーブル５に装着される一対の係合ピン６３、６３
と、この一対の係合ピン６３、６３と上記一対のブラケ
ット６１、６１間にそれぞれ張設されるコイルバネから
なる第１のバネ部材６４、６４と第２のバネ部材６５、
６５とからなっている。一対のブラケット６１、６１は
それぞれＬ字状に形成され装着部６１１と支持部６１２
とを有している。一対のブラケット６１、６１を構成す
る装着部６１１には、それぞれ上記ブラケット取付部４
３に設けられた２個のネジ穴４４ａ、４４ｂの間隔と同
一間隔を有する２個のボルト挿通穴６１３ａ、６１３ｂ
が設けられている。一対のブラケット６１、６１を構成
する支持部６１２、６１２には、それぞれ上側が開放さ
れた係合凹部６１４を備えている。なお、上記２個のボ
ルト挿通穴の一方のボルト挿通穴６１３ａは係合凹部６
１４の下方に設けられている。

【００１７】上記取付けボルト６２ａ、６２ｂは、軸部
６２１と、該軸部６２１の一端部に形成され上記一対の
ブラケット取付部４３に設けられたネジ穴４４ａ、４４
ｂに螺合するネジ部６２２と、軸部６２１の中間に形成
された鍔部６２３と、軸部６２１の他端に設けられた頭
部６２４と、該頭部６２４と鍔部６２３との間に形成さ
れたバネ係止部６２５とからなっている。このように構
成された取付けボルト６２ａ、６２ｂを上記一対にブラ
ケット６１の装着部６１１に形成されたボルト挿通穴６
１３ａ、６１３ｂに挿通し、このボルト６２を上記一対
のブラケット取付部４３に設けられたネジ穴４４ａ、４
４ｂに螺合することにより、一対にブラケット６１、６
１をテーブル基台４に装着することができる。

【００１８】上記一対の係合ピン６３、６３は、中央部
に形成され上記係合凹部６１４に遊嵌する円柱状の係合
部６３１と、該係合部６３１の一端から突出して形成さ
れ上記チャックテーブル５に形成された一対の被支持部
５３１が設けられた一対のネジ穴５３２、５３２と螺合
するネジ部６３２と、該係合部６３１の他端側に設けら
れた頭部６３３と、該頭部６３３と係合部６３１の間に
形成されたバネ係止部６３４とからなっている。このよ
うに構成された一対の係合ピン６３は、それぞれネジ部
６３２をチャックテーブル５の一対の被支持部５３１、
５３１に設けられた一対のネジ穴５３２、５３２に螺合
することによってチャックテーブル５に取り付けられ
る。

【００１９】次に、チャックテーブル５のテーブル基台
４への取り付けについて説明する。上記のように一対の
係合ピン６３、６３をチャックテーブル５の一対の被支
持部５３１、５３１に取り付けた状態で、チャックテー
ブル５をテーブル基台４の上面に載置する。このとき、
チャックテーブル５を構成する嵌合部５２の中央に設け
られた嵌合凹部５２１をテーブル基台４に設けられた嵌
合凸部４１に嵌合するするとともに、一対の係合ピン６
３、６３の係合部６３１、６３１をテーブル基台４に装
着された一対のブラケット６１、６１に設けられている
係合凹部６１４、６１４に遊嵌する。このようにして、
チャックテーブル５をテーブル基台４の上面に載置した
ら、一対の係合ピン６３、６３と一方の取付けボルト６
２ａ、６２ａとの間に第１のバネ部材６４、６４を張設
するとともに、一対の係合ピン６３、６３と他方の取付
けボルト６２ｂ、６２ｂとの間に第２のバネ部材６５、
６５を張設する。即ち、第１のバネ部材６４、６４の一
端を係合ピン６３、６３のバネ係止部６３４、６３４に
係止するとともに他端を取付けボルト６２ａ、６２ａの
バネ係止部６２５、６２５に係止し、第２のバネ部材６
５、６５の一端を係合ピン６３、６３のバネ係止部６３
４、６３４に係止するとともに他端を取付けボルト６２
ｂ、６２ｂのバネ係止部６２５、６２５に係止する。

【００２０】ここで、第１のバネ部材６４と第２のバネ
部材６５の付勢力の方向について説明する。第１のバネ
部材６４は、係合ピン６３と該係合ピン６３の下方に位
置する一方の取付けボルト６２ａとの間に張設されるの
で、図５において矢印６４０で示すようにチャックテー
ブル５を下方即ち主にテーブル基台４の上面に向けて付
勢する。一方、第２のバネ部材６５は、係合ピン６３と
一方の取付けボルト６２ａと所定の間隔をおいて配設さ
れた他方の取付けボルト６２ｂとの間に張設されるの
で、図５において矢印６５０で示すようにチャックテー
ブル５を斜め下方即ち係合ピン６３の係合部６３１を係
合凹部６１４の一側壁６１４ａに当接するように付勢す
るとともに、チャックテーブル５をテーブル基台４の上
面に向けて付勢する。従って、チャックテーブル５はテ
ーブル基台４の上面に取り付けられるとともに、上記嵌
合凸部４１を中心とする回動が規制される。このように
図示の実施形態においては、第１のバネ部材６４、６４
および第２のバネ部材６５、６５はチャックテーブル５
をテーブル基台４の上面に向けて押圧するとともに、一
対の係合ピン６３、６３を係合凹部６１４、６１４の一
側壁６１４ａ、６１４ａに向けて押圧する弾性付勢手段
として機能する。

【００２１】以上のように、図示の実施形態における加
工テーブル３は、第１のバネ部材６４、６４および第２
のバネ部材６５、６５によってチャックテーブル５をテ
ーブル基台４の上面に向けて押圧するとともに、一対の
係合ピン６３、６３を一対のブラケット６１、６１の係
合凹部６１４、６１４の一側壁６１４ａ、６１４ａに向
けて押圧することにより、チャックテーブル５をテーブ
ル基台４に取り付けるので、従来の加工テーブルのよう
にチャックテーブルにボルトの締付によって発生する応
力が生ずることはない。また、チャックテーブル５をテ
ーブル基台４に取り付ける際には、第１のバネ部材６
４、６４および第２のバネ部材６５、６５を一対の係合
ピン６３、６３と取付けボルト６２ａ、６２ａおよび６
２ｂ、６２ｂに係止すればよいので、その取付け作業性
を良好となる。なお、図示の実施形態においては、第２
のバネ部材６５、６５はチャックテーブル５をテーブル
基台４の上面に向けて押圧する力が作用するように構成
されているので、第１のバネ部材６４、６４を省略して
もよい。

【００２２】

【発明の効果】本発明による加工テーブルは以上のよう
に構成されているので、次の作用効果を奏する。

【００２３】即ち、本発明によれば、チャックテーブル
をテーブル基台に取り付けるためのチャックテーブル取
付機構は、テーブル基台の外周に装着され上側が開放さ
れた係合凹部を備えた一対のブラケットと、チャックテ
ーブルの外周に装着され一対のブラケットに設けられた
係合凹部に嵌合する一対の係合ピンと、該一対の係合ピ
ンに一端が係止されチャックテーブルをテーブル基台の
上面に向けて押圧するとともに、一対の係合ピンを係合
凹部の一側壁に向けて押圧する弾性付勢手段とを具備し
ているので、チャックテーブルをテーブル基台に取り付
ける際に従来の加工テーブルのようにチャックテーブル
にボルトの締付によって発生する応力が生ずることはな
い。また、チャックテーブルをテーブル基台に取り付け
る際には、弾性付勢手段を一対の係合ピンに係止すれば
よいので、その取付け作業が簡単で作業性を良好とな
る。更に、チャックテーブルをテーブル基台から取り外
す場合も従来のようにボルトを弛めて外す必要がないの
で、その取り外し作業が簡単となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に従って構成された加工テーブルを装備
した切削装置であるダイシング装置の斜視図。

【図２】本発明に従って構成された加工テーブルの斜視
図。

【図３】図２におけるＡ−Ａ線断面図。

【図４】図２の加工テーブルを構成する各部材を分解し
て示す斜視図。

【図５】図２の加工テーブルのチャックテーブル取付機
構を構成する弾性付勢手段の付勢力の方向を示す説明
図。

【図６】従来用いられている加工テーブルの斜視図。

【図７】図６の加工テーブルを構成する各部材を分解し
て示す斜視図。

【符号の説明】

２：装置ハウジング ３：加工テーブルテーブル ４：テーブル基台 ４１：嵌合凸部 ４２：吸引通路 ４３：ブラケット取付部 ５：チャックテーブル ５１：吸着チャック部 ５２：嵌合部 ５３：連結部 ５４：空間部 ５５：位置決め部材 ６：チャックテーブル取付機構 ６１：ブラケット ６２ａ、６２ｂ：取付けボルト ６３：係合ピン ６４：第１のバネ部材 ６５：第２のバネ部材 ７：スピンドルユニット ８：撮像機構 ９：表示手段

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上面に開口する吸引通路を備えたテーブ
   ル基台と、該テーブル基台の上面に載置されるチャック
   テーブルと、該チャックテーブルを該テーブル基台に取
   り付けるためのチャックテーブル取付機構とを有する加
   工テーブルにおいて、 該チャックテーブル取付機構は、該テーブル基台の外周
   に装着され上側が開放された係合凹部を備えた一対のブ
   ラケットと、該チャックテーブルの外周に装着され該一
   対のブラケットに設けられた該係合凹部に遊嵌する一対
   の係合ピンと、該一対の係合ピンに一端が係止され該チ
   ャックテーブルを該テーブル基台の上面に向けて押圧す
   るとともに、該一対の係合ピンを該係合凹部の一側壁に
   向けて押圧する弾性付勢手段と、を具備する、 ことを特徴とする加工テーブル。
2. 【請求項２】 該チャックテーブルは該テーブル基台の
   上面と平行な平面内において回動可能に載置されてお
   り、該一対のブラケットおよび該一対の係合ピンは、該
   チャックテーブルの回動中心に対して点対象の位置に設
   けられている、請求項１記載の加工テーブル。
3. 【請求項３】 該弾性付勢手段は、主に該チャックテー
   ブルを該テーブル基台の上面に向けて付勢する第１のバ
   ネ部材と、少なくとも係合ピンを該係合凹部の一側壁に
   当接するように付勢する第２のバネ部材とからなってい
   る、請求項１又は２記載の加工テーブル。
4. 【請求項４】 該チャックテーブルの上面には、被加工
   物を位置決めする位置決め部材が配設されている、請求
   項１から３のいずれかに記載の加工テーブル。