JPH01258205A - 浮上型複合磁気ヘッド用磁気コア - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気ディスク装置においてδ己録媒体表面より
ごく僅かに浮上させて用いる浮上型複合磁気ヘッドに組
み込む磁気コアに関する。

〔従来の技術及び問題点〕

磁気ディスク装置での情報の書き込み、読み出しに用い
られる磁気ヘッドとしては例えば米国特許３８２３４１
６号及び特公昭５７−５６９号に示されているような浮
上型ヘッドが多く使用されている。この浮上型ヘッドに
おいてはスライダーの後端部に磁気変換ギャップを設け
、全体は高透磁率の酸化物磁性材料で構成されている。

浮上型磁気ヘッドは、磁気ディスクが静止している時に
はスプリングの力で軽く磁気ディスクに接触しているが
、磁気ディスクが回転している時には、磁気ディスク表
面の空気が動いてスライダー下面を持ち上げる力が作用
し、磁気ディスクから浮上する。一方磁気ディスクの回
転を開始する時および止める時には、磁気ヘッドは磁気
ディスク上を摺動する。磁気ディスクの回転を止める時
の接触の状況を説明すると、回転数を落してきた時にそ
の表面の空気に流れも次第に遅くなる。そして磁気ヘッ
ドの浮力が失われた時磁気ヘッドはディスク面に衝突す
るとともにその反動でとび上り、またディスク面に落ち
る。このような運動を何度か繰り返した上で、磁気ヘッ
ドはディスク上を引きずられるようにして停止する。こ
のような起動、停止時の衝撃に磁気ヘッドは耐える必要
があり、その性能をＣＳＳ性（Ｃｏｎｔａｃｔ　５ｔａ
ｒｔ　５ｔｏｐ）と呼ぶことが多い。

上記高透磁率酸化物磁性材料であるフェライトで構成さ
れた浮上型磁気ヘッドは比較的良好な耐Ｃ８Ｓ性を示す
が、飽和磁束密度が小さく、高保持力の記録媒体に対し
て充分に記録出来ないという欠点がある。すなわち比較
的飽和磁束密度Ｂｓの高いＭｎ−Ｚｎ　　フェライトで
もＢｓは高々５．０ＯＯＧ程度である。

そこでＢｓが８．０ＯＯＧ以上となるように金属磁性薄
膜を磁気ギャップ部に配置した構造の磁気ヘッドとする
のが望ましいことがわかった。この例として特開昭５８
−１４３１１号に開示されているように、フェライトで
構成された浮上型磁気ヘッドの磁気変換ギャップ部にの
み高飽和磁束密度の金属磁性膜を設けた磁気ヘッドが提
案されている。しかし、この例では磁気変換部に所定の
巻線を施した後のインダクタンスが大きく、そのため共
振周波数が低下し、高周波での記録再生が不利になると
いう欠点がある。ここでインダクタンスがおきいのは磁
気ヘッド全体が磁性体で構成されていることに基づく。

従って低インダクタンスとするために磁気回路を小さく
構成する必要がある。このような観点から全体を磁性材
料で構成せず、磁気コアを非磁性のスライダー中に埋設
固着した構成の浮上型複合磁気ヘッドが米国特許３．５
６２．４４４号に開示さた。また本発明者等は時開昭和
６１−１９９２１９号にて磁気コアを非磁性スライダー
中に埋設した磁気ヘッドの望ましい形状について提案し
た。

以上の点から高保磁力の媒体に対して充分に記録可能で
かつインダクタンスの小さな浮上型複合磁気ヘッドを得
るには、飽和磁束密度Ｂｓの高いＭｎ−２ｎ　　フェラ
イトを基板としてギャップ部に高ＢＳの薄膜磁性材を成
膜した磁気コアを非磁性スライダー中に埋設したものが
優れていることがわかった。

このような複合磁気ヘッドの例として本発明者等により
特開昭６１−１５４３１０号に開示されたものがある。

このような複合磁気ヘッドに組み込む磁気コアのギャッ
プ部の構造としては、特開昭６１−１９９２１７号にて
提案されたようなＸ型に斜交したもの、及び磁気コアの
トラック面にトラック幅を規制する切り欠きを設けたい
わゆる平行型のものがある。

Ｘ型及び平行型の磁気コアはいずれも一般にＩ型コア片
とＣ型コア片とからなり、通常Ｉ型コア片上にＦｅ−Ａ
　ｉ！−３ｉ　等の金属磁性薄膜が形成されている。な
お平行型の磁気コアは磁気ギャップの形成が容易である
とともにトラック幅を精確に規定できるという利点を有
する。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、Ｆｅ−Ａ　１−５Ｉ　合金からなる金属
磁性薄膜は一般に大きな硬度を有するとともに、コア片
との熱膨張係数の差が比較的大きいので、コア片をガラ
スにより接合するときや磁気コアを非磁性スライダーに
固着するときに、金属磁性薄膜がコア片から剥離したり
、また薄膜接合部の内部応力によりコア片にクラックが
生じたりするという問題がある。

以上のｒｊＪ題を解決するために種々の試みがなされて
いる。例えば、熱膨張係数の差による剥離やクラックの
問題を防止するために、金属磁性薄膜を薄くすることが
考えられるが、薄くなるに従って特性も低下するので好
ましくない。

従って発明の目的は、上記問題点のない金属磁性薄膜を
有する浮上型複合磁気ヘッド用磁気コアを提供すること
である。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的に鑑み鋭意研究の結果、本発明者は磁気コアに
形成する金属磁性薄膜の組成を特定の範囲に設定するこ
とにより、金属磁性薄膜の剥離やコア片のクラックの問
題がなく、それにより良好な特性を示す磁気コアを得る
ことができることを発見し、本発明に想到した。

すなわち、本発明の浮上型複合磁気ヘッド用磁気コアは
一対のコア片と、前記コア片を接合するガラス部と、前
記コア片の少なくとも一方の対向面に形成された金属磁
性薄膜とを有し、前記金属磁性薄膜がＦｅ、Ａｌ２及び
Ｓｉの三角図表において下記四点： Ａ（Ａｌ６゜６０重徽％、　Ｓｉ９．３０重量％、Ｐｅ
残部）、Ｂ（Ａｌ６．７５重量％、　Ｓｉ８．７５重１
％、Ｆｅ残部）、Ｃ（Ａｌ６．１０重量％、　Ｓｉ８．
７５重量％、Ｆｅ残部）及び、Ｄ（Ａｌ５．５０重量％
、　Ｓｉ９．２５重量％、Ｆｅ残部）により囲まれた領
域により表される組成を有することを特徴とする。

〔作用〕

Ｆｅ−＾１−８ｌ　合金のうち従来から広く使用されて
いるいわゆるセンダストの組成のものは良好な磁気特性
（透磁率）を有するが、Ｍｎ−２ｎ　フェライトコアと
の熱り張係数の差が大きく、また硬度も太きいために、
薄膜の剥離やコア片のクラックの問題があった。そこで
センダストの組成より僅かにずらした特定の組成とする
ことにより、良好な磁気特性とともに低い熱膨張係数及
び硬度を有する磁性薄膜ができることがわかった。

〔実施例〕

本発明を添付図面を参照して以下に詳細に説明する。

第１図は本発明の磁気コアを組み込んだ浮上型複合磁気
ヘッドの全体構成を示す斜視図である。

１１は非磁性スライダー、１２．１３はスライダー１１
に設けられたサイトレール、１４はサイトレール１３ニ
設けられたスリット部、１５はスリット部１４に埋設さ
れた磁気コア、１６はその磁気コア１５を固着するガラ
スである。なおスライダー１１としては熱膨張係数が１
０５〜１１５　ｘｌＯ−’　／　ｔ、空孔率が０．５％
以下のＣａＴ＋０３からなる非磁性セラミックを用いる
のが好ましい。

第２図は本発明の磁気コア１５の拡大斜視図である。２
１．２２はそれぞれＭｎ−ＺｎフェライトからなるＣ型
およびＩ型コア片と称される磁性体であり、２３は１型
コア片上に被着されたＦｅ−ＡｊｌＳｉ　薄膜である。

２４はＣ型コア片２１と１型コア片２２との間に形成さ
れた巻線用の窓であり、その上部にＣ型コア２１とＩ型
コア片２２を接合するガラス部２５が設けられている。

磁気コア１５のトラック面にはトラック幅Ｔｗを規制す
る切り欠き２６が形成されている。切り欠き２６は磁気
コア１５の長手方向に延在する。これにより磁気ギャッ
プ２７のトラック幅Ｔｗは任意に設定することができる
。なお磁気ギャップ２７はスパッタリング等により被着
されたＳｉＯ□等のギャップ規制膜により形成されてい
る。この磁気コアの寸法形状は一般的に次の通りである
。

トラックＴｗ　　　　　　　　　　　１３　〜２０μｍ
磁気ギャップ長さＧｌ　　Ｏ，５〜０．８μｍ磁気ギャ
ップ深さＧｄ　　　　　２〜１５μｍコア幅　　　　　
　　　　１５０〜１７０μｍ磁気ギャップ２７における
金１嘱磁性薄膜２３は通常２〜４μｍ程度の厚さを有す
る。

上記コア片２１．２２は良好な磁気特性を有するために
Ｍｎ−２ｎフエライトにより形成するのが好ましいが、
これに被着する金属磁性薄膜２３．２３′は、次の要件
を満たすＦｅ−Ａ１Ｓｉ　合金により形成する必要があ
る。すなわち、このＦｅ−＾β−３ｉ　合金はＦｅ。

Ａｌ及びＳｌの三角図表において、下記４点：Ａ（Ａｌ
６．６０重量％、Ｓｉ９．３０重量％、Ｆｅ残部、）Ｂ
（，１６，７５重量％、Ｓｉ８．７５重量％、Ｆｅ残部
）、Ｃ（Ａ　Ａ６．１０重量％、Ｓｉ８．７５重量％、
Ｆｅ残部）、及び Ｄ（Ａｌ７５．５０重量％、Ｓｉ９．２５重量％、Ｆｅ
残部）により囲まれた領域により表わされる組成を有す
る。

第３図は、本発明の磁気コアに使用するＦｅ−Ａ　Ｉ。

−Ｓｉ　合金の組成を示す三角図表である。本発明のＦ
ｅ−Ａ１！−Ｓｉ　合金は点ＡＳＢ、Ｃ及びＤにより囲
まれた領域の組成を有する。これに対して、従来から広
く使用されているセンダスト合金の組成は領域Ｓにより
表わされる。

上記組成範囲は以下の理由により決定した。

まず磁気コアに形成する金属磁性薄膜は以下の条件を満
たすことが必要である。

（ａ）ビッカース硬さ（Ｈｖ）が５５０　以下。

（ｂ）熱膨張係数（α）が１５９　Ｘ　１０−７／　ｔ
：未満。

（ｃ）実効透磁率（μｅｒｒ　）が５００以上。

（ａ）の要件について、ビッカース硬度（ＨＶ）が５５
０　を超えるとフェライトコアにクラックが生じやすく
なる。すなわち金属磁性薄膜は適度の柔軟性を必要とす
る。第４図は合金組成とビッカース硬度（）ｌｖ）との
関係を概略的に示す三角図表である。なお第４図に示す
ＨｖはバルクのＦｅ−Ａ　ｆ−Ｓｉ　合金について測定
したものである。第４図に示すように、Ｆｅ−Ａｒ−８
１合金のビッカース硬度（Ｈｖ）は−般に３１が増大す
るに従って大きくなる傾向を示す。

Ｈｖは５５０以下である必要があるので、図中斜線部分
により示される組成範囲とする必要がある。

（ｂ）の要件について、熱膨張係数（α）が１５９ＸＩ
Ｏ−’／　を以上になるＭ　ｎ　−Ｚ　ｎ　フェライト
コアの熱膨張係数（１０５〜１３０　Ｘ　１０−７／　
ｔ　）との差が大きくなりすぎるので、ガラスボンディ
ング工程等において剥離が生じやすくなる。第５図は合
金組成と熱膨張係数（α）との関係を概略的に示す三角
図表である。なお第５図に示す熱膨張係数（α）もバル
クのＦｅ−Ａ　４７−Ｓｉ合金について測定したもので
ある。第５図に示すように、Ｆｅ−Ａｒ−Ｓｉ合金の熱
膨張係数（α）はＦｅが増大するに従って大きくなる傾
向を示す。熱膨張係数（α）は、１５９　Ｘｌ０−７／
℃未満である必要があるので、図中はぼ斜線部分のより
示される組成範囲とする必要がある。

（Ｃ，）の要件について、実効透磁率（μａｒｔ　）が
５００未満だと磁気ヘッド特性が満足でない。第６図は
合金組成と実効透磁率（μ。１１　）との関係を概略的
に示す三角図表である。なお第６図に示すμ。ｆｆ　は
Ｆｅ−Ａ１！−３ｉ　合金の薄膜について測定したもの
である。第６図に示すように、Ｆｅ−＾ｉ’Ｓｉ合金の
実効透磁率（μａｆｔ　）は一般にある特定の組成範囲
を中心とし、その周囲にいくに従って低下する傾向を示
す。μｏｆｆ　は５００以上である必要があるので、図
中斜線部分により示される組成とする必要がある。

以上の要件（ａ）、（ｂ）及び（Ｃ）を全て満たす領域
が、第３図に示す点ＡＳＢ、Ｃ及びＤにより囲まれた領
域である。

本発明のＦｅ−＾β−３ｉ　合金は上記組成範囲である
ことを条件として、その他にＲｕ及び／又はＴｉを含有
することができる。Ｒｕ及びＴ１は合金の耐食生、耐候
性及び摺動性を向上する作用を有するが、熱膨張係数及
び硬度にはほとんど影響を与えない。

Ｒｕ及びＴｉの含有量は、単独でも複合でも各２重量％
以下である。

Ｒｕ及びＴ１の各々の含有量が２重量％を超えると、実
効透磁率（μ６２．）が低下する。そのた袷第３図に示
す点Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤにより囲まれた領域においてμｏ
ｆｆ　が５００以下となる組成が出でくる。

本発明の磁気コアは以下のプロセスにより製造すること
ができる。まずＩ型コア片及びＣ型コア片を　構成すべ
きフェライト材料のブロックを準備する。このフェライ
ト材料としては高Ｂｓでかつ高周波での透磁率が極力大
きいＭｎ−Ｚｎ　フェライトが望ましい。またガラス接
合時にガラス中に生じる気泡（ｖｏｉｄ　　）を減らす
ために、熱間静水圧プレス（Ｈｏｔ　ｌ５ｏｓｔａｔｉ
ｃ　Ｐｒｅｓｓ）法により高密度化されたものを　用い
るのが好ましい。特にＢｏｏ＝４７００〜５４００　Ｇ
　。

Ｈｃ　＝０．１−０．２０ｅ　、　５　ＭＨｚ　に於る
透磁率８００〜１３００、空孔率０．５％以下、熱膨張
係数１０５〜１３０　Ｘｌ０−’／℃のＭｎ−Ｚｎ　多
結晶フェライトを用いるのが好ましいが、多結晶フェラ
イトの代りに単結晶材を用”いても良い。。

いずれかのコアブロックに上記金属磁性薄膜を形成する
が、Ｉ型コアブロックに設ける方が容易であり好ましい
。金属磁性薄膜の形成は上記組成のＦｅ−Ａ　ｊ！−３
ｉ　合金をスパッタリングで被着するものが好ましい。

スパッタの条件としては安定な放電　を維持するため５
〜１２ｍＴｏｒｒのＡｒガス圧が望ましい。また電力は
合金ターゲットの温度上昇による割れを防ぐとともに、
８００人／分程度の膜生成速度を得るために、６００〜
１２００Ｗ（直径１５０ｍｍのターゲットの例）が望ま
しい。

次に第７図に示すように、Ｆｅ−Ａ　４２−Ｓｉ膜５３
．５３′を部分被着したＩ型コアブロック５２にＣ型コ
アブロック５１を接触させ、巻線窓５４中に習いたガラ
ス棒５５を加熱流入させることにより接合する。この場
合、好ましい接合ガラスは軟化点５４０〜６３［）℃、
熱膨張係数９４〜１０３　Ｘｌ０−’　／　ｔのもので
ある。このような物性を示す接合用ガラス（第一のガラ
ス）としてはＰｂＯ−３ｉ０２を主成分とし、他に種々
の元素を加えた多くの組合せが考えられるけれども、本
発明者による実験の結果ではＰｂＯ−３＋０２にアルカ
リ金属酸化物（Ｋ２Ｏ、Ｌｉ、０、Ｎａ２Ｏ等）を加え
た系、又はＰｂＯ−３ｉＯｚ−ＢｚＯｓ−Ａ　ｉ　２０
３　にアルカリ金属酸化物を加えた系が適している。こ
のような系での好ましい組成範囲は重量基準で、２８〜
４９％の８１０２．４４〜５９％のＰｂＯ１７〜１３％
のアルカリ金属酸化物からなる組成、又は２８〜４９％
の５ｉＯ７，５〜１０％の８２０３．７〜１３％のアル
カリ金属酸化物、残部ＰｂＯからなる組成である。また
後者の系には５〜１２％の１２０３を添加してもよい。

この第一のガラスの特に好ましい一例として重量基準で
３５Ｐｂ０４５Ｓ＋０２−８８２０３−７八ｆｔ　２［
］、−５に２０の組成のもの（軟化点５８０℃、熱膨張
係数９５ｘｌＯ−’／ｌ）が挙げられる。このガラスを
使用し接合を行った磁気コアの接合強度は５　ｋｇ／’
ｍｍ２　であり申し分なく、またＦｅ−へｆ−３ｉ膜の
浸食も３忍められない。

なおり２０３は高湿度下でのガラスの腐食を防止する作
用を有する。しかし逆にＢ２０．が多すぎるとＦｅ−＾
Ｒ−５ｌ膜あるいはＭｎ−’２ｎ　　フェライトとの濡
れ性が悪（なり、接合強度が保てない。Ａｌ２Ｏ３は高
温度下でのガラスの変色を防止するが、逆に多すぎると
軟化点が高くなり接合できなくなる。アルカリ金属酸化
物類はさらにガラスの流動性を調節する効果を担ってい
る。

このようなガラスを用い７００〜７６０℃で接合を行う
。この接合ブロックを切断し、トラック幅Ｔｗ規利用の
切り欠きを設けることにより磁気コアを得ることができ
る。

この磁気コアのスライダーのスリット部への固着は次の
ようにして行う。第８図は接合した磁気コア６３をスラ
イダー６１のスリット部６２内に設置するとともに、ガ
ラス棒６８をスライダー６１の上面に乗せた状態を示す
斜視図である。磁気コア６３の切り欠き６５はスライダ
ーの片端部６４に向けられているので、磁気コア６３が
片端部６４に押しつけられていても、スリット部の内面
との間に隙間６７．６９が確保される。磁気コア６３の
固定はバネ材６６による仮固定で容易に達成される。ガ
ラス棒６８は第二のガラスとして磁気コア６３をスリッ
ト部６２に固着するものであり、かかる第二のガラスと
しては熱膨張係数８７〜９６　Ｘ　１０−’　／　’ｔ
：、軟化点３７０〜４８０℃程度のものが好ましい。こ
のような性質を示す組成としては、重量基準で７０〜８
３％のＰｂ０．３〜１０％のＡｌ２Ｏ３，６〜１３％の
ＳｉＯ□、４〜１０％の８２０．のちのがあり、特に好
ましい一例として７８ＰｂＯ−８Ａ　Ａ　２０３−１０
３ｉＯ□−４８２０，（重量％）がある。このガラスの
熱膨張係数は９１Ｘ１０−’／ｌであり軟化点は４４０
℃である。このガラスを用いて例えば５３０℃で固着す
れば、クラックのおそれなく接合を行うことができる。

以上のような第二のガラスによる磁気コアのスリット部
への固着には、一般に第二のガラスを５００〜５８０℃
に加熱して磁気コアの両側の隙間に流入させる。その後
磁気ヘッドの空気ベアリング面を研削後研磨加工し、磁
気ヘッドを完成する。

本発明をさらに以下の具体的な実施例により詳細に説明
する。

実　　施　　例　　１ 第２図に示す構造の磁気コアを形成するためにＭｎ−Ｚ
ｎ　多結晶フェライトからなるＣ型コアブロック及び■
型コアブロックを作成した。Ｍｎ−Ｘｎ　多結晶フェラ
イトは熱間静水圧プレス法により高密１隻化されたので
、空孔率が０．１％であり、磁気特性としテ（ｔＢ＋Ｑ
＝５１００Ｇ　、　Ｈａ　＝０．１５０ｅ、　５Ｍｔｌ
ｚ　における透磁率＝９５０であり、また熱膨張係数は
１１５　ｘｌｏ−’　／　ｔであった。

各Ｃ型コアブロック及びＩ型コアブロックは外周スライ
サーにより成形し、平面研削盤で研削後ラップ機により
研磨したものである。研磨後クロロセン煮沸ヲ行い、ク
ロロセン中、アセトン中及びアルコール中でそれぞれ超
音波洗浄を行った後、フレオン煮沸を行い、最後にフレ
オン蒸気で洗浄した。

次にＩ型口アブロック上の磁気ギャップ及びバックギャ
ップに相当する位置に、種々の組成のＦｅ−Ａβ−３ｉ
　合金を用い、マグネトロンスパッタ装置により厚さ３
．０　μｍの磁性薄膜を形成した。マグネトロンスパッ
タ装置の投入電力はＱ、３Ｋｗ、アルゴン圧は８　ｍＴ
ｏｒｒ　、基板温度は２００℃であった。このようにし
て形成された各Ｆｅ−八！−８１薄膜の実効透磁率（μ
ｅｆｆ）を測定した。またビッカース硬さ（及び熱膨張
係数（α）についても、バルクの試料により測定した。

次にＦｅ−Ａβ−８１薄膜を形成した■型口アブロック
上にＲＦスパッタ装置を用いて、Ｑ、３ｋｗの投入電力
、５ｍＴｏｒｒ　のアルゴン圧、１５０℃の基板温度で
０．５μｍの膜厚の５ｉｎ２ギヤツプ規制膜を形成した
。

さらにＣ型コアブロックとＩ型コアブロックを以下の組
成の第一ガラスにより接合した。

Ｐｂ０　　　５４　　重量％ Ｓｉｎ、　　　　３５．９重量％ に２０　　　１０．１重量％ この第一のガラスの軟化点は５９７℃、熱膨張係数は９
６　Ｘ　１０−’　／　ｔ：であった。第一のガラスに
よるコアブロックの接合は電気炉によりＮ２ガラス中で
３００℃／時間の昇温速度で加熱し、７６０℃に３０分
間保持することにより行った。

このようにして接合したコアブロックを平面研削盤及び
ラップ機を用いて研削、研房し、また外周スライサーに
より厚さ２５０μｍに切断した後ラップ機により、コア
の両面を研ａｉｌ、１５２μｍのコアを作製した。

次に各磁気コアのトラック幅Ｔｗを規定するために、高
剛性ダイザ−により幅１３８．５μｍ、深さ２００μｍ
の切り欠きを形成した。

このようにして得られた各磁気コについて、薄膜剥離の
有無及びコアのクラックを測定した。結果を第１表に示
す。

参考のためにサンプルＮｏ、　ｌ〜１３を第３図にプロ
ブ　　ト　す　る　。

以上の結果から、本発明の組成範囲に含まれるＦｅ−＾
１４−３ｉ合金で磁性薄膜を形成した場合、ビッカース
硬さ、熱膨張係数及び実効透磁率の要件を満足し、薄膜
の剥離やコアのクラックが生じなかった。これに対して
本発明の組成範囲外の場合、上記要件のいずれかが満た
されず、薄膜剥離やコアのクラックが生じた。

実　　施　　例　　２ 熱膨張係数が１０３Ｘ１０−’℃、空孔率が０．１５％
のＣａＴｉ０＊セラミツクからなるスライダーの一方の
サイトレールの端部に、長さ１．５ｍｍ、幅２２０μｍ
のスリ７）ｉｆｆｌを形成し、その中に実施例１のサン
プルＮ０１４及び６の磁気コアをそれぞれ板ばねにより
固定して、下記組成の第二のガラスにより固着した。

Ｐｂ０　　７９．０重量％ Ｓｌ［１２９，０重１％ 八ＡＤ３　５．９重量％ Ｂ、０．　　６．０重量％ 第二のガラスの熱膨張係数は９１　Ｘ　１０−’　／　
ｔ’、軟化点は４４７℃、転移点は３７９℃、屈伏点は
４０６℃であった。これを電気炉でＮ２中３００℃／時
間の昇温速度で加熱し、５４０℃の温度に３０分間保持
することによりスリット部と磁気コアとの間隙に流入さ
せた。このようにして得た磁気ヘッドの空気ベアリング
面を鏡面研削盤及びラップ機により研削、研磨し、浮上
型複合磁気ヘッドとした。

この磁気ヘッドを用い、Ｃｏ−Ｎｉ　　スパッタ記１１
体（）Ｉｃ　＝　１１５００ｅ　）を有する５、２５イ
ンチの磁気ディスクに対して浮上量０，３μｍ、周速１
２．１　ｍ　／秒で５　ＭＨｚ　における再生出力特性
（書き込み電流と再生出力との関係）を測定した。なお
磁気ヘッドの巻線は４８ターンであった。結果を第９図
に示す。

同図において（ａ）はサンプルＮＯ，４、（ｂ）はサン
プルＮ０２６を示す。以上の比較から、本発明の磁気コ
ア（ａ）の場合、磁気ヘッドは優れた再生出力特性を有
することがわかる。

〔発明の効果〕

以上に詳述した通り、本発明の磁気コアには特定の組成
範囲のＦｅ−Ａ　１−３ｉ　合金からなる金属磁性薄膜
が形成されているので、良好な特性を有するのみならず
、磁性膜剥離やコア片のクラックの問題がない。

【図面の簡単な説明】

第１図は浮上型複合磁気ヘッドを示す斜視図であり、 第２図は第１図の浮上型複合磁気ヘッドに組み込まれる
本発明の磁気コアの一例を示す斜視図であり、 第３図は本発明のＦｅ−Ａ　１ｓｉＦ合金の組成範囲を
示す三角図表であり、 第４図は合金組成とビッカース硬さとの関係を概略的に
示す三角図表であり、 第５図は合金組成と熱膨張係数との関係を概略的に示す
三角図表であり、 第６図は合金組成と実効透磁率との関係を概略的に示す
三角図表であり、 第７図は両コアブロックを組み合わせた後接合用ガラス
棒を巻線用窓内に挿入した状態を示す斜視図であり、 第８図は第１図の浮上型複合磁気ヘッドを製造するため
に磁気コアをスライダーに固着する工程を示す図であり
、 第９図は書き込み電流と再生出力との関係を示すグラフ
である。 １１・・・・スライダー １２．１３・・・サイトレール １４・　・　・　・　・スリット部 １５・・・・・磁気コア １６・・・・・固着ガラス ２１・・・・・Ｃ型コア片 ２２・・・・・■型コア片 ２３、２３’　　・４ｅ−Ａｊ！−３ｉ薄膜２４・・・
・・巻線用窓 ２５・・・・・接合ガラス部 ２６・・・・・切り欠き ２７・・・・・磁気ギャップ ７ｗ・・・・・トラック幅 Ｆｅ　　（里！％） Ｆｅ　（１１％） Ｆｅ　（重量％） Ｆｅ　（重量％） ′第７図 第８図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）浮上型複合磁気ヘッド用磁気コアにおいて、一対
   のコア片と、前記コア片を複合するガラス部と、前記コ
   ア片の少なくとも一方の対向面に形成された金属磁性薄
   膜とを有し、前記金属磁性薄膜がＦｅ、Ａｌ及びＳｉの
   三角図表において下記４点：Ａ（Ａｌ６．６０重量％、
   Ｓｉ９．３０重量％、Ｆｅ残部）、Ｂ（Ａｌ６．７５重
   量％、Ｓｉ８．７５重量％、Ｆｅ残部）、Ｃ（Ａｌ６．
   １０重量％、Ｓｉ８．７５重量％、Ｆｅ残部）及び、Ｄ
   （Ａｌ５．５０重量％、Ｓｉ９．２５重量％、Ｆｅ残部
   ）により囲まれた領域により表される組成を有すること
   を特徴とする磁気コア。
2. （２）請求項１に記載の磁気コアにおいて、前記金属磁
   性薄膜がさらにＴｉ及びＲｕの少なくとも１種を各２重
   量％以下含有することを特徴とする磁気コア。